晶圆机器人水平仪软件界面展示装置、方法、终端、介质及晶圆机器人与流程

1.本技术涉及晶圆机器人水平仪领域，特别是涉及一种晶圆机器人水平仪软件界面展示装置、方法、终端、介质及晶圆机器人。


背景技术：

2.水平仪是一种测量角度变化的常用量具，在机械行业和仪表制造行业中，用于测量相对于水平位置的倾斜角、机床类设备导轨的平面度和直线度、设备安装的水平位置和垂直位置等。
3.在电子类的水平仪的使用过程中，一般会通过软件界面来读取电子水平仪的测量结果，具体为在软件界面上通过一个水泡在x、y轴上的偏移量来表示被测平面在水平某个方向上的倾斜程度，水泡偏离中心越远，则表示倾斜程度越大，通过设置在界面上的刻度盘可以读取电子水平仪的测量结果。但是通过软件界面来读取电子水平仪的测量结果的方法在读取高精度水平仪的测量结果时存在着如下缺点：当水泡的变化角度较小时，水泡的变化无法用肉眼直接观察出来，尤其当界面为刻度盘形式的时候，难以直观读数。


技术实现要素：

4.鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种晶圆机器人水平仪软件界面展示装置、方法、终端、介质及晶圆机器人，用于解决现有技术中难以直观的读取高精度水平仪的测量结果的问题。
5.为实现上述目的及其他相关目的，本技术的第一方面提供一种晶圆机器人水平仪软件界面展示装置，包括：获取模块，用于实时获取由设于晶圆机器人上的电子水平仪在晶圆机器人搬运工作过程中采集的晶圆搬运水平数据；控制模块，与所述获取模块连接，用于基于当前的显示刻度盘以及由所述获取模块获取的晶圆搬运水平数据，生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，计算对应的修正显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；水平仪软件界面，与所述控制模块连接，用于根据所述气泡显示数据在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。
6.于本技术的第一方面的一些实施例中，所述当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，计算对应的修正显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据包括：当每生成在预设时间间隔获取的所述晶圆搬运水平数据所对应的气泡显示数据时，基于最新生成的预设时间间隔所对应的气泡显示数据确定最大水平偏移量；根据获取的最大水平偏移量对在水平仪软件界面显示的当前的刻度盘的半径数值进行缩放调整获得修正半径数值，确定对应的修正显示刻度盘，以对当前的显示刻度盘更新；基于所述修正显示刻度盘以及当前的晶圆搬运水平数据计算用于以更新后
的当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据，以供所述水平仪软件界面在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。
7.于本技术的第一方面的一些实施例中，确定最大水平偏移量的方法包括：在预设时间间隔内生成的气泡显示数据中计算的当前的显示刻度盘显示的x轴方向上的最大x轴数值以及在y轴方向上的最大y轴数值中的最大值为所述最大水平偏移量。
8.于本技术的第一方面的一些实施例中，所述界面展示系统还包括：与所述控制模块连接的调节模块；其中，所述调节模块用于接收触发的显示刻度盘的半径数值调节信号，以供所述控制模块基于所述半径数值调节信号所对应的修正半径数值确定对应的修正显示刻度盘，并计算用于以所述修正显示刻度盘作为当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据。
9.于本技术的第一方面的一些实施例中，所述获取模块还用于获取晶圆搬运历史水平数据，以供在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运历史水平数据进行显示。
10.为实现上述目的及其他相关目的，本技术的第二方面提供一种用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示方法，包括：实时获取由设于晶圆机器人上的电子水平仪在晶圆机器人搬运工作过程中采集的晶圆搬运水平数据；基于当前的显示刻度盘以及由所述获取模块获取的晶圆搬运水平数据，生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，计算对应的修正显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；根据所述气泡显示数据在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。
