一种基于老炼箱的集成电路老炼系统及方法与流程

1.本发明属于集成电路可靠性试验技术领域，具体涉及一种基于老炼箱的集成电路老炼系统及方法。


背景技术：

2.老炼试验是半导体元器件需要百分之百进行的一项非破坏性试验，是对元器件进行可靠性筛选考核的必要手段和重要质量保证方法，能够剔除具有缺陷的元器件，关系到国家航天、航空、军事战略、工业控制、消费类电子等各个领域。伴随着集成电路产业的飞速发展，器件的工作频率已达到ghz量级，业界主流fpga芯片、高速ad/da等高性能集成电路的工作频率在数百mhz，内部的模块工作频率最高可达ghz以上，这些器件的老炼工作频率要求已经达到100mhz甚至更高。
3.目前老炼试验中所用的老炼箱，例如杭州可靠性仪器厂生产的elea-v集成电路老炼箱拥有一套完整的电源、数字信号、模拟信号、信号回检等硬件资源，覆盖大部分半导体元器件的老炼技术要求，可以提供高密度多site并行老炼，被广泛应用于集成电路的批量老炼筛选，但是，以elea-v集成电路老炼箱为代表提供的时钟频率最大只有10mhz，已不能满足高频集成电路老炼技术要求。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于克服上述缺陷，提供一种基于老炼箱的集成电路老炼系统和方法，解决了传统老炼箱自身时钟频率低的技术问题，本发明能满足高频集成电路老炼技术要求。
5.为实现上述发明目的，本发明提供如下技术方案：
6.一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，包括老炼箱，还包括高频时钟产生装置；
7.老炼箱包括上位机和老化工位；
8.高频时钟产生装置包括fpga主控芯片、数字转模拟模块、运算放大器、可调稳压模块和总线收发器模块；
9.上位机接收用户要求的频率信息和幅值信息，根据用户要求的频率信息和幅值信息生成时钟频率指令和时钟幅值指令，将时钟频率指令和时钟幅值指令输出至fpga主控芯片；
10.fpga主控芯片接收由上位机发送的时钟频率指令和时钟幅值指令，根据时钟频率指令对外部输入的时钟信号进行分频或倍频，生成具备要求频率的时钟信号，将具备要求频率的时钟信号输出至总线收发器模块，同时根据时钟幅值指令，生成反映要求幅值的数字信号，将反映要求幅值的数字信号输出至数字转模拟模块；
11.数字转模拟模块接收由fpga主控芯片输入的反映要求幅值的数字信号，将数字信号转换为反映要求幅值的模拟信号，将反映要求幅值的模拟信号输出至运算放大器；
12.运算放大器接收由数字转模拟模块输入的反映要求幅值的模拟信号，对模拟信号
进行放大或缩小，将放大或缩小后的模拟信号输出至可调稳压模块；
13.可调稳压模块接收由运算放大器输入的放大或缩小后的模拟信号，对放大或缩小后的模拟信号进行稳压，得到具备要求幅值的电压信号并输出至总线收发器模块；
14.总线收发器模块接收由fpga主控芯片输入的具备要求频率的时钟信号和可调稳压模块输入的具备要求幅值的电压信号，将具备要求频率的时钟信号和具备要求幅值的电压信号进行叠加，得到具备要求幅值、频率的时钟信号，将具备要求幅值、频率的时钟信号输出至老化工位；
15.老化工位利用具备要求幅值、频率的时钟信号对集成电路进行老炼。
16.进一步的，运算放大器为源跟随器或负反馈放大器；
17.当用户要求的幅值信息＞fpga主控芯片的电源电压，运算放大器为负反馈放大器，负反馈放大器对模拟信号进行放大；
18.当用户要求的幅值信息＜fpga主控芯片的电源电压，运算放大器为源跟随器，源跟随器对模拟信号进行缩小。
19.进一步的，通过跳线帽配置的方法将运算放大器设置为源跟随器或负反馈放大器。
20.进一步的，数字转模拟模块的精度为0.01v。
21.进一步的，数字转模拟模块的输出端连接运算放大器的负反馈端。
22.进一步的，运算放大器负反馈端直接与运算放大器输出短连接，运算放大器的正反馈端接跟随电压，默认接地；
