一种非金属膜厚仪保护装置的制作方法

1.本实用新型涉及精密仪器设备技术领域，特别是涉及一种非金属膜厚仪保护装置。


背景技术：

2.在测量的晶圆或镜面上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。在膜厚仪工作过程中，传送单元整体暴露在外面，极易发生工作人员碰撞箱体导致晶圆碎裂，或者碰撞机器导致损坏，造成不必要的经济损失。而在膜厚仪上设置防护壳不便于工作人员在试验时对晶圆进行观察。


技术实现要素：

3.基于此，有必要针对上述膜厚仪暴露在外面极易损坏，设置防护壳不便观察的问题，提供一种非金属膜厚仪保护装置。
4.一种非金属膜厚仪保护装置，包括壳体和光照组件，所述壳体用于罩设在膜厚仪上，所述壳体内形成有保护腔，所述保护腔用于容置所述膜厚仪上的晶圆，所述壳体上开设有与所述保护腔相连通的取放口；所述光照组件设置在所述保护腔的内壁上，所述光照组件用于朝向所述取放口的方向照射所述晶圆。
5.在一个实施例中，所述光照组件包括光照件和连接件，所述连接件的一端部连接在所述保护腔的内壁上，所述光照件设置在所述连接件的另一端上，所述光照件能够相对所述连接件转动。
6.在一个实施例中，所述连接件包括连接部和安装部，所述光照件能够转动地安装在所述安装部上，所述连接部连接在所述保护腔的内壁上，所述安装部能够移动地连接在所述连接部上。
7.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括第一驱动件，所述第一驱动件安装在所述安装部上，所述光照件连接在所述第一驱动件上，所述第一驱动件能够驱动所述光照件相对所述连接件转动。
8.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括第二驱动件，所述第二驱动件安装在所述连接部或所述安装部上，所述第二驱动件能够驱动所述安装部相对所述连接部移动。
9.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括控制件和识别件，所述识别件安装在所述保护腔的内壁上，并与所述控制件电性连接，所述第一驱动件和所述第二驱动件均与所述控制件电性连接，所述识别件用于识别所述晶圆并生成控制信息，所述识别件向所述控制件传递所述控制信息，所述控制件通过所述控制信息控制所述第一驱动件和所述第二驱动件调节所述光照件的位置使光照件能够照射所述晶圆。
10.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括门体，所述门体能够移动地盖设在所述取放口上。
11.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括第三驱动件，所述第三驱动件设置在所述壳体或所述门体上，所述第三驱动件能够驱动所述门体相对所述壳体移动。
12.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括检测件，所述检测件设置在所述壳体或所述门体上，并与所述控制件电性连接，所述第三驱动件和所述控制件电性连接，所述检测件用于检测人体，并生成开关信息，所述检测件向所述控制件传递所述开关信息，所述控制件通过所述开关信息控制所述第三驱动件调节所述门体盖设在所述取放口上。
13.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括消除组件，所述消除组件设置在所述保护腔内，所述消除组件用于消除所述保护腔内的杂质和静电；所述消除组件为离子风扇，所述离子风扇安装在所述保护腔朝向所述膜厚仪的一侧内壁上，所述离子风扇的气流朝向所述膜厚仪流动。
14.上述非金属膜厚仪保护装置，将非金属膜厚仪保护装置罩设在膜厚仪上，使膜厚仪上的晶圆位于保护腔内。壳体能够对膜厚仪上的晶圆进行保护，避免工作人员碰撞导致晶圆碎裂。同时，设置取放口便于工作人员取放晶圆。而光照组件能够朝向取放口的方向照射晶圆，便于工作人员在取放晶圆时，能够更加方便地观测到晶圆状态，对晶圆进行初步的目检工作，而不用将晶圆取出后再单独转移至其他地方进行目检。进一步提高了对晶圆的检测效率。提高了非金属膜厚仪保护装置的实用性和可靠性。
附图说明
15.构成本技术的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为一实施例中的非金属膜厚仪保护装置的结构示意图；
18.图2为图1实施例中的非金属膜厚仪保护装置另一视角的结构示意图；
19.图3为图1实施例中的非金属膜厚仪保护装置的侧视图。
20.图中各元件标记如下：
21.10、非金属膜厚仪保护装置；100、壳体；110、保护腔；120、取放口；200、光照组件；210、光照件；220、连接件；300、消除组件。
具体实施方式
