一种引线框架的电镀装置的制作方法

1.本实用新型属于电镀设备技术领域，具体涉及一种引线框架的电镀装置。


背景技术：

2.引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架，是电子信息产业中重要的基础材料。
3.随着半导体芯片技术的发展，半导体芯片性能的提升的同时，需要提高生产效率与降低生产成本，这就对引线框架提出了更高的控制要求，而引线框架镀区的精度则直接影响芯片封装良率、生产效率及生产成本。
4.现有技术中，引线框架电镀过程中，电镀区的皮带上方集中覆压时，皮带两边会出现受力不均现象，导致皮带与产品接触位置存在渗漏现象，其次，现有装置中电镀液的喷射压力和流量不能进行精确控制，使得引线框架的电镀层存在厚度不一的情况。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是针对现有技术存在上述问题，提供一种电镀均匀、稳定，且不易渗漏的引线框架的电镀装置。
6.本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现，一种引线框架的电镀装置，用以对基材进行电镀，包括：
7.电镀组件，设置有至少两组，其中，每组电镀组件包括电极块，和与电极块贴合连接的电镀模具；
8.导向轮，设置有若干个，分布于电镀组件两侧；
9.张力调节组件，设置于电镀组件上方，包括皮带轮，套设于皮带轮外侧的皮带，以及与皮带连接用以控制皮带松紧度的张紧件，其中，张紧件可驱动皮带朝靠近电极块方向移动；
10.喷液组件，包括设置于电极块下方的喷嘴，和与喷嘴相连通的进液管道，以及与进液管道相连通的储液槽，其中，进液管道上设置有增压器和流量控制器，以分别对进入喷嘴内的电镀液进行压力与流量控制。
11.在上述的一种引线框架的电镀装置中，所述进液管道包括相互连通的主管道和至少两条分流管道，其中，增压器设置于主管道上，用以控制进入喷嘴内的电镀液的压力大小。
12.在上述的一种引线框架的电镀装置中，所述流量控制器设置有两组，分别设置于两条分流管道的进液端，通过流量控制器的开度大小，分别控制两条分流管道进入喷嘴内的电镀液的流量大小。
13.在上述的一种引线框架的电镀装置中，所述喷嘴上设置有若干个喷液口，该喷液
口呈一字排开，对电极块形成多点喷射。
14.在上述的一种引线框架的电镀装置中，所述电镀模具包括模架，和与模架可拆卸连接的模芯，其中，电镀时皮带驱动基材与模芯远离电极块的一面贴合连接，并带动模芯另一面与电极块贴合连接。
15.在上述的一种引线框架的电镀装置中，所述模芯上设置有若干个供电镀液喷出的镀液槽，其中，电镀液经过镀液槽后，在基材表面形成特定区域电镀层。
16.在上述的一种引线框架的电镀装置中，所述电镀组件还包括设置于电极块下方并与电极块贴合连接的脱模轮，用以对电极块形成支撑。
17.与现有技术相比，本实用新型能够取得下列有益效果：
18.(1)本实用新型的一种引线框架的电镀装置，通过在进液管道上设置增压器和流量控制器，通过增压器和流量控制器的开度配合，使得电镀液均匀、稳定的经由电极块喷向基材，保证了基材上电镀层厚度的均匀性和一致性。
19.(2)本实用新型的一种引线框架的电镀装置，通过设置张力调节组件可使介于皮带和电极块之间的基材与电镀模具紧密贴合，有效避免了电镀过程中发生渗漏现象。
20.(3)本实用新型的一种引线框架的电镀装置，通过设置若干个导向轮，并使导向轮分别对两组电镀装置形成不同的半包围结构，使得两组电镀组件与基材的接触面相反，进而使得基材的两面均可进行电镀，一方面可满足基材双面电镀的需求，另一方面提高了双面电镀的加工效率。
21.(4)本实用新型的一种引线框架的电镀装置，通过将电镀模具设置为可拆卸连接的模架和模芯，并在模芯上设置若干个供电镀液喷出的镀液槽，使得电镀液经过镀液槽后，在基材表面形成特定的区域电镀层，以满足基材特定的电镀需求，且通过更换不同的模芯，一方面扩大了特定的区域电镀层的种类，另一方面便于电镀模具的维护。
附图说明
22.图1为本实用新型实施例一种引线框架的电镀装置的结构示意图。
23.图2为本实用新型实施例中喷嘴与电极块的结构示意图。
24.图3为本实用新型实施例中电镀模具的结构示意图。
25.在所有附图中，同样的附图标记表示相同的技术特征，具体为：100、电镀组件；110、电极块；120、电镀模具；121、模架；122、模芯；123、镀液槽；130、脱模轮；200、导向轮；300、张力调节组件；310、皮带轮；320、皮带；330、张紧件；410、喷嘴；411、喷液口；420、进液管道；421、主管道；422、分流管道；430、储液槽；440、增压器；450、流量控制器；500、基材。
具体实施方式
26.以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
27.需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
28.如图1至图3所示，本实用新型实施例提供的一种引线框架的电镀装置，包括电镀
组件100、电极块110、电镀模具120、脱模轮130、导向轮200、张力调节组件300、喷嘴410、进液管道420、储液槽430、增压器440、流量控制器450。