23.运算放大器输出的放大或缩小后的模拟信号，输出至可调稳压器的参考端。
24.进一步的，总线收发器模块输出信号的最大频率为1ghz，幅值为0v～12v。
25.进一步的，fpga主控芯片输入的具备要求频率的时钟信号和具备要求幅值的电压信号分别输出至总线收发器模块的电压参考端和输入端。
26.进一步的，上位机向fpga主控芯片输出用于控制高频时钟产生装置开关的控制信号。
27.一种基于老炼箱的集成电路老炼方法，采用上述一种基于老炼箱的集成电路老炼系统实现，包括：
28.上位机接收用户要求的频率信息和幅值信息，根据用户要求的频率信息和幅值信息生成时钟频率指令和时钟幅值指令，将时钟频率指令和时钟幅值指令输出至fpga主控芯片；
29.fpga主控芯片接收由上位机发送的时钟频率指令和时钟幅值指令，根据时钟频率指令对外部输入的时钟信号进行分频或倍频，生成具备要求频率的时钟信号，将具备要求频率的时钟信号输出至总线收发器模块，同时根据时钟幅值指令，生成反映要求幅值的数字信号，将反映要求幅值的数字信号输出至数字转模拟模块；
30.数字转模拟模块接收由fpga主控芯片输入的反映要求幅值的数字信号，将数字信号转换为反映要求幅值的模拟信号，将反映要求幅值的模拟信号输出至运算放大器；
31.运算放大器接收由数字转模拟模块输入的反映要求幅值的模拟信号，对模拟信号进行放大或缩小，将放大或缩小后的模拟信号输出至可调稳压模块；
32.可调稳压模块接收由运算放大器输入的放大或缩小后的模拟信号，对放大或缩小
后的模拟信号进行稳压，得到具备要求幅值的电压信号并输出至总线收发器模块；
33.总线收发器模块接收由fpga主控芯片输入的具备要求频率的时钟信号和可调稳压模块输入的具备要求幅值的电压信号，将具备要求频率的时钟信号和具备要求幅值的电压信号进行叠加，得到具备要求幅值、频率的时钟信号，将具备要求幅值、频率的时钟信号输出至老化工位；
34.老化工位利用具备要求幅值、频率的时钟信号对集成电路进行老炼。
35.本发明与现有技术相比具有如下有益效果：
36.(1)本发明创造性的提出一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，可提高集成电路老炼箱的老炼能力，实现了对高频集成电路的老炼；
37.(2)本发明根据不同待老炼器件对高频率老炼的需求，产生不同频率的高频时钟信号，解决集成电路老炼箱本身时钟频率低、高频老炼能力不足的问题；
38.(3)本发明将高频时钟产生装置增加至原有的老炼系统中即能实现高频老炼，具有普适性，应用前景广泛。
附图说明
39.图1为本发明的高频时钟产生装置原理框图；
40.图2为本发明的老炼过程流程示意图。
具体实施方式
41.下面通过对本发明进行详细说明，本发明的特点和优点将随着这些说明而变得更为清楚、明确。
42.在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。
43.本发明提出一种基于老炼箱的高频电路老炼系统，包括老炼箱和高频时钟产生装置，其中高频时钟产生装置包含：fpga主控芯片、数字转模拟模块、运算放大器、可调稳压模块、总线收发器模块、通信模块、供电模块。
44.如图1所示，根据待老炼器件的要求，通过上位机向fpga下发频率和幅度指令码。fpga接收到来自上位机的指令码，通过分频或者倍频产生特定的频率；同时通过与da的通信，将代表特定幅度的数字信号发送至da处理，经da处理后得到模拟信号。da模块的输出连接运算放大器的负反馈端，该运放为源跟随器，即运放负反馈端直接与运放输出短连接，正反馈端接跟随电压，默认接地。经运放输出的模拟信号，连接至可调稳压器的参考端，可调稳压器输出端输出指定幅度的电压。可调稳压器输出的电压输出至总线收发器的电压参考端，fpga产生的特定频率，连接总线收发器的输入端。总线收发器的输出要求电压幅度、频率的时钟信号。将总线收发器的输出波形，输入至老炼工位，提供所需的高频老炼信号。
45.如图2所示，一种基于老炼箱的高频电路老炼方法，按照以下步骤进行器件老炼：
