一种硅片的化学镀镍钯金装置的制作方法

1.本发明涉及镀镍钯金技术领域，具体为一种硅片的化学镀镍钯金装置。


背景技术：

2.镍钯金，是一种非选择性的表面加工工艺，也是一种最新的表面处理技术，其原理是在零件表面镀上一层镍、钯和金，主要的工艺流程包括：除油—微蚀—预浸—活化—镀镍—镀钯—镀金—烘干，目前均采用镀池，进行镀镍、镀钯和镀金，目前现有的镀池如授权公告号为cn216514123u，授权公告日为2022年05月13日公开的一种用于印刷电路板的化学镀镍钯金装置，涉及电路板领域，本实用新型包括镀箱，镀箱的两侧均安装有第一电机，第一电机的输出端通过第一转轴连接有转盘，转盘的一侧通过连杆连接有网框，网框的内部固定有多个分隔块。本实用新型通过设置有取料组件，在取出电路板时，使用者先将顶盖取下，之后第二电机运行让收卷辊转动收卷牵引索，从而可拉动抬升架向上，随着抬升架向上，其底端的横杆即可将处于多个分隔块之间的电路板推起，让电路板沿着分隔块向上移动露出，以便使用者拿取，不需要使用者手动探入镀液中取料，更加安全方便，避免了电路板取出方式不够便捷安全的情况。
3.上述现有技术在使用过程中还存在以下问题，目前在使用镀箱进行工作时，需要对镀箱内的试剂进行加热，然后控制试剂的温度保持在一定的范围内，在对硅片进行镀镍钯金工作时，为了防止热量的散失，一般会在镀箱上端设置顶盖，但是在将硅片取出以及放入前，均需要先手动将顶盖打开，在将硅片从一个镀箱取出后，硅片上会滴落粘连的试剂，此时不能立马盖上顶盖，会导致热量散失，且在对硅片取出以及放入时，容易溅起试剂，此时顶盖处于打开的状态，试剂有可能会溅至一侧的工作人员的身上。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本发明提供了一种硅片的化学镀镍钯金装置，解决目前现有的镀箱，在将硅片取出以及放入时，镀箱上端处于敞开的状态，试剂有可能会溅出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种硅片的化学镀镍钯金装置，包括镀箱主体和位于镀箱主体内用于放置硅片的挂篮，镀箱主体上端两侧均固定安装有u型架，两个所述u型架之间转动设置有控制挂篮移动的收纳机构，所述镀箱主体内滑动连接有矩形框，所述矩形框上端转动设置有密封机构，两个所述u型架之间转动设置控制矩形框移动的转动机构，所述转动机构和收纳机构之间设置有控制其转动的连接机构，所述连接机构包括用于控制收纳机构转动的第一转辊和用于控制转动机构转动的第二转辊，所述第一转辊外侧开设有相互连通的第一横槽和第一螺旋槽，所述第二转辊外侧开设有相互连通的第二横槽和第二螺旋槽，所述第一转辊和第二转辊之间设置有固定块，所述固定块两侧分别固定连接有第一滑块和第二滑块，所述第一滑块与第一横槽和第一螺旋槽滑动连接，所述第二滑块与第二横槽和第二螺旋槽滑动连接，两个所述u型架之间设置有控制固定块移动
的动力机构，所述矩形框内侧设有对密封机构进行限位的插接机构，所述镀箱主体上端一侧固定安装有对密封机构进行推平的固定机构。
6.优选地，所述密封机构包括两个对称设置的密封转板，所述密封转板内贯穿固定有转杆，所述转杆与矩形框转动连接，所述转杆一端固定连接有控制密封转板保持水平的弹簧转轴，所述弹簧转轴与矩形框转动连接。
7.优选地，所述收纳机构包括与两个u型架转动连接的固定杆，所述固定杆上固定套设有两个第一绕线盘，所述第一绕线盘上固定缠绕有拉绳，所述拉绳下端与矩形框连接，所述第一转辊固定套设在固定杆外侧。
8.优选地，所述转动机构包括与两个u型架转动连接的连接杆，所述连接杆上固定套设有第二绕线盘，所述第二绕线盘上固定缠绕有了第一连接绳，所述第一连接绳下端与挂篮固定连接，所述第二转辊固定套设在连接杆外侧。
9.优选地，所述动力机构包括与两个u型架转动连接的螺纹杆，其中一个所述u型架上固定安装有电机，所述电机输出端与螺纹杆一端固定连接，所述固定块与螺纹杆螺纹连接，两个所述u型架之间固定设置有限位杆，所述固定块与限位杆滑动连接。
