一种通用型的晶圆基板载具的制作方法

1.本实用新型属于晶圆载具技术领域，具体涉及一种通用型的晶圆基板载具。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆尺寸较多包括6英寸和8英寸，而为了方便收纳放置晶圆，需要专门的基板载具对晶圆进行放置。
3.现有的基板载具在放置中，当自身受到轻微冲击时，会造成内部晶圆的振动，容易导致晶圆出现损坏的现象，现有的处理方式是对放置晶圆的载具材料进行改进，但并未在结构上有所改进提升，因此在防护性能上，存在可提升的空间。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种通用型的晶圆基板载具，以解决上述背景技术中提出的现有基板载具对晶圆的减震防护性能上存在不足的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种通用型的晶圆基板载具，包括上盖总成，在所述上盖总成的底部安装有底座总成，所述上盖总成的内部还安装有载具体，所述底座总成的顶端面上设置有一体式的定位板，所述定位板与所述载具体的底部卡合限位，所述底座总成的底部还设置有底板，所述底板上设置有防护机构，该防护机构包括：
6.分隔组件，安装在所述底板顶部的各个边缘处，该分隔组件与所述底座总成呈贴合状或者间距设置；
7.限位件，固定在所述底板的顶部，该限位件顶部通过螺栓与上盖总成限位连接；
8.所述上盖总成的内部还设置有固定机构，该固定机构包括：
9.抵紧组件，一端安装在所述上盖总成的顶端内壁上，另一端与所述载具体的顶端面相抵，该抵紧组件包括定位压板，所述定位压板的另一端设置有压片，所述定位压板与压片之间连接有扭簧。
10.优选的，所述分隔组件包括固定在底板上的安装板，所述安装板的内侧面开设有内槽，所述内槽的内侧嵌入有磁条二，所述底座总成的四周开设有侧槽，所述侧槽的内侧卡入有磁条一，所述磁条一与所述磁条二呈同性相斥状。
11.优选的，所述限位件为固定在底板两侧的固定板，所述固定板的顶部开设有螺孔，所述螺孔内部贯穿有螺栓，该螺栓与上盖总成的底部相抵。
12.优选的，所述固定机构还包括限位组件，所述限位组件设置在所述上盖总成的内壁一侧，该限位组件包括连接板以及与所述连接板旋转连接的基座前板，所述基座前板的内侧安装有基座背板，所述基座前板的底端安装有滚轮。
13.优选的，所述定位压板与压片连接处的底部区域设置有转轴，所述扭簧设置在所
述转轴的顶部，且扭簧呈等距方式设置。
14.优选的，所述定位压板的端面开设有放置槽，所述扭簧的两端分别与放置槽以及压片的端面固定。
15.优选的，所述载具体的四周与上盖总成的内壁之间存在间距，所述上盖总成的外部安装有提手。
16.优选的，所述定位板设置有两个，且两个定位板的长度不等，所述载具体的底部呈“工”字状，所述载具体卡入在两个定位板的内侧。
17.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
18.通过设计的防护机构，通过四周的磁性斥力保证载具的位置不会出现变化，即使在受到振动时，也能够实现缓冲防护，避免内部放置的晶圆因较大振动而产生损坏，同时整个防护机构结构简单，方便生产加工，具有良好的实用性。
附图说明
19.图1为本实用新型的结构示意图；
20.图2为本实用新型上盖总成的剖视图；
21.图3为本实用新型固定机构的结构示意图；
22.图4为本实用新型图3中a区域的放大示意图。
