一种多Site模式的集成电路测试方法及测试系统与流程

一种多site模式的集成电路测试方法及测试系统
技术领域
1.本发明属于集成电路测试领域，具体涉及一种多site模式的集成电路测试方法及测试系统。


背景技术：

2.集成电路测试技术的飞速发展，为集成电路的广泛应用做出了巨大的贡献。在集成电路研制、生产、应用等各个阶段，都需要进行反复多次的检验、测试以确保产品质量，保障生产出符合系统要求的产品。集成电路测试是对集成电路或模块进行检测，通过检测集成电路或模块的输出响应与预期输出比较，以评估集成电路元器件功能和性能的过程，是验证设计、监控生产、保证质量、分析实效以及指导应用的重要手段。
3.现有集成电路测试系统主要包括测试机及分选机，其结构如图1所示。其中，测试机用于发送测试信号、接收测试数据并根据所述测试数据分析被测芯片性能情况、生成并发送分选信号等；分选机用于接收测试信号并根据测试信号对被测芯片进行测试、发送测试数据、接收分选信号并根据所述分选信号对被测芯片进行相应分选操作等；测试机与分选机通过测试排线传输测试信号及测试数据，通过分选信号线传输分选信号。
4.测试过程中，将被测芯片置于分选机的指定位置后，分选机通过分选信号线向测试机发送ready信号，提示测试机可以开始测试；测试机接收到ready信号后，通过测试排线向分选机发送测试信号，以使分选机根据测试信号对被测芯片进行测试；分选机在测试完成后将测试数据通过测试排线返回至测试机；测试机根据测试数据分析芯片性能，根据芯片性能情况生成分选信号并通过分选信号线发送至分选机；分选机接收到分选信号后对被测芯片进行相应分选操作。正常测试过程中，良品和不良品被分选机的机械手分开放置，例如良品被打印编带，不良品被放入不良品料管。整个测试过程中，需要由测试操作员进行上料、下料的操作，其中包括当不良品料管被装满后需由测试操作员更换新的空料管，并将被换下的不良品料管存放于不良品区等操作。
5.由于对芯片测试速度的要求不断提高，上述逐个芯片进行检测的测试方法已无法满足生产需求，因此现有测试系统中更多采用多site模式提高测试速度。以2site模式为例，其测试系统结构如图2所示。
6.在图2所示的2site模式集成电路测试系统中，测试机设有两个site，即site a和site b，分选机包括两组对应设置的测试工位及通信口，即测试工位1、测试工位2和通信口1、通信口2。site a和site b通过测试排线分别与测试工位1、测试工位2连接，同时通过分选信号线分别与通信接口1、通信接口2连接，由此如图2的测试系统在正常操作过程中，测试机site a通过测试排线向测试工位1发送测试信号后接收测试工位1返回的测试数据，并根据该测试数据生成分选信号并通过分选信号线传输至通信口1，以使分选机对该芯片进行相应操作处理，同理site b通过测试排线向测试工位2发送测试信号后接收测试工位2返回的测试数据，并根据该测试数据生成分选信号并通过分选信号线传输至通信口2，以使分选机对该芯片进行相应操作处理。
7.测试速度要求越高，意味着测试机site数量及对应分选机的测试工位和通信接口数量也要随之增加，而在其数量增加的同时，也容易出现测试排线、分选信号线连接错误的可能，随即带来严重的不良影响。
8.以图3所示的测试排线交叉错误连接情况为例，其测试过程中，由于site a连接分选机测试工位2及通信口1，因此其在接收到由通信口1通过分选信号线发送的ready信号后，通过测试排线向测试工位2的被测芯片发送测试信号，进而测试工位2根据该测试信号对被测芯片进行测试得到测试数据，并通过测试排线将测试数据返回至site a，使得site a根据该测试数据分析生成分选信号并通过分选信号线传输至与其连接的通信口1，由此分选机根据通信口1接收到的分选信号对与其对应的测试工位1处的被测芯片进行相应分选操作。
9.由此可以看到，由于测试排线的交叉错误连接，导致分选机根据测试工位2处被测芯片的测试数据对测试工位1处的芯片进行了分选操作，同理site b连接分选机测试工位1及通信口2，导致分选机根据测试工位1处被测芯片的测试数据对测试工位2处的芯片进行了分选操作；一旦测试工位1与测试工位2处的被测芯片的测试数据不同，site a与site b就可能生成正好相反的分选信号，由此分选机在接收到测试机根据错误的测试数据分析生成的错误分选信号后将对被测芯片做出错误的分选操作，最终造成严重影响。因此需要对现有测试系统增加防呆方案，以避免产生芯片识别错误。


技术实现要素：

10.本发明的目的之一在于提供一种多site模式的集成电路测试方法，采用简单的复测方式实现集成电路测试系统的防呆测试，以避免产生被测件错误识别的情况。
11.为实现上述目的，本发明所采取的技术方案为：
12.一种多site模式的集成电路测试方法，所述多site模式的集成电路测试方法，包括：
13.基于测试机提供的测试站和分选机提供的测试工位和通信口对被测件进行测试操作，经过测试操作被测件被分选为良品或不良品，其中不良品送入不良品料管；
