一种晶圆去胶机真空传输装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体干法去胶技术领域，具体为一种晶圆去胶机真空传输装置。


背景技术：

2.在晶圆表面清洗、光刻胶去除、光阻去除等工艺中常采用多轴联动真空传输机械手进行真空腔体间的传输，而此方法传输需搭配专用操作系统进行编程运行，结构稍显复杂且所需空间也较大，成本方面也相对较高，对于低端需求功能单一、预算较少、空间有限、无需自动化程度太高的应用会有一定的限制，且有的真空传输不需要太复杂的动作即可实现，加之现有技术的机械手系统编程也需要一定基础的工程技术人员才能掌握，对于售后培训终端使用人员存在一定的难度且所花费时间也较多，因此我们需要提出一种晶圆去胶机真空传输装置来实现功能单一、预算较少、节省空间且无需配备专有程序、可人工手动实现操作的目的，可与设备整机系统程序较好兼容。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种晶圆去胶机真空传输装置，通过伺服电机的动力带动第一滑动结构和第二滑动结构作同一方向运行，实现了较简单结构下尽量缩减了运动空间并解决了售后中面临的诸多需繁杂且耗时许久的培训环节，可填补现有机械手由于成本、空间、繁杂程序等无法涉及的部分低使用要求领域，以解决背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆去胶机真空传输装置，包括腔体和安装在腔体上端的门板，所述腔体的下端安装有伺服电机，所述腔体的内部转动连接有旋转结构，且所述旋转结构通过伺服电机驱动，所述旋转结构上设置有为装置提供运动中所需要导向作用的第一滑动结构，所述第一滑动结构上安装有为装置提供双行程动作所需的导向及产品承托的第二滑动结构，所述第二滑动结构上安装有传送托盘，所述旋转结构上还安装有光电位置感应器。
5.优选的，所述腔体为一体加工成型且提供所需真空环境的密闭性容器，所述腔体的上端为敞口设置，所述门板盖合在腔体的上端且所述门板与腔体之间设置有密封圈。
6.优选的，所述伺服电机的输出轴安装有联轴器，所述联轴器的一端连接有可接收伺服电机动力并转换直线运动提供动力的磁流体，所述磁流体的一端穿过腔体的下端与旋转结构连接。
7.优选的，所述旋转结构包括同步带和两个同步轮，两个所述同步轮转动连接在腔体的内底部，且其中一个所述同步轮与磁流体的一端连接，所述同步带套接在两个同步轮上，所述第一滑动结构安装在同步带上。
8.优选的，所述腔体内底部安装有通过螺丝调节实现对同步带的张紧动作校准直线精度的张紧结构，所述张紧结构位于旋转结构的下方，所述同步带上的两端均设置有光电位置感应器。
9.优选的，所述第一滑动结构与第二滑动结构的安装方向相同，所述第一滑动结构与第二滑动结构之间通过传动机构连接。
10.优选的，所述第一滑动结构和第二滑动结构均包括导轨和导块，所述第一滑动结构上的导轨与同步带连接，所述第一滑动结构上的导块安装在第二滑动结构的导轨上，所述第二滑动结构的导轨安装在传动机构上，所述第二滑动结构的导块安装在传送托盘的下表面，且所述导块在导轨上滑动。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.本实用新型主要通过伺服电机的动力带动第一滑动结构和第二滑动结构作同一方向运行，通过第一滑动结构和第二滑动结构带动传送托盘进行对在腔体和门板实现真空环境中产品的传输，实现了较简单结构下尽量缩减了运动空间并解决了售后中面临的诸多需繁杂且耗时许久的培训环节，可填补现有机械手由于成本、空间、繁杂程序等无法涉及的部分低使用要求领域。
附图说明
13.图1为本实用新型的一侧结构示意图；
14.图2为本实用新型的立体结构示意图；
15.图3为本实用新型的另一侧结构示意图；
16.图4为本实用新型的俯视结构示意图。
