一种无接触水平线传送结构的制作方法

1.本实用新型属于半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种无接触水平线传送结构。


背景技术：

2.随着国内fcbga载板的产业崛起，传统的水平前处理线结构通常采用多滚轮交叉或者三点式滚轮结构，在传送板件时，由于fcbga载板放在滚轮中进行传送，会导致滚轮遮挡药水，接触板面有效图形线路区域等问题，导致fcbga载板的良率较低，影响生产效率。


技术实现要素：

3.本实用新型实施例提供了一种无接触水平线传送结构，能够实现fcbga载板的无接触传送，提高fcbga载板的生产效率和产品良率。
4.第一方面，本实用新型实施例提供了一种无接触水平线传送结构，包括：
5.驱动组件；
6.两个对称设置的传动箱，所述传动箱设置有传动组件，所述传动组件与所述驱动组件相连接，每个所述传动箱的所述传动组件还连接有多个导轮，所述驱动组件用于驱动所述传动组件，从而驱动所述导轮转动；
7.载板固定架，所述载板固定架设置有载板固定架盖板，所述载板固定架盖板用于固定fcbga载板，所述载板固定架通过两侧外延的承载块安装于所述导轮。
8.根据本实用新型的一些实施例，所述载板固定架还设置有固定扣，所述固定扣用于将所述载板固定架盖板锁紧于所述载板固定架。
9.根据本实用新型的一些实施例，所述传动箱包括：
10.传动箱盖板，两个所述传动箱的所述传动箱盖板互相位于对侧；
11.传动箱外壳，所述传动箱盖板通过传动箱固定螺丝固定安装于所述传动箱外壳。
12.根据本实用新型的一些实施例，所述传动组件包括：
13.多个传动轴承，所述传动轴承穿设于所述传动箱盖板，多个所述传动轴承并列设置，所述传动轴承与传动齿轮固定连接，相邻的两个所述传动齿轮相互啮合；
14.主传动轴，所述主传动轴与位于中间的所述传动齿轮固定连接，所述驱动组件用于驱动所述主传动轴转动。
15.根据本实用新型的一些实施例，所述传动齿轮包括导轮传动齿轮，所述传动组件还包括：
16.导轮传动轴，所述导轮传动轴设置于传动轴承中，所述导轮传动轴的一端与所述导轮传动齿轮固定连接，所述导轮传动轴的另一端与所述导轮固定连接。
17.根据本实用新型的一些实施例，所述传动齿轮还包括间隔传动齿轮，所述导轮传动齿轮和间隔传动齿轮交替设置且相互啮合，所述传动组件还包括：
18.间隔传动轴，所述间隔传动轴设置于传动轴承中，所述间隔传动轴与所述导轮传
动轴交替设置，所述间隔传动轴的一端与所述间隔传动齿轮固定连接，所述间隔传动轴的另一端安装有固定盖板。
19.根据本实用新型的一些实施例，驱动组件包括：
20.驱动电机；
21.蜗杆齿轮，所述蜗杆齿轮与所述主传动轴相连接；
22.蜗杆，所述蜗杆连接于所述驱动电机，所述蜗杆中设置有蜗杆螺纹，所述蜗杆螺纹与所述蜗杆齿轮啮合。
23.根据本实用新型的一些实施例，所述驱动组件至少包括两个所述蜗杆，两个所述蜗杆之间通过联轴器相连接。
24.根据本实用新型的一些实施例，所述驱动组件还包括：
25.蜗杆支撑架，所述蜗杆支撑架包括蜗杆安装孔和固定孔，所述固定孔用于固定所述蜗杆支撑架，所述蜗杆安装孔中设置有蜗杆轴承，所述蜗杆通过所述蜗杆轴承安装于所述蜗杆安装孔。
26.根据本实用新型的一些实施例，所述主传动轴设置有蜗杆齿轮固定盖和蜗杆齿轮限位环，所述蜗杆齿轮位于所述蜗杆齿轮固定盖和所述蜗杆齿轮限位环之间。
27.本实用新型实施例包括：驱动组件；两个对称设置的传动箱，所述传动箱设置有传动组件，所述传动组件与所述驱动组件相连接，每个所述传动箱的所述传动组件还连接有多个导轮，所述驱动组件用于驱动所述传动组件，从而驱动所述导轮转动；载板固定架，所述载板固定架设置有载板固定架盖板，所述载板固定架盖板用于固定fcbga载板，所述载板固定架通过两侧外延的承载块安装于所述导轮。根据本实施例的技术方案，fcbga载板安装在载板固定架中，通过导轮驱动载板固定架移动，fcbga载板与传送结构无直接接触，有效避免机械擦伤；由于承载块为载板固定架两侧的外延结构，因此fcbga载板上下均无遮挡，不会对药水产生阻挡，更有效的处理板面。
