一种64通道耙式探针的制作方法

1.本实用新型涉及探针技术领域，尤其涉及一种64通道耙式探针。


背景技术：

2.等离子体诊断是根据对等离子体物理过程的了解，采用相应的方法和技术来测量等离子体参量的科学技术。等离子体物理现象要用多个参量才能描述，等离子体诊断是用实验方法测定等离子体参量的技术。诊断的方法有探针法、微波法、激光法、光谱法、光学法和粒子束法，其中粒子束法的应用不如前五种普遍。
3.在现有技术中，探针往往采用固定式的，只能检测离子体腔室内某一固定位置的等离子体特性，因此单个固定式静电探针的利用率较低。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种64通道耙式探针。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种64通道耙式探针，包括第一卡座，所述第一卡座一侧转动安装有旋钮，所述第一卡座一侧设置有丝杆，所述旋钮与丝杆固定连接，所述丝杆外部螺旋安装有丝杆套筒，所述丝杆套筒一端固定安装有第二卡座，所述第一卡座一侧设置有连接器，所述连接器与丝杆套筒固定连接，所述第一卡座一侧固定安装有两个导向杆，两个所述导向杆外部均滑动安装有直线轴承，所述直线轴承外部固定安装有轴承外壳，所述轴承外壳与连接器固定连接，所述第一卡座与第二卡座一侧均固定安装有第一法兰，所述第一法兰之间固定安装有波纹管，所述波纹管内部设置有探针管。
7.进一步的，所述第一法兰一侧均固定安装有无氧铜垫，所述第一法兰内壁均固定安装有内环套，所述靠近第一卡座的第一法兰一端固定安装有第二法兰，所述第二法兰一端固定安装有真空航插。
8.进一步的，所述探针管固定安装在靠近第二卡座的第一法兰内壁，所述第二卡座一侧固定安装有窗口法兰，所述窗口法兰一侧设置有观察窗，所述观察窗材料为玻璃。
9.进一步的，所述探针管一端转动安装有旋转夹座，所述旋转夹座一端通过螺丝固定安装有导盒，所述导盒一侧通过螺丝固定安装有导盖。
10.进一步的，所述导盒一侧固定安装有八个探针头，所述单个探针头通道数量为八个。
11.本实用新型的有益效果为：
12.1.本实用新型通过设置丝杆，旋转旋钮，丝杆带动丝杆套筒移动，丝杆套筒带动第二卡座进而带动窗口法兰移动，通过改变旋钮的旋转方向，探针管可以进行伸缩，从而改变探针头检测的位置，可以检测装置内不同位置的等离子特性。
13.2.本实用新型通过设置直线轴承，直线轴承与轴承外壳在导向杆的导向作用下，
保障探针管沿着直线轴承的轴心方向移动，确保不会产生偏移。
14.3.本实用新型通过设置旋转夹座，可以使八个探针头旋转，检测范围形成一个面，检测效率更高。
15.4.本实用新型通过设置八个探针头，每个探针头内有八组通道，采集信号多，采集精度高。
附图说明
16.图1为本实用新型提出的一种64通道耙式探针的整体结构示意图；
17.图2为本实用新型提出的一种64通道耙式探针的观察窗在窗口法兰上的安装示意图；
18.图3为本实用新型提出的一种64通道耙式探针的内环套在第一法兰上的安装示意图；
19.图4为本实用新型提出的一种64通道耙式探针的旋转夹座与导盒连接示意图；
20.图5为本实用新型提出的一种64通道耙式探针的无氧铜垫在第一法兰上的安装示意图。
21.图中：1、第一卡座；2、旋钮；3、丝杆；4、丝杆套筒；5、第二卡座；6、连接器；7、导向杆；8、直线轴承；9、轴承外壳；10、第一法兰；11、波纹管；12、探针管；13、无氧铜垫；14、内环套；15、第二法兰；16、真空航插；17、窗口法兰；18、观察窗；19、旋转夹座；20、导盒；21、导盖；22、探针头。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
23.参照图1-5，一种64通道耙式探针，包括第一卡座1，所述第一卡座1一侧转动安装有旋钮2，所述第一卡座1一侧设置有丝杆3，所述旋钮2与丝杆3固定连接，所述丝杆3外部螺旋安装有丝杆套筒4，旋转旋钮2，丝杆3带动丝杆套筒4移动，所述丝杆套筒4一端固定安装有第二卡座5，所述第一卡座1一侧设置有连接器6，所述连接器6与丝杆套筒4固定连接，所述第一卡座1一侧固定安装有两个导向杆7，两个所述导向杆7外部均滑动安装有直线轴承8，所述直线轴承8外部固定安装有轴承外壳9，所述轴承外壳9与连接器6固定连接，所述第一卡座1与第二卡座5一侧均固定安装有第一法兰10，所述第一法兰10之间固定安装有波纹管11，作为密封隔离元件，保持内部处于真空环境，所述波纹管11内部设置有探针管12。
24.参照图3-5，本实用新型，具体的：所述第一法兰10一侧均固定安装有无氧铜垫13，具有良好的密封性，所述第一法兰10内壁均固定安装有内环套14，所述靠近第一卡座1的第一法兰10一端固定安装有第二法兰15，所述第二法兰15一端固定安装有真空航插16，上下安装通讯接头，信号线通过真空航插16到达探针管12。
25.参照图1-2，本实用新型，具体的：所述探针管12固定安装在靠近第二卡座5的第一法兰10内壁，所述第二卡座5一侧固定安装有窗口法兰17，所述窗口法兰17一侧设置有观察窗18，可以观察装置内部情况，所述观察窗18材料为玻璃。
26.参照图2-4，本实用新型，具体的：所述探针管12一端转动安装有旋转夹座19，所述旋转夹座19一端通过螺丝固定安装有导盒20，所述导盒20一侧通过螺丝固定安装有导盖21。
27.参照图4，本实用新型，具体的：所述导盒20一侧固定安装有八个探针头22，所述单个探针头22通道数量为八个，采集信号多，采集精度高，旋转夹座19可以使八个探针头22旋转，检测范围形成一个面，检测效率更高。
28.工作原理：信号通过真空航插16从探针管12到达探针头22位置，旋转旋钮2，丝杆3带动丝杆套筒4移动，丝杆套筒4带动第二卡座5进而带动窗口法兰17移动，通过改变旋钮2的旋转方向，探针管12可以进行伸缩，从而改变探针头22检测的位置，直线轴承8与轴承外壳9在导向杆7的导向作用下，保障探针管12沿着直线轴承8的轴心移动，旋转夹座19可以使八个探针头22旋转，检测范围形成一个面。
29.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
30.在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。