46.(1)用户利用上位机设置老炼器件需求时钟频率和幅值，上位机发送指令码，建立与高频时钟产生装置的握手通信；
47.(2)使用老炼箱的老炼程序开发软件编译生成符合elea-v向量格式的mdb文件，该
文件包含电源设置、数字信号及控制高频时钟产生装置的开关信号时序；
48.(3)建立老炼箱的老炼程序，读取mdb文件，由老炼箱向老炼程序施加电源设置、数字信号及控制高频时钟产生装置的开关信号，将老炼程序送入高频时钟产生装置完成其初始化配置，产生高频时钟信号传输给老炼工位，对老炼器件开始进行老炼试验；
49.(4)老炼过程中，按规定时间要求检测老炼器件的输出信号；
50.(5)老炼规定时间到达后，由老炼箱产生的控制信号，送入高频时钟产生装置，关断高频时钟信号；
51.(6)老炼箱关断电源、数字信号完成器件的老炼试验。
52.实施例：
53.本实施例中，高频时钟产生装置包含：fpga主控芯片、数字转模拟模块、运算放大器、可调稳压模块、总线收发器模块、通信模块、供电模块。fpga主控芯片中包含分频倍频模块，分频倍频模块由fpga主控芯片内部逻辑单元、锁相环产生。
54.fpga主控芯片通过通讯模块与上位机通讯，接收、解析并执行上位机下发的各种测试命令，根据不同的命令配置板上各个模块的工作状态，实现相对应功能，以及向上位机发送握手和测试结果信息；
55.fpga主控芯片中的频率产生模块通过对多时钟晶振进行分频，或者通过pll ip核对时钟进行倍频，从而产生符合老炼要求的高频时钟信号；
56.数字转模拟(d/a)模块，fpga主控芯片与该模块进行连接，通过控制总线对该模块进行初始化配置、各指令寄存器配置。通过数据总线，对该模块进行数据传输。该模块在接收到fpga发送的数字信号转变为模拟信号进行输出。
57.源跟随(放大)电路模块，在高频老炼所需信号幅值低于fpga管脚电压的情况下，用于保护d/a模块的模拟输出，其特点为输入高阻抗，输出低阻抗。源跟随电路起到了缓冲、隔离、提高带载能力的作用，使得后级模块电路输入不受前级电路影响；在高频老炼所需信号幅值高于fpga管脚电压的情况下，通过跳线帽跳线选择，使其对输入信号可以放大输出。
58.可调稳压模块实现产生高频老炼信号所需的电压幅值，且要求其输出进一步增加功率，提高后端带载能力。
59.总线收发器模块通过不同的参考电压的输入和不同频率信号的输入，产生幅值和频率叠加的信号，该信号用于满足老炼箱老炼器件的高频信号要求。
60.通讯模块完成老炼箱与fpga主控芯片的命令交互，建立多种通信方式，保证通讯的高可靠性和人机交互的便携性。
61.供电模块为整板元器件提供多种不同幅值的电源电压。
62.具体的，fpga主控芯片通过通讯模块与上位机通讯，接收、解析并执行上位机下发的各种命令，完成不同频率信号的选择；不同信号幅值的选择、各模块的初始化设置；da模块的数据传输。
63.具体的，使用da转化，可以产生精度为0.01v的电压调节。
64.具体的，老炼所需信号幅值低于da模块电压阈值，则使用源跟随电路对前后级进行隔离，若老炼所需信号幅值高于da模块电压阈值，通过设计pcb板时，预留跳线，改变运算放大器的管脚连接，对满量程的da模块输出进行放大，从而满足后端电路需求。
65.具体的，高频老炼信号发生器的负载驱动由大功率可调稳压模块实现，通过输入
不同的参考电压，最大输出电压可达12v，最大驱动电流为300ma。
66.具体的，总线收发器模块的输入端为不同频率的输入，电压参考端为可调稳压模块输出端的电压，其最大输出频率信号可达1ghz，输出幅值0v-12v。
67.具体的，通讯模块实现老炼箱与高频老炼信号发生器的串行通讯，通讯速率为115200bps，通过串口助手，可按键选择所需信号幅值和频率，并在有效操作后，可以接受到系统反馈。
68.具体的，供电模块为整板元器件提供各种不同幅值的电源电压，整板静态电流约200ma，负载可达300ma，具有过热保护、欠压保护等功能。