29.如图1至图3所示，在本实施例中，一种引线框架的电镀装置，用以对基材500进行电镀，包括电镀组件100，设置有至少两组，其中，每组电镀组件100包括电极块110，和与电极块110贴合连接的电镀模具120；导向轮200，设置有若干个，分布于电镀组件100两侧；张力调节组件300，设置于电镀组件100上方，包括皮带轮310，和套设于皮带轮310外侧的皮带320，以及与皮带320连接用以控制皮带320松紧度的张紧件330，其中，张紧件330可驱动皮带320朝靠近电极块110方向移动，皮带轮310可驱动皮带320带动电镀模具120旋转；喷液组件，包括设置于电极块110下方的喷嘴410，和与喷嘴410相连通的进液管道420，以及与进液管道420相连通的储液槽430，其中，进液管道420上设置有增压器440和流量控制器450，以分别对进入喷嘴410内的电镀液进行压力与流量控制；其中，通过张力调节组件300可使介于皮带320和电极块110之间的基材500与电镀模具120紧密贴合，避免电镀过程中发生渗漏现象，通过增压器440和流量控制器450的配合，可使得电镀液均匀稳定的经由电极块110喷向基材500，保证了基材500上电镀层厚度的均匀性和一致性。
30.具体而言，如图1所示，在本实施例中，电镀组件100设置有两组，依次水平排列，导向轮200设置有七个，其中，两个导向轮200分别处于第一组电镀组件100的两侧，用以对输入或输出第一组电镀组件100的基材500进行导向，另外五个导向轮200合围呈u字型，对第二组电镀组件100形成半包围结构，用以对输入或输出第二组电镀组件100的基材500进行导向，使得基材500可沿预定的轨迹进行电镀。
31.值得说明的是，通过导向轮200的布置，可使两组电镀组件100与基材500的接触面相反，进而使得基材500的两面均可进行电镀，一方面可满足基材500双面电镀的需求，另一方面提高了双面电镀的加工效率。
32.为避免基材500在电镀过程中出现渗漏的情况，在本实施例中，两组电镀组件100的上方均设置有张力调节组件300，该张力调节组件300包括三组皮带轮310，以及套设于皮带轮310上的皮带320，其中，在皮带320远离电极块110方向还套设有张紧件330，该张紧件330可驱动皮带320朝远离或靠近电极块110方向移动，进而实现对皮带320张紧度的调节，当皮带320被拉紧时，可使得介于皮带320和电极块110之间的基材500与电镀模具120紧密贴合，从而避免基材500在电镀过程中渗漏。
33.需要说明的是，在电镀过程中，张紧件330可检测皮带320的张力值并进行反馈，同时根据张力值的反馈进行张紧力的精准调节。
34.优选地，在本实施例中，张紧件330为磁粉制动器、伺服电机、杠杆机构、重锤、滑块、滑轮中的一种或几种组合。
35.在本实施例中，为保证基材500在电镀过程中压向电镀模具120时的稳定性，电镀之间还包括设置于电极块110下方并与电极块110贴合连接的脱模轮130，该脱模轮130呈左右结构，用以对电极块110形成支撑，以保证本装置电镀过程的稳定性。
36.如图1所示，为使电镀液均匀稳定的经由电极块110喷向基材500，在本实施例中，电极块110下方的喷液组件，包括用以喷射电镀液的喷嘴410，和喷嘴410相连通的进液管道420，以及设置于进液管道420远离电极块110一端并与进液通道相连通的储液槽430，其中，进液管道420包括水平设置的主管道421和与主管道421垂直设置并连通的两条分流管道
422，在主管道421上设置有增压器440，用以控制进入喷嘴410内的电镀液的压力大小，使得经由两条分流管道422流出的电镀液保持恒压，从而使得电镀液的喷射稳定、均匀。
37.此外，两条分流管道422的进液端分别设置有流量控制器450，通过流量控制器450的开度大小，可分别控制两条分流管道422进入喷嘴410内的电镀液的流量大小，使得喷入基材500上的电镀层厚度均匀，且通过对两条分流管道422分别设置流量控制器450，可使得基材500两面的电镀层的厚度可分别设置，以满足基材500的特殊电镀需求，有效扩大了本装置的适用范围。
38.优选地，在本实施例中，增压器440为蠕动泵、电机泵、薄膜泵、压力泵、压力传感器、电磁阀中的一种或几种组合；流量控制器450包括流量计与流量阀。
39.如图2所示，在本实施例中，喷嘴410上设置有若干个与喷嘴410相连通的喷液口411，优选地，该喷液口411设置有七个，并均匀分布呈一字排开，以对电极块110形成多点喷射，有效扩大了喷嘴410的喷射面，并提高电镀效率。
40.优选地，在本实施例中，喷嘴410为拉瓦尔喷管结构，电极块110为不锈钢、钛、金、铂中一种或几种组合。
41.如图3所示，在本实施例中，电镀模具120包括呈中空式矩型框的模架121，和与模架121可拆卸连接的模芯122，其中，模芯122上设置有若干个供电镀液喷出的镀液槽123，在电镀时，皮带320驱动基材500与模芯122远离电极块110的一面贴合连接，带动模芯122另一面与电极块110贴合连接，使得电镀液经过镀液槽123后，在基材500表面形成特定的区域电镀层，以满足基材500特定的电镀需求，且通过更换不同的模芯122，一方面扩大了特定的区域电镀层的种类，另一方面便于电镀模具120的维护。
42.优选地，在本实施例中，模架121的材料为高强度高耐磨的工程塑料、不锈钢中的一种；模芯122材料为改性硅胶、改性橡胶、改性塑料中的一种。
43.需要说明的是，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”、“一”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
44.另外，本实用新型各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
45.本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