10.优选地，所述插接机构包括对称开设在矩形框两侧壁内的滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑板，两个所述拉绳下端穿过矩形框与位置对应的滑板固定连接，所述滑板下端固定连接有第二连接绳，所述滑槽内贯穿滑动连接有限位插杆，所述转杆一端开设有与限位插杆滑动连接的限位插口，所述限位插杆与滑槽侧壁之间固定设置有连接弹簧，所述第二连接绳一端穿过连接弹簧与限位插杆固定连接。
11.优选地，所述固定机构包括固定安装在镀箱主体上端的安装板，所述安装板一侧开设有安装槽，所述安装槽一侧滑动连接有挤压块，所述安装槽内固定安装有电磁铁，所述挤压块贯穿电磁铁固定连接有铁块，所述铁块与安装槽之间固定设置有多组复位弹簧。
12.优选地，所述挤压块外端下侧为弧形设置。
13.优选地，所述镀箱主体一侧设置有观察窗。
14.与现有技术对比，本发明具备以下有益效果：
15.1、本发明通过在镀箱主体内滑动连接的矩形框上端转动设置密封机构，通过控制第一滑块与第一横槽和第一螺旋槽的滑动，以及第二滑块与第二横槽和第二螺旋槽的滑动，在需要将装有硅片的挂篮放入镀箱主体内时，可使得矩形框带动密封机构上移，上移过程中通过挂篮的挤压将密封机构打开，然后控制挂篮下移，挂篮还未与试剂接触时，密封机构自动关闭，避免溅起的试剂溅出，工作结束后，可控制挂篮上移，此时密封机构处于关闭状态，避免上移溅起的试剂溅出，然后待试剂滴落结束后，再使得矩形框带动密封机构下移，密封机构再次被挤压打开，然后再次自动关闭。
16.2、本发明通过在矩形框内设置密封转板，可防止镀箱主体内的热量散失，密封转板内的转杆与矩形框转动连接，在转杆一端固定连接控制转板保持水平的弹簧转轴，使得挂篮在移动过程中，将密封转板打开后，在没有外界阻力时密封转板可自动关闭，防止热量散失，以及防止试剂溅出。
17.3、本发明通过在两个u型架之间转动连接螺纹杆，通过启动电机工作，可同时控制第一滑块和第二滑块的移动，来带动挂篮与矩形框的移动，实现试剂不溅至外界，以及尽量减少热量的散失。
附图说明
18.图1为本发明整体正视结构示意图；
19.图2为本发明整体俯视结构示意图；
20.图3为本发明挂篮收纳时的整体正视剖面结构示意图；
21.图4为本发明挂篮松下时的整体正视剖面结构示意图；
22.图5为图3中a的放大结构示意图；
23.图6为图4中b的放大结构示意图；
24.图7为本发明密封转板的俯视剖面结构示意图；
25.图8为图7中c的放大结构示意图；
26.图9为本发明密镀箱主体的侧剖面结构示意图；
27.图10为图9中d的放大结构示意图；
28.图11为本发明固定块与第一滑块和第二滑块的连接结构示意图。
29.图中：1、镀箱主体；2、u型架；3、电机；4、矩形框；5、密封转板；6、螺纹杆；7、固定杆；8、连接杆；9、第一绕线盘；10、第二转辊；11、第一横槽；12、第一螺旋槽；13、第二绕线盘；14、第一转辊；15、第二横槽；16、观察窗；17、第一滑块；18、固定块；19、第二螺旋槽；20、第二滑块；21、拉绳；22、第一连接绳；23、挂篮；24、转杆；25、滑板；26、滑槽；27、连接弹簧；28、限位插杆；29、限位插口；30、第二连接绳；31、铁块；32、安装板；33、挤压块；34、安装槽；35、复位弹簧；36、电磁铁；37、弹簧转轴；38、限位杆。
具体实施方式
30.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
