一种镀膜检测用基片的制作方法

1.本实用新型涉及一种镀膜检测用基片。


背景技术：

2.在超真空环境中，通过蒸发源对样品镀膜时，一般是在圆形的硅片上进行膜层镀设的，而用于对膜层进行检测的设备则只能接受长条形的金属片，这就导致在圆形硅片上镀设的膜层受限于形状难以接受检测。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种镀膜检测用基片，既能够满足镀膜设备对镀膜基片的形状要求，又能够满足检测设备对检测基片的形状要求。
4.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
5.一种镀膜检测用基片，包括圆形的安装板、开设于所述安装板上的且呈条形的缺口、设于所述缺口周向的插槽、可沿第一方向拔插地设于所述插槽中的且用于封堵所述缺口的检测板、设于所述插槽中的且用于锁紧所述检测板的锁紧机构；
6.所述锁紧机构包括可沿所述第一方向滑动地设于所述插槽中的滑动件、开设于所述滑动件上的导向槽、一端球面铰接在所述插槽中的拉杆、设于所述拉杆另一端的且位于所述导向槽中的钩部、一端连接在所述滑动件上的拉簧，所述拉簧的另一端连接在所述插槽中，所述拉簧和所述拉杆分别位于所述滑动件的外端和内端；
7.所述导向槽包括依次连通的导入段、锁止段和导出段，所述导入段的进口端和所述导出段的出口端相互连通；
8.所述锁紧机构还包括可沿第二方向伸缩地设于所述滑动件上的锁舌，所述检测板一侧设有用于被所述锁舌伸入的凹部。
9.优选地，所述导入段包括沿槽向倾斜设置的导入槽底，所述导出段包括沿槽向倾斜设置的导出槽底，所述锁止段包括锁止槽底；
10.所述导入槽底的出口端高于所述锁止槽底，所述锁止槽底高于所述导出槽底的入口端，所述导出槽底的出口端高于所述导入槽底的入口端。
11.优选地，所述锁止段朝向所述拉杆的铰接端弧形凸起。
12.优选地，所述导出段为直线段，所述导入段为沿远离所述导出段的方向弧形凸起的曲线段。
13.优选地，所述拉簧、所述滑动件和所述拉杆沿所述第一方向依次排列。
14.优选地，所述滑动件、所述拉杆和所述拉簧分别位于所述缺口同侧的所述插槽中。
15.优选地，所述第二方向垂直于所述第一方向，两者分别平行于所述安装板的端面。
16.优选地，所述锁舌沿插入方向的后端设有第一导向斜面，所述检测板沿所述插入方向的前端设有用于配合所述第一导向斜面的第二导向斜面。
17.优选地，所述锁舌沿插入方向的前端设有第三导向斜面，所述凹部沿所述插入方
向的前端设有用于配合所述第三导向斜面的第四导向斜面。
18.优选地，所述第一方向平行于所述安装板的径向。
19.由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型镀膜检测用基片，通过设置圆形的安装板能够满足镀膜设备对镀膜基片的形状要求；通过设置条形的检测板能够满足检测设备对检测基片的形状要求；通过在插槽中设置锁紧机构，能够从侧面按压检测板以实现检测板相对安装板的插入和取出，避免划伤膜层，保证检测结果的准确性。
附图说明
20.附图1为根据本实用新型具体实施例中安装板的结构示意图；
21.附图2为附图1的右视图；
22.附图3为根据本实用新型具体实施例中安装板的结构示意图一(滑动件位于初始位置)；
23.附图4为根据本实用新型具体实施例中安装板的结构示意图二(滑动件位于锁止位置)。
24.其中：1、安装板；11、缺口；12、插槽；
25.2、检测板；21、凹部；211、第四导向斜面；22、第二导向斜面；
26.3、锁紧机构；31、滑动件；32、导向槽；321、导入段；322、锁止段；323、导出段；324、第一台阶；325、第二台阶；326、第三台阶；33、拉杆；34、拉簧；35、锁舌；351、第一导向斜面；352、第三导向斜面。
具体实施方式
27.下面结合具体实施例和附图来对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。
28.在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型实施例的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
29.在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“内”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。
30.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
31.在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。
32.在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