14.响应于复测指令，基于测试机提供的测试站和分选机提供的测试工位和通信口，对不良品料管中的被测件进行测试操作，并基于测试机提供的复测控制模块根据测试操作结果判断分选机和测试机的信号线连接关系。
15.以下还提供了若干可选方式，但并不作为对上述总体方案的额外限定，仅仅是进一步的增补或优选，在没有技术或逻辑矛盾的前提下，各可选方式可单独针对上述总体方案进行组合，还可以是多个可选方式之间进行组合。
16.作为优选，所述测试操作，执行过程包括：
17.在测试工位上料后，与测试工位对应的通信口向测试站发送ready信号；
18.测试站接收所述ready信号后，向对应的测试工位发送测试信号；
19.测试工位接收所述测试信号后，对被测件进行测试，并向所述测试站返回测试数据；
20.所述测试站接收测试数据后生成分析结果，并根据分析结果生成分选信号，将所述分选信号发送至所述通信口；
21.所述分选机根据通信口接收的分选信号，对位于对应测试工位上的被测件进行分选操作，被测件被分选为良品或不良品。
22.作为优选，所述测试机还提供交互模块，所述交互模块用于根据人机交互输入向所述复测控制模块下达复测指令，启动复测过程。
23.作为优选，所述测试操作结果包括测试站反馈的分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述基于测试机提供的复测控制模块根据测试操作结果判断分选机和测试机的信号线连接关系，包括：
24.对测试站反馈的分析结果进行统计，得到整个复测过程中的良品数量和不良品数量，并在复测过程结束后，将良品数量和不良品数量反馈至所述交互模块展示。
25.作为优选，所述测试操作结果包括测试站反馈的分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述基于测试机提供的复测控制模块根据测试操作结果判断分选机和测试机的信号线连接关系，包括：
26.若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成；
27.若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并结束复测过程，将分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系反馈至所述交互模块展示。
28.作为优选，所述测试操作结果包括测试站反馈的测试数据和分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述基于测试机提供的复测控制模块根据测试操作结果判断分选机和测试机的信号线连接关系，包括：
29.若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成；
30.若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并判断测试数据是否在良品与不良品临界范围内，若是，则发送临界标记、测试数据、分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系至所述交互模块展示，若否，则将分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系反馈至所述交互模块展示。
31.本发明提供的一种多site模式的集成电路测试方法，基于现有集成电路测试系统增加复测控制模块，保证本发明测试方法的通用性，并且在增加复测控制模块的基础上，通过简单的复测逻辑实现防呆测试，既可以避免产生被测件错误识别的情况，又保证了防呆测试效率。
32.本发明的目的之二在于提供一种多site模式的集成电路测试系统，基于现有集成电路测试系统增加防呆模块，以避免产生被测件错误识别的情况。
33.为实现上述目的，本发明所采取的技术方案为：
34.一种多site模式的集成电路测试系统，所述多site模式的集成电路测试系统包括测试机和分选机，所述测试机内设有交互模块、复测控制模块和多个测试站，所述分选机内设有多个测试工位和多个通信口；
35.所述测试工位和所述通信口一一对应，且每个测试站与一个测试工位和通信口连接，所述复测控制模块与各测试站通信连接，所述交互模块与所述复测控制模块和各测试站通信连接；
36.所述复测控制模块，响应于所述交互模块下达的复测指令，根据所述测试站发送
的测试操作结果，判断分选机和测试机的信号线连接关系；
37.所述交互模块，用于根据人机交互输入向所述复测控制模块下达复测指令，并在复测过程结束后展示分选机和测试机的信号线连接关系，所述测试工位在复测过程中上料的为不良品料管中的被测件。
38.以下还提供了若干可选方式，但并不作为对上述总体方案的额外限定，仅仅是进一步的增补或优选，在没有技术或逻辑矛盾的前提下，各可选方式可单独针对上述总体方案进行组合，还可以是多个可选方式之间进行组合。
39.作为优选，所述复测控制模块包括多个复测控制单元，所有复测控制单元均与所述交互模块通信连接，且所述复测控制单元与所述测试站一一对应通信连接。