附图说明
28.图1是本实用新型一个实施例提供的无接触水平线传送结构的立体图；
29.图2是本实用新型另一个实施例提供的无接触水平线传送结构的省去一侧的传动箱外壳后的立体图；
30.图3是本实用新型另一个实施例提供的无接触水平线传送结构的俯视图；
31.图4是本实用新型另一个实施例提供的无接触水平线传送结构的载板固定架的立体图。
具体实施方式
32.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
33.需要说明的是，虽然在装置示意图中进行了功能模块划分，在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些情况下，可以以不同于装置中的模块划分，或流程图中的顺序执行所示出或描述的步骤。说明书、权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“目标”等是用于区别类
似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。
34.本实用新型提供了一种无接触水平线传送结构，包括：驱动组件；两个对称设置的传动箱，所述传动箱设置有传动组件，所述传动组件与所述驱动组件相连接，每个所述传动箱的所述传动组件还连接有多个导轮，所述驱动组件用于驱动所述传动组件，从而驱动所述导轮转动；载板固定架，所述载板固定架设置有载板固定架盖板，所述载板固定架盖板用于固定fcbga载板，所述载板固定架通过两侧外延的承载块安装于所述导轮。根据本实施例的技术方案，fcbga载板安装在载板固定架中，通过导轮驱动载板固定架移动，fcbga载板与传送结构无直接接触，有效避免机械擦伤；由于承载块为载板固定架两侧的外延结构，因此fcbga载板上下均无遮挡，不会对药水产生阻挡，更有效的处理板面。
35.参照图1，图1是本实用新型一个实施例提供的一种无接触水平线传送结构的立体图，本实施例的无接触水平线传送结构包括：
36.驱动组件；
37.两个对称设置的传动箱，传动箱设置有传动组件，传动组件与驱动组件相连接，每个传动箱的传动组件还连接有多个导轮12，驱动组件用于驱动传动组件，从而驱动导轮12转动；
38.载板固定架20，载板固定架20设置有载板固定架盖板23，载板固定架盖板23用于固定fcbga载板，载板固定架20通过两侧外延的承载块27安装于导轮12。
39.需要说明的是，驱动组件可以是驱动电机21，可以是每个传动箱连接一个驱动电机21，也可以是两个传动箱连接同一个驱动电机21，能够实现两个传动箱的导轮12同步转动即可，本实施例对驱动电机21的具体形式不做限定。
40.需要说明的是，本实施例设置两组相同的传动箱，并且如图1所示对称设置，使得驱动组件驱动传动组件转动，传动组件进而驱动导轮12转动，多个导轮12并列设置形成传送轨道。
41.需要说明的是，载板固定架20的尺寸可以根据实际生产fcbga载板，在fcbga载板的尺寸较大时，可以调整两个传动箱的位置，从而实现不同传送结构的宽度调整。本实施例在载板固定架20中设置载板固定架盖板23，能够用于安装fcbga载板，而如图3所示，承载块27是向外延伸的机构，这就使得承载块27安装在导轮12时，fcbga载板与导轮12位置相互错开，载板固定架20为中空结构可以确保fcbga载板与药水直接接触，不会受到导轮12阻挡，使得fcbga载板与药水充分接触，也能够避免划伤fcbga载板，有效提升fcbga载板的生产良率。
42.另外，在一实施例中，参照图4，载板固定架20还设置有固定扣24，固定扣24用于将载板固定架盖板23锁紧于载板固定架20。
43.需要说明的是，本实施例的载板固定架盖板23在生产时盖在fcbga载板上，载板固定架20在多个导轮12间传送时难免会发生震动，为了确保载板固定架盖板23的稳定性，本实施例还设置有固定扣24，在完成载板固定架盖板23的安装后通过固定扣24对载板固定架盖板23进行固定，确保fcbga载板在传送过程中的稳定性。