31.请参阅图1-图11，一种硅片的化学镀镍钯金装置，包括镀箱主体1和位于镀箱主体1内用于放置硅片的挂篮23，上述结构为现有技术，镀箱主体1一侧设置有观察窗16，镀箱主体1上端两侧均固定安装有u型架2，两个u型架2之间转动设置有控制挂篮23移动的收纳机构，镀箱主体1内滑动连接有矩形框4，矩形框4上端转动设置有密封机构，两个u型架2之间转动设置控制矩形框4移动的转动机构，转动机构和收纳机构之间设置有控制其转动的连接机构，连接机构包括用于控制收纳机构转动的第一转辊14和用于控制转动机构转动的第二转辊10，收纳机构包括与两个u型架2转动连接的固定杆7，固定杆7上固定套设有两个第一绕线盘9，第一绕线盘9上固定缠绕有拉绳21，拉绳21下端与矩形框4连接，第一转辊14固定套设在固定杆7外侧，转动机构包括与两个u型架2转动连接的连接杆8，连接杆8上固定套设有第二绕线盘13，第二绕线盘13上固定缠绕有了第一连接绳22，第一连接绳22下端与挂篮23固定连接，第二转辊10固定套设在连接杆8外侧，第一转辊14外侧开设有相互连通的第一横槽11和第一螺旋槽12，第二转辊10外侧开设有相互连通的第二横槽15和第二螺旋槽19，第一转辊14和第二转辊10之间设置有固定块18，固定块18两侧分别固定连接有第一滑块17和第二滑块20，第一滑块17与第一横槽11和第一螺旋槽12滑动连接，第二滑块20与第二横槽15和第二螺旋槽19滑动连接，通过控制第一滑块17与第一横槽11和第一螺旋槽12的滑动，以及第二滑块20与第二横槽15和第二螺旋槽19的滑动，在需要将装有硅片的挂篮23放入镀箱主体1内时，可使得矩形框4带动密封机构上移，上移过程中通过挂篮23的挤压将
密封机构打开，然后控制挂篮23下移，挂篮23还未与试剂接触时，密封机构自动关闭，避免溅起的试剂溅出，工作结束后，可控制挂篮23上移，此时密封机构处于关闭状态，避免上移溅起的试剂溅出，然后待试剂滴落结束后，再控制挂篮23继续上移，再使得矩形框4带动密封机构下移，密封机构再次被挤压打开，然后再次自动关闭，
32.两个u型架2之间设置有控制固定块18移动的动力机构，矩形框4内侧设有对密封机构进行限位的插接机构，镀箱主体1上端一侧固定安装有对密封机构进行推平的固定机构。
33.作为本发明的进一步方案，密封机构包括两个对称设置的密封转板5，可防止镀箱主体1内的热量散失，密封转板5内贯穿固定有转杆24，转杆24与矩形框4转动连接，转杆24一端固定连接有控制密封转板5保持水平的弹簧转轴37，弹簧转轴37与矩形框4转动连接，使得挂篮23在移动过程中，将密封转板5打开后，在没有外界阻力时密封转板5可自动关闭，防止热量散失，以及防止试剂溅出。
34.作为本发明的进一步方案，动力机构包括与两个u型架2转动连接的螺纹杆6，其中一个u型架2上固定安装有电机3，电机3输出端与螺纹杆6一端固定连接，固定块18与螺纹杆6螺纹连接，两个u型架2之间固定设置有限位杆38，固定块18与限位杆38滑动连接，通过启动电机3工作，可同时控制第一滑块17和第二滑块20的移动，来带动挂篮23与矩形框4的移动，实现试剂不溅至外界，以及尽量减少热量的散失。
35.作为本发明的进一步方案，插接机构包括对称开设在矩形框4两侧壁内的滑槽26，滑槽26内滑动连接有滑板25，两个拉绳21下端穿过矩形框4与位置对应的滑板25固定连接，滑板25下端固定连接有第二连接绳30，滑槽26内贯穿滑动连接有限位插杆28，转杆24一端开设有与限位插杆28滑动连接的限位插口29，限位插杆28与滑槽26侧壁之间固定设置有连接弹簧27，第二连接绳30一端穿过连接弹簧27与限位插杆28固定连接，使得在不工作时，两个密封转板5处于水平状态，通过限位插杆28与限位插口29的连接，对密封转板5进行限位，使得密封转板5一直处于水平状态，来继续密封工作，避免有外界物品掉落至镀箱主体1内。
36.作为本发明的进一步方案，固定机构包括固定安装在镀箱主体1上端的安装板32，安装板32一侧开设有安装槽34，安装槽34一侧滑动连接有挤压块33，挤压块33外端下侧为弧形设置，安装槽34内固定安装有电磁铁36，挤压块33贯穿电磁铁36固定连接有铁块31，铁块31与安装槽34之间固定设置有多组复位弹簧35，通过电磁铁36工作，可控制拉动挤压块33移动，来将密封转板5压至水平状态，便于限位插杆28与限位插口29的连接。
37.工作时：此时密封转板5处于水平状态，限位插杆28与限位插口29连接，将硅片放入挂篮23内，然后启动电机3转动，电机3带动螺纹杆6转动，螺纹杆6带动固定块18移动，固定块18带动第一滑块17和第二滑块20移动，此时第一滑块17在第一横槽11内滑动，第一转辊14保持不动，第二滑块20在第二螺旋槽19内滑动，可带动第二转辊10转动；