技术特征：
1.一种64通道耙式探针，其特征在于，包括第一卡座(1)，所述第一卡座(1)一侧转动安装有旋钮(2)，所述第一卡座(1)一侧设置有丝杆(3)，所述旋钮(2)与丝杆(3)固定连接，所述丝杆(3)外部螺旋安装有丝杆套筒(4)，所述丝杆套筒(4)一端固定安装有第二卡座(5)，所述第一卡座(1)一侧设置有连接器(6)，所述连接器(6)与丝杆套筒(4)固定连接，所述第一卡座(1)一侧固定安装有两个导向杆(7)，两个所述导向杆(7)外部均滑动安装有直线轴承(8)，所述直线轴承(8)外部固定安装有轴承外壳(9)，所述轴承外壳(9)与连接器(6)固定连接，所述第一卡座(1)与第二卡座(5)一侧均固定安装有第一法兰(10)，所述第一法兰(10)之间固定安装有波纹管(11)，所述波纹管(11)内部设置有探针管(12)。2.根据权利要求1所述的一种64通道耙式探针，其特征在于，所述第一法兰(10)一侧均固定安装有无氧铜垫(13)，所述第一法兰(10)内壁均固定安装有内环套(14)，其中一个所述第一法兰(10)一端固定安装有第二法兰(15)，所述第二法兰(15)一端固定安装有真空航插(16)。3.根据权利要求2所述的一种64通道耙式探针，其特征在于，所述探针管(12)固定安装在靠近第二卡座(5)的第一法兰(10)内壁，所述第二卡座(5)一侧固定安装有窗口法兰(17)，所述窗口法兰(17)一侧设置有观察窗(18)，所述观察窗(18)材料为玻璃。4.根据权利要求3所述的一种64通道耙式探针，其特征在于，所述探针管(12)一端转动安装有旋转夹座(19)，所述旋转夹座(19)一端通过螺丝固定安装有导盒(20)，所述导盒(20)一侧通过螺丝固定安装有导盖(21)。5.根据权利要求4所述的一种64通道耙式探针，其特征在于，所述导盒(20)一侧固定安装有八个探针头(22)，每个所述探针头(22)的通道数量为八个。

技术总结
本实用新型公开了一种64通道耙式探针，包括第一卡座，所述第一卡座一侧转动安装有旋钮，所述第一卡座一侧设置有丝杆，所述旋钮与丝杆固定连接，所述丝杆外部螺旋安装有丝杆套筒，所述丝杆套筒一端固定安装有第二卡座，所述第一卡座一侧设置有连接器，所述连接器与丝杆套筒固定连接，所述第一卡座一侧固定安装有两个导向杆，两个所述导向杆外部均滑动安装有直线轴承，所述直线轴承外部固定安装有轴承外壳。本实用新型通过设置丝杆，旋转旋钮，丝杆带动丝杆套筒移动，丝杆套筒带动第二卡座进而带动窗口法兰移动，通过改变旋钮的旋转方向，探针管可以进行伸缩，从而改变探针头检测的位置，可以检测装置内不同位置的等离子特性。可以检测装置内不同位置的等离子特性。可以检测装置内不同位置的等离子特性。


技术研发人员：吴启东
受保护的技术使用者：合肥兆科机电科技有限公司
技术研发日：2022.12.30
技术公布日：2023/9/16