11.为实现上述目的及其他相关目的，本技术的第三方面提供一种终端，包括：处理器及存储器；所述存储器用于存储计算机程序，所述处理器用于执行所述存储器存储的计算机程序，以使所述终端执行所述用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示方法。
12.为实现上述目的及其他相关目的，本技术的第四方面提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现所述用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示方法。
13.为实现上述目的及其他相关目的，本技术的第五方面提供一种晶圆机器人，包括：如上所述的晶圆机器人水平仪软件界面展示装置以及电子水平仪；其中，所述电子水平仪连接所述晶圆机器人水平仪软件界面展示装置。
14.如上所述，本技术的一种晶圆机器人水平仪软件界面展示装置、方法、终端、介质及晶圆机器人，具有以下有益效果：水平仪软件显示模块根据从所述控制模块实时获取的晶圆搬运水平数据生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据，以供在所述水平仪软件界面的对应显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示，并在生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时对当前的显示刻度盘进行更新。通过本技术的晶圆机器人水平仪软件界面展示装置可以更加直观的读取高精度水平仪的测量结果。
附图说明
15.图1显示为本技术一实施例中用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示装置示意
图。
16.图2显示为本技术一实施例中刻度盘示意图。
17.图3显示为本技术一实施例中原理示意图。
18.图4显示为本技术一实施例中具有调节模块的用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示装置示意图。
19.图5显示为本技术一实施例中水平仪软件界面展示历史晶圆搬运历史水平偏移量示意图。
20.图6显示为本技术一实施例中调整显示刻度盘半径范围的流程示意图。
21.图7显示为本技术一实施例中用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示方法流程图。
22.图8显示为本技术一实施例中终端的结构示意图。
具体实施方式
23.以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
24.需要说明的是，在下述描述中，参考附图，附图描述了本技术的若干实施例。应当理解，还可使用其他实施例，并且可以在不背离本技术的精神和范围的情况下进行机械组成、结构、电气以及操作上的改变。下面的详细描述不应该被认为是限制性的，并且本技术的实施例的范围仅由公布的专利的权利要求书所限定。这里使用的术语仅是为了描述特定实施例，而并非旨在限制本技术。空间相关的术语，例如“上”、“下”、“左”、“右”、“下面”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”等，可在文中使用以便于说明图中所示的一个元件或特征与另一元件或特征的关系。
25.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“固持”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
26.再者，如同在本文中所使用的，单数形式“一”、“一个”和“该”旨在也包括复数形式，除非上下文中有相反的指示。本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外，术语“包含”、“包括”表明存在所述的特征、操作、元件、组件、项目、种类、和/或组，但不排除一个或多个其他特征、操作、元件、组件、项目、种类、和/或组的存在、出现或添加。应当进一步理解，此处使用的术语“或”和“和/或”被解释为包括性的，或意味着任一个或任何组合。因此，“a、b或c”或者“a、b和/或c”意味着“以下任一个：a；b；c；a和b；a和c；b和c；a、b和c”。仅当元件、功能或操作的组
合在某些方式下内在地互相排斥时，才会出现该定义的例外。
27.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，通过下述实施例并结合附图，对本发明实施例中的技术方案的进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定发明。