33.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型实施例的不同结构。为了简化本实用新型实施例的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型实施例。此外，本实用新型实施例可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。
34.参见图1-2所示，本实施例提供一种镀膜检测用基片，包括圆形的安装板1、开设于安装板1上的且呈条形的缺口11、设于该缺口11周向的插槽12，该安装板1的直径可以选取4英寸、6英寸或8英寸等。由于该缺口11仅有三条边，该插槽12由三段依次连接的直线槽组成。
35.上述镀膜检测用基片还包括可沿第一方向(即图1中的箭头方向)拔插地设于插槽12中的且用于封堵缺口11的检测板2、设于插槽12中的且用于锁紧检测板2的锁紧机构3。该检测板2同样为条形且为金属材质，第一方向平行于安装板1的径向。
36.根据实际测试需要，可以在安装板1上设置多个缺口11，以及多个用于检测的检测板2，多个检测板2能够一一对应地插设于多个缺口11中，多个缺口11沿安装板1的圆周方向间隔排列。
37.参见图3-4所示，上述锁紧机构3包括可沿第一方向往返滑动地设于插槽12中的滑动件31、开设于滑动件31上的导向槽32、一端球面铰接在插槽12中的拉杆33、设于拉杆33另一端的且位于导向槽32中的钩部、一端连接在滑动件31上的拉簧34，拉簧34的另一端连接在插槽12中，拉簧34和拉杆33分别位于滑动件31的外端和内端。
38.在本实施例中，滑动件31、拉杆33和拉簧34分别位于缺口11同侧的插槽12中。参见图3所示，滑动件31、拉杆33和拉簧34分别位于缺口11上侧的插槽12中；拉簧34、滑动件31和拉杆33沿第一方向依次排列。拉杆33的左端球面铰接在插槽12中，拉杆33右端的钩部则位于导向槽32中；拉簧34的左端连接在滑动件31上，拉簧34的右端则连接在插槽12中。
39.参见图3-4所示，上述导向槽32包括依次连通的导入段321、锁止段322和导出段323，导入段321的进口端和导出段323的出口端相互连通。
40.上述锁紧机构3还包括可沿第二方向伸缩地设于滑动件31上的锁舌35，检测板2一侧设有用于被锁舌35伸入的凹部21。在本实施例中，第二方向(即图3中的箭头方向)垂直于第一方向，两者分别平行于安装板1的端面。
41.按压检测板2的右侧面使检测板2沿第一方向插入缺口11，锁舌35先进入凹部21中，检测板2再带着滑动件31沿第一方向同步滑动，使拉杆33的钩部沿导入段321进入锁止段322中，锁紧机构3完成对检测板2的锁止，此时检测板2的左侧面与左侧的插槽12槽底之间间隔设置；
42.再次按压检测板2的右侧面使检测板2沿第一方向继续滑动较短的距离，使拉杆33
的钩部从锁止段322进入导出段323中，接着放开检测板2，检测板2在拉簧34的作用下沿第一方向的反向滑动，拉动检测板2的右侧使其完成从缺口11中脱出。
43.导入段321包括沿槽向倾斜设置的导入槽底，导出段323包括沿槽向倾斜设置的导出槽底，锁止段322包括锁止槽底。在本实施例中，导入槽底的出口端高于锁止槽底，锁止槽底高于导出槽底的入口端，导出槽底的出口端高于导入槽底的入口端。通过这个设置，能够使拉杆33的钩部始终沿着导入段321-锁止段322-导出段323的路线往复运动。
44.参见图3所示，导入槽底右侧的出口端和锁止槽底之间设有第一台阶324，锁止槽底和导出槽底右侧的入口端之间设有第二台阶325，导出槽底左侧的出口端和导入槽底左侧的入口端之间设有第三台阶326。设置第一台阶324用于避免锁止段322中的钩部进入导入段321中，设置第二台阶325用于避免导出段323中的钩部进入锁止段322中，设置第三台阶326能够避免检测板2刚插入时钩部直接进入导出段323中。
45.在本实施例中，导出段323为直线段，导入段321为沿远离导出段323的方向弧形凸起的曲线段，锁止段322则朝向拉杆33的铰接端弧形凸起。
46.参见图3所示，在本实施例中，锁舌35沿插入方向(即第一方向)的后端(即图3中的右端)设有第一导向斜面351，检测板2沿插入方向的前端(即图3中的左端)设有用于配合第一导向斜面351的第二导向斜面22，第一导向斜面351和第二导向斜面22相互平行，且分别沿左下至右上方向布置。通过这个设置，当检测板2插入缺口11时，在第一导向斜面351和第二导向斜面22的配合下，有助于锁舌35缩回滑动件31中以使得检测板2能够进入缺口11。
47.参见图3所示，在本实施例中，锁舌35沿插入方向(即第一方向)的前端(即图3中的左端)设有第三导向斜面352，凹部21沿插入方向的前端(即图3中的左端)设有用于配合第三导向斜面352的第四导向斜面211，第三导向斜面352和第四导向斜面211相互平行，且分别沿左上至右下方向布置。通过这个设置，当检测板2从缺口11中拔出时，在第三导向斜面352和第四导向斜面211的配合下，有助于锁舌35缩回滑动件31中以使得检测板2能够滑出缺口11。
