气体放电室鼓风机的能耗降低的制作方法

气体放电室鼓风机的能耗降低
1.相关申请的交叉引用
2.本技术要求于2020年12月22日提交的题为“reducing energy consumption of a gas discharge chamber blower”的第63/129,122号美国申请的优先权，该申请通过引用整体并入本文。
技术领域
3.所公开的主题涉及控制布置在光源的气体放电室中的鼓风机，从而减少鼓风机在光源操作期间消耗的能量。


背景技术：

4.光刻中使用的一种气体放电光源称为准分子光源或激光器。通常，准分子激光器使用一种或多种稀有气体(其可以包括氩、氪或氙)与反应性气体(其可以包括氟或氯)的组合。准分子激光器可以在适当的电模拟(供应的能量)和高压(气体混合物的高压)条件下产生准分子，即伪分子，准分子仅在激发状态下存在。准分子在激发状态下产生紫外线范围内的放大光。准分子光源可以使用单个气体放电室或多个气体放电室。当准分子光源工作时，准分子光源产生深紫外(duv)光束。duv光可以包括例如从大约100纳米(nm)到大约400nm的波长。
5.duv光束可以被引导到光刻曝光装置或扫描仪，这是一种将期望图案施加到衬底(诸如硅晶片)的目标部分上的机器。duv光束与投射光学系统相互作用，投射光学系统通过掩模将duv光束投射到晶片的光刻胶上。以这种方式，将一层或多层芯片设计图案化到光致抗蚀剂上，并且随后蚀刻和清洁晶片。


技术实现要素：

6.在一些一般方面，一种用于光源的装置包括：监测模块。被配置为监测光源的一个或多个操作条件的故障状态；递减模块，被配置为如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态是归零的、并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则降低布置在光源的气体放电室中的鼓风机的操作速度的；以及递增模块，被配置为如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态被标记则增加鼓风机的操作速度。鼓风机被配置为将包括增益介质的气体混合物从气体放电室内的能量源移开，能量源被配置为向气体混合物供应能量。
7.实施方式可以包括以下特征中的一个或多个。例如，鼓风机的基线速度可以与气体放电室的使用年限相关，基线速度随着气体放电室随时间老化而变化。
8.一个或多个操作条件中的每个操作条件可以由与光源相关的或与由光源产生的光束相关的性能度量来限定。一个或多个性能度量可以包括与光束相关联的波长直方图、与光束相关联的能量剂量误差、与光束相关联的能量误差、以及光源内的气体放电室的操作点。如果相关联的性能度量中的至少一个性能度量不在性能度量的阈值范围内，则故障
状态可以被标记，并且如果所有相关联的性能度量都在其相应阈值范围内，则故障状态可以是归零的。光源的操作条件中的至少一个操作条件可以是预动式的，使得鼓风机的操作速度在相关联的性能度量的值不在性能度量的阈值范围内之前被调节。操作条件中的至少一个操作条件可以是反应性的，使得鼓风机的操作速度在相关联的性能度量的值不在性能度量的阈值范围内之后被调节。每个预动式操作条件可以与比性能度量的实际阈值范围更严格的有限阈值范围相关联，并且通过基于有限阈值范围确定预动式操作条件的故障状态，而在相关联的性能度量的值不在实际阈值范围内之前可以调节鼓风机的操作速度。
9.与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态可以使用低通滤波器或加权和滤波器来确定。
10.递减模块可以被配置为将鼓风机的操作速度减小递减速度步长，并且递增模块可以被配置为将鼓风机的操作速度增大递增速度步长。递增速度步长可以大于递减速度步长。递增速度步长可以小于或等于每分钟25转(rpm)，并且递减速度步长可以是递增速度步长的大约一半、三分之一、四分之一或五分之一。
11.可以由递增模块和递减模块在由最小鼓风机速度和最大鼓风机速度限定的鼓风机速度范围内调节鼓风机的操作速度。
12.递减模块和递增模块中的每一者可以被配置为避免鼓风机的二次谐波的混叠频率对与光源相关联的光谱特征控制系统造成干扰时的鼓风机操作速度。干扰鼓风机操作速度可以取决于光源产生光束的重复速率。
13.该装置还可以包括基线模块，该基线模块被配置为：如果鼓风机的操作速度低于基线速度，则增加鼓风机的操作速度。
14.该装置可以是光源的状态机，使得监测模块可以是监测状态，递减模块可以是递减状态，并且递增模块可以是递增状态。在递减状态下降低鼓风机的操作速度之后，如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态被标记，则状态机可以从递减状态转变到递增状态。状态机还可以包括基线状态，该基线状态被配置为如果鼓风机的操作速度低于基线速度，则增加鼓风机的操作速度，并且如果鼓风机的操作速度向下越过基线速度，则状态机可以从递减状态转变到基线状态。在基线状态在基线状态下增加鼓风机的操作速度之后，如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态被标记，则状态机可以从基线状态转变到递增状态。如果鼓风机的操作速度低于基线速度，则状态机可以从监测状态转变到基线状态。在递增状态下增加鼓风机的操作速度之后，如果鼓风机的增加后的操作速度大于目标速度，则状态机可以从递增状态转变到监测状态。如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态被标记，则状态机可以从监测状态转变到递增状态。如果一个或多个退出标准被满足，则状态机可以从监测状态转变到递减状态，退出标准基于基线速度、由光源产生的光束脉冲的数目、以及导致光源的性能改进的事件中的一项或多项。
15.在其他一般方面，一种用于光源的鼓风机控制器包括与布置在光源的气体放电室中的鼓风机通信的控制系统，鼓风机被配置为将包括增益介质的气体混合物从气体放电室内的能量源移开，能量源被配置为向气体混合物供应能量。控制系统被配置为：监测光源的一个或多个操作条件的故障状态；如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态是归零的、并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则在递减状态下降低鼓风机的操作速度；以及如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态被标记，则在递增状态
下增加鼓风机的操作速度。
16.实现方式可以包括以下特征中的一项或多项。例如，控制系统可以包括：计算机可读存储器模块；以及耦合到计算机可读存储器模块的一个或多个电子处理器。
17.与一个或多个操作条件相关的故障状态可以使用二进制表示法来限定，使得如果故障状态是归零的，则故障状态被分配值0，而如果故障状态被标记，则故障状态被分配值1。
18.控制系统还可以被配置为如果鼓风机的降低后的操作速度低于基线速度，则在递增状态下增加鼓风机的操作速度。
19.在其他一般方面，提供了一种用于控制布置在光源的气体放电室中的鼓风机的方法。该方法包括：监测光源的一个或多个操作条件的故障状态；如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态是归零的并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则递减鼓风机的操作速度；以及如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态被标记，则递增鼓风机的操作速度。
20.实现方式可以包括以下特征中的一项或多项。例如，鼓风机的操作速度可以通过减小由鼓风机的运动引起的光源内的振动的量来递减。鼓风机的操作速度可以通过将鼓风机的操作速度减小递减速度步长来递减，并且鼓风机的操作速度可以通过将鼓风机的操作速度增大递增速度步长来递增。该方法还可以包括确定鼓风机的递增速度步长和递减速度步长，每个速度步长取决于与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态。
21.鼓风机的操作速度可以通过在由最小鼓风机速度和最大鼓风机速度限定的鼓风机速度范围内调节鼓风机的操作速度来递减和递增。该方法还可以包括确定鼓风机的鼓风机速度范围，鼓风机速度范围取决于光源的一个或多个操作条件的故障状态。
22.该方法还可以包括如果鼓风机的降低后的操作速度低于基线速度，则递增鼓风机的操作速度。
23.可以通过监测一个或多个退出标准使得仅当退出标准中的一个或多个退出标准被满足时才降低鼓风机的操作速度来监测与一个或多个操作条件相关的故障状态。退出标准可以基于基线速度和由光源产生的光束脉冲的数目，如果鼓风机的操作速度大于基线速度并且光束脉冲的数目大于最小脉冲数目，则退出标准被满足。
24.在其他一般方面，一种紫外线光源包括：包括一个或多个气体放电室的光生成装置，一个或多个气体放电室被配置为：保持包括增益介质的气体混合物，容纳被配置为向气体混合物供应能量的能量源，并且产生光束，气体放电室中的至少一个气体放电室被配置为保持鼓风机，其中鼓风机被配置为将气体混合物从气体放电室内的能量源移开；以及被配置为调节鼓风机的操作速度的装置。该装置包括：监测模块，被配置为监测与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态；递减模块，被配置为如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态是归零的、并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则降低鼓风机的操作速度；以及递增模块，被配置为如果光源的一个或多个操作条件的故障状态被标记，则增加鼓风机的操作速度。
25.实现方式可以包括以下特征中的一项或多项。例如，增益介质可以被配置为响应于施加到能量源的电压信号而发射深紫外(duv)光。气体增益介质可以包括氟化氩(arf)、氟化氪(krf)或氯化氙(xecl)。光生成装置可以包括两个气体放电室，两个气体放电室包括
被配置为产生种子光束的主振荡器和被配置为从种子光束产生输出光束的功率放大器。光生成装置可以包括多个气体放电室，并且气体放电室中的每个气体放电室可以被配置为朝向光束组合器发射光束。
