一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置的制作方法

1.本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，具体是一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置。


背景技术：

2.直拉式单晶炉属于半导体加工设备，直拉式单晶炉是在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
3.在单晶拉制过程中，为了降低生产成本并最大限度地提高石英坩埚的利用率，采用人工多次复投硅料的方式进行单晶的拉制。
4.现有的单晶炉采用人工多次复投硅料的方式，需要操作人员接触单晶炉而且单晶炉运行时温度高会影响复投硅料的时长使得复投硅料效率低下，并且存在一定的安全隐患，难于满足生产要求；因此，针对上述问题提出一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置。


技术实现要素：

5.为了弥补现有技术的不足，采用人工多次复投硅料的方式影响复投硅料效率的问题，本实用新型提出一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置。
6.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置，包括投料筒；所述投料筒顶部固定连接有安装框，所述安装框顶部设有固定槽，所述固定槽内部设有注料槽，所述投料筒底部固定连接有出料框，所述出料框前后表面对称固定连接有限位块，所述投料筒内部设有复投机构；
7.所述复投机构包括若干隔板，若干所述隔板均匀固定在投料筒内部，所述隔板表面设有出料孔，所述投料筒内部两侧壁位于隔板底部均固定连接有第二电动伸缩杆，两侧所述第二电动伸缩杆末端均固定连接有挡板，所述投料筒内部两侧壁位于隔板顶部均设有安装槽，两侧所述安装槽内部固定连接有第一电动伸缩杆，两侧所述第一电动伸缩杆末端固定连接有推板。
8.优选的，所述固定槽顶部设有若干安装孔，所述固定槽内部设有顶盖，所述顶盖通过若干螺栓插入安装孔内部固定在固定槽内部。
9.优选的，所述顶盖底部固定连接有密封垫，所述投料筒表面靠近底部位置处固定连接有固定框，所述固定框外侧固定连接有密封圈。
10.优选的，所述注料槽完全贯穿投料筒，所述投料筒与出料框内部保持联通。所述出料框底部设有完全贯穿的通孔。
11.优选的，两侧所述挡板活动设置在隔板底侧，两侧所述推板活动设置在隔板顶部。
12.优选的，若干所述隔板安装在投料筒内部的间距一致，所述出料孔设置在隔板中间位置处。
13.本实用新型的有益之处在于：
14.1.本实用新型通过底部两侧第二电动伸缩杆推动挡板合并，通过注料槽将硅料注入投料筒内部，再依次控制上方第二电动伸缩杆推动挡板合并使得硅料注满投料筒内部，投料时从底部开始依次通过第二电动伸缩杆带动挡板分离使得隔板上方硅料通过出料孔注入单晶炉内部，并且通过安装槽内部的第一电动伸缩杆控制推板移动，使得残留在隔板上方的硅料全部注入单晶炉内部，实现自动复投防止人工复投时使得复投硅料效率低，杜绝安全隐患的产生。
15.2.本实用新型通过将出料框放置并固定在单晶炉内部，通过螺栓将顶盖固定在固定槽内部，经过单晶炉内部真空泵将投料筒内部加工成真空环境，通过顶盖底部密封垫再配合固定框外侧的密封圈保持连接处密封性，便于复投时使得单晶炉内部持续处于真空状态，避免复投时破坏单晶炉内部的真空环境。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为实施例一的整体结构示意图；
18.图2为实施例一的侧视立体结构示意图；
19.图3为实施例一的内部结构示意图；
20.图4为实施例一的内部剖面结构示意图；
21.图5为实施例二的立体结构示意图。
22.图中：1、投料筒；2、安装框；3、顶盖；4、固定框；5、密封圈；6、出料框；7、限位块；8、注料槽；9、安装孔；10、复投机构；11、隔板；12、出料孔；13、第一电动伸缩杆；14、推板；15、安装槽；16、挡板；17、第二电动伸缩杆；18、密封垫；19、螺栓；20、把手；21、吊环；22、固定槽。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.实施例一
25.请参阅图1-4所示，一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置，包括投料筒1；所述投料筒1顶部固定连接有安装框2，所述安装框2顶部设有固定槽22，所述固定槽22内部设有注料槽8，所述投料筒1底部固定连接有出料框6，所述出料框6前后表面对称固定连接有限位块7，所述投料筒1内部设有复投机构10；
26.所述复投机构10包括若干隔板11，若干所述隔板11均匀固定在投料筒1内部，所述隔板11表面设有出料孔12，所述投料筒1内部两侧壁位于隔板11底部均固定连接有第二电动伸缩杆17，两侧所述第二电动伸缩杆17末端均固定连接有挡板16，所述投料筒1内部两侧壁位于隔板11顶部均设有安装槽15，两侧所述安装槽15内部固定连接有第一电动伸缩杆