69.一种基于elea-v老炼箱的高频电路老炼方法，包含以下步骤：
70.(1)上位机设置老炼器件需求时钟频率和幅值，发送指令码，建立与高频时钟产生装置的握手通信。
71.(2)使用elea-v老炼程序开发软件编译生成符合elea-v向量格式的mdb文件，包含电源设置、数字信号及控制高频时钟产生装置的开关信号时序；
72.(3)建立elea-v老炼程序，读取mdb文件，由elea-v老炼箱施加电源、数字信号及控制高频时钟产生装置的开关信号，并送入高频时钟产生装置完成其初始化配置,产生高频时钟信号传输给老炼器件,对老炼器件开始进行老炼试验；
73.(4)老炼过程中，按规定时间要求检测老炼器件的输出信号；
74.(5)老炼规定时间到达后，由elea-v老炼箱产生的控制信号，送入高频时钟产生装置，关断高频时钟信号；
75.(6)elea-v老炼箱关断电源、数字信号完成器件的老炼试验。
76.主控器采用集成具有时钟分频、逻辑判断、控制其他模块使能信号、计时功能和发送高频信号的fpga。数字转模拟模块采用14位以上高分辨率、高可靠的adc和工作在特定模式的运放电路组成。运算放大器模块采用一级源跟随电路、二级可选择放大的模式，由放大电路和rc回路组成。可调稳压器模块由具有与上位机通信功能的可调节线性稳压器组成，具有宽幅值、输入端低电阻值、输出高负载的特点。总线收发器模块采用高开关速率、可双向选择、多通道输入输出、输入输出幅值可调节、高可靠性的收发电路组成。通讯模块集成在fpga，包括异步串口通讯协议、spi通讯协议、i2c通讯协议。供电模块采用分别输出12v的高稳定性ldo和输出5v，3.3v的高可靠性、轨对轨dc-dc组成。
77.在流程开始之初，上位机设置老炼器件需求时钟频率和幅值，发送指令码，建立与高频时钟产生装置的握手通信。使用elea-v老炼程序开发软件编译生成符合elea-v向量格式的mdb文件，包含电源设置、数字信号及控制高频时钟产生装置的开关信号时序。
78.建立elea-v老炼程序，读取mdb文件，由elea-v老炼箱施加电源、数字信号及控制高频时钟产生装置的开关信号，并送入高频时钟产生装置，完成对时钟模块的指令配置，该装置由fpga发送信号给da芯片，将得到的模拟信号输入运算放大器，经过运算放大器处理，输入至可调稳压器，得到所需电压幅度，提供总线收发器的参考电压；同时fpga产生特定频率的数字波形输入至总线收发器，产生高频时钟信号传输给老炼器件，对老炼器件开始进行老炼试验；更具体的，高频时钟产生装置按照如下方法工作：
79.上位机向fpga发送老炼所需时钟信号频率和幅值的指令后，fpga主控芯片内部动作主要分为两个部分：1.内部会产生老炼所需频率的时钟信号，但其幅值固定为fpga电源
电压。2.fpga内部经过计算，产生一组反映老炼所需时钟信号幅值的数字量，并将其存入内部寄存器中。
80.fpga将内部寄存器中存储的数字量，输入至数字转模拟模块，该模块通过接收fpga输入的数字信号，进行转化并输出对应的模拟信号。数字转模拟模块通过fpga指令配置，可实现输出模拟信号的步进增加，通过上位机可以调整步进幅值和增加次数，步进最小值取决于数字转模拟模块的分辨位数，分辨位数越大，精度越高。数字转模拟模块的输出连接至运算放大器模块。
81.由数字转模拟模块输出的模拟信号输入至运算放大器模块的负反馈端口，运算放大器模块可手动控制。如果老炼需求时钟信号幅值低于fpga电源电压，即输入的模拟信号在该步骤无需进行放大处理，只需进行原样保持即可，故将运算放大器模块通过跳线帽配置为源跟随器，其特点为输入高阻抗，输出低阻抗，源跟随电路起到了缓冲、隔离、提高带载能力的作用，使得后级模块电路输入不受前级电路影响，最后将通过源跟随器保持的模拟信号连接至可调稳压模块的输入端；或是如果老炼需求时钟信号幅值高于fpga管脚输出电压，即输入的模拟信号在该步骤需进行放大处理，以满足后续模块的升压条件，则将运算放大器模块通过跳线帽配置为负反馈放大器，其放大倍数根据实际老炼需求进行选择。经运算放大器模块放大处理后的模拟信号，最终连接至可调稳压模块的输入端。