26.该装置可以包括基线模块，该基线模块被配置为如果鼓风机的降低后的操作速度低于基线速度，则增加鼓风机的操作速度。
附图说明
27.图1是产生供光刻曝光装置使用的光束的紫外线光源的框图，该光源包括具有一个或多个气体放电室的光生成装置，每个气体放电室包括鼓风机、以及至少部分被配置为控制鼓风机的速度的装置；
28.图2是图1的装置的实现的框图，该装置包括监测模块、递减模块和递增模块、以及可选的基线模块；
29.图3是示出如何基于光源的一个或多个操作条件来确定光源的总体故障状态以供图1和图2的装置使用的示意图；
30.图4a-图4c是示出对于不同放电室，基线速度如何相对于放电室的使用年限而变化的示例性曲线图；
31.图5是表示该装置的实现的状态机的图，该状态机包括监测状态(由监测模块执行)、递减状态(由递减模块执行)和递增状态(由递增模块执行)；
32.图6a是当状态机处于递减状态时由递减模块执行的过程的流程图；
33.图6b是当状态机处于监测状态时由监测模块执行的过程的流程图；
34.图6c是当状态机处于基线状态时由基线模块执行的过程的流程图；
35.图6d是当状态机处于递增状态时由递增模块执行的过程的流程图；
36.图7a是由用于控制图1和图2的光源的鼓风机的速度的装置执行的过程的流程图；
37.图7b是可以被包括在图7a的过程中的附加步骤；
38.图8是光源的实现的框图，其中光生成装置包括主振荡器-功率放大器布置中的两个气体放电室；
39.图9a是光源的实现和光刻曝光装置的实现的框图，其中光生成装置包括多个气体放电室；以及
40.图9b是图9a的光刻曝光装置的投射光学系统的实现的框图。
具体实施方式
41.参考图1，紫外线光源100包括光生成装置105和装置110，光生成装置105包括一个或多个气体放电室104。在图1的示例中，光生成装置105包括一个放电室104，但它可以包括多个放电室104(诸如图8和图9a所示)。气体放电室104被配置为将包括增益介质的气体混合物107保持在气体放电室104的内腔104i内，容纳被配置为向气体混合物107供应能量从而产生光束102的能量源106。气体混合物107的增益介质被配置为响应于施加到能量源106的电压信号而发射深紫外(duv)光。能量源106可以被配置为使用间置有无能量周期的高压放电以短(例如，纳秒)电流脉冲向气体混合物107供应能量。当来自能量源106的能量被提供给气体混合物107时，气体混合物107通过受激发射从在气体混合物107的增益介质中发
生的粒子束反转产生光束102的脉冲。因此，光束102是脉冲光束，该脉冲光束包括以duv范围内的波长为中心的光脉冲，例如波长为248纳米(nm)或193nm。对于duv光源，气体混合物107的气体增益介质可以包括例如氟化氩(arf)、氟化氪(krf)或氯化氙(xecl)。光束102沿着路径被引导朝向光刻曝光装置101。光束102用于将微电子特征图案化在容置在光刻曝光装置101中的衬底或晶片上。在晶片上图案化的微电子特征的尺寸取决于脉冲光束102的波长，其中较低波长导致较小最小特征尺寸或临界尺寸。例如，当脉冲光束102的波长为248nm或193nm时，微电子特征的最小尺寸可以是例如50nm或更小。
42.具体地，能量源106可以包括阴极和阳极，并且阴极与阳极之间的电势差在气体混合物107中形成电场。电场向气体混合物107内的增益介质提供能量，这样的能量足以引起粒子束反转并且使得能够经由受激发射生成光脉冲。这样的电势差的重复产生形成最终组成光束102的光脉冲串。“放电事件”是电压施加，该电压形成的电势差足以在气体混合物107的增益介质中引起放电并且引起光脉冲的发射。
43.当光脉冲从能量源106附近的气体混合物107被生成时，气体混合物107内的分子会在一段时间内恢复。该恢复时间比能量源106的脉冲之间的时间长。此外，如果另一能量脉冲被供应给保持最靠近能量源106的恢复气体混合物107，则光束102的所得到的光脉冲的输出质量将降低并且可能导致光生成装置105发生故障。为了解决这个问题，气体放电室104保持鼓风机108，鼓风机108固定到气体放电室104的壁103a、103b。在各种实现中，鼓风机108可以包括诸如风扇等旋转结构。例如，参见于2004年7月20日发布的发明人为partlo等人的第6,765,946号美国专利，该专利通过引用整体并入本文。鼓风机108被配置为在气体放电室104内将恢复气体混合物107的一部分从能量源106有规律地移开，以使得新鲜气体混合物107能够在能量源106的下一脉冲产生之前与能量源106相互作用。如果鼓风机108的速度太低，则气体放电室104中可能发生电弧、脱落和效率低下，并且当鼓风机108不能充分清除恢复气体混合物107的部分时，气体放电室104可能发生故障。另一考虑是，鼓风机108的旋转或运动可能导致气体放电室104内的振动，该振动可能影响光束102的一个或多个光谱特性以及光束102在光刻曝光装置101处的剂量性能。
44.在光源100的操作期间，鼓风机108的操作速度(即，鼓风机108围绕鼓风机108的旋转轴旋转的速度或速率)可以预先配置的速度保持恒定。具体地，鼓风机108的操作速度可以保持在最大鼓风机速度，使得鼓风机的操作速度108不会随时间和光源100的操作而改变。在这样的条件下，鼓风机108可能随时间消耗大致恒定量的能量，或者换言之，在光源100操作时需要恒定功率，这可能是昂贵的并且至少是成本低效的。因此，如本文中讨论的，由装置110基于光源100的一个或多个操作条件的故障状态和鼓风机108的基线速度(其是鼓风机108的最小允许速度)而随时间而改变或调节(当光源100操作时)鼓风机108的操作速度。以这种方式，装置110充当鼓风机控制器，该鼓风机控制器通过在最小鼓风机速度与最大鼓风机速度之间调节操作速度来控制鼓风机108的操作速度，该最小鼓风机速度和最大鼓风机速度一起限定在光源100的操作期间鼓风机108的安全鼓风机速度范围。换言之，当光源100操作时，装置110在光源100内不会发生故障和/或问题的安全鼓风机速度范围内调节鼓风机108的操作速度，并且还调节鼓风机108的操作速度，使得鼓风机108节省更多能量，从而光源100消耗更少能量。接下来提供装置110的细节。
45.参考图2，装置110(或鼓风机控制器)包括监测模块112、递减模块114和递增模块
116。
46.通常，监测模块112被配置为监测与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态。例如，可以由与光源100或与由光源100产生的光束102相关的性能度量来限定一个或多个操作条件中的每个操作条件。如果相关联的性能度量中的至少一个性能度量不在该性能度量的阈值范围内，则故障状态可以被认为是被标记的，并且如果所有相关联的性能度量都在其相应阈值范围之内，则故障状态可以被认为是归零的。因此，当光源100操作时，监测模块112可以通过监测一个或多个相关联的性能度量来监测光源100的一个或多个操作条件。
47.通常，如果与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态是归零的并且如果降低后的操作速度将等于或高于鼓风机108的基线速度(即，鼓风机108的最小允许速度)，则递减模块114被配置为降低鼓风机108的操作速度。例如，递减模块114可以被配置为将鼓风机108的操作速度降低一递减速度步长。
48.通常，递增模块116被配置为如果光源100的一个或多个操作条件的故障状态被标记，则增加鼓风机108的操作速度。递增模块116可以被配置为将鼓风机108的操作速度增加递增速度步长。在一个示例中，递增步长可以例如小于或等于每分钟25转(rpm)。在该示例中，递增速度步长大于递减速度步长，递减速度步长可以是递增速度步长的大约一半、三分之一、四分之一或五分之一。
49.装置110还可以包括基线模块118，该基线模块118被配置为如果鼓风机108的操作速度低于基线速度，则增加鼓风机108的操作速度。
50.当光源100操作时，由递增模块114和递减模块116以及基线模块118在由最小鼓风机速度和最大鼓风机速度限定的鼓风机速度范围内进行调节鼓风机108的操作速度。鼓风机速度范围是光源100不存在问题和/或故障并且正确操作的安全范围。以这种方式，装置110通过在安全鼓风机速度范围内调节操作速度来控制鼓风机108的操作速度，使得鼓风机108消耗的能量最小并且光源100消耗的能量减少。
51.装置110的模块112、114、116、118可以在与鼓风机108通信从而控制鼓风机108的控制系统中实现。因此，鼓风机控制器108的控制系统被配置为监测光源100的一个或多个操作条件的故障状态，如果与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态是归零的并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则在递减状态下降低鼓风机108的操作速度，并且如果与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态被标记，则在递增状态下增加鼓风机108的操作速度。鼓风机控制器110的控制系统还可以被配置为如果鼓风机108的降低后的操作速度低于基线速度，则在递增状态下增加鼓风机108的操作速度。
52.例如，装置110可以包括计算机可读存储器模块、以及耦合到计算机可读存储器模块的一个或多个电子处理器。模块112、114、116、118中的每个可以与存储器模块通信，并且可以由一个或多个电子处理器控制。例如，每个模块112、114、116、118可以包括或能够访问一个或多个可编程处理器，并且每个模块可以执行指令程序以通过对输入数据进行操作并且生成适当的输出来执行期望功能。每个模块112、114、116、118可以用数字电子电路系统、计算机硬件、固件或软件中的任何一种来实现。在另外的实现中，每个模块112、114、116、118访问存储器模块内的存储器，该存储器模块还被配置为存储从模块112、114、116、118中的一个或多个输出的信息、来自放电室104的信息、或关于光生成装置105的其他方面的信
息，这样的信息可用于在装置110的操作期间供模块112、114、116、118使用。存储器模块内的存储器可以是只读存储器和/或随机存取存储器，并且可以提供适合于有形地体现计算机程序指令和数据的存储设备。装置110还可以包括一个或多个输入设备(诸如键盘、触摸使能设备、音频输入设备)和一个或多个输出设备(诸如音频输出或视频输出)。