44.需要说明的是，固定扣24可以设置在载板固定架20的两侧，每一侧可以是任意数量，能够实现fcbga载板的固定即可。
45.另外，在一实施例中，参照图1和图2，传动箱包括：
46.传动箱盖板10，两个传动箱的传动箱盖板10互相位于对侧；
47.传动箱外壳25，传动箱盖板10通过传动箱固定螺丝11固定安装于传动箱外壳25。
48.需要说明的是，由于传送组件通常包括齿轮和轴承等结构，本实施例的传动箱包括传动箱盖板10和传动箱外壳25，在传动箱外壳25的开口一侧用传动箱固定螺丝11安装传动箱盖板10，可以在传动箱盖板10上安装导轮12和传动轴承1等零件，在传动箱外壳25内安装齿轮等组件，并且在对应位置设置通孔，便于传动组件与驱动组件相连接，通过在传动箱外壳25和传动箱盖板10形成的空腔结构内安装传动零件，能够对零件进行保护，提高传送结构的使用寿命。
49.需要说明的是，参照图1，本实施例两个传动箱的传动箱盖板10相对设置，便于安装的导轮12同时朝向内侧以形成轨道。
50.另外，在一实施例中，参照图2和图3，传动组件包括：
51.多个传动轴承1，传动轴承1穿设于传动箱盖板10，多个传动轴承1并列设置，传动轴承1与传动齿轮固定连接，相邻的两个传动齿轮相互啮合；
52.主传动轴15，主传动轴15与位于中间的传动齿轮固定连接，驱动组件用于驱动主传动轴15转动。
53.需要说明的是，传动轴承1用于驱动传动齿轮，而驱动组件在传动箱的靠外侧，因此传动轴承1需要穿过传动箱盖板10。多个传动轴承1在传动箱盖板10中可以等距离设置，确保相同尺寸的传动齿轮能够相互啮合实现传动。
54.需要说明的是，主传动轴15穿过传动箱外壳25，与位于传动箱外壳25内部的传动齿轮连接以实现传动。在设置有多个相互啮合的传动齿轮时，可以只对其中一个传动齿轮进行驱动，即可实现全部传动齿轮的驱动，如图2所示，主传动轴15与位于中间的传动齿轮固定连接，在驱动该传动齿轮转动时，在啮合连接关系下，相邻的传动齿轮也同时转动，从而实现传动轴承1和导轮12的驱动。
55.另外，在一实施例中，参照图2和图3，传动齿轮包括导轮传动齿轮2，传动组件还包括：
56.导轮传动轴3，导轮传动轴3设置于传动轴承1中，导轮传动轴3的一端与导轮传动齿轮2固定连接，导轮传动轴3的另一端与导轮12固定连接。
57.需要说明的是，本实施例通过设置多个相互啮合的传动齿轮实现传送结构的传动，而导轮12的结构是可以根据实际需求调整的，在导轮12的直径大于传动齿轮的直径时，为了相邻的导轮12互不干涉，可以间隔传动轴18设置导轮12，例如图2所示，两个导轮12之间间隔一个传动轴承1，基于此，本实施例将传动轴承1分为导轮传动轴3，即安装有导轮12的传动轴承1，对应的传动齿轮为导轮传动齿轮2，导轮传动轴3的一端与导轮传动齿轮2固定连接，导轮传动轴3的另一端与导轮12固定连接，确保导轮12之间的距离不会相互干涉，也不会由于距离过大影响载板固定架20的传输。
58.需要说明的是，导轮12可以通过导轮固定螺丝13安装的导轮传动轴3中，以实现导轮12的可拆装。
59.另外，在一实施例中，参照图2和图3，传动齿轮还包括间隔传动齿轮19，导轮传动齿轮2和间隔传动齿轮19交替设置且相互啮合，传动组件还包括：
60.间隔传动轴18，间隔传动轴18设置于传动轴承1中，间隔传动轴18与导轮传动轴3
交替设置，间隔传动轴18的一端与间隔传动齿轮19固定连接，间隔传动轴18的另一端安装有固定盖板14。
61.需要说明的是，根据上述实施例的描述，传动箱盖板10上有部分的传动轴是不安装到导轮12的，即本实施例的间隔传动齿轮19和间隔传动轴18，如图2所示，间隔传动轴18的一端与间隔传动齿轮19固定连接，间隔传动轴18的另一端由于不连接导轮12，为了避免轴承受损，本实施例在间隔传动轴18的另一端设置有固定盖板14。在更换导轮12直径后，也可以在每个间隔传动轴18中取出固定盖板14再安装导轮12，导轮传动轴3和间隔传动轴18是根据其是否用于安装导轮12进行区分的，本领域技术人员有动机根据实际需求确定从传动箱盖板10的传动轴承1中确定具体的导轮传动轴3和间隔传动轴18。