40.作为优选，所述测试操作结果包括测试站反馈的分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述复测控制模块，判断分选机和测试机的信号线连接关系，执行如下操作：
41.对测试站反馈的分析结果进行统计，得到整个复测过程中的良品数量和不良品数量，并在复测过程结束后，将良品数量和不良品数量反馈至所述交互模块展示。
42.作为优选，所述测试操作结果包括测试站反馈的分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述复测控制模块，判断分选机和测试机的信号线连接关系，执行如下操作：
43.若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成；
44.若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并结束复测过程，将分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系反馈至所述交互模块展示。
45.作为优选，所述测试操作结果包括测试站反馈的测试数据和分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述复测控制模块，判断分选机和测试机的信号线连接关系，执行如下操作：
46.若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成；
47.若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并判断测试数据是否在良品与不良品临界范围内，若是，则发送临界标记、测试数据、分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系至所述交互模块展示，若否，则将分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系反馈至所述交互模块展示。
48.本发明提供的一种多site模式的集成电路测试系统，基于现有集成电路测试系统增加防呆模块(包括交互模块和复测控制模块)，既保证了通用性，又可快速确定集成电路测试系统中信号线连接情况，以避免产生被测件错误识别的情况。
附图说明
49.图1为现有集成电路测试系统的结构示意图；
50.图2为现有2site模式集成电路测试系统的结构示意图；
51.图3为现有2site模式集成电路测试系统在测试排线交叉错误连接情况下的结构示意图；
52.图4为本发明一种多site模式的集成电路测试方法的流程图；
53.图5为本发明一种多site模式的集成电路测试系统的结构示意图；
54.图6为本发明一种2site模式的集成电路测试系统的结构示意图；
55.图7为本发明一种4site模式的集成电路测试系统的结构示意图。
具体实施方式
56.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
57.需要说明的是，当组件被称为与另一个组件“连接”时，它可以直接与另一个组件连接或者也可以存在居中的组件；当组件被称为与另一个组件“固定”时，它可以直接与另一个组件固定或者也可以存在居中的组件。
58.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是在于限制本发明。
59.实施例1
60.针对现有集成电路测试系统存在信号线交叉错误连接的情况，本实施例提出一种防呆方案，由于测试过程中需要由测试操作员进行上料、下料的操作，因此本实施例提出的防呆方案为执行复测过程(例如在不良品料管满载后，测试操作员更换不良品料管时执行复测过程，其他实施例中，也可以是在其他阶段执行复测过程)。
61.在复测过程中，将不良品料管重新上料进行再次测试，同时通过人机交互界面告知测试机当前启动复测进程；在测试环境未改变的情况下，若信号线正常连接，理论上所有的不良品的复测结果仍为不良品；若不良品料管中产品复测结果出现良品，说明有信号线连接发生错误，则通过人机交互界面提示测试操作员进行检查。
62.基于此，本实施例提出一种多site模式的集成电路测试方法，用于集成电路检测以及分选机和测试机防呆检测。如图4所示，本实施例的多site模式的集成电路测试方法包括初测过程和复测过程。
63.(1)初测过程：基于测试机提供的测试站和分选机提供的测试工位和通信口对被测件进行测试操作，经过测试操作被测件被分选为良品或不良品，其中不良品送入不良品料管。
64.其中被测件为集成电路或模块，以评估集成电路元器件功能和性能。本实施例的初测过程为常规的集成电路测试过程，包括以下步骤：
65.在测试工位上料后，与测试工位对应的通信口向测试站发送ready信号。
66.测试站接收ready信号后，向对应的测试工位发送测试信号。
67.测试工位接收测试信号后，对被测件进行测试，并向测试站返回测试数据(测试数据通常为被测件的各类测试指标数据)。