23.图中：100、上盖总成；101、基座背板；102、连接板；103、定位压板；103a、放置槽；104、基座前板；105、压片；106、转轴；107、扭簧；200、载具体；300、底座总成；300a、侧槽；301、定位板；302、磁条一；400、底板；401、安装板；401a、内槽；402、固定板；403、磁条二。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种通用型的晶圆基板载具，包括上盖总成100，在上盖总成100的底部安装有底座总成300，上盖总成100的内部还安装有载具体200，底座总成300的顶端面上设置有一体式的定位板301，定位板301与载具体200的底部卡合限位，在实际使用中，将载具体200加工成两种规格，一种为6英寸结构，另一种为8英寸结构，其中6英寸与8英寸结构的载具体200底部均能够与底座总成300卡合限位完成安装，从而实现两种不同规格晶圆的通用放置，实现基板载具的通用性，底座总成300的底部还设置有底板400，底板400上设置有防护机构，该防护机构包括：
26.分隔组件，安装在底板400顶部的各个边缘处，该分隔组件与底座总成300呈贴合状或者间距设置，避免相抵而无法实现减震防护的功能；
27.限位件，固定在底板400的顶部，该限位件顶部通过螺栓与上盖总成100限位连接，以此实现稳固的安装；
28.上盖总成100的内部还设置有固定机构，该固定机构包括：
29.抵紧组件，一端安装在上盖总成100的顶端内壁上，另一端与载具体200的顶端面
相抵，该抵紧组件包括定位压板103，定位压板103的另一端设置有压片105，定位压板103与压片105之间连接有用于实现抵紧功能的扭簧107。
30.本实施例中，优选的，分隔组件包括固定在底板400上的安装板401，安装板401的内侧面开设有内槽401a，内槽401a的内侧嵌入有磁条二403，底座总成300的四周开设有侧槽300a，侧槽300a的内侧卡入有磁条一302，磁条一302与磁条二403呈同性相斥状，在安装中，将底座总成300的底部插入由安装板401围成的区域内，随后通过四周的磁性斥力保证底座总成300的位置不会出现变化，即使在受到振动时，也能够实现缓冲防护。
31.本实施例中，优选的，限位件为固定在底板400两侧的固定板402，固定板402的顶部开设有螺孔，螺孔内部贯穿有螺栓，该螺栓与上盖总成100的底部相抵，避免底板400与上盖总成100的分离，其中上盖总成100的底部向外弯折延伸，因此螺栓只需要与该区域交错即可实现不分离的目的。
32.本实施例中，优选的，固定机构还包括限位组件，限位组件设置在上盖总成100的内壁一侧，该限位组件包括连接板102以及与连接板102旋转连接的基座前板104，基座前板104的内侧安装有基座背板101，在使用中，基座背板101与载具体200的外表面相抵，实现限位，基座前板104的底端安装有滚轮，该种结构在常见的晶圆基板模具中均存在，故在此不作进一步的赘述。
33.本实施例中，优选的，定位压板103与压片105连接处的底部区域设置有用于实现压片105旋转的转轴106，在使用中，压片105会先一步与载具体200的顶端面相抵，此时压片105会将抵紧力传递给扭簧107，接着扭簧107通过回弹再次将压片105朝向载具体200的顶部挤压，以此提升对载具体200的限位抵紧，扭簧107设置在转轴106的顶部，且扭簧107呈等距方式设置，从而保证弹力，定位压板103的端面开设有放置槽103a，扭簧107的两端分别与放置槽103a以及压片105的端面固定，在实际使用中，可以采用螺栓或者焊接的方式实现固定。
34.本实施例中，优选的，载具体200的四周与上盖总成100的内壁之间存在间距，避免两者因接触产生的相抵，也能够降低放置在载具体200内部晶圆破碎的可能性，上盖总成100的外部安装有提手，用于后期的搬运，定位板301设置有两个，且两个定位板301的长度不等，载具体200的底部呈“工”字状，载具体200卡入在两个定位板301的内侧。