22.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公
开的具体实施例的限制。
23.参阅图1和图3，一实施例中的非金属膜厚仪保护装置10，包括壳体100和光照组件200，所述壳体100用于罩设在膜厚仪上，所述壳体100内形成有保护腔110，所述保护腔110用于容置所述膜厚仪上的晶圆，所述壳体100上开设有与所述保护腔110相连通的取放口120；所述光照组件200设置在所述保护腔110的内壁上，所述光照组件200用于朝向所述取放口120的方向照射所述晶圆。
24.将非金属膜厚仪保护装置10罩设在膜厚仪上，使膜厚仪上的晶圆位于保护腔110内。壳体100能够对膜厚仪上的晶圆进行保护，避免工作人员碰撞导致晶圆碎裂。同时，设置取放口120便于工作人员取放晶圆。而光照组件200能够朝向取放口120的方向照射晶圆，便于工作人员在取放晶圆时，能够更加方便地观测到晶圆状态，对晶圆进行初步的目检工作，而不用将晶圆取出后再单独转移至其他地方进行目检。进一步提高了对晶圆的检测效率。提高了非金属膜厚仪保护装置10的实用性和可靠性。
25.在一个实施例中，所述光照组件200包括光照件210和连接件220，所述连接件220的一端部连接在所述保护腔110的内壁上，所述光照件210设置在所述连接件220的另一端上，所述光照件210能够相对所述连接件220转动。由此，连接件220能够扩大光照件210的对应中照射范围，而转动光照件210使其能够更好地照射晶圆，进一步提高非金属膜厚仪保护装置10的实用性。
26.在一个实施例中，所述连接件220包括连接部和安装部，所述光照件210能够转动地安装在所述安装部上，所述连接部连接在所述保护腔110的内壁上，所述安装部能够移动地连接在所述连接部上。由此，即连接件220可伸缩。继而带动光照件210可移动，配合光照件210可转动，进一步提高了光照件210可调节和照射的范围。进一步提高了非金属膜厚仪保护装置10的实用性。需要说明的是光照件210转动可以为单转动轴转动，也可以为万向转动。安装部移动可以与光照件210的转动轴线一致，或者相交，只要能够有利于扩展光照件210的照射范围即可。
27.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置10还包括第一驱动件，所述第一驱动件安装在所述安装部上，所述光照件210连接在所述第一驱动件上，所述第一驱动件能够驱动所述光照件210相对所述连接件220转动。通过第一驱动件调节光照件210，避免了手动调节，使得对光照件210的调节更加精准。也避免了人为调节的误差或者失误磕碰到晶圆的风险。进一步提高了非金属膜厚仪保护装置10的自动化程度以及实用性。
28.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置10还包括第二驱动件，所述第二驱动件安装在所述连接部或所述安装部上，所述第二驱动件能够驱动所述安装部相对所述连接部移动。通过第二驱动件驱动连接件220进行伸缩，保证了伸缩移动的准确性和可靠性。也进一步提高了非金属膜厚仪保护装置10的自动化程度。
29.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置10还包括控制件和识别件，所述识别件安装在所述保护腔110的内壁上，并与所述控制件电性连接，所述第一驱动件和所述第二驱动件均与所述控制件电性连接，所述识别件用于识别所述晶圆并生成控制信息，所述识别件向所述控制件传递所述控制信息，所述控制件通过所述控制信息控制所述第一驱动件和所述第二驱动件调节所述光照件210的位置使光照件210能够照射所述晶圆。由此，识别件能够始终识别晶圆。当晶圆产生了位移，识别件的识别范围能够随时跟随晶圆，并生成
控制信息。控制件根据控制信息调节第一驱动件和第二驱动件，继而使得光照件210能够始终照射在晶圆上，进一步保证检测效果，也使得非金属膜厚仪保护装置10的自动化程度进一步提高。
30.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置10还包括门体，所述门体能够移动地盖设在所述取放口120上。门体盖设在取放口120上时，非金属膜厚仪保护装置10罩设在膜厚仪上，保护腔110为密闭腔室，进一步保证晶圆的放置环境和安全性。
31.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置10还包括第三驱动件，所述第三驱动件设置在所述壳体100或所述门体上，所述第三驱动件能够驱动所述门体相对所述壳体100移动。通过第三驱动件使门体在取放口120上开合，进一步提高了非金属膜厚仪保护装置10的自动化程度。