68.测试站接收测试数据后生成分析结果(分析结果为良品或不良品)，并根据分析结果生成分选信号，将分选信号发送至通信口。
69.分选机根据通信口接收的分选信号，对位于对应测试工位上的被测件进行分选操作，被测件被分选为良品或不良品。
70.(2)复测过程：复测过程需要根据人机交互输入进入，本实施例通过复测过程实现对现有测试系统增加防呆方案。
71.复测过程中，响应于复测指令，基于测试机提供的测试站和分选机提供的测试工位和通信口对不良品料管中的被测件进行测试操作，并基于测试机提供的复测控制模块根据测试操作结果判断分选机和测试机的信号线连接关系。
72.复测过程中的测试操作与初测过程中的测试操作相同，这里就不再进行赘述。另外，人机交互输入可以是在复测控制模块连接上位机，测试操作员基于上位机向复测控制模块下发复测指令。在另一个实施例中，为了便于交互，测试机还提供交互模块，交互模块用于根据人机交互输入(例如测试操作员的输入)向复测控制模块下达复测指令，启动复测过程。
73.将测试操作过程中产生的测试数据和分析结果作为测试操作结果，本实施例根据测试操作结果提出以下三种分选机和测试机的信号线连接关系判断逻辑。
74.第一种：仅统计分析结果。
75.对测试站反馈的分析结果进行统计，得到整个复测过程中的良品数量和不良品数量，并在复测过程结束后，将良品数量和不良品数量反馈至交互模块展示。
76.在该执行逻辑下，复测控制模块可以不向交互模块输出分选机和测试机的信号线连接关系，也可以是向交互模块输出分选机和测试机的信号线连接关系为未知的结果。该执行逻辑下，主要为了统计良品数量和不良品数量，以提示测试操作员当前复测情况，以便于测试操作员根据当前复测情况分析分选机和测试机的信号线连接关系。
77.第二种：仅判断分析结果。
78.若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成。
79.若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并结束复测过程，将分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系反馈至交互模块展示，以提示测试操作员当前可能存在线路交叉连接情况，应立即对当前线路连接情况进行检查。
80.第三种：判断测试数据和分析结果。
81.若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成。
82.若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并判断测试数据是否在良品与不良品临界范围内，若是，则发送临界标记、测试数据、分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系至交互模块展示，以提示该产品的良品分析结果可能是由于测试数据临界导致，为测试操作员做出判断提供参考，若否，则将分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系反馈至交互模块展示。
83.除第一种判断逻辑外，当复测过程中所有不良品的复测结果均为不良品，则表示分选机和测试机的信号线连接关系为正常，此时交互模块可以仅输出最终的判断结果，即分选机和测试机的信号线连接关系为正常的结果，也可以不做任何提示。若存在不良品的复测结果为良品，则表示可能存在线路交叉错误连接情况，判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，通过交互模块展示异常情况，以提示测试操作员进行检查。
84.由于测试数据中设有对应的良品数值范围和不良品数值范围，因此为了提高本实
施例方法的预警准确性，在第三种结果中，将测试数据与良品与不良品临界范围进行比较，若至少有一类指标数据位于良品与不良品临界范围内，表示指标数据位于临界值附近，以提示该产品的良品分析结果可能是由于测试数据临界导致，为测试操作员提供判断参考。
85.实施例2
86.针对现有集成电路测试系统存在信号线交叉错误连接的情况，本实施例提出一种防呆方案，由于测试过程中需要由测试操作员进行上料、下料的操作，因此本实施例提出的防呆方案为执行复测过程(例如在测试操作员更换不良品料管时执行复测过程，其他实施例中，也可以是在其他阶段执行复测过程)。
87.在复测过程中，将不良品料管重新进料，进行再次测试，同时通过人机交互界面告知测试机当前启动复测进程；在测试环境未改变的情况下，若信号线正常连接，理论上所有的不良品的复测结果仍为不良品；若不良品料管中产品复测结果出现良品，说明有信号线连接发生错误，则通过人机交互界面提示测试操作员进行检查。
88.基于此，本实施例提出一种多site模式的集成电路测试系统，如图5所示，本实施例的多site模式的集成电路测试系统包括测试机和分选机，测试机内设有交互模块、复测控制模块和多个测试站，分选机内设有多个测试工位和多个通信口。