53.在装置110充当鼓风机控制器的示例中，与一个或多个操作条件相关的故障状态可以(由控制系统)使用二进制表示法限定。具体地，如果故障状态是归零的，则故障状态可以被分配值零(0)，而如果故障状态被标记，则可以被分配值一(1)。接下来提供与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态的细节。
54.参考图3，由装置110在每次迭代时基于光源100的一个或多个操作条件来确定光源100的总体故障状态327。一个或多个操作条件中的每个操作条件由与光源100或与由光源100产生的光束102相关的性能度量320_1至320_n来限定。装置110用来控制鼓风机108的故障状态327应当基于系统参数、度量和信号，而这些系统参数、度量和信号以显著方式受到鼓风机108的速度变化的影响。
55.在图3的示例中，一个或多个性能度量320_1至320_n包括与光束102相关联的光谱特征精度、与光束102相关联的能量剂量误差、与光束102相关联的能量误差、光源100内的光生成装置105的致动器操作点、以及气体放电室脱落速率。
56.光谱特征精度表示由光源100产生的光束102的光谱特征(诸如波长)的稳定性和精度。具体地，与波长相关的光谱特征精度基于在光束102的m个脉冲的移动窗口之上计算的光束102的波长的误差的均值和标准偏差，其中m是等于或大于1的整数。光谱特征精度的值可以直接测量/计算，也可以根据其他测量数据来估计。
57.能量剂量误差表示晶片处的期望或目标剂量与容置在光刻曝光装置107中的晶片处的实际剂量之间的差。晶片处的剂量是光束102在晶片处的曝光时间或特定数目的脉冲之上每单位面积传递的光能的量。虽然能量剂量误差可以直接测量/计算能量剂量误差，但也可以根据其他测量数据来估计能量剂量误差。
58.能量误差表示光束102的测量能量的标准偏差。特别地，能量误差可以被认为是光束102的脉冲中的能量与目标能量之间的差。虽然能量误差可以直接测量，但也可以根据其他数据来估计能量误差。
59.光生成装置105的致动器操作点的特征在于：在可能的设置、值或条件范围内，光生成装置内的致动器正在操作的位置。在一些实现中，如下面关于图8所讨论的，致动器可以是定时模块，其连接到光生成装置805的包括第一放电室804a(第一级构成主振荡器)的第一级和包括第二放电室804b(第二级构成功率放大器)的第二级。这样的定时模块控制发送到第一放电室804a的第一能量源806a的第一触发信号与发送到第二放电室804b的第二能量源806b的第二触发信号之间的相对定时。这种相对定时可以称为差分定时。在这些实现中，用于光生成装置805的致动器操作点的度量可以量化实际相对定时与峰值效率差分定时(tpeak)的位移，其中tpeak是当光生成装置805以施加到光生成装置805(经由能量源806a、806b)的特定输入能量下产生具有最大能量的光束802时相对定时的值。致动器操作点的这个度量可以基于以下各项来计算或估计：供应给能量源806a、806b的电压或能量；光束802的输出能量、以及差分定时。
60.气体放电室脱落速率量化了故障机制，在该故障机制中，鼓风机108无法充分清除
恢复气体混合物107的部分，因此，气体混合物没有足够快地移动通过气体放电室104，这导致气体放电室104中的拱起和能量损失。
61.在一些实现中，如上所述，与光源100相关的性能度量320_1至320_n中的一个或多个在操作期间的某些时刻或在某些系统内可能不可用，并且装置110可以估计不可用性能度量的值以基于其他可用数据来确定故障状态327。为了计算总体故障状态327，装置110接收性能度量320_1、320_2、
……
、320_n。
62.一个或多个性能度量320_1至320_n中的每个与相应值321_1至321_n相关联，该相应值321_1至321_n经过相应滤波器322_1至322_n以去除操作期间可能发生的噪声或临时性能问题的影响。例如，滤波器322_1至322_n中的每个可以是低通滤波器或加权和滤波器，使得与光源100的一个或多个操作条件320_1至320_n相关的故障状态327可以使用滤波器322_1至322_n(包括低通滤波器或加权和滤波器)来确定。此外，滤波器322_1至322_n中的每个可以具有可配置传递函数以对性能度量320_1至320_n的值321_1至321_n进行滤波。
63.性能度量320_1至320_n的滤波后的值323_1至323_n从相应滤波器322_1至322_n中的每个被输出。为了确定与性能度量320_1至320_n中的每个(以及因此与操作条件)相关联的相应故障状态325_1至325_n，滤波后的值323_1至323_n中的每个与该相应性能度量320_1至320_n所关联的相应阈值范围324_1至324_n进行比较。如果确定相应性能度量320_1至320_n不在该性能度量320_1至32_n的阈值范围324_1至324_n内，则标记该性能度量320_1至320_n的故障状态325_1至325_n。如果确定相应性能度量320_1至320_n在该性能度量320_1至32_n的阈值范围324_1至324_n内，则该性能度量320_1至320_n的故障状态325_1至325_n是归零的。如上所述，如果故障状态325_1至325_n是归零的，则故障状态325_1至325_n可以被分配值零(0)，而如果故障状态325_1至325-n被标记，则故障状态325_1至325_n可以被分配值一(1)。
64.每个故障状态325_1至325_n被输入到故障状态模块326(其可以是控制器)，该故障状态模块326基于与光源100相关的性能度量320_1至320_n的故障状态325_1至325_n来确定光源100的总体故障状态327。例如，在一些实现中，如果故障状态325_1至325_n中的任何一个被标记(或具有值1)，则光源100的总体故障状态327被标记(或具有值1)。并且，如果所有故障状态325_1至325_n都是归零的(或具有值0)，则光源100的总体故障状态327是归零的(或具有值0)。以这种方式，可以确定光源100的总体故障状态327，并且装置110可以基于光源100的故障状态327来控制鼓风机108，从而减少鼓风机108在操作期间的能量消耗。在其他实现中，故障状态模块326可以被配置为仅在多个故障状态325_1至325_n被标记的情况下才标记总体故障状态325。
65.接下来提供鼓风机108的基线速度的细节。
66.参考图4a-图4c，鼓风机108的基线速度可以与气体放电室104的使用年限相关。在图4a-图4c的示例中，基线速度随着气体放电室104随时间的老化而变化。换言之，基线速度随着由气体放电室104生成的光束102的脉冲数目随时间增加(并且随着气体放电室104的老化)而变化。在这些示例中，装置110在最小基线速度bmin与最大基线速度bmax之间调节鼓风机108的基线操作速度。模块114、116、118中的任何一个或装置110的另一模块都可以执行这种调节。通常，鼓风机108的基线速度需要随着气体放电室104的老化以及在老化的光源100内(以及在气体放电室104内)更频繁地发生性能故障、问题和/或误差而增加。通过
随着放电室104的老化而增加气体放电室104的基线速度，可以减少或减轻老化的光源100内可能发生的性能故障、问题和/或误差。
67.在图4a的示例中，在时间t1a，装置110将基线速度从最大基线速度bmax调节为最小基线速度bmin。然后，在时间t1a，装置110开始逐渐增加基线速度。鼓风机108的基线速度随着气体放电室104随时间的老化(或随着气体放电室104生成光束102的脉冲)而以恒定速率429a(或斜率)递增。鼓风机108的基线速度从最小基线速度bmin增加或递增到最大基线速度bmax，使得基线速度在气体放电室104的寿命结束时的时间t2a达到最大基线速度bmax。
68.在图4b的示例中，在时间t1b，装置110将基线速度从最大基线速度bmax调节为最小基线速度bmin。当气体放电室104在时间t1b至t2b之间的时间量dl的使用年限内保持初期的时，鼓风机108的基线速度不改变并且保持恒定在最小基线速度bmin。因为气体放电室104在时间t1b至t2b之间是初期的，所以在该示例中，不需要为了减少或减轻光源100内的性能问题而增加基线速度。
69.在时间t2b，装置110开始增加或递增基线速度。鼓风机108的基线速度随着气体放电室104随时间的变老和老化(并且随着气体放电室104生成光束102的脉冲)而以恒定速率429b(或斜率)递增。鼓风机108的基线速度从最小基线速度bmin增加或递增到最大基线速度bmax，使得基线速度在气体放电室104的寿命结束时的时间t3b达到最大基线速度bmax。
70.图4c的示例类似于图4b的示例，不同之处在于，鼓风机108的基线速度在较短的时间量ds内保持恒定，并且基线速度以比速率429b慢的速率429c递增。在时间t1c将基线速度递减到最小基线速度bmin并且将该最小基线速度bmin保持时间ds之后，在时间t2c处，随着气体放电室104随时间而变老和老化，基线速度以恒定速率429c增加，直到鼓风机108的基线速度在气体放电室104的寿命结束时的时间t3c达到最大基线速度bmax。
71.参考图5，装置110(图2)表示为光源100的状态机510。在状态机510的该表示中，监测模块112由监测状态512表示，递减模块114由递减状态514表示，并且递增模块116由递增状态516表示。状态机510还可以包括基线状态518，基线状态518表示基线模块118(图2)。此外，在该实现中，状态机510包括被动状态511，在被动状态511下，没有来自状态机510的命令或指令来改变或调节鼓风机108的操作速度。
72.如果从气体放电室104生成的光束102的脉冲数目高于阈值、或者在状态机510已经处于被动状态511达阈值时间段之后，状态机510从被动状态511转变到递减状态514t(p-d)。通常，如果与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态327是归零的、并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则递减状态514被配置为降低鼓风机108的操作速度。