82.可调稳压模块的输入端接收来自上一级运算放大器模块的模拟输出。该模块输入与输出满足一定的比例关系，因此调整输入值的大小可以调节输出的信号幅值，从而得到老炼所需时钟信号幅值，且可调稳压模块还对输出信号幅值进行稳压和增大扇出。该模块的输出端输出为大电流、所需固定幅值的模拟信号，将该信号连接至总线收发器。
83.总线收发器将接收到的可调稳压模块产生的模拟信号，即老炼所需的信号幅值，和接收到的由fpga倍频或分频产生的老炼所需频率的信号，两者进行叠加，产生老炼所需幅值、频率的时钟信号。
84.老炼过程中，按规定时间要求检测老炼器件的输出信号；老炼规定时间到达后，由elea-v老炼箱产生的控制信号，送入高频时钟产生装置，关断高频时钟信号；elea-v老炼箱关断电源、数字信号完成器件的老炼试验。
85.本发明解决了elea-v老炼箱无法老炼高频集成电路的难题，可用于实现高频集成电路老炼试验。
86.以上结合具体实施方式和范例性实例对本发明进行了详细说明，不过这些说明并不能理解为对本发明的限制。本领域技术人员理解，在不偏离本发明精神和范围的情况下，可以对本发明技术方案及其实施方式进行多种等价替换、修饰或改进，这些均落入本发明的范围内。本发明的保护范围以所附权利要求为准。
87.本发明说明书中未作详细描述的内容属本领域技术人员的公知技术。

技术特征：
1.一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，包括老炼箱，其特征在于，还包括高频时钟产生装置；老炼箱包括上位机和老化工位；高频时钟产生装置包括fpga主控芯片、数字转模拟模块、运算放大器、可调稳压模块和总线收发器模块；上位机接收用户要求的频率信息和幅值信息，根据用户要求的频率信息和幅值信息生成时钟频率指令和时钟幅值指令，将时钟频率指令和时钟幅值指令输出至fpga主控芯片；fpga主控芯片接收由上位机发送的时钟频率指令和时钟幅值指令，根据时钟频率指令对外部输入的时钟信号进行分频或倍频，生成具备要求频率的时钟信号，将具备要求频率的时钟信号输出至总线收发器模块，同时根据时钟幅值指令，生成反映要求幅值的数字信号，将反映要求幅值的数字信号输出至数字转模拟模块；数字转模拟模块接收由fpga主控芯片输入的反映要求幅值的数字信号，将数字信号转换为反映要求幅值的模拟信号，将反映要求幅值的模拟信号输出至运算放大器；运算放大器接收由数字转模拟模块输入的反映要求幅值的模拟信号，对模拟信号进行放大或缩小，将放大或缩小后的模拟信号输出至可调稳压模块；可调稳压模块接收由运算放大器输入的放大或缩小后的模拟信号，对放大或缩小后的模拟信号进行稳压，得到具备要求幅值的电压信号并输出至总线收发器模块；总线收发器模块接收由fpga主控芯片输入的具备要求频率的时钟信号和可调稳压模块输入的具备要求幅值的电压信号，将具备要求频率的时钟信号和具备要求幅值的电压信号进行叠加，得到具备要求幅值、频率的时钟信号，将具备要求幅值、频率的时钟信号输出至老化工位；老化工位利用具备要求幅值、频率的时钟信号对集成电路进行老炼。2.根据权利要求1所述的一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，其特征在于，运算放大器为源跟随器或负反馈放大器；当用户要求的幅值信息＞fpga主控芯片的电源电压，运算放大器为负反馈放大器，负反馈放大器对模拟信号进行放大；当用户要求的幅值信息＜fpga主控芯片的电源电压，运算放大器为源跟随器，源跟随器对模拟信号进行缩小。3.根据权利要求2所述的一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，其特征在于，通过跳线帽配置的方法将运算放大器设置为源跟随器或负反馈放大器。4.根据权利要求1所述的一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，其特征在于，数字转模拟模块的精度为0.01v。