17.图中：1、伺服电机；2、联轴器；3、磁流体；4、腔体；5、旋转结构；6、传送托盘；7、门板；8、光电位置感应器；9、张紧结构；10、第一滑动结构；11、第二滑动结构。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆去胶机真空传输装置，包括腔体4和安装在腔体4上端的门板7，所述腔体4的下端安装有伺服电机1，所述腔体4的内部转动连接有旋转结构5，且所述旋转结构5通过伺服电机1驱动，所述旋转结构5上设置有为装置提供运动中所需要导向作用的第一滑动结构10，所述第一滑动结构10上安装有为装置提供双行程动作所需的导向及产品承托的第二滑动结构11，所述第二滑动结构11上安装有传送托盘6，所述旋转结构5上还安装有光电位置感应器8；
20.通过伺服电机1的动力带动第一滑动结构10和第二滑动结构11作同一方向运行，通过第一滑动结构10和第二滑动结构11带动传送托盘6进行对在腔体4和门板7实现真空环境中产品的传输，实现了较简单结构下尽量缩减了运动空间并解决了售后中面临的诸多需繁杂且耗时许久的培训环节，可填补现有机械手由于成本、空间、繁杂程序等无法涉及的部分低使用要求领域。
21.所述腔体4为一体加工成型且提供所需真空环境的密闭性容器，所述腔体4的上端为敞口设置，所述门板7盖合在腔体4的上端且所述门板7与腔体4之间设置有密封圈，便于
为该装置腔体4提供真空密封作用，通过传送承载托盘为承载产品提供不易发生位移的结构，使真空传输过程中不会对产品产生危害。
22.所述伺服电机1的输出轴安装有联轴器2，所述联轴器2的一端连接有可接收伺服电机1动力并转换直线运动提供动力的磁流体3，所述磁流体3的一端穿过腔体4的下端与旋转结构5连接，伺服电机1通过编码器发送信号实现电机运动，为该装置提供动力，联轴器2连接伺服电机1与磁流体3，将产生的动力传送到磁流体3上，磁流体3与腔体4连接起到密封作用，接收伺服电机1动力后为该装置转换直线运动提供动力。
23.所述旋转结构5包括同步带和两个同步轮，两个所述同步轮转动连接在腔体4的内底部，且其中一个所述同步轮与磁流体3的一端连接，所述同步带套接在两个同步轮上，所述第一滑动结构10安装在同步带上，通过旋转结构5与磁流体3产生旋转力，并通过与第一滑动结构10的连接实现由旋转运动转换为直线运动。
24.所述腔体4内底部安装有通过螺丝调节实现对同步带的张紧动作校准直线精度的张紧结构9，所述张紧结构9位于旋转结构5的下方，所述同步带上的两端均设置有光电位置感应器8，光电位置感应器8通过光电感应从而确定直线运动位置，反馈后通过发送信号实现动作精确性。
25.所述第一滑动结构10与第二滑动结构11的安装方向相同，所述第一滑动结构10与第二滑动结构11之间通过传动机构连接；传动机构主要由两个小同步轮和一个小同步带组成，两个小同步轮转动安装在第一滑动结构10上，小同步带套接在两个小同步带上，且第二滑动结构11的导轨与小同步带连接，所述第一滑动结构10和第二滑动结构11均包括导轨和导块，所述第一滑动结构10上的导轨与同步带连接，所述第一滑动结构10上的导块安装在第二滑动结构11的导轨上，所述第二滑动结构11的导轨安装在传动机构上，所述第二滑动结构11的导块安装在传送托盘6的下表面，且所述导块在导轨上滑动；通过第一滑动结构10为该装置提供运动中所需要的导向作用，使其往复运动不跑偏，通过第二滑动结构11为该装置提供双行程动作所需的导向及产品承托作用，为传送托盘6传输提供承载。