28.如图1所示，展示为本发明的一种用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示装置1，包括：获取模块11，用于实时获取由设于晶圆机器人上的电子水平仪在晶圆机器人搬运工作过程中采集的晶圆搬运水平数据；其中，电子水平仪为高精度电子水平仪，电子水平仪通过传感器采集晶圆搬运水平数据；所述晶圆搬运水平数据为晶圆机器人在搬运晶圆时相对于水平位置的偏移量；所述偏移量包括：偏转角度以及偏移坐标。举例来说，所述水平位置可以为水平面，也可以为垂直平面。
29.需要说明的是，电子水平仪的型号可以根据实际情况进行选取，本发明对此不做限定。
30.控制模块12，与所述获取模块11连接，用于基于当前的显示刻度盘以及由所述获取模块11获取的晶圆搬运水平数据，生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，将计算的对应的修正显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；其中，气泡显示数据为在水平仪软件界面13的对应显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示的数据；
31.水平仪软件界面13，与所述控制模块12连接，用于根据所述气泡显示数据在所述水平仪软件界面13显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。
32.于本发明的一些实施例中，如图2所示，在水平仪软件界面上设置有显示刻度盘，水平仪软件界面通过气泡在刻度盘上的位置来相应表示从获取模块获取的晶圆搬运水平数据。具体的，获取模块实时获取电子水平仪采集的晶圆搬运水平数据并将晶圆搬运水平数据发送至控制模块，控制模块基于在水平仪软件界面上显示的当前的显示刻度盘以及由获取模块获取的晶圆搬运水平数据生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；水平仪软件界面根据所述气泡显示数据在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。
33.于本发明的一些实施例中，当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，获取模块计算对应的显示刻度盘、将所述计算的对应的显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据，以供水平仪软件界面根据所述气泡显示数据在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。通过上述对刻度盘的更新可以对刻度盘进行缩放，以供更加直观读取晶圆搬运水平数据。
34.需要说明的是，应理解以上装置的各个模块的划分仅仅是一种逻辑功能的划分，实际实现时可以全部或部分集成到一个物理实体上，也可以物理上分开。且这些模块可以全部以软件通过处理元件调用的形式实现；也可以全部以硬件的形式实现；还可以部分模块通过处理元件调用软件的形式实现，部分模块通过硬件的形式实现。
35.例如控制模块可以为单独设立的处理元件，也可以集成在上述装置的某一个芯片
中实现，此外，也可以以程序代码的形式存储于上述装置的存储器中，由上述装置的某一个处理元件调用并执行以上控制模块的功能。其它模块的实现与之类似。此外这些模块全部或部分可以集成在一起，也可以独立实现。这里所述的处理元件可以是一种集成电路，具有信号的处理能力。在实现过程中，上述方法的各步骤或以上各个模块可以通过处理器元件中的硬件的集成逻辑电路或者软件形式的指令完成。例如，以上这些模块可以是被配置成实施以上方法的一个或多个集成电路，例如：一个或多个特定集成电路(application specific integrated circuit，简称asic)，或，一个或多个微处理器(digital signal processor，简称dsp)，或，一个或者多个现场可编程门阵列(field programmable gate array，简称fpga)等。再如，当以上某个模块通过处理元件调度程序代码的形式实现时，该处理元件可以是通用处理器，例如中央处理器(central processing unit，简称cpu)或其它可以调用程序代码的处理器。再如，这些模块可以集成在一起，以片上系统(system-on-a-chip，简称soc)的形式实现。
36.于本发明的一些实施例中，刻度盘的半径为图2所示的刻度盘外圈的半径；刻度盘的半径所对应的范围表示为观察范围。举例来说，当刻度盘的半径为100毫米时，观察范围为以100毫米为半径的圆形区域；当刻度盘的半径为1毫米时，观察范围为以1毫米为半径的圆形区域。