48.以下具体阐述下本实施例的工作过程：
49.首先，按压检测板2的右侧面使检测板2沿第一方向插入缺口11，锁舌35先缩回再进入凹部21中，检测板2再带着滑动件31沿第一方向同步滑动，使拉杆33的钩部沿导入段321进入锁止段322中，此时锁紧机构3完成对检测板2的锁止；
50.接着，将安装板1放入镀膜设备中进行膜层镀设，完成后取出安装板1；
51.然后，再次按压检测板2的右侧面使检测板2沿第一方向继续滑动较短的距离，使拉杆33的钩部从锁止段322进入导出段323中，接着放开检测板2，检测板2在拉簧34的作用下沿第一方向的反向滑动，拉动检测板2的右侧使其完全从缺口11中脱出；
52.最后，将检测板2放入检测设备中进行检测。
53.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种镀膜检测用基片，其特征在于：包括圆形的安装板、开设于所述安装板上的且呈条形的缺口、设于所述缺口周向的插槽、可沿第一方向拔插地设于所述插槽中的且用于封堵所述缺口的检测板、设于所述插槽中的且用于锁紧所述检测板的锁紧机构；所述锁紧机构包括可沿所述第一方向滑动地设于所述插槽中的滑动件、开设于所述滑动件上的导向槽、一端球面铰接在所述插槽中的拉杆、设于所述拉杆另一端的且位于所述导向槽中的钩部、一端连接在所述滑动件上的拉簧，所述拉簧的另一端连接在所述插槽中，所述拉簧和所述拉杆分别位于所述滑动件的外端和内端；所述导向槽包括依次连通的导入段、锁止段和导出段，所述导入段的进口端和所述导出段的出口端相互连通；所述锁紧机构还包括可沿第二方向伸缩地设于所述滑动件上的锁舌，所述检测板一侧设有用于被所述锁舌伸入的凹部。2.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述导入段包括沿槽向倾斜设置的导入槽底，所述导出段包括沿槽向倾斜设置的导出槽底，所述锁止段包括锁止槽底；所述导入槽底的出口端高于所述锁止槽底，所述锁止槽底高于所述导出槽底的入口端，所述导出槽底的出口端高于所述导入槽底的入口端。3.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述锁止段朝向所述拉杆的铰接端弧形凸起。4.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述导出段为直线段，所述导入段为沿远离所述导出段的方向弧形凸起的曲线段。5.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述拉簧、所述滑动件和所述拉杆沿所述第一方向依次排列。6.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述滑动件、所述拉杆和所述拉簧分别位于所述缺口同侧的所述插槽中。7.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述第二方向垂直于所述第一方向，两者分别平行于所述安装板的端面。8.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述锁舌沿插入方向的后端设有第一导向斜面，所述检测板沿所述插入方向的前端设有用于配合所述第一导向斜面的第二导向斜面。9.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述锁舌沿插入方向的前端设有第三导向斜面，所述凹部沿所述插入方向的前端设有用于配合所述第三导向斜面的第四导向斜面。10.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述第一方向平行于所述安装板的径向。

技术总结
本实用新型公开了一种镀膜检测用基片，包括安装板、开设于安装板上的缺口、设于缺口周向的插槽、可拔插地设于插槽中的检测板、设于插槽中的锁紧机构；锁紧机构包括可滑动地设于插槽中的滑动件、开设于滑动件上的导向槽、一端球面铰接在插槽中的拉杆、设于拉杆另一端的且位于导向槽中的钩部、一端连接在滑动件上的拉簧，拉簧的另一端连接在插槽中；导向槽包括依次连通的导入段、锁止段和导出段，导入段的进口端和导出段的出口端相互连通；锁紧机构还包括可沿第二方向伸缩地设于滑动件上的锁舌，检测板一侧设有用于被锁舌伸入的凹部。本实用新型镀膜检测用基片，既能够满足镀膜设备对镀膜基片的形状要求，又能够满足检测设备对检测基片的形状要求。基片的形状要求。基片的形状要求。


技术研发人员：张磊
受保护的技术使用者：格物致寒（苏州）科学仪器有限公司
技术研发日：2023.05.30
技术公布日：2023/9/3