真空试验装置的制作方法

1.本发明涉及试验装置，特别涉及一种真空试验装置。


背景技术：

2.在某些情况，需要在高真空和高温条件下对材料的性能(如挥发性能)进行试验。在试验过程中，样品取样、放样等需要升降温度、抽真空等，耗费时间较多。并且，为了避免取放样过程引入杂质影响试验结果，需要材料在不间断试验的情况下，实现样品的在线取放。


技术实现要素：

3.针对上述技术问题，本技术提供了一种真空试验装置，包括：真空试验腔，用于为样品提供进行试验的真空环境，真空试验腔中设有样品承载部，用于承载多个样品；真空加载腔，能够与真空试验腔相互连通或相互隔绝，真空加载腔中设有用于临时承载样品的临时承载台，真空加载腔配置成能够为临时承载台承载的样品提供真空环境；样品传送杆，样品传送杆包括用于夹持样品的夹持部和与夹持部相接的杆部，杆部配置成当真空加载腔与真空试验腔相互连通时，能够带动夹持部在真空试验腔和真空加载腔中沿直线往复运动，以将样品在样品承载部和临时承载台之间传送；以及升降组件，用于带动临时承载台沿竖向升降运动，以允许杆部带动夹持部在真空试验腔和真空加载腔中沿直线往复运动。
4.本技术实施例的真空试验装置由于设置真空加载腔和样品传送杆，在向真空试验腔中放置新的样品或将样品取出时，通过先对真空加载腔进行抽真空，能够在不影响真空试验腔真空度的情况下实现样品的加载或取出，有利于缩短试验时间。由于真空试验装置还包括临时承载台，能够便于样品在真空加载腔中的放入和取出，通过设置升降组件，调节临时承载台的高度，能够既便于样品传送杆从临时承载台上取走样品或将样品放置在承载台上，同时还能够为样品传送杆让位，以不影响夹持部的直线运动。
附图说明
5.通过下文中参照附图对本发明所作的描述，本发明的其它目的和优点将显而易见，并可帮助对本发明有全面的理解。
6.图1是根据本发明一个实施例的真空试验装置的正视图；
7.图2是图1所示真空试验装置的剖面图；
8.图3是图2所示真空试验装置中区域a的局部放大示意图；
9.图4是图2所示真空试验装置中升降台的放大示意图；
10.图5是图4所示升降台的结构示意图；
11.图6是图2所示样品传送杆的示意性原理图；
12.图7是图2所示样品承载部和样品传送杆的局部放大示意图；
13.图8是根据本发明一个实施例的加热部和支撑盘的俯视图；
14.图9是图2所示样品承载部中样品承载部的结构示意图；
15.图10是图9所示样品承载部的分解示意图。
16.需要说明的是，附图并不一定按比例来绘制，而是仅以不影响读者理解的示意性方式示出。
17.附图标记说明：
18.10、工作台；
19.20、真空试验炉；201、真空试验腔；21、试验炉体；211、接口；22、试验底座；
20.30、真空加载炉；301、真空加载腔；31、加载炉体；311、接口；32、加载底座；
21.40、阀门；
22.50、连通管道；
23.60、样品传送杆；61、夹持部；611、夹爪；6111、缺口；62、杆部；621、外壳；622、活塞杆；623、密封法兰；6231、压差平衡口；624、锁紧按钮；625、磁极；626、限位环；627、接触开关；
24.71、样品承载部；711、支承板；7111、插槽；7112、台阶面；712、配合件；713、支脚；714、样品托盘；7141、夹持配合部；7142、容纳槽；71421、台阶面；
25.72、加热部；73、转动台；74、轴承；75、电机；76、隔热件；79、支撑盘；791、安装槽；
26.81、临时承载台；82、升降杆；83、波纹管；84、下部法兰；85、上部法兰；860、升降支撑座；861、升降驱动件；862、升降丝杠；863、升降连接部；864、升降导轨；87、导向杆；88、水平板；89、套筒；
27.90、样品；91、凸缘。
具体实施方式
28.为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一个实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