37.于本发明的一些实施例中，所述当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，将计算的对应的修正显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据包括：当每生成在预设时间间隔获取的所述晶圆搬运水平数据所对应的气泡显示数据时，基于最新生成的预设时间间隔所对应的气泡显示数据确定最大水平偏移量；根据获取的最大水平偏移量对在水平仪软件界面显示的当前的刻度盘的半径数值进行缩放调整获得修正半径数值，确定对应的修正显示刻度盘，以对当前的显示刻度盘更新；基于所述修正显示刻度盘以及当前的晶圆搬运水平数据计算用于以更新后的当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据，以供所述水平仪软件界面在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。
38.为了便于理解，下文将对本实施例中利用的原理进行详述如下：以气泡在r为半径的圆形上移动为例，如图3所示，θ表示为偏移角度。气泡在x轴方向上的投影为x1＝r
×
cosθ，气泡在x轴方向上的移动量为δx＝r-x1。当θ的数值很小时，δx的值也很小，对应显示在显示刻度盘上的气泡移动范围也很小，难以用肉眼直观的看出气泡的移动范围。而在θ不变的情况下，修改r值使r值变大，δx的值也会相应的变大，就可以更加直观的看出气泡的移动范围。
39.结合上述原理对本实施例进行详述如下：
40.获取模块实时获取设于晶圆机器人上的电子水平仪在晶圆机器人搬运工作过程中采集的晶圆搬运水平数据，控制模块基于采集的晶圆搬运水平数据以及当前的显示刻度盘，生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据。当每生成在预设时间间隔获取的所述晶圆搬运水平数据所对应的气泡显示数据时，基于最新生成的预设时间间隔所对应的气泡显示数据确定最大水平偏移量；举例来说，假设预设时间间隔为1s，从0时刻开始计算，在1s时，控制模块生成了在1s内获取的所述晶圆搬运水平数据所对应的气泡显示数据，在1s内获取的所述晶圆搬运水平数据所对应的气泡显示数据为相对于0时刻的最新生成的预设时
间间隔所对应的气泡显示数据；根据获取的最大水平偏移量对在水平仪软件界面显示的当前的刻度盘的半径数值进行缩放调整以获得放大倍数，基于放大倍数获得修正半径数值，确定对应的修正显示刻度盘，以对当前的显示刻度盘更新。举例来说，当前水平仪软件界面的显示刻度盘半径数值为150毫米，获取的最大水平偏移量为2毫米，放大倍数为75，基于75的放大倍数对显示刻度盘的半径数值进行缩放调整，调整后的显示刻度盘的半径数值为2毫米，修正半径数值为2毫米。基于所述修正显示刻度盘以及当前的晶圆搬运水平数据计算用于以更新后的当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据，以供所述水平仪软件界面在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。
41.需要说明的是，本实施例中根据获取的最大水平偏移量对在水平仪软件界面显示的当前的刻度盘的半径数值进行缩放调整以获得放大倍数，基于放大倍数获得修正半径数值，就相当于上述原理中通过修改r值。
42.于本发明的一些实施例中，获得最大水平偏移量的方法包括：在预设时间内生成的气泡显示数据中计算的当前的显示刻度盘显示的x轴方向上的最大x轴数值以及在y轴方向上的最大y轴数值中的最大值为所述最大水平偏移量。
43.具体的，控制模块对在预设时间间隔内生成的气泡显示数据进行计算，获得当前的显示刻度盘显示的x轴方向上的最大x轴数值以及在y轴方向上的最大y轴数值。在预设时间间隔内，x轴方向上的坐标数值中最大的数值为最大x轴数值，y轴方向上的坐标数值中最大的数值为最大y轴数值。所述最大x轴数值以及最大y轴数值中的最大值为所述最大水平偏移量。
44.举例来说，设定的时间间隔为1s，控制模块计算1s内最大x轴数值为2毫米以及最大y轴数值为1毫米。此时最大水平偏移量为2毫米。需要说明的是，时间间隔可以按照实际需求设定，本发明对此不做限定。
45.于本发明的一些实施例中，如图4所示，所述界面展示装置1还包括：与所述控制模块12连接的调节模块14；其中，所述调节模块14用于接收触发的显示刻度盘的半径数值调节信号，以供所述控制模块12基于所述半径数值调节信号所对应的修正半径数值确定对应的修正显示刻度盘，并计算用于以所述修正显示刻度盘作为当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；具体的，控制模块12基于所述半径数值调节信号确定放大倍数，再基于放大倍数获得修正半径数值以确定对应的修正显示刻度盘。举例来说，调节模块14可以为设置在水平仪软件界面13上的滑动条，调节模块14接收用户通过对滑动条进行调整而触发的显示刻度盘的半径数值调节信号，以供所述控制模块12基于所述半径数值调节信号所对应的修正半径数值确定对应的修正显示刻度盘，并计算用于以所述修正显示刻度盘作为当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据。
46.于本发明的一些实施例中，电子水平仪使用的传感器为维特bwt901blecl5.0(千分之5精度)姿态传感器时，可以通过调节模块将放大倍数调整到1000倍，可以观测到最小刻度的角度变化。