73.具体地，还参考图6a，在递减状态514下，递减模块114确定光源100的故障状态327是否是归零的(例如，在0)(532)。如果故障状态327是不归零的(并且因此被标记或具有值1)(532)，则递减模块114退出递减状态514，并且状态机510从递减状态514转变到递增状态516t(d-i)，使得鼓风机108的操作速度递增到安全操作速度，在该安全操作速度下，光源100内不会发生问题和/或故障。
74.如果故障状态是归零的(或具有值0)(532)，则递减模块114确定鼓风机108的操作速度是否大于基线速度(533)。如果鼓风机108的操作速度不大于基线速度(这表示其处于
或小于或向下越过鼓风机108的基线速度)，则递减模块114退出递减状态514，并且状态机510从递减状态514转变到基线状态518t(d-b)，使得鼓风机108的操作速度递增到高于基线速度的安全操作速度，该基线速度下光源100内不发生问题和/或故障。
75.如果鼓风机108的操作速度大于基线速度(533)，则递减模块114确定所提出的新鼓风机速度是否大于基线速度(534)。所提出的新鼓风机速度是鼓风机108的操作速度减去递减速度步长。如果鼓风机108的所提出的新速度将不大于基线速度(即，所提出的新鼓风机速度将处于基线速度或小于基线速度)(534)，则递减模块114退出递减状态514，并且状态机510从递减状态514转变到监测状态512t(d-m)，使得光源100的一个或多个操作条件和鼓风机108的操作速度可以被监测。
76.另一方面，如果所提出的新鼓风机速度将大于基线速度(534)，则递减模块114确定自鼓风机速度上次改变以来由气体放电室104生成的光束102的脉冲数目是否大于阈值脉冲数目(541)。阈值脉冲数目可以预先设置为正整数，以降低鼓风机速度变化的频率。例如，可以设置鼓风机速度变化的频率，以确保光生成装置105以及性能度量具有足够的时间来针对鼓风机速度变化的影响进行调节。此外，可以在不执行该步骤541的情况下在递减状态514下操作。
77.如果由气体放电室104生成的光束102的脉冲数目不大于阈值脉冲数目(并且因此，它等于或小于阈值脉冲数目)(541)，则递减模块114返回步骤532并且重复步骤532、533、534。如果由气体放电室104生成的光束102的脉冲数目大于阈值脉冲数目(541)，则递减模块114指示鼓风机108降低或递减其操作速度(542)。例如，递减状态514可以将鼓风机108的操作速度递减一递减速度步长。
78.在降低递减状态514下鼓风机108的操作速度(542)之后，递减模块114返回询问与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态327是否是归零的(例如，具有值0)(532)。
79.因此，总的来说，如果没有故障(532)、如果鼓风机108的速度大于基线速度(533)、如果所提出的新鼓风机速度将大于基线速度(534)、以及如果自鼓风机速度的最后变化以来已经产生光束102的特定数目的脉冲(541)，则递减模块114导致鼓风机108的转速降低(524)。以这种方式，鼓风机108消耗的能量显著减少，特别是在光源100和气体放电室104的寿命开始期间。
80.还参考图5，如以上参考图6a所述，如果鼓风机108的所提出的新速度不大于基线速度(即，所提出的新鼓风机速度将处于基线速度或小于基线速度)(534)，则递减模块114退出递减状态514，并且状态机510从递减状态514转变到监测状态512t(d-m)，使得可以监测光源100的一个或多个操作条件和鼓风机108的操作速度。
81.通常，在监测状态512下，监测模块112被配置为监测退出标准并且在没有故障、鼓风机速度大于基线速度以及没有发生退出标准事件时，保持监测状态512。参考图6b，在监测状态512下，监测模块112确定与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态327是否是归零的(例如，具有值0)(537)。如果故障状态327是不归零的(并且因此被标记)(537)，则状态机510从监测状态512转变到递增状态516t(m-i)，使得鼓风机108的操作速度增加到光源100内不会发生问题和/或故障的安全操作速度。
82.如果故障状态是归零的(或具有值0)(537)，则监测模块112确定鼓风机108的操作速度是否大于基线速度(538)。如果鼓风机108的操作速度小于或低于基线速度(538)，则状
态机510从监测状态512转变到基线状态518t(m-b)，使得鼓风机108的操作速度增加到光源100内不会发生问题和/或故障返安全操作速度。如果鼓风机108的操作速度大于基线速度(538)，则监测模块112确定一个或多个退出标准是否满足(536)。例如，退出标准可以基于基线速度、由光源100产生的光束102的脉冲数目、以及导致光源100的性能改进的事件中的一项或多项。如果退出标准满足，则状态机510从监测状态512转变到递减状态514t(m-d)(因为光源100被确定为处于安全状态，以降低鼓风机108的操作速度)。如果退出标准不满足，则监测模块112返回到确定与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态327是否是归零的(例如，具有值0)(537)。可以在步骤536评估的一个可能的退出标准是确定鼓风机108的速度是否大于基线速度加上较低阈值(诸如200rpm)。在这种情况下，然后似乎更适合降低鼓风机速度(通过递减状态514)。可以在步骤536评估的另一可能的退出标准是确定光束102的当前产生的脉冲数目是否大于预定阈值，诸如一亿个脉冲。替代地，代替在步骤536基于产生的光束102的脉冲数目来评估一组退出标准，监测模块112可以评估某些性能改进事件是否已经发生。例如，性能改进事件可以是气体再填充或注入，其中气体混合物107被至少部分或完全替换。这样的事件可能导致光源100的性能提高。
83.再次参考图5，如以上参考图6a所述，如果鼓风机108的操作速度等于或小于基线速度(533)，则递减模块114退出递减状态514，并且状态机510从递减状态514转变到基线状态518t(d-b)，使得鼓风机108的操作速度递增到高于基线速度的安全操作速度，在该基线速度下，光源100内不发生问题和/或故障。参考图6c讨论基线状态518。通常，如果鼓风机108的操作速度处于或低于基线速度，则基线状态518被配置为增加鼓风机108的操作速度。基线模块118确定光源100的故障状态327是否是归零的(例如，等于0)(539)。如果故障状态327是不归零的(并且因此被标记或具有值1)(539)，则状态机510从基线状态518转变到递增状态516t(b-i)，使得鼓风机108的操作速度递增到光源100内不发生问题和/或故障的安全操作速度。
84.如果故障状态是归零的(或具有值0)(539)，则基线模块118确定鼓风机108的操作速度是否小于基线速度(540)。如果鼓风机108的操作速度不小于基线速度(540)，则状态机510从基线状态518转变到监测状态512(因为不需要增加操作速度)t(b-m)。另一方面，如果鼓风机108的操作速度小于基线速度(540)，则基线模块118确定自鼓风机速度上次改变以来由气体放电室104生成的光束102的脉冲数目是否大于阈值脉冲数目(548)。如上所述，阈值脉冲数目可以预先设置为正整数，以便降低鼓风机速度变化的频率。如果由气体放电室104生成的光束102的脉冲数目不大于阈值脉冲数目(548)，则基线模块118继续询问自鼓风机速度上次改变以来由气体放电室104生成的光束102的脉冲数目是否大于阈值脉冲数目(548)。
85.如果气体放电室104生成的光束102的脉冲数目大于阈值脉冲数目(548)，则基线模块118增加或递增鼓风机108的操作速度(549)。例如，基线模块118可以将鼓风机108的操作速度递增一递增速度步长。例如，递增速度步长可以是大约每分钟5转(rpm)。在增加鼓风机108的操作速度之后，基线模块118再次返回到步骤439，以确定光源100的故障状态327是否是归零的(例如，等于0)。
86.再次参考图5，如以上参考图6a-图6c所述，状态机510可以从递减状态514、监测状态512和基线状态518中的任何一个转变到递增状态516。例如，当处于递减状态514时，如果
故障状态327是不归零的(并且因此被标记或具有值1)(532)，则递减模块114退出递减状态514，并且状态机510从递减状态514转变到递增状态516t(d-i)。通常，在递增状态516下，鼓风机108的操作速度被递增到光源100内不会发生问题和/或故障的安全操作速度。接下来将参考图6d所示的实现来讨论递增状态516。
87.具体地，在递增状态516下，递增模块116确定光源100的故障状态327是否是归零的(例如，0)(544)。如果故障状态327是不归零的(例如，如果故障状态为1)(544)，则递增模块116为鼓风机108设置新目标速度(545)。鼓风机108的新目标速度可以等于鼓风机108的操作速度加上大的递增速度步长(例如，100rpm)。该想法是在故障发生时显著地提高鼓风机108的速度。在鼓风机108的新目标速度被设置(545)之后或者在递增模块116确定故障状态是归零的(例如，故障状态为0)(544)之后，递增模块116确定鼓风机108的操作速度是否小于新目标速度(535)。如果鼓风机108的操作速度不小于新目标速度(535)，这表示，鼓风机108的操作速度大于或等于新目标速度(535)，则状态机510从递增状态516转变到监测状态512t(i-m)。
88.如果鼓风机108的操作速度小于目标速度(535)，则递增模块116确定由气体放电室104生成的光束102的脉冲数目是否大于阈值脉冲数目(546)。如果由气体放电室104生成的光束102的脉冲数目不大于阈值脉冲数目，则递增模块116继续询问由气体放电室104生成的光线102的脉冲数目是否大于阈值脉冲数目(546)。如果由气体放电室104生成的光束102的脉冲数目大于阈值脉冲数目，则递增模块116将鼓风机108的操作速度增加或递增一定量(547)。例如，递增模块116可以将鼓风机108的操作速度递增一递增速度步长，在递增25rpm。在增加鼓风机108的操作速度(547)之后，递增模块116返回步骤535以确定鼓风机108的增加后的操作速度是否小于目标速度(535)。