13，两侧所述第一电动伸缩杆13末端固定连接有推板14；
27.工作时，为了解决采用人工多次复投硅料的方式影响复投硅料效率的问题，通过投料筒1便于硅料的存储放置，便于复投，通过安装框2便于顶盖3的安装固定，保持投料筒1内部的密封性，通过注料槽8便于将硅料注入投料筒1内部，通过出料框6便于投料筒1内部硅料注入单晶炉内部，通过出料框6前后表面的限位块7，便于装置安装插入单晶炉内部，通过复投机构10解决采用人工多次复投硅料的方式影响复投硅料效率的问题，通过底部两侧第二电动伸缩杆17推动挡板16合并，通过注料槽8将硅料注入投料筒1内部，再依次控制上方第二电动伸缩杆17推动挡板16合并使得硅料注满投料筒1内部，投料时从底部开始依次通过第二电动伸缩杆17带动挡板16分离使得隔板11上方硅料通过出料孔12注入单晶炉内部，并且通过安装槽15内部的第一电动伸缩杆13控制推板14移动，使得残留在隔板11上方的硅料全部注入单晶炉内部，实现自动复投防止人工复投时使得复投硅料效率低，杜绝安全隐患的产生。
28.所述固定槽22顶部设有若干安装孔9，所述固定槽22内部设有顶盖3，所述顶盖3通过若干螺栓19插入安装孔9内部固定在固定槽22内部；
29.工作时，通过若干螺栓19插入安装孔9内部便于将顶盖3固定在固定槽22内部，保持投料筒1内部的密封性。
30.所述顶盖3底部固定连接有密封垫18，所述投料筒1表面靠近底部位置处固定连接有固定框4，所述固定框4外侧固定连接有密封圈5；
31.工作时，通过将出料框6放置并固定在单晶炉内部，通过螺栓19将顶盖3固定在固定槽22内部，经过单晶炉内部真空泵将投料筒1内部加工成真空环境，通过顶盖3底部密封垫18再配合固定框4外侧的密封圈5保持连接处密封性，便于复投时使得单晶炉内部持续处于真空状态，避免复投时破坏单晶炉内部的真空环境。
32.所述注料槽8完全贯穿投料筒1，所述投料筒1与出料框6内部保持联通。所述出料框6底部设有完全贯穿的通孔；
33.工作时，通过注料槽8将硅料注入单晶炉内部，通过投料筒1与出料框6内部保持联通，便于投料筒1内部的硅料通过出料框6底部完全贯穿的通孔注入单晶炉内部。
34.两侧所述挡板16活动设置在隔板11底侧，两侧所述推板14活动设置在隔板11顶部；
35.工作时，通过两侧挡板16活动设置在隔板11底侧，便于通过两侧挡板16合并使得硅料放置在隔板11上方，通过两侧推板14活动设置在隔板11顶部，便于通过两侧推板14推动隔板11顶部的硅料。
36.若干所述隔板11安装在投料筒1内部的间距一致，所述出料孔12设置在隔板11中间位置处；
37.工作时，通过隔板11安装在投料筒1内部的间距一致，使得隔板11上方硅料质量一致，通过出料孔12设置在隔板11中间位置处，便于若干隔板11上方硅料的注入。
38.实施例二
39.请参阅图5所示，对比实施例一，作为本实用新型的另一种实施方式，所述安装框2顶部四角均固定连接有吊环21，所述顶盖3顶部固定连接有把手20；
40.工作时，通过吊装设备配合吊环21吊起装置整体并将出料框6放置在单晶炉内部，
通过把手20便于顶盖3的安装与移动，便于将直拉式单晶炉用硅料注入投料筒1内部。
41.工作原理，为了解决采用人工多次复投硅料的方式影响复投硅料效率的问题，通过吊装设备配合吊环21吊起装置整体并将出料框6放置在单晶炉内部，通过将出料框6放置并固定在单晶炉内部，通过螺栓19将顶盖3固定在固定槽22内部，经过单晶炉内部真空泵将投料筒1内部加工成真空环境，通过顶盖3底部密封垫18再配合固定框4外侧的密封圈5保持连接处密封性，便于复投时使得单晶炉内部持续处于真空状态，避免复投时破坏单晶炉内部的真空环境，通过把手20便于顶盖3的安装与移动，便于将直拉式单晶炉用硅料注入投料筒1内部，通过投料筒1便于硅料的存储放置，便于复投，通过安装框2便于顶盖3的安装固定，保持投料筒1内部的密封性，通过注料槽8便于将硅料注入投料筒1内部，通过出料框6便于投料筒1内部硅料注入单晶炉内部，通过出料框6前后表面的限位块7，便于装置安装插入单晶炉内部，通过复投机构10解决采用人工多次复投硅料的方式影响复投硅料效率的问题，通过底部两侧第二电动伸缩杆17推动挡板16合并，通过注料槽8将硅料注入投料筒1内部，再依次控制上方第二电动伸缩杆17推动挡板16合并使得硅料注满投料筒1内部，投料时从底部开始依次通过第二电动伸缩杆17带动挡板16分离使得隔板11上方硅料通过出料孔12注入单晶炉内部，并且通过安装槽15内部的第一电动伸缩杆13控制推板14移动，使得残留在隔板11上方的硅料全部注入单晶炉内部，实现自动复投防止人工复投时使得复投硅料效率低，杜绝安全隐患的产生。
42.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
43.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