47.于本发明的一些实施例中，如图5所示，所述获取模块还用于获取晶圆搬运历史水平数据，以供在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运历史水平数据进行显示。水平仪软件界面可以显示所有历史晶圆搬运水平偏移量所对
应的气泡。在水平仪软件界面上对各气泡进行分析相比于数据可以更加直观地观察到各气泡点位之间的距离，以对晶圆机器人进行调试。
48.需要说明的是，本实施例中在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘可以通过上述实施例中的方法进行更新，此处不做重复赘述。
49.于本发明的一些实施例中，如图5所示，所述刻度盘上设有内圈；所述内圈可以为用户设定的判断阈值。当气泡在内圈中显示代表晶圆机器人搬运晶圆正常；当气泡在内圈外表示晶圆机器人搬运晶圆的过程中出现错误。
50.为了更好的说明本发明中的用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示装置，结合图6对以下具体实施例进行说明。
51.实施例一：一种调整显示刻度盘半径范围的流程。
52.电子水平仪传感器圆盘半径为150毫米，传感器向获取模块发送采集的晶圆搬运水平偏移量的频率为10hz(每秒传送10帧数据)，如图6所示，左边的刻度盘半径表示为此时外圈半径为150毫米，此时的放大倍数默认为1。控制模块每隔1s统计历史数据上的水平位移最大值，比如从开始测量到1s的时间段内，x轴最大偏移量为1毫米，y轴最大偏移量为2毫米，此时，最大偏移量为2毫米。通过最大偏移量确定放大倍数为75，此时如图6中右边的刻度盘所示，刻度盘的半径为2毫米。
53.本发明还提供一种晶圆机器人水平仪软件界面展示方法，应用于晶圆机器人水平仪软件界面展示装置，如图7所示，所述方法包括：
54.步骤s1：实时获取由设于晶圆机器人上的电子水平仪在晶圆机器人搬运工作过程中采集的晶圆搬运水平数据；
55.步骤s2：基于当前的显示刻度盘以及由所述获取模块获取的晶圆搬运水平数据，生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，计算对应的修正显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；
56.其中，所述当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，将计算的对应的修正显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据包括：当每生成在预设时间间隔获取的所述晶圆搬运水平数据所对应的气泡显示数据时，基于最新生成的预设时间间隔所对应的气泡显示数据确定最大水平偏移量；根据获取的最大水平偏移量对在水平仪软件界面显示的当前的刻度盘的半径数值进行缩放调整获得修正半径数值，确定对应的修正显示刻度盘，以对当前的显示刻度盘更新；基于所述修正显示刻度盘以及当前的晶圆搬运水平数据计算用于以更新后的当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据，以供所述水平仪软件界面在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示；确定最大水平偏移量的方法包括：在预设时间间隔内生成的气泡显示数据中计算的当前的显示刻度盘显示的x轴方向上的最大x轴数值以及在y轴方向上的最大y轴数值中的最大值为所述最大水平偏移量；
57.步骤s3：根据所述气泡显示数据在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。
58.本发明还提供一种终端8，如图8所示，包括：处理器82及存储器81；所述存储器81用于存储计算机程序；所述处理器82用于执行所述存储器存储的计算机程序，以使所述终
端8执行如图7所述用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示方法。
59.可选的，所述存储器81的数量均可以是一或多个，所述处理器82的数量均可以是一或多个，而图8中均以一个为例。
60.可选的，所述控制装置中的处理器82会按照如图7所述的步骤，将一个或多个以应用程序的进程对应的指令加载到存储器81中，并由处理器82来运行存储在第一存储器中的应用程序，从而实现如图7所述用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示方法中的各种功能。
