氮气干燥净化装置的制作方法

1.本发明属于氮气干燥领域，具体地说，涉及一种氮气干燥净化装置。


背景技术：

2.在半导体工业过程中，经常需要氢气、氮气、惰性气体等作为辅料，并且需要这些气体具有超高纯度。
3.但是，上述氮气干燥净化装置在使用过程中存在以下问题：目前，从高纯氮气的生产工艺中，不可避免的会带入氧气，导致氮气的纯度达不到超高标准，导致高纯试剂产品质量不合格的问题。
4.综上，因此本发明提供了一种氮气干燥净化装置，以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本发明要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种氮气干燥净化装置。
6.为解决上述技术问题，本发明采用技术方案的基本构思是：一种氮气干燥净化装置，包括c级精密过滤器、位于所述c级精密过滤器一侧的第一吸附塔、位于所述c级精密过滤器一侧的第二吸附塔，所述c级精密过滤器的一侧装设有微热再生干燥机，所述微热再生干燥机的一侧装设有a级精密过滤器，所述a级精密过滤器的一侧装设有二氧化碳净化装置，所述二氧化碳净化装置的一侧装设有t级精密过滤器；所述第一吸附塔与所述第二吸附塔之间装设有消声器，所述第一吸附塔的外侧壁装设有第一压力表，所述第二吸附塔的外侧壁装设有第二压力表。
7.可选的，所述c级精密过滤器上装设有空气进口，所述t级精密过滤器上装设有空气出口，所述第一吸附塔的一端装设有第一气动切换阀，所述第一气动切换阀带动一端装设有第二气动切换阀，所述第二吸附塔的一端装设有第三气动切换阀，所述第三气动切换阀的一端装设有第四气动切换阀，所述消声器装设在所述第三气动切换阀上，所述第三气动切换阀与所述第四气动切换阀之间装设有湿空气进口。
8.可选的，所述消声器装设在所述第一气动切换阀上，所述消声器装设在所述第三气动切换阀上，所述第一吸附塔上装设有电加热器，所述电加热器上装设有节流阀，所述节流阀的一端装设有干空气进口，所述电加热器上装设有第一止回阀，所述第一止回阀的一端装设有第二止回阀，所述干空气进口的一端装设所述第一止回阀和所述第二止回阀之间。
9.可选的，所述电加热器上装设有第三止回阀，所述第三止回阀的一端装设有第四止回阀，所述第四止回阀的一端装设在所述第二吸附塔上，所述第二止回阀的一端装设在所述第二吸附塔上，所述电加热器的一端装设有加热温度表，所述加热温度表的一端装设有再生压力表，所述再生压力表的一端装设在所述第三止回阀和所述第四止回阀之间。
10.采用上述技术方案后，本发明与现有技术相比具有以下有益效果，当然，实施本发
明的任一产品并不一定需要同时达到以下所述的所有优点：采用吸附床层大容量设计，吸附器空塔流速控制在0.25m
³
/s，保证接触时间超过5.5s，并留有设计余量的25%，以适应操作负荷变化要求，床层截面气流分布特殊设计，防止气流沿床层截面不均匀性，即气流偏流，最大发挥吸附剂吸附能力，系统工艺空气出口阀，再生气进口阀采用升降式止回阀，使得工艺流程操作简单，减少了设备故障可能性，系统放压操作采用小口径的气动角座阀，有效保护吸附剂，延长吸附剂寿命，采用长周期时间切换，可以进一步节约再生空气，吸附剂/二氧化碳吸附剂采用知名品牌，确保性能可靠性，活性氧化铝具有静态吸附量大的、耐水强度好，耐磨性好，使用寿命长，空气进口阀，再生气出口阀采用国内知名品牌的气动蝶阀，该阀具有转动扭矩大，连续无故障次数》100万次，阀门泄漏率《4.0ml/min。
11.下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的描述。
附图说明
12.下面描述中的附图仅仅是一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。在附图中：图1为本发明一实施例的c级精密过滤器结构示意图；图2为本发明一实施例的第一吸附塔及第二吸附塔结构示意图。
13.附图中，各标号所代表的部件列表如下：c级精密过滤器1，a级精密过滤器2，微热再生干燥机3，t级精密过滤器4，二氧化碳净化装置5，空气进口6，空气出口7，干空气进口8，湿空气进口9，节流阀10，电加热器11，加热温度表12，第一压力表13，第一吸附塔14，消声器15，第一气动切换阀16，第二气动切换阀17，第一止回阀18，第三止回阀19，第二止回阀20，第四止回阀21，，节流孔板22，再生压力表23，第二压力表24，第二吸附塔25，第三气动切换阀26，第四气动切换阀27。
14.需要说明的是，这些附图和文字描述并不旨在以任何方式限制本发明的构思范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本发明的概念。