29.需要说明的是，除非另外定义，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。
30.在本发明实施例的描述中“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
31.参见图1至图3，本发明实施例的真空试验装置包括：真空试验腔201，真空加载腔301以及样品传送杆60。
32.真空试验腔201用于为样品90提供进行试验的真空环境，真空试验腔201中设有样品承载部71，用于承载多个样品90。
33.真空加载腔301能够与真空试验腔201相互连通或相互隔绝。真空加载腔301中设有用于临时承载样品90的临时承载台81，真空加载腔301配置成能够为临时承载台81承载的样品90提供真空环境。
34.样品传送杆60包括用于夹持样品的夹持部61和与夹持部61相接的杆部62。杆部62配置成当真空加载腔301与真空试验腔201相互连通时，能够在真空试验腔201和真空加载6pa的真空状态。
42.在一些实施例中，接口211可以为充放气接口，用于在试验结束后向处于真空状态的真空试验腔201内充气，以便于使真空试验腔201内处于常压状态，便于打开真空试验腔201以取出样品90。
43.此外，接口211可以为备用接口，用于与其他所需设备连接，为增加其他功能预留连接接口，从而满足于不同的需求。
44.真空加载炉30上可以设置多个接口311。接口311可以为样品取放口，用于向真空加载腔301内放置试验用样品90，以及在试验完成后用于将样品90取出。
45.接口311可以为充放气接口，用于在试验结束后向处于真空状态的真空加载腔301内充气，以便于使真空加载腔301内处于常压状态，便于打开真空加载腔301以取出样品90。接口211可以为抽真空接口，用于连接真空泵。真空加载腔301和真空试验腔201具有各自独立的真空泵系统。
46.接口311可以为备用接口，用于与其他所需设备连接，为增加其他功能预留连接接口，从而满足于不同的需求。
47.在一些实施例中，真空试验炉20和真空加载炉30上还可以分别设置观察窗，便于观察腔室内的情况。
48.在一些实施例中，真空试验炉20和真空加载炉30上还可以分别包括真空度测量件，真空度测量件用于实时测量腔室内的真空度。真空度测量件可以为真空规，分子泵与机械泵之间管路上安装前级真空规其真空测量范围为5x10-2
pa，复合真空规安装于腔室，其测量范围2x10-6
pa～10pa。
49.真空试验装置还包括：连通管道50和阀门40。连通管道50用于连通真空加载腔301和真空试验腔201。阀门40设置于连通管道50上，用于导通或断开连通管道50。当样品传送杆60的夹持部61直线运动时，夹持部61能够从真空加载腔301经由连通管道50进入真空试验腔201，以及从真空加载腔301经由连通管道50返回真空试验腔201。
50.真空加载腔301是为了取样而不破坏真空试验腔201内高温真空状态设计的，真空加载腔301和真空试验腔201可以通过法兰端口连接，两腔中间安装闸板阀可以隔离两腔。
51.在一些实施例中，真空加载腔301的底壁(即加载底座32)形成底壁开口。
52.升降组件包括：升降杆82和波纹管83。升降杆82自真空加载腔301的底壁开口向上延伸进入真空加载腔301中与临时承载台81连接。波纹管83在真空加载腔301的底壁开口下方套设在升降杆82的径向外侧。其中，波纹管83的上端与真空加载腔301的底壁开口的周缘密封连接，波纹管83的下端与升降杆82密封连接。当升降杆82在底壁开口内上下移动时，波纹管83能够相应地收缩或伸长。在这样的实施例中，由于波纹管83的上端与真空加载腔301的底壁开口的周缘密封连接，波纹管83的下端与升降杆82密封连接，从而能够保证了真空加载腔301的密封性。
53.波纹管83的上端可以通过上部法兰85与真空加载腔301的底壁开口的周缘密封连接；波纹管83的下端可以通过下部法兰84与升降杆82之间固定且密封连接。上部法兰85和下部法兰84均可以为超高真空法兰。
