一种晶圆水平传输装置的制作方法

1.本技术属于晶圆生产设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆水平传输装置。


背景技术：

2.在半导体晶圆的制造过程中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素。因此，清洗是其中最重要和最频繁的工艺之一。晶圆清洗的目的是为了去除附着于晶圆表面上的各类污染物，例如，有机物、金属杂质或微细颗粒、需要去除的psg层等，该清洗通常需要在盛放有各种清洗液的不同的清洗槽内进行，因此，晶圆在不同工艺设备之间运动时就需要传输装置来进行传输。
3.cn217955823u公开了一种晶圆水平传输机构，包括：水平安装座；水平滑轨，设置在水平安装座上，位于水平安装座顶面，从其传输方向依次分为上料段-传输段-下料段；晶圆支撑座，用于承接晶圆，设置于水平滑轨上，具有竖直部分以及通过转轴转动地连接在竖直部分上的水平部分，所述水平部分在容纳晶圆后能够使水平部分相对于水平面形成一定的夹角，水平部分上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽；驱动件，用于驱动水平安装座在水平滑轨上移动；还包括水平调整机构，包括，设置于晶圆支撑座上的水平调整轮，与上料段和下料段对应的外部框架上固定设置的水平调整块，所述水平调整块具有倾斜的底面，晶圆支撑座从传输段移动到上料段或者从传输段移动到下料段的过程中水平调整轮在水平调整块的底面上滑动，从而将晶圆支撑座的水平部分调整为水平。然而该晶圆水平传输机构中，水平安装座与皮带传动带的连接位置位于水平安装座的侧面，导致水平安装座受力不平衡，容易发生晃动。