89.更一般地，参考图7a，装置110执行用于控制鼓风机108的过程760。过程760可以针对光源100(图1)来执行，光源100包括装置110(图2)和在气体放电室104中的鼓风机108。过程760也可以针对状态机510(图5)来执行。在下文中，关于包括鼓风机108的光源100来描述过程760。
90.过程760包括监测光源的一个或多个操作条件的故障状态(761)。例如，如以上参考图6b所述，监测模块112监测光源100的一个或多个操作条件的故障状态327(图3)(537)。
91.接下来，如果与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态是归零的、并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则装置110递减鼓风机108的操作速度(763)。例如，参考图6a，如果与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态327是归零的(532)、并且如果鼓风机108的降低后的操作速度将高于基线速度(534)，则递减模块114递减鼓风机108的操作速度(542)。递减鼓风机108的操作速度可以包括将鼓风机108的操作速度减小一递减速度步长。此外，递减鼓风机108的操作速度可以包括减少由鼓风机108的移动引起的光源100内的振动量。
92.另一方面，再次参考图7，如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态被标记，则装置110递增鼓风机108的操作速度(765)。例如，参考图6d，如果光源100的故障状态327被标记，则递增模块116递增鼓风机108的操作速度(547)。递增鼓风机108的操作速度可以包括将鼓风机108的操作速度增加一递增速度步长。以这种方式，递增模块116防止鼓风机108以可能导致光源100内的问题和/或故障的操作速度进行操作。
93.还参考图7b，过程760还可以包括如果鼓风机的降低后的操作速度低于基线速度，则递增鼓风机的操作速度(767)。例如，参考图6c，如果基线模块118确定鼓风机108的降低后的操作速度(由递减模块114降低的)低于基线速度(540)，则基线模块118增加或递增鼓风机108的操作速度(549)。因此，类似于递增模块116，基线模块118防止鼓风机108以可能导致光源100内的问题和/或故障的操作速度进行操作。
94.在一个示例中，递减和递增鼓风机108的操作速度可以包括在由最小鼓风机速度和最大鼓风机速度限定的鼓风机速度范围内调节鼓风机108的操作速度。换言之，由递增模块114和递减模块116(以及基线模块118)在最小鼓风机速度与最大鼓风机速度之间调节鼓风机108的操作速度。如上所述，鼓风机速度范围是光源100不存在问题和/或故障并且正确操作的安全范围。因此，装置110可以通过在安全鼓风机速度范围内调节鼓风机108的操作速度来控制鼓风机108的操作速度，使得鼓风机108消耗的能量最小并且光源100消耗的能量减少。
95.在一些实现中，过程760还包括确定鼓风机108的递增速度步长和递减速度步长，每个速度步长取决于与光源100的一个或多个操作条件相关的故障状态327。具体地，例如，用户可以执行对光源100的一个或多个研究，以确定既保持光源100的稳定性又不会不利地影响光源100的性能(并且使得光源100的故障状态327保持归零)的最大递增速度步长和递减速度步长。此外，过程760还可以包括确定鼓风机108的鼓风机速度范围，该鼓风机速度范围取决于光源100的一个或多个操作条件的故障状态327。类似地，用户可以对光源100执行一个或多个研究，以确定最小鼓风机速度和最大鼓风机速度(并且因此确定鼓风机速度范围)，使得当鼓风机108在鼓风机速度范围内操作时光源100的性能不会受到不利影响(并且使得光源100的故障状态327保持归零)。
96.再次参考图3，在一些实现中，光源100的至少一个操作条件(与相应性能度量320_1至320_n相关联)是预动式的，并且操作条件中的至少一个操作条件是反应性的。具体地，对于预动式操作条件，在相关联的性能度量320_1至320_n的值323_1至323_n不在性能度量320_1至320_n的阈值范围324_1至324_n内之前，(例如，通过递增模块116或递减模块114)调节鼓风机108的操作速度。对于反应性操作条件，在相关联的性能度量320_1至320_n的值323_1至323_n不在性能度量320_1至320_n的阈值范围324_1至324_n内之后，(例如，通过递增模块116或递减模块114)调节鼓风机108的操作速度。此外，在一些实现中，每个预动式操作条件与比性能度量320_1至320_n的实际阈值范围324_1至324_n更严格的有限阈值范围相关联，并且在相关联的性能度量320_1至320_n的值323_1至323_n不在实际阈值范围324_1至324_n内之前，通过基于有限阈值范围确定预动式操作条件的故障状态325_1至325_n来调节鼓风机108的操作速度(例如，通过递增模块116或递减模块114)。
97.参考图8，光源100(图1)的实现800包括光生成装置805，该光生成装置805包括两个气体放电室804a、804b，该光发生装置805产生指向光刻曝光装置801的脉冲输出光束802。脉冲输出光束802具有在紫外线范围内(例如，深紫外线范围内)的波长，以供光刻曝光装置801来对半导体衬底或晶片870进行图案化。在图8的示例中，气体放电室804a是被配置为产生种子光束802s的主振荡器的一部分，并且气体放电室804b是被配置为从种子光束802s产生输出光束802的功率放大器的一部分。放电室804a、804b中的每个包括相应鼓风机808a、808b，鼓风机808a和808b中的每个被配置为在相应气体放电室804a、804b内将包括增
益介质的相应气体混合物807a、807b从相应能量源806a、806b移开。在图8的示例中，装置110被配置为控制两个鼓风机808a、808b的操作速度。具体地，装置110控制鼓风机808a、808b在光源800的操作期间消耗最小量的能量或功率，同时确保光源800内的问题和/或故障不会发生(或者至少减少)。光源800的其他实现是可能的。
98.每个放电室804a、804b被配置为将相应气体混合物807a、807b保持在相应内腔873a、873b中。在相应放电室804a、804b中使用的气体混合物807a、807b可以是用于产生所需要的波长、带宽和能量周围的相应光束802s、802的合适气体的组合。例如，气体混合物807a、807b可以包括氟化氩(arf)，其发射波长约为193nm的光。每个放电室804a、804b由相应室壁803a_1、803a_2、803b_1、803b_2限定，室壁803a_1、803a_2、803b_1、803b_2被配置为保持相应鼓风机808a、808b，并且在该实现中，保持相应光学组件875a、876a、877a、875b、876b、877b。每个放电室804a、804b容纳相应能量源806a、806b，该能量源806a、806b被配置为向每个内腔873a、873b中的气体混合物807a、807b供应能量。例如，每个能量源806a、806b可以包括一对电极，该对电极形成电势差，并且在操作中激发气体混合物807a、807b的增益介质。
99.每个放电室804a、804b可以包括一个或多个光学组件。例如，放电室804a包括与放电室804a的内腔873a相关联的光学组件875a、876a。光学组件875a、876a可以包括允许光束进出放电室804a的内腔873a的窗口。光学组件875a可以是用于使得种子光束802s能够离开放电室804a的部分反射/部分透射的光学耦合器。此外，光源800还可以包括在放电室804a外部的其他光学组件，诸如与光谱特征选择模块相对应的光学组件877a，该光谱特征选择模组选择从放电室804输出的种子光束802s的波长和/或带宽。例如，光谱特征选择模块877a可以包括光束扩展棱镜或分束器中的一种或多种。在该示例中，光学组件875a被保持在腔壁803a_1内，并且光学组件876a被保持在腔壁803a_2内。
100.放电室804b包括与放电室804b的内腔873b相关联的光学组件875b、876b。光学组件875b、876b可以包括允许光束(诸如种子光束802s和光束802)进出放电室804b的内腔873b的窗口。此外，光源800还可以包括在放电室804b外部的其他光学组件，诸如与光束反向器或转向器相对应的光学组件877b，该光束反向器或转向器被配置为引导光束802再次通过放电室804b。在图8的示例中，光学组件875b被保持在腔壁803b_1内，并且光学组件876b被保持在腔壁803b_2内。
101.在光源800的操作使用期间，装置110控制两个鼓风机808a、808b的相应操作速度。在一些实现中，鼓风机808a的操作速度的控制可以独立于鼓风机808b的操作速度的控制。在一些实现中，每个鼓风机808a、808b由专用装置(810a、810b)独立地控制。此外，装置810b可以与装置810a不同地设计，以解决放电室804a、804b如何影响输出光束的参数之间的差异。此外，虽然在这些实现中对鼓风机808a、808b的控制没有耦合，但是通过装置810a、810b对它们的同时控制可以在性能上与仅控制一个时不同地耦合，因为每个鼓风机808a和808b以不同方式驱动室804a、804b的框架中的振动。
102.在其他实现中，对鼓风机808a和/或鼓风机808b的操作速度的控制可以依赖于与光生成装置805相关联的性能指标，因此对两个鼓风机808a、808b的控制可以耦合。
103.在一些实现中，可以具有单个装置110，其被配置为控制第一放电室804a的鼓风机810a但不使用装置110来控制第二放电室804b的鼓风机810b。
104.具体地，在图8的示例中，装置110(图2)包括监测模块112，其监测光源800的一个或多个操作条件的故障状态；递减模块114，如果与光源800的一个或多个操作条件相关的故障状态是归零的并且如果相应鼓风机808a、808b的降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则该递减模块114降低适当鼓风机808a、808b的操作速度；以及递增模块116，如果与光源800的一个或多个操作条件相关的故障状态被标记，则该递增模块116增加适当鼓风机808a、808b的操作速度。以这种方式，装置110控制鼓风机808a、808b在光源800的操作期间消耗最小量的能量或功率，使得光源800内的问题和/或故障基于光源800的故障状态和鼓风机808a和808b的基线速度来被减少或减轻。