54.升降组件还包括：驱动部，用于驱动升降杆82上下移动，以带动临时承载台81上下移动。通过驱动部能够灵活地调节临时承载台81的高度，以为样品传送杆60让位。
55.驱动部位于真空加载腔301外，可以设置于加载底座32上。驱动部可以与下部法兰84连接，以驱动下部法兰84上下移动。
56.参见图4和图5，驱动部包括升降支撑座860、升降驱动件861、升降丝杠862、升降导轨864以及升降连接部863。升降支撑座860用于支撑和安装升降驱动件861、升降丝杠862以及升降导轨864。升降支撑座860顶部支撑板和底部支撑板，顶部支撑板设置于加载底座32上。升降导轨864固定于顶部支撑板和底部支撑板之间，升降丝杠862的两端可转动地连接于两个支撑板。升降连接部863在两个支撑板之间可滑动地连接于升降导轨864。升降连接部863具有与升降丝杠862相配合的螺纹孔，升降丝杠862穿设于螺纹孔内。
57.在本实施例中，升降连接部863与下部法兰84固定连接，通过升降丝杠862与螺纹孔的配合，升降丝杠862转动时可以带动升降连接部863沿升降导轨864上下移动，进而带动下部法兰84上下移动，从而实现升降杆82的升降以及波纹管83的收缩或伸长。
58.进一步地，升降驱动件861安装在位于底部支撑板的下表面，且升降驱动件861与升降丝杠862连接，当升降驱动件861旋转时可以带动升降丝杠862旋转，进而实现升降连接部863的上下移动。在一些实施例中，升降驱动件861为手动转轮，手动转动该转轮即可实现样品90收集部的升降。
59.此外，升降支撑座860还包括侧板，侧板连接于两个支撑板之间。在一些实施例中，侧板上还标记有刻度，用于测量升降连接部863的升降距离。
60.真空加载腔301中可设置加热件，用于对临时承载台81承载的样品90进行加热。
61.在一些实施例中，当真空加载腔301中的临时承载台81承载的样品90为从真空试验炉20中取出的高温样品90时，为了加快对样品90的降温，以将样品90从真空加载炉30中快速取出，在一些实施例中，真空加载炉30内还设有冷却部，用于为临时承载台81进行冷却。
62.在这样的实施例中，临时承载台81内部可以为空腔，升降杆82可以包括内管和套设于内管径向外侧的外管，其中，内管和外管的上端分别与临时承载台81的空腔连通。内管的下端和外管的下端均可以向下延伸至下部法兰84的下方。内管的下端可以与冷却剂进口连通，内管和外管之间的环形空间位于下部法兰84下方的部分可以与冷却剂出口连通，从而使得冷却剂能够在经由内管流动至临时承载台81的空腔后从内外管之间的环形间隙流出。如此设置，能够在将样品90从真空试验腔201转移至真空加载腔301后，通过冷却剂快速对样品90进行降温。
63.在一些实施例中，参见图9和图10，样品承载部71包括：支承板711和多个样品托盘714。支承板711的周向端面形成沿径向延伸的多个插槽7111。样品托盘714用于承载至少一个样品90。每个样品托盘714沿径向插入插槽7111中。样品传送杆60的夹持部61用于夹持样品托盘714，通过杆部62带动夹持部61沿直线往复运动以将样品托盘714从插槽7111中取出并传送至临时承载台81，或将样品托盘714从临时承载台81传送至插入插槽7111中。由于样品托盘714沿径向与插槽7111插接，从而能够利用样品传送杆60的夹持部61沿直线运动时实现样品托盘714与插槽7111的插接配合以及解除两者之间的插接配合。
64.在一些实施例中，支承板711沿周向形成间隔的多个插槽7111，插槽7111自支承板711的周向端面向内凹陷并贯穿支承板711的上下端面；插槽7111的槽壁形成用于与样品托盘714进行插接的滑槽。
65.在一些实施例中，插槽7111的槽壁形成台阶面7112，样品承载部71还包括配合件712，通过紧固件安装于支承板711，利用配合件712与台阶面7112共同形成用于与样品托盘714进行插接的滑槽。
66.样品托盘714可采用耐高温镍基合金制造，质量较轻，有利于被夹持部61钳住不掉落。
67.样品托盘714设有夹持配合部7141，用于供样品传送杆60的夹持部61夹持。夹持部61包括两个夹爪611，用于夹持夹持配合部7141。