技术特征：
1.一种引线框架的电镀装置，用以对基材(500)进行电镀，其特征在于，包括：电镀组件(100)，设置有至少两组，其中，每组电镀组件(100)包括电极块(110)，和与电极块(110)贴合连接的电镀模具(120)；导向轮(200)，设置有若干个，分布于电镀组件(100)两侧；张力调节组件(300)，设置于电镀组件(100)上方，包括皮带轮(310)，和套设于皮带轮(310)外侧的皮带(320)，以及与皮带(320)连接用以控制皮带(320)松紧度的张紧件(330)，其中，张紧件(330)可驱动皮带(320)朝靠近电极块(110)方向移动；喷液组件，包括设置于电极块(110)下方的喷嘴(410)，和与喷嘴(410)相连通的进液管道(420)，以及与进液管道(420)相连通的储液槽(430)，其中，进液管道(420)上设置有增压器(440)和流量控制器(450)，以分别对进入喷嘴(410)内的电镀液进行压力与流量控制。2.根据权利要求1所述的一种引线框架的电镀装置，其特征在于，所述进液管道(420)包括相互连通的主管道(421)和至少两条分流管道(422)，其中，增压器(440)设置于主管道(421)上，用以控制进入喷嘴(410)内的电镀液的压力大小。3.根据权利要求2所述的一种引线框架的电镀装置，其特征在于，所述流量控制器(450)设置有两组，分别设置于两条分流管道(422)的进液端，通过流量控制器(450)的开度大小，分别控制两条分流管道(422)进入喷嘴(410)内的电镀液的流量大小。4.根据权利要求1所述的一种引线框架的电镀装置，其特征在于，所述喷嘴(410)上设置有若干个喷液口(411)，该喷液口(411)呈一字排开，对电极块(110)形成多点喷射。5.根据权利要求1所述的一种引线框架的电镀装置，其特征在于，所述电镀模具(120)包括模架(121)，和与模架(121)可拆卸连接的模芯(122)，其中，电镀时皮带(320)驱动基材(500)与模芯(122)远离电极块(110)的一面贴合连接，并带动模芯(122)另一面与电极块(110)贴合连接。6.根据权利要求5所述的一种引线框架的电镀装置，其特征在于，所述模芯(122)上设置有若干个供电镀液喷出的镀液槽(123)，其中，电镀液经过镀液槽(123)后，在基材(500)表面形成特定区域电镀层。7.根据权利要求1所述的一种引线框架的电镀装置，其特征在于，所述电镀组件(100)还包括设置于电极块(110)下方并与电极块(110)贴合连接的脱模轮(130)，用以对电极块(110)形成支撑。

技术总结
本实用新型涉及电镀设备技术领域，公开了一种引线框架的电镀装置，用以对基材进行电镀，包括电镀组件，设置有至少两组，每组电镀组件包括电极块，和电镀模具；导向轮，设置有若干个，分布于电镀组件两侧；张力调节组件，设置于电镀组件上方，包括皮带轮，皮带，张紧件，其中，张紧件可驱动皮带朝靠近电极块方向移动；喷液组件，包括设置于电极块下方的喷嘴，进液管道，以及储液槽，其中，进液管道上设置有增压器和流量控制器，以分别对进入喷嘴内的电镀液进行压力与流量控制。本实用新型提供的一种引线框架的电镀装置，电镀均匀、稳定，且不易发生渗漏现象。现象。现象。


技术研发人员：孙亚斐
受保护的技术使用者：宁波埃斯科光电有限公司
技术研发日：2023.05.25
技术公布日：2023/9/1