89.各部分连接中，测试工位和通信口一一对应，且每个测试站与一个测试工位和通信口连接，复测控制模块与各测试站通信连接，交互模块与复测控制模块和各测试站通信连接。
90.本实施例中复测控制模块可以是一体模块，即一个复测控制模块与所有测试站连接，接收所有测试站的信息进行处理，此时，优选测试站、测试工位和通信口的数量相同。当然，复测控制模块可以是分体模块，即一个复测控制模块包括多个复测控制单元，一个复测控制单元与一个测试站连接，仅接收所连接的测试站的信息进行处理，交互模块与各复测控制单元连接，每个复测控制单元进行独立判断并向交互模块反馈相应信息，此时，优选测试站、复测控制单元、测试工位和通信口的数量相同。
91.将对应连接的一个测试站、一个测试工位和一个通信口作为一组，同组中的测试站与测试工位通过测试排线连接，测试站与通信口通过分选信号线连接。
92.本实施例中交互模块用于实现人机交互，复测控制模块用于运行复测算法，交互模块和复测控制模块可以是独立设置在不同硬件上，例如交互模块为显控装置，复测控制模块为配置复测算法的处理器，交互模块和复测控制模块也可以是设置在同一硬件上，例如同设置在计算机设备上，本实施例不进行限制。
93.本实施例的多site模式的集成电路测试系统具有初测过程和复测过程，其中初测过程即为常规的集成电路测试过程，例如本实施例给出一种测试过程如下：
94.在测试工位上料后，与测试工位对应的通信口向测试站发送ready信号。
95.测试站接收ready信号后，向对应的测试工位发送测试信号。
96.测试工位接收测试信号后，对被测件进行测试，并向测试站返回测试数据(测试数据通常为被测件的各类测试指标数据)。
97.测试站接收测试数据后生成分析结果(分析结果为良品或不良品)，并根据分析结果生成分选信号，将分选信号发送至通信口。
98.分选机根据通信口接收的分选信号，对位于对应测试工位上的被测件进行分选操
作，被测件被分选为良品或不良品。
99.对于复测过程，根据交互模块启动，交互模块根据人机交互输入向复测控制模块下达复测指令。本实施例在下达复测指令时，交互模块同时向对应的测试站下达复测指令，告知测试站在得到测试数据和分析结果后，向复测控制模块转达测试数据和分析结果。
100.对应的，在初测过程中，交互模块可以向测试站下达初测指令，告知测试站在得到测试数据和分析结果后，无需向复测控制模块转达测试数据和分析结果。当然，也可以默认测试站在每次得到测试数据和分析结果后，都向复测控制模块转达测试数据和分析结果，只是复测控制模块可以不接收或不处理测试数据和分析结果，这种情况下，交互模块无需向测试站下达初测指令和复测指令。
101.测试工位在复测过程中上料的为不良品料管中的被测件，测试站、测试工位和通信口根据常规的集成电路测试过程对不良品进行测试和分选，测试站得到测试数据和分析结果发送至复测控制模块，复测控制模块根据测试站发送的测试数据和分析结果，判断分选机和测试机的信号线连接关系，并将分选机和测试机的信号线连接关系发送至交互模块展示。
102.复测控制模块响应于交互模块下达的复测指令，根据测试站发送的测试数据和分析结果执行复测算法，判断分选机和测试机的信号线连接关系，本实施例根据需求提出三种执行逻辑如下。
103.第一种：仅统计分析结果。
104.对测试站反馈的分析结果进行统计，得到整个复测过程中的良品数量和不良品数量，并在复测过程结束后，将良品数量和不良品数量反馈至交互模块展示。
105.在该执行逻辑下，复测控制模块可以不向交互模块输出分选机和测试机的信号线连接关系，也可以是向交互模块输出分选机和测试机的信号线连接关系为未知的结果。该执行逻辑下，主要为了统计良品数量和不良品数量，以提示测试操作员当前复测情况，以便于测试操作员根据当前复测情况分析分选机和测试机的信号线连接关系。
106.第二种：仅判断分析结果。
107.若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成。
108.若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并结束复测过程，将分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系反馈至交互模块展示，以提示测试操作员当前可能存在线路交叉连接情况，应立即对当前线路连接情况进行检查。
109.第三种：判断测试数据和分析结果。
110.若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成。
111.若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并判断测试数据是否在良品与不良品临界范围内，若是，则发送临界标记、测试数据、分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系至交互模块展示，以提示该产品的良品分析结果可能是由于测试数据临界导致，为测试操作员做出判断提供参考，若否，则将分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系反馈至交互模块展示。