具体实施方式
15.现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。
16.请参阅图1-2所示，在本实施例中提供了一种氮气干燥净化装置，包括c级精密过滤器1、位于c级精密过滤器1一侧的第一吸附塔14、位于c级精密过滤器1一侧的第二吸附塔25，c级精密过滤器1的一侧装设有微热再生干燥机3，微热再生干燥机3的一侧装设有a级精密过滤器2，a级精密过滤器2的一侧装设有二氧化碳净化装置5，二氧化碳净化装置5的一侧装设有t级精密过滤器4；第一吸附塔14与第二吸附塔25之间装设有消声器15，第一吸附塔14的外侧壁装设有第一压力表13，第二吸附塔25的外侧壁装设有第二压力表24。
17.当氮气进入吸附干燥机二氧化碳净化装置时，首先使第一吸附塔14、第二吸附塔25压力值达到压力平衡后，空气从第二吸附塔25进气切换阀进入第二吸附塔25吸附筒，空气中的水份被充满塔内、表面有无数选择性小孔的吸附剂所吸附后，干燥空气完成了吸附-干燥过程经出气第二止回阀20出氮气干燥/净化装置到用气点，此时第一吸附塔14排气第
一气动切换阀16打开，第一吸附塔14内的氮气经第一吸附塔14排气第一气动切换阀16、消声器15完全排空，第一吸附塔14内吸附了大量水份的干燥剂/大量二氧化碳因为压力变化，由吸附剂表面被干燥的氮气带走排出机外，同时一小部分处理后的干燥空气由干空气出气口经再生气节流阀9、节流孔板22、第四止回阀21到第一吸附塔14出气口进入第一吸附塔14，干燥空气将余下的少量水份从第一吸附塔14排气第一气动切换阀16带走，使第一吸附塔14内的干燥剂从新达到干燥，从而完成了干干燥-净化-再生过程，然后第一吸附塔14排气第一气动切换阀16关闭，再生气仍从出气口流经第一吸附塔14，直至第一吸附塔14、第二吸附塔25两塔压力一致，从而完成了均压过程，保证了第二吸附塔25切换到第一吸附塔14时压缩空气不会对阀体造成冲击，均压完后第一吸附塔14进气切断阀打开，同时第二吸附塔25切断阀关闭，氮气经第一吸附塔14进气切断阀进入第一吸附塔14吸附，其过程与第二压力表24相同，如此循环使干燥净化完成周期性的切换。
18.采用吸附床层大容量设计，吸附器空塔流速控制在0.25m
³
/s，保证接触时间超过5.5s，并留有设计余量的25%，以适应操作负荷变化要求，床层截面气流分布特殊设计，防止气流沿床层截面不均匀性，即气流偏流，最大发挥吸附剂吸附能力，系统工艺空气出口阀，再生气进口阀采用升降式止回阀，使得工艺流程操作简单，减少了设备故障可能性，系统放压操作采用小口径的气动角座阀，有效保护吸附剂，延长吸附剂寿命，采用长周期时间切换，可以进一步节约再生空气，吸附剂/二氧化碳吸附剂采用知名品牌，确保性能可靠性，活性氧化铝具有静态吸附量大的、耐水强度好，耐磨性好，使用寿命长，空气进口阀，再生气出口阀采用国内知名品牌的气动蝶阀，该阀具有转动扭矩大，连续无故障次数》100万次，阀门泄漏率《4.0ml/min。
19.本实施例的c级精密过滤器1上装设有空气进口6，t级精密过滤器4上装设有空气出口7，第一吸附塔14的一端装设有第一气动切换阀16，第一气动切换阀16带动一端装设有第二气动切换阀17，第二吸附塔25的一端装设有第三气动切换阀26，第三气动切换阀26的一端装设有第四气动切换阀27，消声器15装设在第三气动切换阀26上，第三气动切换阀26与第四气动切换阀27之间装设有湿空气进口9。
20.本实施例的消声器15装设在第一气动切换阀16上，消声器15装设在第三气动切换阀26上，第一吸附塔14上装设有电加热器11，电加热器11上装设有节流阀10，节流阀10的一端装设有干空气进口8，电加热器11上装设有第一止回阀18，第一止回阀18的一端装设有第二止回阀20，干空气进口8的一端装设第一止回阀18和第二止回阀20之间。
21.本实施例的电加热器11上装设有第三止回阀19，第三止回阀19的一端装设有第四止回阀21，第四止回阀21的一端装设在第二吸附塔25上，第二止回阀20的一端装设在第二吸附塔25上，电加热器11的一端装设有加热温度表12，加热温度表12的一端装设有再生压力表23，再生压力表23的一端装设在第三止回阀19和第四止回阀21之间。
22.本发明不局限于上述实施方式，任何人应得知在本发明的启示下作出的结构变化，凡是与本发明具有相同或相近的技术方案，均落入本发明的保护范围之内。本发明未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