105.参考图9a，光源100(图1)的实现900包括光生成装置905和控制系统950，光生成装置905包括多个光学振荡器909-1至909-n，每个光学振荡器包括各自的气体放电室904-1至904-n，并且产生指向光刻曝光装置901的脉冲光束902。光源900被配置为产生在紫外线范围内的输出光束902，以供例如光刻曝光装置901使用以对半导体衬底或晶片970进行图案化。具体地，光刻曝光装置901用成形的曝光光束902'来曝光晶片970，该成形的曝光光束902'是通过使光束902(在该示例中为曝光光束)通过投射光学系统995而形成的。在图9a的示例中，光生成装置905包括n个光学振荡器909-1至909-n，并且因此包括n个气体放电室904-1至904-n，其中n是大于1的整数。气体放电室904-1至904-n中的每个被配置为朝向光束组合器993发射相应光束978-1至978-n。在所示示例中，控制系统950连接到光生成装置905和光刻曝光装置901。光源900的其他实现是可能的。
106.气体放电室904-1至904-n中的每个包括相应鼓风机908-1至908-n，鼓风机908-1至908-n中的每个被配置为在相应气体放电室904-1至904-n内将包括增益介质的相应气体混合物907-1至907-n从相应能量源906-1至906-n移开。在图9a的示例中，装置110(图2)被包括作为控制系统950的一部分，作为控制鼓风机908-1至908-n中每个的操作速度的鼓风机控制器。装置110被配置为控制鼓风机908-1至908-n的操作速度。具体地，装置110控制每个鼓风机908-1至908-n在光源900的操作期间消耗最小量的能量或功率，同时确保光源900内的问题和/或故障不会发生(或者至少减少)。
107.下面将讨论光学振荡器909-1的细节。光生成装置905中的其他n-1个光学振荡器包括相同或相似的特征。
108.光学振荡器909-1包括气体放电室904-1和鼓风机908-1，气体放电室904-1容纳能量源906-1，能量源906-1可以包括例如阴极和阳极。放电室904-1还容纳包括增益介质的气体混合物907-1。谐振器形成在放电室904-1的一侧上的光谱特征选择模块977-1与放电室904-1的第二侧上的输出耦合器980-1之间。光谱特征选择模块977-1可以包括衍射光学器件，例如光栅和/或棱镜，该衍射光学器件精细地调谐放电室904-1的光谱输出。在一些实现中，光谱特征选择模块977-1包括多个衍射光学元件。例如，光谱特征选择模块977-1可以包括四个棱镜，其中一些棱镜被配置为控制光束978-1的中心波长，而另一些棱镜被配置为控制光束978-1的光谱带宽。
109.在一些实现中，光谱特征选择模块977-1可以包括光谱特征控制系统或与之通信，该光谱特征控制系统被配置为控制例如光谱特征选择单元977-1内的各种组件。在这些实现中，装置110的递减模块114和递增模块116(在该示例中是控制系统950的一部分)每个可以被配置为避免干扰鼓风机908-1的二次谐波的混叠频率对与光源900相关联的光谱特征
控制系统造成干扰时的鼓风机操作速度。例如，干扰鼓风机的操作速度可以取决于光源900产生光束(在该示例中包括光束902或曝光光束902')的重复速率。
110.光学振荡器909-1还包括接收来自输出耦合器980-1的输出光束的线中心分析模块981-1。线中心分析模块981-1是可以用于测量或监测光束978-1的波长的测量系统。线中心分析模块981-1可以向控制系统950提供数据，并且控制系统950可以基于来自线中心分析单元981-1的数据来确定与光束978-1相关的度量。例如，控制系统950可以基于由线中心分析模块981-1测量的数据来确定光束质量度量或频谱带宽。
111.光生成装置905还包括气体供应系统990，其经由流体导管998流体耦合到放电室904-1的内部。流体导管998是能够在没有流体损失或流体损失最小的情况下输送气体或其他流体的任何导管。例如，流体导管998可以是由不与在导管998中输送的一种或多种流体反应的材料制成或涂覆有该材料的管道。气体供应系统990包括腔室991，该腔室991容纳和/或被配置为容置在气体混合物907-1中使用的一种或多种气体的供应。气体供应系统990还包括如下的器件(诸如泵、阀和/或流体开关)，该器件使得气体供应系统990能够从放电室904-1移除气体或将气体注入放电室904-1。气体供应系统990耦合到控制系统950。气体供应系统990可以由控制系统950控制以执行例如再填充过程。
112.其他n-1个光学振荡器类似于光学振荡器904-1并且具有相似或相同的组件和子系统。例如，光学振荡器909-1至909-n中的每个包括类似于能量源906-1的能量源、类似于光谱特征选择模块977-1的光谱特征选择模块、以及类似于输出耦合器980-1的输出耦合器。光学振荡器909-1至909-n可以被调谐或配置为使得所有光束978-1至978-n具有相同特性，或者光学振荡器909-1至909-n可以被调谐或配置为使得至少一些光学振荡器具有至少一些与其他光学振荡器不同的特性。例如，所有光束978-1至978-n可以具有相同的中心波长，或者每个光束978-1至978-n的中心波长可以不同。可以使用相应光谱特征选择模块来设置由光学振荡器909-1至909-n中的特定光学振荡器产生的中心波长。
113.光生成装置905还包括光束控制装置992和光束组合器993。光束控制装置992位于光学振荡器909-1至909-n的气体混合物与光束组合器993之间。光束控制装置992确定光束978-1至978-n中的哪个光束入射在光束组合器993上。光束组合器993从入射在光束组合器1993上的一个或多个光束形成曝光光束902。在所示示例中，光束控制装置992被表示为单个元件。然而，光束控制装置992可以被实现为各个光束控制装置的集合。例如，光束控制装置992可以包括快门的集合，其中一个快门与每个光学振荡器909-1至909-n相关联。
114.光生成装置905可以包括其他组件和系统。例如，光生成装置905可以包括光束准备系统994，该光束准备系统994包括测量光束的各种特性(诸如带宽或波长)的带宽分析模块。光束准备系统994还可以包括脉冲拉伸器(未示出)，该脉冲拉伸器在时间上拉伸与脉冲拉伸器相互作用的每个脉冲。光束准备系统994还可以包括能够作用于光的其他组件，例如反射和/或折射光学元件(例如，透镜和反射镜)和/或滤光器。在所示示例中，光束准备系统994被定位在曝光光束902的路径中。然而，光束准备系统994可以被放置在光源900内的其他位置。此外，其他实现也是可能的。例如，光生成装置905可以包括光束准备系统994的n个实例，每个实例被放置成与光束978-1至978-n中的一个相互作用。在另一示例中，光生成装置905可以包括光学元件(诸如反射镜)，该光学元件将光束978-1至978-n朝向光束组合器993引导。
115.光刻曝光装置901可以是液体浸没系统或干燥系统。光刻曝光装置901包括投射光学系统995和传感器系统或量测系统997，曝光光束902在到达晶片970之前穿过投射光学系统995。晶片970被保持或容置在晶片保持器996上。还参考图9b，投射光学系统995包括狭缝995a、掩模995b和包括透镜系统995c的投射物镜。透镜系统995c包括一个或多个光学元件。曝光光束902进入光刻曝光装置901并且入射在狭缝995a上，并且光束902中的至少一些穿过狭缝995a以形成成形的曝光光束902'。在图9a和图9b的示例中，狭缝995a是矩形的，并且将曝光光束902成形为细长的矩形光束，即成形的曝光光束902'。掩模995b包括图案，该图案确定成形的光束的哪些部分被掩模995透射以及哪些被掩模995b阻挡。通过用曝光光束902'曝光晶片970上的辐射敏感光致抗蚀剂材料层，可以在晶片970上形成微电子特征。掩模上图案的设计由期望的特定微电子电路特征决定。
116.可以使用以下条款进一步描述实施例：
117.1.一种用于光源的装置，所述装置包括：
118.监测模块，被配置为监测所述光源的一个或多个操作条件的故障状态；
119.递减模块，被配置为如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态是归零的并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则降低布置在所述光源的气体放电室中的鼓风机的操作速度；所述鼓风机被配置为将包括增益介质的气体混合物从所述气体放电室内的能量源移开，所述能量源被配置为向所述气体混合物供应能量；以及
120.递增模块，被配置为如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则增加所述鼓风机的所述操作速度。
121.2.根据条款1所述的装置，其中所述鼓风机的所述基线速度与所述气体放电室的使用年限相关，所述基线速度随着所述气体放电室随时间老化而变化。
122.3.根据条款1所述的装置，其中所述一个或多个操作条件中的每个操作条件由与所述光源相关的或与由所述光源产生的光束相关的性能度量来限定。
123.4.根据条款3所述的装置，其中所述一个或多个性能度量包括与所述光束相关联的波长直方图、与所述光束相关联的能量剂量误差、与所述光束相关联的能量误差、以及所述光源内的所述气体放电室的操作点。
124.5.根据条款3所述的装置，其中如果相关联的性能度量中的至少一个性能度量不在所述性能度量的阈值范围内，则所述故障状态被标记，并且如果所有所述相关联的性能度量都在其相应阈值范围内，则所述故障状态是归零的。
125.6.根据条款5所述的装置，其中所述光源的所述操作条件中的至少一个操作条件是预动式的，使得所述鼓风机的所述操作速度在所述相关联的性能度量的值不在所述性能度量的所述阈值范围内之前被调节，并且所述操作条件中的至少一个操作条件是反应性的，使得所述鼓风机的所述操作速度在所述相关联的性能度量的值不在所述性能度量的所述阈值范围内之后被调节。
126.7.根据条款6所述的装置，其中每个预动式操作条件与比所述性能度量的实际阈值范围更严格的有限阈值范围相关联，并且所述鼓风机的所述操作速度通过基于所述有限阈值范围确定所述预动式操作条件的所述故障状态在所述相关联的性能度量的值不在所述实际阈值范围内之前进行调节。