68.参见图10，夹持配合部7141可以为十字形结构，相应地，参见图7，两个夹爪611相对的表面分别形成十字形缺口6111，以在两个夹爪611夹紧时与夹持配合部7141的十字形结构相匹配，从而在样品传送杆60沿直线运动时，保证样品托盘714不发生晃动，防止样品托盘714中的样品90从样品托盘714上脱落。
69.支承板711可以具有圆形结构，每个样品托盘714可以具有扇形结构。
70.样品托盘714上可以形成多个向下凹陷的容纳槽7142，每个样品90放置于一个容纳槽7142中。
71.在一些实施例中，临时承载台81上可形成用于指示与样品传送杆60的夹持部61对准的标识。用户可以根据标识将样品托盘714放在临时承载台81上，以便于夹持部61能够在线性运动时与样品托盘714的夹持配合部7141对准并进行夹持。
72.在一些实施例中，为了防止升降杆82在升降过程中出现旋转，使得标识转动一定的角度，从而使夹持部61在线性运动时不能与样品托盘714的夹持配合部7141对准，真空试验装置还包括：导向部，用于避免升降杆82在升降过程中出现旋转。
73.参见图4和图5，导向部可以包括：导向杆87、水平板88、以及套筒89。套筒89固定在加载底座32的下表面，导向杆87与升降杆82平行设置，导向杆87的下端可沿轴向上下移动地设置于套筒89，导向杆87的上端穿过加载底座32向上延伸，导向杆87通过水平板88与升降杆82刚性连接。当利用升降组件对升降杆82进行升降操作时，升降杆82带动水平板88和导向杆87共同升降，由于水平板88和导向杆87的约束作用，使得升降杆82不会发生旋转。参见图7和图8，真空试验装置还包括：加热部72，设置在支承板711的下方，以对样品托盘714承载的样品90进行加热，从而实现样品90在高温真空条件下的试验。
74.在一些实施例中，容纳槽7142贯穿样品托盘714的下端面，容纳槽7142的槽壁形成台阶面71421；样品90的上部形成凸缘91，凸缘91由台阶面支撑，便于样品90卡在样品托盘714上加热和取样。
75.样品托盘714可同时放置6片10mm*10mm*2mm的样品90。
76.插槽7111贯穿支承板711的上下端面。由于容纳槽7142贯穿样品托盘714的上下端面，插槽7111贯穿支承板711的上下端面，从而使得样品的上下表面能够外露。由于加热部72位于支承板711的下方，从而便于利用加热部72直接对样品90进行加热，同时还便于对样品90进行挥发试验等。
77.样品承载部71还可以包括支撑盘79和多个支脚713。加热部72设置在支撑盘79中。支撑盘79设有多个安装槽791。支脚713与支承板711的底面连接，每个支脚713穿过加热部72插入支撑盘79的安装槽791。在这样的实施例中，有利于利用加热部72的热量对个样品90进行均匀加热。
78.真空试验腔201的顶部可以安装小观察窗法兰，利用红外温度传感器透过观察窗检测试样表面温度进行温度控制。
79.加热部72采用辐射加热的方式对样品90进行加热。可以通过红外测量仪检测样品90温度对加热部72进行控制。样品90的温度范围可以为100℃～1000℃。可以采用出气量小、蒸气压低、化学稳定性好的钽作为加热部72材料。
80.支撑盘79采用绝缘材料制成。支撑盘79可以具有四芯电极，通过电极保护罩罩设在内。
81.参见图8，加热部72可以由一根加热丝曲折延伸形成，支脚713穿过加热部72的间隙插入支撑盘79的安装槽791。例如，可以把加热丝平行往返绕制在骨架上，从而保证电流通过加热丝时，产生的电磁场最小。可以以钽板作骨架，钽丝作加热丝，以薄壁al2o3瓷管进行电绝缘。
82.真空试验腔201顶部安装小观察窗法兰，红外温度传感器透过观察窗检测试样表面温度进行温度控制。
83.为了使样品传送杆60能够对各样品托盘714进行夹持，样品承载部71配置成可转动地设置于真空试验腔201中，以使每个样品托盘714能够与样品传送杆60对准。