112.除第一种判断逻辑外，当复测过程中所有不良品的复测结果均为不良品，则表示
分选机和测试机的信号线连接关系为正常，此时交互模块可以仅输出最终的判断结果，即分选机和测试机的信号线连接关系为正常的结果，也可以不做任何提示。若存在不良品的复测结果为良品，则表示可能存在线路交叉错误连接情况，判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，通过交互模块展示异常情况，以提示测试操作员进行检查。
113.由于测试数据中设有对应的良品数值范围和不良品数值范围，因此为了提高本实施例测试系统的预警准确性，在第三种结果中，将测试数据与良品与不良品临界范围进行比较，若至少有一类指标数据位于良品与不良品临界范围内，表示指标数据位于临界值附近，以提示该产品的良品分析结果可能是由于测试数据临界导致，为测试操作员提供判断参考。
114.实施例3
115.为了便于对本技术的理解，本实施例以2site模式为例进一步进行说明。
116.一种2site模式的集成电路测试系统如图6所示，测试系统中包括交互模块，复测控制模块，两个测试站(site a和site b)，两个测试工位(测试工位1和测试工位2)，两个通信口(通信口1和通信口2)。
117.该测试系统在现有测试系统的基础上，在测试机中增设复测控制模块，包括分别与site a、site b通信连接的第一复测控制单元和第二复测控制单元，用于对复测过程进行控制；同时测试机设有交互模块，交互模块与各复测控制单元及site a、site b通信连接，用于向各复测控制模块下达复测指令以及提示复测结果。
118.实际操作中，2site模式的集成电路测试系统在原有测试系统的初测过程操作基础上，当不良品料管满载后，由测试操作员通过交互模块下达复测指令，提示复测控制模块和测试站开始复测程序；同时测试操作员将不良品料管中的不良品在分选机的测试工位1、测试工位2重新上料后，通信口1、通信口2分别通过分选信号线向测试机的site a、site b发送ready信号；site a、site b在接收到ready信号后，分别向测试工位1、测试工位2发送测试信号，使得各测试工位根据测试信号对不良品进行复测，并将测试数据通过测试排线返回至site a、site b；site a、site b对接收到的测试数据进行分析，判断被测件的性能情况，将测试数据及分析结果分别传输至第一复测控制单元、第二复测控制单元，同时根据分析结果生成分选信号并通过分选信号线传输至分选机，以使分选机根据相应分选信号对被测件进行分选操作。
119.第一复测控制单元、第二复测控制单元在接收到site a、site b传递的测试数据及分析结果后，对当前分析结果进行识别、统计当前复测过程的良品/不良品数量，并将该分析结果及统计结果发送至交互模块，以提示测试操作员当前复测情况，进而根据复测情况分析当前线路连接情况。
120.另外，为了更加直观的输出防呆判断结果，第一复测控制单元、第二复测控制单元还可以进行如下操作：第一复测控制单元、第二复测控制单元在接收到site a、site b传递的测试数据及分析结果后进行判断，若分析结果仍为不良品，则自动继续当前复测进程；一旦接收到分析结果为良品，则立即停止当前复测进程，并将该分析结果发送至交互模块，以提示测试操作员当前可能存在线路交叉连接情况，应立即对当前线路连接情况进行检查。
121.另外，为了提高复测判断准确度，第一复测控制模块、第二复测控制模块在接收到site a、site b传递的良品分析结果后，还需要对测试数据进行分析，若当前产品测试数据
数据位于临界值附近，则将该产品进行临界标记同时将测试数据与分析结果同时发送至交互模块，以提示该产品的良品分析结果可能是由于测试数据临界导致，为测试操作员做出判断提供参考。
122.实施例4
123.为了便于对本技术的理解，本实施例以4site模式为例进一步进行说明。
124.一种4site模式的集成电路测试系统如图7所示，测试系统中包括交互模块，复测控制模块，四个site测试点(site a、site b、site c和site d)，四个测试工位(测试工位1、测试工位2、测试工位3和测试工位4)，四个通信口(通信口1、通信口2、通信口3和通信口4)。
125.该测试系统在现有测试系统的基础上，在测试机中增设复测控制模块，包括分别与site a、site b、site c和site d通信连接的第一复测控制单元、第二复测控制单元、第三复测控制单元和第四复测控制单元，用于对复测过程进行控制；同时测试机设有交互模块，交互模块与各复测控制模块及各测试站通信连接，用于向各复测控制模块下达复测指令以及提示复测结果。