62.另外，在一实施例中，参照图2和图3，驱动组件包括：
63.驱动电机21；
64.蜗杆齿轮8，蜗杆齿轮8与主传动轴15相连接；
65.蜗杆4，蜗杆4连接于驱动电机21，蜗杆4中设置有蜗杆螺纹26，蜗杆螺纹26与蜗杆齿轮8啮合。
66.需要说明的是，由于本实施例的传动箱为对称设置的两个独立且相同的结构，因此可以设置两个驱动电机21，每个驱动电机21连接一个蜗杆4，每个蜗杆4通过蜗杆齿轮8连接对应传动箱的主传动轴15，从而实现独立驱动。在实际实用过程中，由于每一侧的传动箱的各个结构是相同的，只需要将两个驱动电机21设置成相同的驱动功率，即可确定两侧的导轮12以相同的速度转动，从而实现载板固定架20的匀速传送。
67.需要说明的是，蜗杆4中设置蜗杆螺纹26，能够在蜗杆4转动时通过蜗杆螺纹26驱动蜗杆齿轮8转动，从而驱动主传动轴15转动。
68.另外，在一实施例中，参照图2和图3，驱动组件至少包括两个蜗杆4，两个蜗杆4之间通过联轴器22相连接。
69.需要说明的是，本实施例的传送结构为可组装的结构，如图1和图2所示，在每一侧设置多个传动箱，将传动箱相互拼接形成更长行程的传送装置，再在每一侧通过联轴器22连接多根蜗杆4，确保同一侧的蜗杆4同步转动，再在每个蜗杆4连接一个传动箱的主传动轴15和蜗杆齿轮8，使得传送结构能够适用于不同的生产需求。
70.另外，在一实施例中，参照图2，驱动组件还包括：
71.蜗杆支撑架5，蜗杆支撑架5包括蜗杆4安装孔和固定孔9，固定孔9用于固定蜗杆支撑架5，蜗杆4安装孔中设置有蜗杆轴承6，蜗杆4通过蜗杆轴承6安装于蜗杆4安装孔。
72.需要说明的是，本实施例在蜗杆支撑架5中设置蜗杆4安装孔，在蜗杆4安装孔中设置对应尺寸的蜗杆轴承6，确保蜗杆4能够安装在蜗杆支撑架5中且可以顺利转动。
73.需要说明的是，固定孔9可以设置有螺栓等连接件，从而将蜗杆支撑架5安装在生产线上。
74.另外，在一实施例中，参照图2和图3，主传动轴15设置有蜗杆齿轮固定盖7和蜗杆齿轮限位环17，蜗杆齿轮8位于蜗杆齿轮固定盖7和蜗杆齿轮限位环17之间。
75.需要说明的是，蜗杆齿轮8在传动过程中可能会发生移动，为了避免蜗杆齿轮8脱落，本实施例在主传动轴15设置有蜗杆齿轮固定盖7和蜗杆齿轮限位环17，将蜗杆齿轮8设置在蜗杆齿轮固定盖7和蜗杆齿轮限位环17之间，从而对蜗杆齿轮8实现限位。
76.需要说明的是，蜗杆齿轮限位环17可以通过蜗杆齿轮限位环固定螺丝16安装在主传动轴15，也可以通过其他方式固定，在此不多做限定。
77.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的实施方式后，将容易想到本技术的其它实施方案。本技术旨在涵框本技术的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本技术的一般性原理并包括本技术未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。
78.应当理解的是，本技术并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本技术的范围仅由所附的权利要求来限制。
79.以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型并不局限于上述实施方式，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本实用新型权利要求所限定的范围内。

技术特征：