38.第二转辊10带动连接杆8转动，连接杆8带动第一绕线盘9转动，第一绕线盘9对拉绳21进行缠绕收卷，拉绳21拉动矩形框4上移，在对拉绳21进行缠绕收卷时，拉绳21拉动滑板25在滑槽26内滑动上移，直至滑板25与滑槽26上端相抵时，才可带动矩形框4上移；
39.滑板25上移会拉动第二连接绳30，第二连接绳30拉动限位插杆28脱离与限位插口29，连接弹簧27被挤压；
40.矩形框4在上移过程中，上端的密封转板5与挂篮23下端接触后，会被挤压打开，然
后第一滑块17滑至第一螺旋槽12内，同时第二滑块20滑至第二横槽15内，可带动第一转辊14转动，第二转辊10保持不动；
41.第一转辊14带动固定杆7转动，固定杆7带动第二绕线盘13转动，将第一连接绳22松开，控制挂篮23下移，挂篮23在下移过程中，脱离密封转板5，此时下端还未与试剂接触时，由于弹簧转轴37的作用，可控制密封转板5自动关闭，避免后续挂篮23下移溅起的试剂溅出，然后挂篮23继续下移，进入镀箱主体1内；
42.工作结束后，此时启动电机3反转，电机3带动螺纹杆6转动，螺纹杆6带动固定块18移动，固定块18带动第一滑块17和第二滑块20移动，此时第一滑块17在第一螺旋槽12内滑动，第二滑块20在第二横槽15内滑动，可带动第一转辊14反转，第二转辊10保持不动；
43.第一转辊14带动固定杆7反转，固定杆7带动第二绕线盘13反转，将第一连接绳22缠绕收紧，控制挂篮23上移，挂篮23上移脱离试剂后，停止电机3工作，此时密封转板5处于关闭状态，待试剂滴落结束后，再继续启动电机3反转，控制挂篮23继续上移，挂篮23的推动将密封转板5打开，然后第一滑块17滑至第一横槽11内，第一转辊14保持不动，同时第二滑块20滑至第二螺旋槽19内，可带动第二转辊10反转；
44.第二转辊10带动连接杆8反转，连接杆8带动第一绕线盘9反转，第一绕线将拉绳21松开，拉绳21带动矩形框4下移，直至矩形框4下端与镀箱主体1底部相抵后，再松开拉绳21，滑板25在滑槽26内滑动下移，此时没有外界阻力，密封转板5处于水平状态，由于连接弹簧27的作用，可推动限位插杆28滑至限位插口29内，对密封转板5进行限位，避免有外界物品掉落将密封转板5打开，落至镀箱主体1内；
45.为了防止密封转板5没有恰好水平，使得限位插杆28与限位插口29没有恰好匹配，可给电磁铁36通电，电磁铁36吸引铁块31移动，带动挤压块33外端从安装槽34内滑出，复位弹簧35被挤压，挤压块33的长度大于两个密封转板5的宽度和，且密封转板5的转杆24不位于密封转板5的端部，挤压块33可将两个密封转板5压至恰好水平的状态，便于限位插杆28与限位插口29的连接。
46.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
47.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种硅片的化学镀镍钯金装置，包括镀箱主体(1)和位于镀箱主体(1)内用于放置硅片的挂篮(23)，其特征在于，镀箱主体(1)上端两侧均固定安装有u型架(2)，两个所述u型架(2)之间转动设置有控制挂篮(23)移动的收纳机构，所述镀箱主体(1)内滑动连接有矩形框(4)，所述矩形框(4)上端转动设置有密封机构，两个所述u型架(2)之间转动设置控制矩形框(4)移动的转动机构，所述转动机构和收纳机构之间设置有控制其转动的连接机构，所述连接机构包括用于控制收纳机构转动的第一转辊(14)和用于控制转动机构转动的第二转辊(10)，所述第一转辊(14)外侧开设有相互连通的第一横槽(11)和第一螺旋槽(12)，所述第二转辊(10)外侧开设有相互连通的第二横槽(15)和第二螺旋槽(19)，所述第一转辊(14)和第二转辊(10)之间设置有固定块(18)，所述固定块(18)两侧分别固定连接有第一滑块(17)和第二滑块(20)，所述第一滑块(17)与第一横槽(11)和第一螺旋槽(12)滑动连接，所述第二滑块(20)与第二横槽(15)和第二螺旋槽(19)滑动连接，两个所述u型架(2)之间设置有控制固定块(18)移动的动力机构，所述矩形框(4)内侧设有对密封机构进行限位的插接机构，所述镀箱主体(1)上端一侧固定安装有对密封机构进行推平的固定机构。