26.设备系统发送信号指令给到伺服电机1开始启动输出扭矩通过联轴器2传递给磁流体3带动其一起运动，由此为旋转结构5提供扭矩带动第一滑动结构10和第二滑动结构11作同一方向运动，由第一滑动结构10和第二滑动结构11带动传送托盘6进行对在腔体4和门板7实现的真空环境中产品的传输，经由光电位置感应器8来感应确定运动位置反馈给到设备系统，由系统读取信号后及时更改频率的大小实现前进后退的快慢，通过张紧结构9可定期调节装置的精度以提高装置的精确性及耐用性。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种晶圆去胶机真空传输装置，包括腔体(4)和安装在腔体(4)上端的门板(7)，其特征在于：所述腔体(4)的下端安装有伺服电机(1)，所述腔体(4)的内部转动连接有旋转结构(5)，且所述旋转结构(5)通过伺服电机(1)驱动，所述旋转结构(5)上设置有为装置提供运动中所需要导向作用的第一滑动结构(10)，所述第一滑动结构(10)上安装有为装置提供双行程动作所需的导向及产品承托的第二滑动结构(11)，所述第二滑动结构(11)上安装有传送托盘(6)，所述旋转结构(5)上还安装有光电位置感应器(8)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机真空传输装置，其特征在于：所述腔体(4)为一体加工成型且提供所需真空环境的密闭性容器，所述腔体(4)的上端为敞口设置，所述门板(7)盖合在腔体(4)的上端且所述门板(7)与腔体(4)之间设置有密封圈。3.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机真空传输装置，其特征在于：所述伺服电机(1)的输出轴安装有联轴器(2)，所述联轴器(2)的一端连接有可接收伺服电机(1)动力并转换直线运动提供动力的磁流体(3)，所述磁流体(3)的一端穿过腔体(4)的下端与旋转结构(5)连接。4.根据权利要求3所述的一种晶圆去胶机真空传输装置，其特征在于：所述旋转结构(5)包括同步带和两个同步轮，两个所述同步轮转动连接在腔体(4)的内底部，且其中一个所述同步轮与磁流体(3)的一端连接，所述同步带套接在两个同步轮上，所述第一滑动结构(10)安装在同步带上。5.根据权利要求4所述的一种晶圆去胶机真空传输装置，其特征在于：所述腔体(4)内底部安装有通过螺丝调节实现对同步带的张紧动作校准直线精度的张紧结构(9)，所述张紧结构(9)位于旋转结构(5)的下方，所述同步带上的两端均设置有光电位置感应器(8)。6.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机真空传输装置，其特征在于：所述第一滑动结构(10)与第二滑动结构(11)的安装方向相同，所述第一滑动结构(10)与第二滑动结构(11)之间通过传动机构连接。7.根据权利要求6所述的一种晶圆去胶机真空传输装置，其特征在于：所述第一滑动结构(10)和第二滑动结构(11)均包括导轨和导块，所述第一滑动结构(10)上的导轨与同步带连接，所述第一滑动结构(10)上的导块安装在第二滑动结构(11)的导轨上，所述第二滑动结构(11)的导轨安装在传动机构上，所述第二滑动结构(11)的导块安装在传送托盘(6)的下表面，且所述导块在导轨上滑动。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆去胶机真空传输装置，包括腔体和安装在腔体上端的门板，所述腔体的内部转动连接有旋转结构，所述旋转结构上设置有为装置提供运动中所需要导向作用的第一滑动结构，所述第二滑动结构上安装有为装置提供双行程动作所需的导向及产品承托的第二滑动结构，本实用新型通过伺服电机的动力带动第一滑动结构和第二滑动结构作同一方向运行，通过第一滑动结构和第二滑动结构带动传送托盘进行对在腔体和门板实现真空环境中产品的传输，实现了较简单结构下尽量缩减了运动空间并解决了售后中面临的诸多需繁杂且耗时许久的培训环节，可填补现有机械手由于成本、空间、繁杂程序等无法涉及的部分低使用要求领域。域。域。


技术研发人员：冼健威
受保护的技术使用者：东莞市晟鼎精密仪器有限公司
技术研发日：2023.04.14
技术公布日：2023/9/1