1.一种无接触水平线传送结构，其特征在于，包括：驱动组件；两个对称设置的传动箱，所述传动箱设置有传动组件，所述传动组件与所述驱动组件相连接，每个所述传动箱的所述传动组件还连接有多个导轮，所述驱动组件用于驱动所述传动组件，从而驱动所述导轮转动；载板固定架，所述载板固定架设置有载板固定架盖板，所述载板固定架盖板用于固定fcbga载板，所述载板固定架通过两侧外延的承载块安装于所述导轮。2.根据权利要求1所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述载板固定架还设置有固定扣，所述固定扣用于将所述载板固定架盖板锁紧于所述载板固定架。3.根据权利要求1所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述传动箱包括：传动箱盖板，两个所述传动箱的所述传动箱盖板互相位于对侧；传动箱外壳，所述传动箱盖板通过传动箱固定螺丝固定安装于所述传动箱外壳。4.根据权利要求3所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述传动组件包括：多个传动轴承，所述传动轴承穿设于所述传动箱盖板，多个所述传动轴承并列设置，所述传动轴承与传动齿轮固定连接，相邻的两个所述传动齿轮相互啮合；主传动轴，所述主传动轴与位于中间的所述传动齿轮固定连接，所述驱动组件用于驱动所述主传动轴转动。5.根据权利要求4所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述传动齿轮包括导轮传动齿轮，所述传动组件还包括：导轮传动轴，所述导轮传动轴设置于传动轴承中，所述导轮传动轴的一端与所述导轮传动齿轮固定连接，所述导轮传动轴的另一端与所述导轮固定连接。6.根据权利要求5所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述传动齿轮还包括间隔传动齿轮，所述导轮传动齿轮和间隔传动齿轮交替设置且相互啮合，所述传动组件还包括：间隔传动轴，所述间隔传动轴设置于传动轴承中，所述间隔传动轴与所述导轮传动轴交替设置，所述间隔传动轴的一端与所述间隔传动齿轮固定连接，所述间隔传动轴的另一端安装有固定盖板。7.根据权利要求4所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，驱动组件包括：驱动电机；蜗杆齿轮，所述蜗杆齿轮与所述主传动轴相连接；蜗杆，所述蜗杆连接于所述驱动电机，所述蜗杆中设置有蜗杆螺纹，所述蜗杆螺纹与所述蜗杆齿轮啮合。8.根据权利要求7所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述驱动组件至少包括两个所述蜗杆，两个所述蜗杆之间通过联轴器相连接。9.根据权利要求7所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述驱动组件还包括：蜗杆支撑架，所述蜗杆支撑架包括蜗杆安装孔和固定孔，所述固定孔用于固定所述蜗杆支撑架，所述蜗杆安装孔中设置有蜗杆轴承，所述蜗杆通过所述蜗杆轴承安装于所述蜗
杆安装孔。10.根据权利要求7所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述主传动轴设置有蜗杆齿轮固定盖和蜗杆齿轮限位环，所述蜗杆齿轮位于所述蜗杆齿轮固定盖和所述蜗杆齿轮限位环之间。

技术总结
本实用新型提供了一种无接触水平线传送结构，包括：驱动组件；两个对称设置的传动箱，所述传动箱设置有传动组件，所述传动组件与所述驱动组件相连接，每个所述传动箱的所述传动组件还连接有多个导轮，所述驱动组件用于驱动所述传动组件，从而驱动所述导轮转动；载板固定架，所述载板固定架设置有载板固定架盖板，所述载板固定架盖板用于固定FCBGA载板，所述载板固定架通过两侧外延的承载块安装于所述导轮。根据本实施例的技术方案，FCBGA载板安装在载板固定架中，通过导轮驱动载板固定架移动，FCBGA载板与传送结构无直接接触，有效避免机械擦伤；由于承载块为载板固定架两侧的外延结构，因此FCBGA载板上下均无遮挡，不会对药水产生阻挡，更有效的处理板面。更有效的处理板面。更有效的处理板面。


技术研发人员：陈先明 郭强宇 宝玥 陆帅龙 顾佩圣
受保护的技术使用者：南通越亚半导体有限公司
技术研发日：2023.03.23
技术公布日：2023/9/3