126.实际操作中，4site模式的集成电路测试系统在原有测试系统的初测过程操作基础上，当不良品料管满载后，由测试操作员通过交互模块下达复测指令，提示复测控制模块和测试站开始复测程序；同时测试操作员将不良品料管中的不良品在分选机的测试工位1、测试工位2、测试工位3和测试工位4重新上料后，通信口1、通信口2、通信口3和通信口4分别通过分选信号线向测试机的site a、site b、site c和site d发送ready信号；site a、site b、site c和site d在接收到ready信号后，分别向测试工位1、测试工位2、测试工位3和测试工位4发送测试信号，使得各测试工位根据测试信号对不良品进行复测，并将测试数据通过测试排线返回至site a、site b、site c和site d；site a、site b、site c和site d对接收到的测试数据进行分析，判断被测件的性能情况，将测试数据及分析结果分别传输至第一复测控制单元、第二复测控制单元、第三复测控制单元和第四复测控制单元，同时根据分析结果生成分选信号并通过分选信号线传输至分选机，以使分选机根据相应分选信号对被测件进行分选操作。
127.第一复测控制单元、第二复测控制单元、第三复测控制单元和第四复测控制单元在接收到site a、site b、site c和site d传递的测试数据及分析结果后，对当前分析结果进行识别、统计当前复测过程的良品/不良品数量，并将该分析结果及统计结果发送至交互模块，以提示测试操作员当前复测情况，进而根据复测情况分析当前线路连接情况。
128.另外，为了更加直观的输出防呆判断结果，第一复测控制单元、第二复测控制单元、第三复测控制单元和第四复测控制单元还可以进行如下操作：
129.第一复测控制单元、第二复测控制单元、第三复测控制单元和第四复测控制单元在接收到site a、site b、site c和site d传递的测试数据及分析结果后进行判断，若分析结果仍为不良品，则自动继续当前复测进程；一旦接收到分析结果为良品，则立即停止当前复测进程，并将该分析结果发送至交互模块，以提示测试操作员当前可能存在线路交叉连接情况，应立即对当前线路连接情况进行检查。
130.另外，为了提高复测判断准确度，第一复测控制单元、第二复测控制单元、第三复测控制单元和第四复测控制单元在接收到site a、site b、site c和site d传递的良品分析结果后，还需要对测试数据进行分析，若当前产品测试数据数据位于临界值附近，则将该
产品进行临界标记同时将测试数据与分析结果同时发送至交互模块，以提示该产品的良品分析结果可能是由于测试数据临界导致，为测试操作员做出判断提供参考。
131.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
132.以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种多site模式的集成电路测试方法，其特征在于，所述多site模式的集成电路测试方法，包括：基于测试机提供的测试站和分选机提供的测试工位和通信口对被测件进行测试操作，经过测试操作被测件被分选为良品或不良品，其中不良品送入不良品料管；响应于复测指令，基于测试机提供的测试站和分选机提供的测试工位和通信口，对不良品料管中的被测件进行测试操作，并基于测试机提供的复测控制模块根据测试操作结果判断分选机和测试机的信号线连接关系。2.如权利要求1所述的多site模式的集成电路测试方法，其特征在于，所述测试操作，执行过程包括：在测试工位上料后，与测试工位对应的通信口向测试站发送ready信号；测试站接收所述ready信号后，向对应的测试工位发送测试信号；测试工位接收所述测试信号后，对被测件进行测试，并向所述测试站返回测试数据；所述测试站接收测试数据后生成分析结果，并根据分析结果生成分选信号，将所述分选信号发送至所述通信口；所述分选机根据通信口接收的分选信号，对位于对应测试工位上的被测件进行分选操作，被测件被分选为良品或不良品。3.如权利要求1所述的多site模式的集成电路测试方法，其特征在于，所述测试机还提供交互模块，所述交互模块用于根据人机交互输入向所述复测控制模块下达复测指令，启动复测过程。4.如权利要求3所述的多site模式的集成电路测试方法，其特征在于，所述测试操作结果包括测试站反馈的分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述基于测试机提供的复测控制模块根据测试操作结果判断分选机和测试机的信号线连接关系，包括：对测试站反馈的分析结果进行统计，得到整个复测过程中的良品数量和不良品数量，并在复测过程结束后，将良品数量和不良品数量反馈至所述交互模块展示。5.如权利要求3所述的多site模式的集成电路测试方法，其特征在于，所述测试操作结果包括测试站反馈的分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述基于测试机提供的复测控制模块根据测试操作结果判断分选机和测试机的信号线连接关系，包括：若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成；若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并结束复测过程，将分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系反馈至所述交互模块展示。