84.参见图2和图3，在一些实施例中，样品承载部71通过转动台73设置于试验底座22上。试验底座22处可形成开口，开口处可设置轴承74，用于供转动台73的转轴通过。试验底座22下方可设置电机75和齿轮箱组，用于驱动转动台73转动。
85.在一些实施例中，样品承载部71还包括隔热件76。隔热件76连接于转动台73与支撑盘79之间，用于隔离加热部72与转动台73，避免加热部72的热量传递至真空试验腔201外，实现真空试验腔201的保温。
86.在一些实施例中，隔热件76包括多个隔热柱。多个隔热柱固定于转动台73上，并沿周向均匀地分布于转动台73，支撑盘79设置于多个隔热柱的上端。通过设置隔热柱，不仅实现了对支撑盘79的支撑和固定，还隔离了加热部72与转动台73，提高了隔热效果。进一步地，隔热柱上均匀设置有多个隔热孔，通过设置多个隔热孔，减小隔热柱的热导率，进一步减少加热部72向外部的散热。
87.样品承载部71还可以包括冷却部，用于对转动台73进行冷却。
88.在一些实施例中，真空试验腔201和真空加载腔301超高真空实验环境的获取方法包括：以无油涡旋机械泵真空泵和分子泵为主泵，其中无油涡旋机械泵真空泵作为前置预抽泵，两套真空泵串联。实际操作时，首先通过无油涡旋机械泵真空泵，将腔体抽至10pa左右；然后采用贴片式加热带将整个装置加热至120℃，减少内壁吸附的气体，启动分子泵将腔室抽至最终要求1
×
10-6
pa左右。
89.取样过程：将真空试验腔201降低温度到120℃，可以在不破坏真空度的前提下在真空试验腔201内利用样品传送杆60抓取样品托盘714并移动到真空加载腔301，闸板阀关闭真空试验腔201和真空加载腔301通道，测温装置检测到样品90温度恢复到室温后开始缓慢进气将升压，待真空加载腔301压力恢复到室压后，打开真空加载腔301法兰取样。
90.放样过程：将样品90放入真空加载腔301的样品托盘714，并锁紧真空加载腔301法兰，真空加载腔301抽真空到10pa左右，加热真空加载腔301至120℃，减少内壁吸附的气体，启动分子泵将真空加载腔301抽至最终要求1
×
10-6pa左右后，允许打开闸板阀由样品传送
杆60将样品托盘714放入真空试验腔201的支承板711的插槽，将真空试验腔201加热到规定温度。
91.工作台10的四周骨架由铝型材拼接而成，同时采用铝塑板进行封盖，工作台10下方连接由福马轮支撑，方便装置的移动、固定、调整水平。
92.电气控制单元安装在工作台10内部空间，用来控制及采集各个部分的相关数据。
93.水冷系统由冷水机、分水器组件、流量监视器等组成。设备冷却通过冷水机进行对设备制冷。
94.真空试验腔201为一个圆柱形腔体，安装在工作台10一侧，真空试验腔201采用不锈钢316材质焊接而成，表面进行真空除气、喷玻璃丸+化学抛光特殊工艺处理。侧面设计了观察窗，传样窗口、分子泵接管、复合真空规接管，充放气接口，安全阀等。
95.真空加载腔301为一个圆柱形腔体安装在工作台10上，真空加载腔301室采用不锈钢316材质焊接而成，表面进行真空除气、喷玻璃丸+化学抛光特殊工艺处理。侧面设计传样窗口，真空腔体、分子泵接管，备用口，复合真空规接管，安全阀和放气接口等。
96.前置真空规安装位于机械泵和分子泵之间，用于判定分子泵启动。复合真空规用来测量加真空试验腔201和真空加载腔301真空度。真空试验腔201和真空加载腔301的真空抽气系统由机械泵和分子泵串联组成，分子泵安装在真空加热腔腔体和真空加载腔301体上。
97.本技术实施例的真空试验装置能够进行高温材料的热真空挥发特性原理验证试验，可在保持待测样品90环境真空度和温度条件下，完成试验样品90的取样、放样操作，避免取放样过程引入杂质，极大缩短总试验时长。
98.对于本发明的实施例，还需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。