技术特征：
1.一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置，其特征在于：包括投料筒(1)；所述投料筒(1)顶部固定连接有安装框(2)，所述安装框(2)顶部设有固定槽(22)，所述固定槽(22)内部设有注料槽(8)，所述投料筒(1)底部固定连接有出料框(6)，所述出料框(6)前后表面对称固定连接有限位块(7)，所述投料筒(1)内部设有复投机构(10)；所述复投机构(10)包括若干隔板(11)，若干所述隔板(11)均匀固定在投料筒(1)内部，所述隔板(11)表面设有出料孔(12)，所述投料筒(1)内部两侧壁位于隔板(11)底部均固定连接有第二电动伸缩杆(17)，两侧所述第二电动伸缩杆(17)末端均固定连接有挡板(16)，所述投料筒(1)内部两侧壁位于隔板(11)顶部均设有安装槽(15)，两侧所述安装槽(15)内部固定连接有第一电动伸缩杆(13)，两侧所述第一电动伸缩杆(13)末端固定连接有推板(14)。2.根据权利要求1所述的一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置，其特征在于：所述固定槽(22)顶部设有若干安装孔(9)，所述固定槽(22)内部设有顶盖(3)，所述顶盖(3)通过若干螺栓(19)插入安装孔(9)内部固定在固定槽(22)内部。3.根据权利要求2所述的一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置，其特征在于：所述顶盖(3)底部固定连接有密封垫(18)，所述投料筒(1)表面靠近底部位置处固定连接有固定框(4)，所述固定框(4)外侧固定连接有密封圈(5)。4.根据权利要求3所述的一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置，其特征在于：所述注料槽(8)完全贯穿投料筒(1)，所述投料筒(1)与出料框(6)内部保持联通。所述出料框(6)底部设有完全贯穿的通孔。5.根据权利要求4所述的一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置，其特征在于：两侧所述挡板(16)活动设置在隔板(11)底侧，两侧所述推板(14)活动设置在隔板(11)顶部。6.根据权利要求5所述的一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置，其特征在于：若干所述隔板(11)安装在投料筒(1)内部的间距一致，所述出料孔(12)设置在隔板(11)中间位置处。

技术总结
本实用新型属于单晶硅加工技术领域，具体地说是一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置，包括投料筒；所述投料筒顶部固定连接有安装框，所述安装框顶部设有固定槽，所述投料筒底部固定连接有出料框，所述投料筒内部设有复投机构；所述复投机构包括若干隔板，所述隔板表面设有出料孔，所述投料筒内部两侧壁位于隔板底部均固定连接有第二电动伸缩杆，两侧所述第二电动伸缩杆末端均固定连接有挡板，所述投料筒内部两侧壁位于隔板顶部均设有安装槽，两侧所述安装槽内部固定连接有第一电动伸缩杆，两侧所述第一电动伸缩杆末端固定连接有推板；通过复投机构实现自动复投，防止复投硅料时间增加使得复投硅料效率低下的情况产生。时间增加使得复投硅料效率低下的情况产生。时间增加使得复投硅料效率低下的情况产生。


技术研发人员：张杏如
受保护的技术使用者：张杏如
技术研发日：2023.04.10
技术公布日：2023/9/3