6.如权利要求3所述的多site模式的集成电路测试方法，其特征在于，所述测试操作结果包括测试站反馈的测试数据和分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述基于测试机提供的复测控制模块根据测试操作结果判断分选机和测试机的信号线连接关系，包括：若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成；若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并判断测试数据是否在良品与不良品临界范围内，若是，则发送临界标记、测试数据、分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系至所述交互模块展示，若否，则将分析结果以及分选机和测
试机的信号线连接关系反馈至所述交互模块展示。7.一种多site模式的集成电路测试系统，其特征在于，所述多site模式的集成电路测试系统包括测试机和分选机，所述测试机内设有交互模块、复测控制模块和多个测试站，所述分选机内设有多个测试工位和多个通信口；所述测试工位和所述通信口一一对应，且每个测试站与一个测试工位和通信口连接，所述复测控制模块与各测试站通信连接，所述交互模块与所述复测控制模块和各测试站通信连接；所述复测控制模块，响应于所述交互模块下达的复测指令，根据所述测试站发送的测试操作结果，判断分选机和测试机的信号线连接关系；所述交互模块，用于根据人机交互输入向所述复测控制模块下达复测指令，并在复测过程结束后展示分选机和测试机的信号线连接关系，所述测试工位在复测过程中上料的为不良品料管中的被测件。8.如权利要求7所述的多site模式的集成电路测试系统，其特征在于，所述复测控制模块包括多个复测控制单元，所有复测控制单元均与所述交互模块通信连接，且所述复测控制单元与所述测试站一一对应通信连接。9.如权利要求7所述的多site模式的集成电路测试系统，其特征在于，所述测试操作结果包括测试站反馈的分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述复测控制模块，判断分选机和测试机的信号线连接关系，执行如下操作：对测试站反馈的分析结果进行统计，得到整个复测过程中的良品数量和不良品数量，并在复测过程结束后，将良品数量和不良品数量反馈至所述交互模块展示。10.如权利要求7所述的多site模式的集成电路测试系统，其特征在于，所述测试操作结果包括测试站反馈的分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述复测控制模块，判断分选机和测试机的信号线连接关系，执行如下操作：若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成；若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并结束复测过程，将分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系反馈至所述交互模块展示。11.如权利要求7所述的多site模式的集成电路测试系统，其特征在于，所述测试操作结果包括测试站反馈的测试数据和分析结果，该分析结果为良品或不良品，所述复测控制模块，判断分选机和测试机的信号线连接关系，执行如下操作：若分析结果为不良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为正常，并继续执行复测过程，直至不良品料管中所有被测件复测完成；若分析结果为良品，则判断分选机和测试机的信号线连接关系为异常，并判断测试数据是否在良品与不良品临界范围内，若是，则发送临界标记、测试数据、分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系至所述交互模块展示，若否，则将分析结果以及分选机和测试机的信号线连接关系反馈至所述交互模块展示。

技术总结
本发明公开了一种多Site模式的集成电路测试方法及测试系统，属于集成电路测试领域，方法包括：基于测试机提供的测试站和分选机提供的测试工位和通信口对被测件进行测试操作，经过测试操作被测件被分选为良品或不良品，其中不良品送入不良品料管；响应于复测指令，基于测试机提供的测试站和分选机提供的测试工位和通信口对不良品料管中的被测件进行测试操作，并基于测试机提供的复测控制模块根据测试操作结果判断分选机和测试机的信号线连接关系。本发明采用简单的复测方式实现集成电路测试系统的防呆测试，以避免产生被测件错误识别的情况。别的情况。别的情况。


技术研发人员：张健
受保护的技术使用者：杭州领策科技有限公司
技术研发日：2023.08.01
技术公布日：2023/9/14