32.在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置10还包括检测件，所述检测件设置在所述壳体100或所述门体上，并与所述控制件电性连接，所述第三驱动件和所述控制件电性连接，所述检测件用于检测人体，并生成开关信息，所述检测件向所述控制件传递所述开关信息，所述控制件通过所述开关信息控制所述第三驱动件调节所述门体盖设在所述取放口120上。检测件能够检测工作人员是否靠近非金属膜厚仪保护装置10或者取放口120，当检测件检测到工作人员的人体靠近取放口120时，检测件生成开关信息传递给控制件，控制件控制第三驱动件调节门体打开取放口120。便于工作人员取放晶圆。当检测件未检测到人体信息时，控制件控制第三驱动件使门体盖设在取放口120上。
33.参阅图2和图3，在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置10还包括消除组件300，所述消除组件300设置在所述保护腔110内，所述消除组件300用于消除所述保护腔110内的杂质和静电。所述消除组件300为离子风扇，所述离子风扇安装在所述保护腔110朝向所述膜厚仪的一侧内壁上，所述离子风扇的气流朝向所述膜厚仪流动。离子风扇能够消除静电，进一步保证膜厚仪的使用安全。同时提高了非金属膜厚仪保护装置10的实用性。
34.在一个实施例中，所述壳体100为亚克力件。壳体100通过亚克力板弯折形成。壳体100弯折一体成型，进一步保证了壳体100结构的可靠性。
35.一种非金属膜厚仪保护装置10的应用方法，通过上述实施例中的非金属厚膜仪保护装置实现，所述方法包括以下步骤：
36.将晶圆放入保护腔110内；
37.识别所述晶圆并生成控制信息；
38.根据所述控制信息照射所述晶圆。
39.具体地，晶圆通过取放口120放入保护腔110的过程中，识别件识别晶圆并生成控制信息，然后根据控制信息控制光照件210照射晶圆。
40.在一个实施例中，根据控制信息控制光照件210照射晶圆，包括：
41.根据控制信息驱动第一驱动件和第二驱动件；
42.第一驱动件驱动光照件210转动；
43.第二驱动件驱动安装部移动带动光照件210移动。
44.具体地，第一驱动件和第二驱动件驱动光照件210朝向取放口120的方向照射晶圆。便于工作人员在取放晶圆时，能够更加方便地观测到晶圆状态，对晶圆进行初步的目检工作，而不用将晶圆取出后再单独转移至其他地方进行目检。进一步提高了对晶圆的检测
效率。提高了非金属膜厚仪保护装置10的实用性和可靠性。
45.在一个实施例中，根据控制信息驱动第一驱动件和第二驱动件，包括：
46.识别件识别晶圆后生成控制信息；
47.向控制件传递控制信息；
48.控制件根据控制信息生成第一位移信息和第二位移信息；
49.根据第一位移信息控制第一驱动件驱动光照件210转动；
50.根据第二位移信息控制第二驱动件驱动安装部移动。
51.进而实现对光照件210的多维调节，进一步保证非金属厚膜仪保护装置的实用性和可靠性。需要说明的是光照件210转动可以为单转动轴转动，也可以为万向转动。安装部移动可以与光照件210的转动轴线一致，或者相交，只要能够有利于扩展光照件210的照射范围即可。
52.在一个实施例中，将晶圆放入保护腔110内，之前还包括：
53.监测人体并生成开关信息；
54.根据开关信息开合取放口120。
55.在一个实施例中，根据开关信息开合取放口120，包括：
56.根据开关信息驱动第三驱动件；
57.第三驱动件驱动门体移动。
58.实现取放口120的开闭。
59.在一个实施例中，根据开关信息驱动第三驱动件，包括：
60.监测件监测人体并生成开关信息；
61.向控制件传递开关信息；
62.控制件根据开关信息生成第三位移信息；
63.根据第三位移信息控制第三驱动件驱动门体移动。
64.在一个实施例中，第三驱动件驱动门体移动，之前还包括：
65.开启消除组件300。
66.具体地，当监测件检测到人体生成开关信息后，在打开取放口120的同时，通过控制件开启消除组件300，清除保护腔110内的杂质和静电，保证保护腔110内环境的条件，进而更加便于放入晶圆。
67.可选地，当晶圆放入保护腔110内，识别件识别到晶圆后。通过控制件开启消除组件300，清除保护腔110和晶圆的杂质和静电。进一步保证非金属厚膜仪的实用性和可靠性。
68.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
69.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两
个，三个等，除非另有明确具体的限定。
70.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
71.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接抵触，或第一和第二特征通过中间媒介间接抵触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