5.根据权利要求1所述的一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，其特征在于，数字转模拟模块的输出端连接运算放大器的负反馈端。6.根据权利要求1所述的一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，其特征在于，运算放大器负反馈端直接与运算放大器输出短连接，运算放大器的正反馈端接跟随电压，默认接地；运算放大器输出的放大或缩小后的模拟信号，输出至可调稳压器的参考端。7.根据权利要求1所述的一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，其特征在于，总线收发器模块输出信号的最大频率为1ghz，幅值为0v～12v。
8.根据权利要求1所述的一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，其特征在于，fpga主控芯片输入的具备要求频率的时钟信号和具备要求幅值的电压信号分别输出至总线收发器模块的电压参考端和输入端。9.根据权利要求1所述的一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，其特征在于，上位机向fpga主控芯片输出用于控制高频时钟产生装置开关的控制信号。10.一种基于老炼箱的集成电路老炼方法，其特征在于，采用权利要求1-9任一项所述的一种基于老炼箱的集成电路老炼系统实现，包括：上位机接收用户要求的频率信息和幅值信息，根据用户要求的频率信息和幅值信息生成时钟频率指令和时钟幅值指令，将时钟频率指令和时钟幅值指令输出至fpga主控芯片；fpga主控芯片接收由上位机发送的时钟频率指令和时钟幅值指令，根据时钟频率指令对外部输入的时钟信号进行分频或倍频，生成具备要求频率的时钟信号，将具备要求频率的时钟信号输出至总线收发器模块，同时根据时钟幅值指令，生成反映要求幅值的数字信号，将反映要求幅值的数字信号输出至数字转模拟模块；数字转模拟模块接收由fpga主控芯片输入的反映要求幅值的数字信号，将数字信号转换为反映要求幅值的模拟信号，将反映要求幅值的模拟信号输出至运算放大器；运算放大器接收由数字转模拟模块输入的反映要求幅值的模拟信号，对模拟信号进行放大或缩小，将放大或缩小后的模拟信号输出至可调稳压模块；可调稳压模块接收由运算放大器输入的放大或缩小后的模拟信号，对放大或缩小后的模拟信号进行稳压，得到具备要求幅值的电压信号并输出至总线收发器模块；总线收发器模块接收由fpga主控芯片输入的具备要求频率的时钟信号和可调稳压模块输入的具备要求幅值的电压信号，将具备要求频率的时钟信号和具备要求幅值的电压信号进行叠加，得到具备要求幅值、频率的时钟信号，将具备要求幅值、频率的时钟信号输出至老化工位；老化工位利用具备要求幅值、频率的时钟信号对集成电路进行老炼。

技术总结
本发明公开了一种基于老炼箱的集成电路老炼系统，包括高频时钟产生装置；高频时钟产生装置包括FPGA主控芯片、数字转模拟模块、运算放大器、可调稳压模块和总线收发器模块。本发明还公开了一种老炼方法，FPGA主控芯片生成具备要求频率的时钟信号，同时生成代表要求幅值的数字信号；数字转模拟模块将代表要求幅值的数字信号转换为代表要求幅值的模拟信号；运算放大器得到放大后的模拟信号输出至可调稳压模块；可调稳压模块对放大后的模拟信号进行稳压，得到具备要求幅值的电压信号输出至总线收发器模块；总线收发器模块将具备要求频率的时钟信号和具备要求幅值的电压信号叠加，得到高频时钟信号输出至老化工位。本发明能满足高频集成电路老炼技术要求。频集成电路老炼技术要求。频集成电路老炼技术要求。


技术研发人员：张鹏伟 马培元 邵昕 赵康 马驰明 苏钰 温辉
受保护的技术使用者：北京微电子技术研究所
技术研发日：2023.05.31
技术公布日：2023/10/8