99.以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种真空试验装置，包括：真空试验腔，用于为样品提供进行试验的真空环境，所述真空试验腔中设有样品承载部，用于承载多个样品；真空加载腔，能够与所述真空试验腔相互连通或相互隔绝，所述真空加载腔中设有用于临时承载样品的临时承载台，所述真空加载腔配置成能够为所述临时承载台承载的样品提供真空环境；样品传送杆，所述样品传送杆包括用于夹持样品的夹持部和与所述夹持部相接的杆部，所述杆部配置成当所述真空加载腔与所述真空试验腔相互连通时，能够带动所述夹持部在所述真空试验腔和所述真空加载腔中沿直线往复运动，以将所述样品在所述样品承载部和所述临时承载台之间传送；以及升降组件，用于带动所述临时承载台沿竖向升降运动，以允许所述杆部带动所述夹持部在所述真空试验腔和所述真空加载腔中沿直线往复运动。2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述真空加载腔的底壁形成底壁开口，所述升降组件包括：升降杆，自所述真空加载腔的底壁开口向上延伸进入所述真空加载腔中与所述临时承载台连接；和波纹管，在所述真空加载腔的底壁开口下方套设在所述升降杆的径向外侧，其中，所述波纹管的上端与所述真空加载腔的底壁开口的周缘密封连接，所述波纹管的下端与所述升降杆密封连接，当所述升降杆在所述底壁开口内上下移动时，所述波纹管能够相应地收缩或伸长。3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述升降组件还包括：驱动部，用于驱动所述升降杆上下移动，以带动所述临时承载台上下移动。4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述样品承载部包括：沿水平方向延伸的支承板，所述支承板的周向端面形成沿径向延伸的多个插槽；和多个样品托盘，每个所述样品托盘用于承载至少一个样品，每个所述样品托盘沿径向插入所述插槽中；其中，所述样品传送杆的夹持部用于夹持所述样品托盘，通过所述杆部带动所述夹持部沿直线往复运动将所述样品托盘从所述插槽中取出并传送至所述临时承载台，或将所述样品托盘从所述临时承载台传送至插入所述插槽中。5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述样品托盘上形成多个向下凹陷的容纳槽，每个所述样品放置于一个所述容纳槽中。6.根据权利要求5所述的装置，其中，所述容纳槽贯穿所述样品托盘的下端面，所述容纳槽的槽壁形成台阶面；所述样品的上部形成凸缘，所述凸缘由所述台阶面支撑。7.根据权利要求4所述的装置，还包括：加热部，设置在所述支承板的下方，以对所述样品托盘承载的样品进行加热，其中，所述插槽贯穿所述支承板的上下端面。8.根据权利要求7所述的装置，其中，所述样品承载部还包括：支撑盘，所述加热部设置在所述支撑盘中，所述支撑盘设有多个安装槽；和
多个支脚，与所述支承板的底面连接，每个所述支脚穿过所述加热部插入所述支撑盘的安装槽。9.根据权利要求4所述的装置，其中，所述样品承载部配置成可转动地设置于所述真空试验腔中，以使每个所述样品托盘能够与所述样品传送杆对准。10.根据权利要求1所述的装置，还包括：连通管道，用于连通所述真空加载腔和所述真空试验腔；和阀门，设置于所述连通管道上，用于导通或断开所述连通管道。

技术总结
本申请实施例提供了一种真空试验装置，包括：真空试验腔，真空试验腔中设有样品承载部，用于承载多个样品；真空加载腔，能够与真空试验腔相互连通或相互隔绝，真空加载腔中设有用于临时承载样品的临时承载台，真空加载腔配置成能够为临时承载台承载的样品提供真空环境；样品传送杆，样品传送杆包括用于夹持样品的夹持部和与夹持部相接的杆部，杆部配置成当真空加载腔与真空试验腔相互连通时，能够带动夹持部在真空试验腔和真空加载腔中沿直线往复运动，以将样品在样品承载部和临时承载台之间传送；以及升降组件，用于带动临时承载台沿竖向升降运动，以允许杆部带动夹持部在真空试验腔和真空加载腔中沿直线往复运动。和真空加载腔中沿直线往复运动。和真空加载腔中沿直线往复运动。


技术研发人员：杨万欢 李强 曹晗 丁明哲 张鹏 王宇回 胡古 钟巍华
受保护的技术使用者：中国原子能科学研究院
技术研发日：2023.06.19
技术公布日：2023/9/20