61.可选的，所述存储器81，可能包括但不限于高速随机存取存储器、非易失性存储器。例如一个或多个磁盘存储设备、闪存设备或其他非易失性固态存储设备；所述处理器82，可能包括但不限于中央处理器(central processing unit，简称cpu)、网络处理器(network processor，简称np)等；还可以是数字信号处理器(digital signal processing，简称dsp)、专用集成电路(application specific integrated circuit，简称asic)、现场可编程门阵列(field－programmable gate array，简称fpga)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件。
62.可选的，所述处理器82可以是通用处理器，包括中央处理器(central processing unit，简称cpu)、网络处理器(network processor，简称np)等；还可以是数字信号处理器(digital signal processing，简称dsp)、专用集成电路(application specific integrated circuit，简称asic)、现场可编程门阵列(field－programmable gate array，简称fpga)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件。
63.本发明还提供计算机可读存储介质，存储有计算机程序，所述计算机程序运行时实现如图7所述用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示方法。所述计算机可读存储介质可包括，但不限于，软盘、光盘、cd-rom(只读光盘存储器)、磁光盘、rom(只读存储器)、ram(随机存取存储器)、eprom(可擦除可编程只读存储器)、eeprom(电可擦除可编程只读存储器)、磁卡或光卡、闪存、或适于存储机器可执行指令的其他类型的介质/机器可读介质。所述计算机可读存储介质可以是未接入计算机设备的产品，也可以是已接入计算机设备使用的部件。
64.于本发明的一些实施例中，所述计算机可读写存储介质可以包括只读存储器、随机存取存储器、eeprom、cd-rom或其它光盘存储装置、磁盘存储装置或其它磁存储设备、闪存、u盘、移动硬盘、或者能够用于存储具有指令或数据结构形式的期望的程序代码并能够由计算机进行存取的任何其它介质。另外，任何连接都可以适当地称为计算机可读介质。例如，如果指令是使用同轴电缆、光纤光缆、双绞线、数字订户线(dsl)或者诸如红外线、无线电和微波之类的无线技术，从网站、服务器或其它远程源发送的，则所述同轴电缆、光纤光缆、双绞线、dsl或者诸如红外线、无线电和微波之类的无线技术包括在所述介质的定义中。然而，应当理解的是，计算机可读写存储介质和数据存储介质不包括连接、载波、信号或者其它暂时性介质，而是旨在针对于非暂时性、有形的存储介质。如申请中所使用的磁盘和光盘包括压缩光盘(cd)、激光光盘、光盘、数字多功能光盘(dvd)、软盘和蓝光光盘，其中，磁盘通常磁性地复制数据，而光盘则用激光来光学地复制数据。
65.本发明还提供一种晶圆机器人，包括：晶圆机器人水平仪软件界面展示装置以及电子水平仪；其中，所述电子水平仪连接所述晶圆机器人水平仪软件界面展示装置；所述晶圆机器人水平仪软件界面展示装置包括：获取模块，用于实时获取由设于晶圆机器人上的
电子水平仪在晶圆机器人搬运工作过程中采集的晶圆搬运水平数据；控制模块，与所述获取模块连接，用于基于当前的显示刻度盘以及由所述获取模块获取的晶圆搬运水平数据，生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，计算对应的修正显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；水平仪软件界面，与所述控制模块连接，用于根据所述气泡显示数据在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。
66.由于本实施例中的晶圆机器人水平仪软件界面展示装置可以实现上述实施例中用于晶圆机器人的水平仪软件界面展示装置的所有功能，此处不再进行重复赘述。
67.综上所述，本技术提供一种晶圆机器人水平仪软件界面展示装置、方法、终端、介质及晶圆机器人，水平仪软件显示模块根据从所述控制模块实时获取的晶圆搬运水平数据生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据，以供在所述水平仪软件界面的对应显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示，并在生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时对当前的显示刻度盘进行更新。通过本技术的晶圆机器人水平仪软件界面展示装置可以更加直观的读取高精度水平仪的测量结果。
68.上述实施例仅例示性说明本技术的原理及其功效，而非用于限制本技术。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本技术的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本技术所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本技术的权利要求所涵盖。