72.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
73.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
74.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，所述非金属膜厚仪保护装置包括：壳体，所述壳体用于罩设在膜厚仪上，所述壳体内形成有保护腔，所述保护腔用于容置所述膜厚仪上的晶圆，所述壳体上开设有与所述保护腔相连通的取放口；及光照组件，所述光照组件设置在所述保护腔的内壁上，所述光照组件用于朝向所述取放口的方向照射所述晶圆。2.根据权利要求1所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，所述光照组件包括光照件和连接件，所述连接件的一端部连接在所述保护腔的内壁上，所述光照件设置在所述连接件的另一端上，所述光照件能够相对所述连接件转动。3.根据权利要求2所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，所述连接件包括连接部和安装部，所述光照件能够转动地安装在所述安装部上，所述连接部连接在所述保护腔的内壁上，所述安装部能够移动地连接在所述连接部上。4.根据权利要求3所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，还包括第一驱动件，所述第一驱动件安装在所述安装部上，所述光照件连接在所述第一驱动件上，所述第一驱动件能够驱动所述光照件相对所述连接件转动。5.根据权利要求4所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，还包括第二驱动件，所述第二驱动件安装在所述连接部或所述安装部上，所述第二驱动件能够驱动所述安装部相对所述连接部移动。6.根据权利要求5所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，还包括控制件和识别件，所述识别件安装在所述保护腔的内壁上，并与所述控制件电性连接，所述第一驱动件和所述第二驱动件均与所述控制件电性连接，所述识别件用于识别所述晶圆并生成控制信息，所述识别件向所述控制件传递所述控制信息，所述控制件通过所述控制信息控制所述第一驱动件和所述第二驱动件调节所述光照件的位置使光照件能够照射所述晶圆。7.根据权利要求6所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，还包括门体，所述门体能够移动地盖设在所述取放口上。8.根据权利要求7所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，还包括第三驱动件，所述第三驱动件设置在所述壳体或所述门体上，所述第三驱动件能够驱动所述门体相对所述壳体移动。9.根据权利要求8所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，还包括检测件，所述检测件设置在所述壳体或所述门体上，并与所述控制件电性连接，所述第三驱动件和所述控制件电性连接，所述检测件用于检测人体，并生成开关信息，所述检测件向所述控制件传递所述开关信息，所述控制件通过所述开关信息控制所述第三驱动件调节所述门体盖设在所述取放口上。10.根据权利要求1-9中任一项所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，还包括消除组件，所述消除组件设置在所述保护腔内，所述消除组件用于消除所述保护腔内的杂质和静电；所述消除组件为离子风扇，所述离子风扇安装在所述保护腔朝向所述膜厚仪的一侧内壁上，所述离子风扇的气流朝向所述膜厚仪流动。

技术总结
本实用新型涉及一种非金属膜厚仪保护装置，非金属膜厚仪保护装置包括壳体和光照组件，壳体用于罩设在膜厚仪上，壳体内形成有保护腔，保护腔用于容置膜厚仪上的晶圆，壳体上开设有与保护腔相连通的取放口；光照组件设置在保护腔的内壁上，光照组件用于朝向取放口的方向照射晶圆。将非金属膜厚仪保护装置罩设在膜厚仪上，使膜厚仪上的晶圆位于保护腔内。壳体能够对膜厚仪上的晶圆进行保护，避免工作人员碰撞导致晶圆碎裂。同时光照组件能够朝向取放口的方向照射晶圆，便于工作人员在取放晶圆时，能够更加方便地观测到晶圆状态，对晶圆进行初步的目检工作，而不用将晶圆取出后再单独转移至其他地方进行目检。进一步提高了对晶圆的检测效率。的检测效率。的检测效率。


技术研发人员：李国强
受保护的技术使用者：河源市艾佛光通科技有限公司
技术研发日：2022.12.26
技术公布日：2023/8/17