技术实现要素：

4.本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种运行稳定的晶圆水平传输装置。
5.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
6.一种运行稳定的晶圆水平传输装置，包括：
7.水平安装座，所述水平安装座内部中空形成腔室；
8.水平滑轨，设置在水平安装座上，位于水平安装座顶面；
9.晶圆支撑座，用于承接晶圆，设置于水平滑轨上，具有立柱以及通过转轴转动地连接在立柱上的水平承接板，所述水平承接板在容纳晶圆后能够使水平承接板相对于水平面形成一定的夹角，水平承接板上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽；
10.传输带机构，包括分别位于水平安装座两端的传输轮，和位于两个传输轮之间的传输带，所述传输带分为位于水平滑轨正上方的上半部分和位于所述水平安装座内部的下半部分，所述水平滑轨的上半部分通过连接块将晶圆支撑座与所述传输带连接，且所述连接块位于两根立柱之间；
11.还包括驱动件，所述驱动件用于驱动其中一个传输轮转动从而使得水平安装座在
水平滑轨上移动，传输带、水平滑轨以及转轴的中心共线，且位于竖直线上。
12.优选地，本发明的运行稳定的晶圆水平传输装置，所述立柱底部设置有过孔，以供传输带穿过，同时过孔的顶部内壁抵靠住传输带。
13.优选地，本发明的运行稳定的晶圆水平传输装置，所述立柱设置有两个与水平滑轨配合的滑块，所述连接块位于两个滑块之间。
14.优选地，本发明的运行稳定的晶圆水平传输装置，所述驱动件通过传动带与其中一个传输轮实现传动。
15.优选地，本发明的运行稳定的晶圆水平传输装置，驱动件安装于位于水平安装座侧面的安装板上。
16.优选地，本发明的运行稳定的晶圆水平传输装置，所述安装板上还设置有压紧轮以压紧传动带。
17.优选地，本发明的运行稳定的晶圆水平传输装置，水平安装座由平行的第一侧板和第二侧板以及位于第一侧板和第二侧板顶部的顶板构成，水平滑轨设置在顶板上。
18.优选地，本发明的运行稳定的晶圆水平传输装置，第一侧板和第二侧板底部设置有支撑块，第一侧板上开设有槽。
19.优选地，本发明的运行稳定的晶圆水平传输装置，所述水平安装座内部的腔室内还设置有限位轮，以限制所述传输带的下半部分。
20.本发明的有益效果是：
21.本发明的运行稳定的晶圆水平传输装置，传输带的上半部分位于水平滑轨正上方，水平滑轨的上半部分通过连接块将晶圆支撑座与所述传输带连接，从而克服一侧的驱动导致的力矩，进而使得传输过程中更加稳定，不易发生晃动。传输带、水平滑轨以及转轴的中心共线，且位于竖直线上。使得力能够沿竖直线传导，进一步提高运行的稳定性。
附图说明
22.下面结合附图和实施例对本技术的技术方案进一步说明。
23.图1是本技术实施例的运行稳定的晶圆水平传输装置的一个方向的结构示意图；
24.图2是本技术实施例的运行稳定的晶圆水平传输装置的另一个方向的结构示意图；
25.图3是本技术实施例的水平安装座的结构示意图；
26.图中的附图标记为：
27.1 水平安装座；
28.2 水平滑轨；
29.3 晶圆支撑座；
30.4 传输带机构；
31.11 第一侧板；
32.12 第二侧板；
33.13 限位轮；
34.14 支撑块；
35.21 驱动件；
36.22 传动带；
37.23 传输带；
38.24 压紧轮；
39.25 连接块；
40.26 安装板；
41.31 立柱；
42.32 水平承接板；
43.33 转轴；
44.34 限位杆；
45.35 滑块；
46.41 传输轮；
47.9晶圆。
具体实施方式
48.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
49.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
50.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
51.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术的技术方案。
52.实施例
53.本实施例提供一种运行稳定的晶圆水平传输装置，如图1所示，包括：
54.水平安装座1，所述水平安装座1内部中空形成腔室；
55.水平滑轨2，设置在水平安装座1上，位于水平安装座1顶面；
56.晶圆支撑座3，如图1和2所示，用于承接晶圆，设置于水平滑轨2上，具有立柱31以及通过转轴33转动地连接在立柱31上的水平承接板32，所述水平承接板32在容纳晶圆后能够使水平承接板32相对于水平面形成一定的夹角(夹角优选为10
°‑
20
°
)，水平承接板32上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽(用于容纳晶圆9)；
57.传输带机构4，包括分别位于水平安装座1两端的传输轮41，和位于两个传输轮41
之间的传输带23，所述传输带23分为位于水平滑轨2正上方的上半部分和位于所述水平安装座1内部的下半部分，所述水平滑轨2的上半部分通过连接块25将晶圆支撑座3与所述传输带23连接，且所述连接块25位于两根立柱31之间；
58.还包括驱动件21，所述驱动件21用于驱动其中一个传输轮41转动从而使得水平安装座1在水平滑轨2上移动，传输带23、水平滑轨2以及转轴33的中心共线，且位于竖直线上。
59.本实施例的运行稳定的晶圆水平传输装置，传输带23的上半部分位于水平滑轨2正上方，水平滑轨2的上半部分通过连接块25将晶圆支撑座3与所述传输带23连接，从而克服一侧的驱动导致的力矩，进而使得传输过程中更加稳定，不易发生晃动。传输带23、水平滑轨2以及转轴33的中心共线，且位于竖直线上。使得力能够沿竖直线传导，进一步提高运行的稳定性。
60.进一步地，所述立柱31底部设置有过孔，以供传输带23穿过，同时过孔的顶部内壁抵靠住传输带23，防止传输到本身晃动。
61.进一步地，所述立柱31设置有两个与水平滑轨2配合的滑块35，所述连接块25位于两个滑块35之间，最优为处于正中间。进一步使得力更加平衡。
62.进一步地，驱动件21通过传动带22与其中一个传输轮41实现传动。
63.进一步地，驱动件21安装于位于水平安装座1侧面的安装板26上。
64.进一步地，所述安装板26上还设置有压紧轮24以压紧传动带22。设置安装板26安装压紧轮24，传动轮和驱动件21，降低安装所需的空间。
65.进一步地，水平安装座1由平行的第一侧板11和第二侧板12以及位于第一侧板11和第二侧板12顶部的顶板构成，水平滑轨2设置在顶板上。
66.进一步地，如图3所示，第一侧板11和第二侧板12底部设置有支撑块14，第一侧板11上开设有槽(以便于安装固定)。
67.进一步地，所述水平安装座1内部的腔室内还设置有限位轮13，以限制所述传输带23的下半部分。
68.晶圆支撑座3的立柱31上设置有限位杆34，限位杆34用于限制水平承接板32的最大倾斜角度。
69.进一步地，水平滑轨2可以是平行的两根。
70.需要说明的是，长长的水平安装座1从其传输方向分为位于两端的上料段和下料段，上料段和下料段之间为传输段，上料段对应的就是用机械手将晶圆放置到下文的晶圆支撑座3上，传输段对应的就是晶圆支撑座3承载着晶圆进行移动，下料段对应的就是用机械手将晶圆从晶圆支撑座3上取走。
71.以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