127.8.根据条款1所述的装置，其中与所述光源的所述一个或多个操作条件相关的所
述故障状态使用低通滤波器或加权和滤波器来确定。
128.9.根据条款1所述的装置，其中所述递减模块被配置为将所述鼓风机的所述操作速度减小递减速度步长，并且所述递增模块被配置为将所述鼓风机的所述操作速度增大递增速度步长。
129.10.根据条款9所述的装置，其中所述递增速度步长大于所述递减速度步长。
130.11.根据条款9所述的装置，其中所述递增速度步长小于或等于每分钟25转(rpm)，并且所述递减速度步长是所述递增速度步长的大约一半、三分之一、四分之一或五分之一。
131.12.根据条款1所述的装置，其中由所述递增模块和所述递减模块在由最小鼓风机速度和最大鼓风机速度限定的鼓风机速度范围内调节所述鼓风机的所述操作速度。
132.13.根据条款1所述的装置，其中所述递减模块和所述递增模块中的每一者被配置为避免所述鼓风机的二次谐波的混叠频率对与所述光源相关联的光谱特征控制系统造成干扰时的鼓风机操作速度。
133.14.根据条款13所述的装置，其中干扰鼓风机操作速度取决于所述光源产生光束的重复速率。
134.15.根据条款1所述的装置，还包括基线模块，所述基线模块被配置为：如果所述鼓风机的所述操作速度低于所述基线速度，则增加所述鼓风机的所述操作速度。
135.16.根据条款1所述的装置，其中：
136.所述装置是所述光源的状态机，使得所述监测模块是监测状态，所述递减模块是递减状态，并且所述递增模块是递增状态。
137.17.根据条款16所述的装置，其中在所述递减状态下降低所述鼓风机的所述操作速度之后，如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则所述状态机从所述递减状态转变到所述递增状态。
138.18.根据条款16所述的装置，其中所述状态机还包括基线状态，所述基线状态被配置为如果所述鼓风机的所述操作速度低于所述基线速度，则增加所述鼓风机的所述操作速度，并且如果所述鼓风机的所述操作速度向下越过所述基线速度，则所述状态机从所述递减状态转变到所述基线状态。
139.19.根据条款18所述的装置，其中在所述基线状态在所述基线状态下增加所述鼓风机的所述操作速度之后，如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则所述状态机从所述基线状态转变到所述递增状态。
140.20.根据条款18所述的装置，其中如果所述鼓风机的所述操作速度低于所述基线速度，则所述状态机从所述监测状态转变到所述基线状态。
141.21.根据条款16所述的装置，其中在所述递增状态下增加所述鼓风机的所述操作速度之后，如果所述鼓风机的增加后的操作速度大于目标速度，则所述状态机从所述递增状态转变到所述监测状态。
142.22.根据条款16所述的装置，其中如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则所述状态机从所述监测状态转变到所述递增状态。
143.23.根据条款16所述的装置，其中如果一个或多个退出标准被满足，则所述状态机从所述监测状态转变到所述递减状态，所述退出标准基于所述基线速度、由所述光源产生的光束脉冲的数目、以及导致所述光源的性能改进的事件中的一项或多项。
144.24.一种用于光源的鼓风机控制器，所述鼓风机控制器包括：
145.控制系统，与布置在所述光源的气体放电室中的鼓风机通信，所述鼓风机被配置为将包括增益介质的气体混合物从所述气体放电室内的能量源移开，所述能量源被配置为向所述气体混合物供应能量，所述控制系统被配置为：
146.监测所述光源的一个或多个操作条件的故障状态；
147.如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态是归零的、并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则在递减状态下降低所述鼓风机的操作速度；以及
148.如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则在递增状态下增加所述鼓风机的所述操作速度。
149.25.根据条款24所述的鼓风机控制器，其中所述控制系统包括：
150.计算机可读存储器模块；以及
151.耦合到所述计算机可读存储器模块的一个或多个电子处理器。
152.26.根据条款24所述的鼓风机控制器，其中与所述一个或多个操作条件相关的所述故障状态使用二进制表示法来限定，使得如果所述故障状态是归零的，则所述故障状态被分配值0，而如果所述故障状态被标记，则所述故障状态被分配值1。
153.27.根据条款24所述的鼓风机控制器，其中所述控制系统还被配置为如果所述鼓风机的降低后的操作速度低于所述基线速度，则在所述递增状态下增加所述鼓风机的所述操作速度。
154.28.一种用于控制布置在光源的气体放电室中的鼓风机的方法，所述方法包括：
155.监测所述光源的一个或多个操作条件的故障状态；
156.如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态是归零的并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则递减所述鼓风机的操作速度；以及
157.如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则递增所述鼓风机的所述操作速度。
158.29.根据条款28所述的方法，其中递减所述鼓风机的所述操作速度包括减小由所述鼓风机的运动引起的所述光源内的振动的量。
159.30.根据条款28所述的方法，其中递减所述鼓风机的所述操作速度包括将所述鼓风机的所述操作速度减小递减速度步长，并且递增所述鼓风机的所述操作速度包括将所述鼓风机的所述操作速度增大递增速度步长。
160.31.根据条款30所述的方法，还包括确定所述鼓风机的所述递增速度步长和递减速度步长，每个速度步长取决于与所述光源的所述一个或多个操作条件相关的所述故障状态。
161.32.根据条款28所述的方法，其中递减和递增所述鼓风机的所述操作速度包括在由最小鼓风机速度和最大鼓风机速度限定的鼓风机速度范围内调节所述鼓风机的所述操作速度。
162.33.根据条款32所述的方法，还包括确定所述鼓风机的所述鼓风机速度范围，所述鼓风机速度范围取决于所述光源的所述一个或多个操作条件的所述故障状态。
163.34.根据条款28所述的方法，还包括如果所述鼓风机的降低后的操作速度低于所
述基线速度，则递增所述鼓风机的所述操作速度。
164.35.根据条款28所述的方法，其中监测与所述一个或多个操作条件相关的所述故障状态包括：监测一个或多个退出标准，使得仅当所述退出标准中的一个或多个退出标准被满足时，才降低所述鼓风机的所述操作速度。
165.36.根据条款35所述的方法，其中所述退出标准基于所述基线速度和由所述光源产生的光束脉冲的数目，如果所述鼓风机的所述操作速度大于所述基线速度并且所述光束脉冲的数目大于最小脉冲数目，则所述退出标准被满足。
166.37.一种紫外线光源，包括：
167.光生成装置，包括一个或多个气体放电室，所述一个或多个气体放电室被配置为：保持包括增益介质的气体混合物，容纳被配置为向所述气体混合物供应能量的能量源，并且产生光束，所述气体放电室中的至少一个气体放电室被配置为保持鼓风机，所述鼓风机被配置为将所述气体混合物从所述气体放电室内的所述能量源移开；以及
168.被配置为调节所述鼓风机的操作速度的装置，所述装置包括：
169.监测模块，被配置为监测与所述光源的一个或多个操作条件相关的故障状态；
170.递减模块，被配置为如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态是归零的并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则降低所述鼓风机的所述操作速度；以及
171.递增模块，被配置为如果所述光源的一个或多个操作条件的所述故障状态被标记，则增加所述鼓风机的所述操作速度。
172.38.根据条款37所述的紫外线光源，其中所述增益介质被配置为响应于施加到所述能量源的电压信号而发射深紫外(duv)光。
173.39.根据条款38所述的紫外线光源，其中所述气体增益介质包括氟化氩(arf)、氟化氪(krf)或氯化氙(xecl)。
174.40.根据条款37所述的紫外线光源，其中所述光生成装置包括两个气体放电室，所述两个气体放电室包括被配置为产生种子光束的主振荡器和被配置为从所述种子光束产生输出光束的功率放大器。
175.41.根据条款37所述的紫外线光源，其中所述光生成装置包括多个气体放电室，并且所述气体放电室中的每个气体放电室被配置为朝向光束组合器发射光束。
176.42.根据条款37所述的紫外线光源，其中所述装置包括基线模块，所述基线模块被配置为如果所述鼓风机的降低后的所述操作速度低于所述基线速度，则增加所述鼓风机的所述操作速度。
177.其他实现在权利要求的范围内。

技术特征：