技术特征：
1.一种晶圆机器人水平仪软件界面展示装置，其特征在于，包括：获取模块，用于实时获取由设于晶圆机器人上的电子水平仪在晶圆机器人搬运工作过程中采集的晶圆搬运水平数据；控制模块，与所述获取模块连接，用于基于当前的显示刻度盘以及由所述获取模块获取的晶圆搬运水平数据，生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，计算对应的修正显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；水平仪软件界面，与所述控制模块连接，用于根据所述气泡显示数据在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，计算对应的修正显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据包括：当每生成在预设时间间隔获取的所述晶圆搬运水平数据所对应的气泡显示数据时，基于最新生成的预设时间间隔所对应的气泡显示数据确定最大水平偏移量；根据获取的最大水平偏移量对在水平仪软件界面显示的当前的刻度盘的半径数值进行缩放调整获得修正半径数值，确定对应的修正显示刻度盘，以对当前的显示刻度盘更新；基于所述修正显示刻度盘以及当前的晶圆搬运水平数据计算用于以更新后的当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据，以供所述水平仪软件界面在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，确定最大水平偏移量的方法包括：在预设时间间隔内生成的气泡显示数据中计算的当前的显示刻度盘显示的x轴方向上的最大x轴数值以及在y轴方向上的最大y轴数值中的最大值为所述最大水平偏移量。4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述界面展示系统还包括：与所述控制模块连接的调节模块；其中，所述调节模块用于接收触发的显示刻度盘的半径数值调节信号，以供所述控制模块基于所述半径数值调节信号所对应的修正半径数值确定对应的修正显示刻度盘，并计算用于以所述修正显示刻度盘作为当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据。5.根据权利要求2或4所述的装置，其特征在于，所述获取模块还用于获取晶圆搬运历史水平数据，以供在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运历史水平数据进行显示。6.一种晶圆机器人水平仪软件界面展示方法，其特征在于，包括：实时获取由设于晶圆机器人上的电子水平仪在晶圆机器人搬运工作过程中采集的晶圆搬运水平数据；基于当前的显示刻度盘以及由所述获取模块获取的晶圆搬运水平数据，生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；当生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时，计算对应的修正显示刻度盘更新为当前的显示刻度盘，并生成以所述当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据；根据所述气泡显示数据在所述水平仪软件界面显示的当前的显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示。
7.一种终端，其特征在于，包括：处理器及存储器；所述存储器用于存储计算机程序，所述处理器用于执行所述存储器存储的计算机程序，以使所述终端执行如权利要求6所述方法。8.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现权利要求6所述方法。9.一种晶圆机器人，其特征在于，包括：如权利要求1-5任一项所述的晶圆机器人水平仪软件界面展示装置以及电子水平仪；其中，所述电子水平仪连接所述晶圆机器人水平仪软件界面展示装置。

技术总结
本申请提供一种晶圆机器人水平仪软件界面展示装置、方法、终端、介质及晶圆机器人，水平仪软件显示模块根据从所述控制模块实时获取的晶圆搬运水平数据生成以当前的显示刻度盘显示的气泡显示数据，以供在所述水平仪软件界面的对应显示刻度盘上以气泡形式对对应的晶圆搬运水平数据进行显示，并在生成的气泡显示数据符合显示刻度盘修正条件时对当前的显示刻度盘进行更新。通过本申请的晶圆机器人水平仪软件界面展示装置可以更加直观的读取高精度水平仪的测量结果。精度水平仪的测量结果。精度水平仪的测量结果。


技术研发人员：郭景华 粟及时
受保护的技术使用者：中芯智达半导体科技（上海）有限公司
技术研发日：2023.05.22
技术公布日：2023/9/14