技术特征：
1.一种氮气干燥净化装置，包括：c级精密过滤器（1）、位于所述c级精密过滤器（1）一侧的第一吸附塔（14）、位于所述c级精密过滤器（1）一侧的第二吸附塔（25），其特征在于，所述c级精密过滤器（1）的一侧装设有微热再生干燥机（3），所述微热再生干燥机（3）的一侧装设有a级精密过滤器（2），所述a级精密过滤器（2）的一侧装设有二氧化碳净化装置（5），所述二氧化碳净化装置（5）的一侧装设有t级精密过滤器（4）；所述第一吸附塔（14）与所述第二吸附塔（25）之间装设有消声器（15），所述第一吸附塔（14）的外侧壁装设有第一压力表（13），所述第二吸附塔（25）的外侧壁装设有第二压力表（24）。2.根据权利要求1所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，所述c级精密过滤器（1）上装设有空气进口（6），所述t级精密过滤器（4）上装设有空气出口（7）。3.根据权利要求1所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，所述第一吸附塔（14）的一端装设有第一气动切换阀（16），所述第一气动切换阀（16）带动一端装设有第二气动切换阀（17）。4.根据权利要求3所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，所述第二吸附塔（25）的一端装设有第三气动切换阀（26），所述第三气动切换阀（26）的一端装设有第四气动切换阀（27），所述消声器（15）装设在所述第三气动切换阀（26）上，所述第三气动切换阀（26）与所述第四气动切换阀（27）之间装设有湿空气进口（9）。5.根据权利要求4所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，所述消声器（15）装设在所述第一气动切换阀（16）上，所述消声器（15）装设在所述第三气动切换阀（26）上。6.根据权利要求1所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，所述第一吸附塔（14）上装设有电加热器（11），所述电加热器（11）上装设有节流阀（10），所述节流阀（10）的一端装设有干空气进口（8）。7.根据权利要求6所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，所述电加热器（11）上装设有第一止回阀（18），所述第一止回阀（18）的一端装设有第二止回阀（20），所述干空气进口（8）的一端装设所述第一止回阀（18）和所述第二止回阀（20）之间。8.根据权利要求7所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，所述电加热器（11）上装设有第三止回阀（19），所述第三止回阀（19）的一端装设有第四止回阀（21）。9.根据权利要求8所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，所述第四止回阀（21）的一端装设在所述第二吸附塔（25）上，所述第二止回阀（20）的一端装设在所述第二吸附塔（25）上。10.根据权利要求8所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，所述电加热器（11）的一端装设有加热温度表（12），所述加热温度表（12）的一端装设有再生压力表（23），所述再生压力表（23）的一端装设在所述第三止回阀（19）和所述第四止回阀（21）之间。

技术总结
本发明公开了一种氮气干燥净化装置，涉及氮气干燥技术领域。本发明包括C级精密过滤器、位于所述C级精密过滤器一侧的第一吸附塔、位于所述C级精密过滤器一侧的第二吸附塔，所述C级精密过滤器的一侧装设有微热再生干燥机，所述微热再生干燥机的一侧装设有A级精密过滤器，所述A级精密过滤器的一侧装设有二氧化碳净化装置，所述二氧化碳净化装置的一侧装设有T级精密过滤器。本发明通过采用吸附床层大容量设计，吸附器空塔流速控制在0.25m


技术研发人员：包炳岳
受保护的技术使用者：杭州临安汉克森过滤设备有限公司
技术研发日：2023.03.02
技术公布日：2023/8/24