1.一种用于光源的装置，所述装置包括：监测模块，被配置为监测所述光源的一个或多个操作条件的故障状态；递减模块，被配置为如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态是归零的、并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则降低布置在所述光源的气体放电室中的鼓风机的操作速度；所述鼓风机被配置为将包括增益介质的气体混合物从所述气体放电室内的能量源移开，所述能量源被配置为向所述气体混合物供应能量；以及递增模块，被配置为如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则增加所述鼓风机的所述操作速度。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述鼓风机的所述基线速度与所述气体放电室的使用年限相关，所述基线速度随着所述气体放电室随时间老化而变化。3.根据权利要求1所述的装置，其中所述一个或多个操作条件中的每个操作条件由与所述光源相关的或与由所述光源产生的光束相关的性能度量来限定。4.根据权利要求3所述的装置，其中所述一个或多个性能度量包括与所述光束相关联的波长直方图、与所述光束相关联的能量剂量误差、与所述光束相关联的能量误差、以及所述光源内的所述气体放电室的操作点。5.根据权利要求3所述的装置，其中如果相关联的性能度量中的至少一个性能度量不在所述性能度量的阈值范围内，则所述故障状态被标记，并且如果所有所述相关联的性能度量都在其相应阈值范围内，则所述故障状态是归零的。6.根据权利要求5所述的装置，其中所述光源的所述操作条件中的至少一个操作条件是预动式的，使得所述鼓风机的所述操作速度在所述相关联的性能度量的值不在所述性能度量的所述阈值范围内之前被调节，并且所述操作条件中的至少一个操作条件是反应性的，使得所述鼓风机的所述操作速度在所述相关联的性能度量的值不在所述性能度量的所述阈值范围内之后被调节。7.根据权利要求6所述的装置，其中每个预动式操作条件与比所述性能度量的实际阈值范围更严格的有限阈值范围相关联，并且通过基于所述有限阈值范围确定所述预动式操作条件的所述故障状态，而在所述相关联的性能度量的值不在所述实际阈值范围内之前调节所述鼓风机的所述操作速度。8.根据权利要求1所述的装置，其中与所述光源的所述一个或多个操作条件相关的所述故障状态使用低通滤波器或加权和滤波器来确定。9.根据权利要求1所述的装置，其中所述递减模块被配置为将所述鼓风机的所述操作速度减小递减速度步长，并且所述递增模块被配置为将所述鼓风机的所述操作速度增大递增速度步长。10.根据权利要求9所述的装置，其中所述递增速度步长大于所述递减速度步长。11.根据权利要求9所述的装置，其中所述递增速度步长小于或等于每分钟25转(rpm)，并且所述递减速度步长是所述递增速度步长的大约一半、三分之一、四分之一或五分之一。12.根据权利要求1所述的装置，其中由所述递增模块和所述递减模块在由最小鼓风机速度和最大鼓风机速度限定的鼓风机速度范围内调节所述鼓风机的所述操作速度。13.根据权利要求1所述的装置，其中所述递减模块和所述递增模块中的每一者被配置为避免所述鼓风机的二次谐波的混叠频率对与所述光源相关联的光谱特征控制系统造成
干扰时的鼓风机操作速度。14.根据权利要求13所述的装置，其中干扰所述鼓风机操作速度取决于所述光源产生光束的重复速率。15.根据权利要求1所述的装置，还包括基线模块，所述基线模块被配置为：如果所述鼓风机的所述操作速度低于所述基线速度，则增加所述鼓风机的所述操作速度。16.根据权利要求1所述的装置，其中：所述装置是所述光源的状态机，使得所述监测模块是监测状态，所述递减模块是递减状态，并且所述递增模块是递增状态。17.根据权利要求16所述的装置，其中在所述递减状态下降低所述鼓风机的所述操作速度之后，如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则所述状态机从所述递减状态转变到所述递增状态。18.根据权利要求16所述的装置，其中所述状态机还包括基线状态，所述基线状态被配置为如果所述鼓风机的所述操作速度低于所述基线速度，则增加所述鼓风机的所述操作速度，并且如果所述鼓风机的所述操作速度向下越过所述基线速度，则所述状态机从所述递减状态转变到所述基线状态。19.根据权利要求18所述的装置，其中在所述基线状态在所述基线状态下增加所述鼓风机的所述操作速度之后，如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则所述状态机从所述基线状态转变到所述递增状态。20.根据权利要求18所述的装置，其中如果所述鼓风机的所述操作速度低于所述基线速度，则所述状态机从所述监测状态转变到所述基线状态。21.根据权利要求16所述的装置，其中在所述递增状态下增加所述鼓风机的所述操作速度之后，如果所述鼓风机的增加后的操作速度大于目标速度，则所述状态机从所述递增状态转变到所述监测状态。22.根据权利要求16所述的装置，其中如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则所述状态机从所述监测状态转变到所述递增状态。23.根据权利要求16所述的装置，其中如果一个或多个退出标准被满足，则所述状态机从所述监测状态转变到所述递减状态，所述退出标准基于所述基线速度、由所述光源产生的光束脉冲的数目、以及导致所述光源的性能改进的事件中的一项或多项。24.一种用于光源的鼓风机控制器，所述鼓风机控制器包括：控制系统，与布置在所述光源的气体放电室中的鼓风机通信，所述鼓风机被配置为将包括增益介质的气体混合物从所述气体放电室内的能量源移开，所述能量源被配置为向所述气体混合物供应能量，所述控制系统被配置为：监测所述光源的一个或多个操作条件的故障状态；如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态是归零的、并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则在递减状态下降低所述鼓风机的操作速度；以及如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则在递增状态下增加所述鼓风机的所述操作速度。25.根据权利要求24所述的鼓风机控制器，其中所述控制系统包括：计算机可读存储器模块；以及
一个或多个电子处理器，耦合到所述计算机可读存储器模块。26.根据权利要求24所述的鼓风机控制器，其中与所述一个或多个操作条件相关的所述故障状态使用二进制表示法来限定，使得如果所述故障状态是归零的，则所述故障状态被分配值0，而如果所述故障状态被标记，则所述故障状态被分配值1。27.根据权利要求24所述的鼓风机控制器，其中所述控制系统还被配置为：如果所述鼓风机的降低后的操作速度低于所述基线速度，则在所述递增状态下增加所述鼓风机的所述操作速度。28.一种用于控制布置在光源的气体放电室中的鼓风机的方法，所述方法包括：监测所述光源的一个或多个操作条件的故障状态；如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态是归零的、并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则递减所述鼓风机的操作速度；以及如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态被标记，则递增所述鼓风机的所述操作速度。29.根据权利要求28所述的方法，其中递减所述鼓风机的所述操作速度包括减小由所述鼓风机的运动引起的所述光源内的振动的量。30.根据权利要求28所述的方法，其中递减所述鼓风机的所述操作速度包括将所述鼓风机的所述操作速度减小递减速度步长，并且递增所述鼓风机的所述操作速度包括将所述鼓风机的所述操作速度增大递增速度步长。31.根据权利要求30所述的方法，还包括确定所述鼓风机的所述递增速度步长和所述递减速度步长，每个速度步长取决于与所述光源的所述一个或多个操作条件相关的所述故障状态。32.根据权利要求28所述的方法，其中递减和递增所述鼓风机的所述操作速度包括：在由最小鼓风机速度和最大鼓风机速度限定的鼓风机速度范围内调节所述鼓风机的所述操作速度。33.根据权利要求32所述的方法，还包括确定所述鼓风机的所述鼓风机速度范围，所述鼓风机速度范围取决于所述光源的所述一个或多个操作条件的所述故障状态。34.根据权利要求28所述的方法，还包括如果所述鼓风机的降低后的操作速度低于所述基线速度，则递增所述鼓风机的所述操作速度。35.根据权利要求28所述的方法，其中监测与所述一个或多个操作条件相关的所述故障状态包括：监测一个或多个退出标准，使得仅当所述退出标准中的一个或多个退出标准被满足时，才降低所述鼓风机的所述操作速度。36.根据权利要求35所述的方法，其中所述退出标准基于所述基线速度和由所述光源产生的光束脉冲的数目，如果所述鼓风机的所述操作速度大于所述基线速度并且所述光束脉冲的数目大于最小脉冲数目，则所述退出标准被满足。37.一种紫外线光源，包括：光生成装置，包括一个或多个气体放电室，所述一个或多个气体放电室被配置为：保持包括增益介质的气体混合物，容纳被配置为向所述气体混合物供应能量的能量源，并且产生光束，所述气体放电室中的至少一个气体放电室被配置为保持鼓风机，所述鼓风机被配置为将所述气体混合物从所述气体放电室内的所述能量源移开；以及
被配置为调节所述鼓风机的操作速度的装置，所述装置包括：监测模块，被配置为监测与所述光源的一个或多个操作条件相关的故障状态；递减模块，被配置为如果与所述光源的一个或多个操作条件相关的所述故障状态是归零的、并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则降低所述鼓风机的所述操作速度；以及递增模块，被配置为如果所述光源的一个或多个操作条件的所述故障状态被标记，则增加所述鼓风机的所述操作速度。38.根据权利要求37所述的紫外线光源，其中所述增益介质被配置为响应于施加到所述能量源的电压信号而发射深紫外(duv)光。39.根据权利要求38所述的紫外线光源，其中所述气体增益介质包括氟化氩(arf)、氟化氪(krf)或氯化氙(xecl)。40.根据权利要求37所述的紫外线光源，其中所述光生成装置包括两个气体放电室，所述两个气体放电室包括被配置为产生种子光束的主振荡器和被配置为从所述种子光束产生输出光束的功率放大器。41.根据权利要求37所述的紫外线光源，其中所述光生成装置包括多个气体放电室，并且所述气体放电室中的每个气体放电室被配置为朝向光束组合器发射光束。42.根据权利要求37所述的紫外线光源，其中所述装置包括基线模块，所述基线模块被配置为如果所述鼓风机的降低后的所述操作速度低于所述基线速度，则增加所述鼓风机的所述操作速度。

技术总结
在一些一般方面，一种用于光源的装置包括：监测模块，被配置为监测光源的一个或多个操作条件的故障状态；递减模块，被配置为如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态是归零的、并且如果降低后的操作速度将处于或高于基线速度，则降低布置在光源的气体放电室中的鼓风机的操作速度；以及递增模块，被配置为如果与光源的一个或多个操作条件相关的故障状态被标记，则增加鼓风机的操作速度。鼓风机被配置为将包括增益介质的气体混合物从气体放电室内的能量源移开，该能量源被配置为向气体混合物供应能量。气体混合物供应能量。气体混合物供应能量。


技术研发人员：M
受保护的技术使用者：西默有限公司
技术研发日：2021.12.09
技术公布日：2023/8/24