2.根据权利要求1所述的一种硅片的化学镀镍钯金装置，其特征在于，所述密封机构包括两个对称设置的密封转板(5)，所述密封转板(5)内贯穿固定有转杆(24)，所述转杆(24)与矩形框(4)转动连接，所述转杆(24)一端固定连接有控制密封转板(5)保持水平的弹簧转轴(37)，所述弹簧转轴(37)与矩形框(4)转动连接。3.根据权利要求2所述的一种硅片的化学镀镍钯金装置，其特征在于，所述收纳机构包括与两个u型架(2)转动连接的固定杆(7)，所述固定杆(7)上固定套设有两个第一绕线盘(9)，所述第一绕线盘(9)上固定缠绕有拉绳(21)，所述拉绳(21)下端与矩形框(4)连接，所述第一转辊(14)固定套设在固定杆(7)外侧。4.根据权利要求3所述的一种硅片的化学镀镍钯金装置，其特征在于，所述转动机构包括与两个u型架(2)转动连接的连接杆(8)，所述连接杆(8)上固定套设有第二绕线盘(13)，所述第二绕线盘(13)上固定缠绕有了第一连接绳(22)，所述第一连接绳(22)下端与挂篮(23)固定连接，所述第二转辊(10)固定套设在连接杆(8)外侧。5.根据权利要求4所述的一种硅片的化学镀镍钯金装置，其特征在于，所述动力机构包括与两个u型架(2)转动连接的螺纹杆(6)，其中一个所述u型架(2)上固定安装有电机(3)，所述电机(3)输出端与螺纹杆(6)一端固定连接，所述固定块(18)与螺纹杆(6)螺纹连接，两个所述u型架(2)之间固定设置有限位杆(38)，所述固定块(18)与限位杆(38)滑动连接。6.根据权利要求2所述的一种硅片的化学镀镍钯金装置，其特征在于，所述插接机构包括对称开设在矩形框(4)两侧壁内的滑槽(26)，所述滑槽(26)内滑动连接有滑板(25)，两个所述拉绳(21)下端穿过矩形框(4)与位置对应的滑板(25)固定连接，所述滑板(25)下端固定连接有第二连接绳(30)，所述滑槽(26)内贯穿滑动连接有限位插杆(28)，所述转杆(24)一端开设有与限位插杆(28)滑动连接的限位插口(29)，所述限位插杆(28)与滑槽(26)侧壁之间固定设置有连接弹簧(27)，所述第二连接绳(30)一端穿过连接弹簧(27)与限位插杆(28)固定连接。7.根据权利要求6所述的一种硅片的化学镀镍钯金装置，其特征在于，所述固定机构包括固定安装在镀箱主体(1)上端的安装板(32)，所述安装板(32)一侧开设有安装槽(34)，所述安装槽(34)一侧滑动连接有挤压块(33)，所述安装槽(34)内固定安装有电磁铁(36)，所
述挤压块(33)贯穿电磁铁(36)固定连接有铁块(31)，所述铁块(31)与安装槽(34)之间固定设置有多组复位弹簧(35)。8.根据权利要求7所述的一种硅片的化学镀镍钯金装置，其特征在于，所述挤压块(33)外端下侧为弧形设置。9.根据权利要求1所述的一种硅片的化学镀镍钯金装置，其特征在于，所述镀箱主体(1)一侧设置有观察窗(16)。

技术总结
本发明涉及镀镍钯金技术领域，且公开了一种硅片的化学镀镍钯金装置，包括镀箱主体和位于镀箱主体内的挂篮，镀箱主体上端两侧均固定安装有U型架，两个U型架之间转动设置有控制挂篮移动的收纳机构，本发明通过在镀箱主体内滑动连接的矩形框上端转动设置密封机构，通过控制第一滑块与第一横槽和第一螺旋槽的滑动，以及第二滑块与第二横槽和第二螺旋槽的滑动，在需要将装有硅片的挂篮放入镀箱主体内时，可使得矩形框带动密封机构上移，上移过程中通过挂篮的挤压将密封机构打开，然后控制挂篮下移，挂篮还未与试剂接触时，密封机构自动关闭，避免溅起的试剂溅出，工作结束后，可控制挂篮上移，此时密封机构处于关闭状态，避免上移溅起的试剂溅出。的试剂溅出。的试剂溅出。


技术研发人员：陈云利 孙彩霞 肖锦成
受保护的技术使用者：苏州尊恒半导体科技有限公司
技术研发日：2023.07.03
技术公布日：2023/9/6