技术特征：
1.一种运行稳定的晶圆水平传输装置，其特征在于，包括：水平安装座(1)，所述水平安装座(1)内部中空形成腔室；水平滑轨(2)，设置在水平安装座(1)上，位于水平安装座(1)顶面；晶圆支撑座(3)，用于承接晶圆，设置于水平滑轨(2)上，具有立柱(31)以及通过转轴(33)转动地连接在立柱(31)上的水平承接板(32)，所述水平承接板(32)在容纳晶圆后能够使水平承接板(32)相对于水平面形成一定的夹角，水平承接板(32)上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽；传输带机构(4)，包括分别位于水平安装座(1)两端的传输轮(41)，和位于两个传输轮(41)之间的传输带(23)，所述传输带(23)分为位于水平滑轨(2)正上方的上半部分和位于所述水平安装座(1)内部的下半部分，所述水平滑轨(2)的上半部分通过连接块(25)将晶圆支撑座(3)与所述传输带(23)连接，且所述连接块(25)位于两根立柱(31)之间；还包括驱动件(21)，所述驱动件(21)用于驱动其中一个传输轮(41)转动从而使得水平安装座(1)在水平滑轨(2)上移动，传输带(23)、水平滑轨(2)以及转轴(33)的中心共线，且位于竖直线上。2.根据权利要求1所述的运行稳定的晶圆水平传输装置，其特征在于，所述立柱(31)底部设置有过孔，以供传输带(23)穿过，同时过孔的顶部内壁抵靠住传输带(23)。3.根据权利要求2所述的运行稳定的晶圆水平传输装置，其特征在于，所述立柱(31)设置有两个与水平滑轨(2)配合的滑块(35)，所述连接块(25)位于两个滑块(35)之间。4.根据权利要求1所述的运行稳定的晶圆水平传输装置，其特征在于，所述驱动件(21)通过传动带(22)与其中一个传输轮(41)实现传动。5.根据权利要求4所述的运行稳定的晶圆水平传输装置，其特征在于，驱动件(21)安装于位于水平安装座(1)侧面的安装板(26)上。6.根据权利要求5所述的运行稳定的晶圆水平传输装置，其特征在于，所述安装板(26)上还设置有压紧轮(24)以压紧传动带(22)。7.根据权利要求1所述的运行稳定的晶圆水平传输装置，其特征在于，水平安装座(1)由平行的第一侧板(11)和第二侧板(12)以及位于第一侧板(11)和第二侧板(12)顶部的顶板构成，水平滑轨(2)设置在顶板上。8.根据权利要求1所述的运行稳定的晶圆水平传输装置，其特征在于，第一侧板(11)和第二侧板(12)底部设置有支撑块(14)，第一侧板(11)上开设有槽。9.根据权利要求1所述的运行稳定的晶圆水平传输装置，其特征在于，所述水平安装座(1)内部的腔室内还设置有限位轮(13)，以限制所述传输带(23)的下半部分。

技术总结
本申请涉及一种晶圆水平传输装置，包括：水平安装座、水平滑轨、晶圆支撑座，传输带的上半部分位于水平滑轨正上方，水平滑轨的上半部分通过连接块将晶圆支撑座与所述传输带连接，从而克服一侧的驱动导致的力矩，进而使得传输过程中更加稳定，不易发生晃动。传输带、水平滑轨以及转轴的中心共线，且位于竖直线上。使得力能够沿竖直线传导，进一步提高运行的稳定性。性。性。


技术研发人员：钱诚 童建 吴亚晨
受保护的技术使用者：江苏亚电科技有限公司
技术研发日：2023.05.18
技术公布日：2023/10/8