35.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例（详见上述详尽的描述），对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种通用型的晶圆基板载具，包括上盖总成（100），在所述上盖总成（100）的底部安装有底座总成（300），所述上盖总成（100）的内部还安装有载具体（200），其特征在于：所述底座总成（300）的顶端面上设置有一体式的定位板（301），所述定位板（301）与所述载具体（200）的底部卡合限位，所述底座总成（300）的底部还设置有底板（400），所述底板（400）上设置有防护机构，该防护机构包括：分隔组件，安装在所述底板（400）顶部的各个边缘处，该分隔组件与所述底座总成（300）呈贴合状或者间距设置；限位件，固定在所述底板（400）的顶部，该限位件顶部通过螺栓与上盖总成（100）限位连接；所述上盖总成（100）的内部还设置有固定机构，该固定机构包括：抵紧组件，一端安装在所述上盖总成（100）的顶端内壁上，另一端与所述载具体（200）的顶端面相抵，该抵紧组件包括定位压板（103），所述定位压板（103）的另一端设置有压片（105），所述定位压板（103）与压片（105）之间连接有扭簧（107）。2.根据权利要求1所述的一种通用型的晶圆基板载具，其特征在于：所述分隔组件包括固定在底板（400）上的安装板（401），所述安装板（401）的内侧面开设有内槽（401a），所述内槽（401a）的内侧嵌入有磁条二（403），所述底座总成（300）的四周开设有侧槽（300a），所述侧槽（300a）的内侧卡入有磁条一（302），所述磁条一（302）与所述磁条二（403）呈同性相斥状。3.根据权利要求2所述的一种通用型的晶圆基板载具，其特征在于：所述限位件为固定在底板（400）两侧的固定板（402），所述固定板（402）的顶部开设有螺孔，所述螺孔内部贯穿有螺栓，该螺栓与上盖总成（100）的底部相抵。4.根据权利要求1所述的一种通用型的晶圆基板载具，其特征在于：所述固定机构还包括限位组件，所述限位组件设置在所述上盖总成（100）的内壁一侧，该限位组件包括连接板（102）以及与所述连接板（102）旋转连接的基座前板（104），所述基座前板（104）的内侧安装有基座背板（101），所述基座前板（104）的底端安装有滚轮。5.根据权利要求1所述的一种通用型的晶圆基板载具，其特征在于：所述定位压板（103）与压片（105）连接处的底部区域设置有转轴（106），所述扭簧（107）设置在所述转轴（106）的顶部，且扭簧（107）呈等距方式设置。6.根据权利要求5所述的一种通用型的晶圆基板载具，其特征在于：所述定位压板（103）的端面开设有放置槽（103a），所述扭簧（107）的两端分别与放置槽（103a）以及压片（105）的端面固定。7.根据权利要求1所述的一种通用型的晶圆基板载具，其特征在于：所述载具体（200）的四周与上盖总成（100）的内壁之间存在间距，所述上盖总成（100）的外部安装有提手。8.根据权利要求1所述的一种通用型的晶圆基板载具，其特征在于：所述定位板（301）设置有两个，且两个定位板（301）的长度不等，所述载具体（200）的底部呈“工”字状，所述载具体（200）卡入在两个定位板（301）的内侧。

技术总结
本实用新型公开了一种通用型的晶圆基板载具，包括上盖总成，在所述上盖总成的底部安装有底座总成，所述上盖总成的内部还安装有载具体，所述底座总成的顶端面上设置有一体式的定位板，所述定位板与所述载具体的底部卡合限位，所述底座总成的底部还设置有底板，所述底板上设置有防护机构，该防护机构包括：分隔组件，安装在所述底板顶部的各个边缘处，该分隔组件与所述底座总成呈贴合状或者间距设置；通过设计的防护机构，通过四周的磁性斥力保证载具的位置不会出现变化，即使在受到振动时，也能够实现缓冲防护，避免内部放置的晶圆因较大振动而产生损坏，同时整个防护机构结构简单，方便生产加工，具有良好的实用性。具有良好的实用性。具有良好的实用性。


技术研发人员：刘建蔚
受保护的技术使用者：昆山兴宇宏机械科技有限公司
技术研发日：2023.05.04
技术公布日：2023/9/3