一种自动派工系统及试运行产品的自动派工方法与流程

1.本发明涉及半导体生产制造领域，特别涉及一种自动派工系统及试运行产品的自动派工方法。


背景技术：

2.在半体导生产过程中，当机台故障回线时，通常需要对机台做停机处理，以确保机台回线后所生产出来的产品的质量与未停机前一样，因此，需要进行小量产品的试运行，再将试运行的产品送检验以比对停机前后的关键数据，从而验证产品的质量。
3.由于产能的不断攀升、产品种类的逐渐增多，机台数量的日益增多以及机台多样化的日益增多，通常需要操作员或者工程师根据机台的状态人为选择试运行的产品，以完成试运行，这个过程需要人工寻找试运行产品、晶舟盒的分批、派货和合批，试运行产品资料的搜集等等，使得整个过程既费时又费力，并且在挑选产品的过程中可能出现以下问题：在挑选产品时很容易出现挑错试运行产品，并将其派工到非目标机台等问题，从而造成产品报废及产能的损失；将试运行产品派工到非目标机台，从而造成机台产能损失和污染机台；将挑错的试运行产品派工到目标机台，从而造成产品的报废及目标机台的长时间停滞。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于，提供一种自动派工系统及试运行产品的自动派工方法，以解决人工挑选试运行产品以及派工造成的各种问题。
5.为了解决上述问题，本发明提供一种自动派工系统，包括相互通信连接的实时派工系统、制造执行系统和先进制程式控制系统，所述先进制程式控制系统中设置有在目标机台上的试运行规则，并接收工程单位提出的自动试运行需求，所述实时派工系统和先进制程式控制系统配合挑选出在所述目标机台上可试运行的目标产品，所述先进制程式控制系统基于所述试运行规则传送指令给所述制造执行系统和实时派工系统，以将所述目标产品所在的晶舟盒自动派工至所述目标机台。
6.可选的，所述先进制程式控制系统根据所述自动试运行需求挑选出在所述目标机台上可试运行的所有产品，并将所述试运行规则传输至所述实时派工系统；所述实时派工系统根据在线产品的实际参数，在所有所述产品中挑出目标产品，并向所述制造执行系统发出预约要求；所述制造执行系统根据所述目标产品的信息获得需要试运行的所述目标产品的目标晶舟盒的信息以完成预约，并获得预约信息，将所述预约信息发送给所述先进制程式控制系统，其中，所述实际参数为在线产品的产品型号和数量。
7.进一步的，所述先进制程式控制系统根据所述预约信息锁定所述目标晶舟盒，并根据所述目标产品的所需数量向所述制造执行系统提出拆批所述目标晶舟盒的要求；所述制造执行系统对所述目标晶舟盒进行自动拆批，以得到承载所需数量的所述目标产品的子目标晶舟盒，并得到需要试运行的子目标晶舟盒的讯息，所述制造执行系统将所述讯息反
馈至所述先进制程式控制系统；所述先进制程式控制系统将所述讯息传输至所述实时派工系统，所述实时派工系统根据所述讯息向所述制造执行系统预约传输所述子目标晶舟盒，所述制造执行系统确认预约后将所述子目标晶舟盒中的目标产品自动派工至所述目标机台。
8.进一步的，所述自动派工系统还包括工程单位，所述制造执行系统对所述目标产品进行试运行，并在完成试运行后将完成信息反馈给所述先进制程式控制系统。
9.另一方面，本发明还提供一种试运行产品的自动派工方法，包括以下步骤：制造单位向工程单位提出在目标机台上的试运行需求，所述工程单位根据所述试运行需求建立试运行规则，并向先进制程式控制系统提出自动试运行需求；以及根据所述自动试运行需求，实时派工系统和先进制程式控制系统配合挑选在所述目标机台上可试运行的目标产品，并基于试运行规则传送指令给制造执行系统和实时派工系统，以将所述目标产品所在的晶舟盒自动派工至所述目标机台。
10.可选的，根据所述试运行需求建立试运行规则，并向先进制程式控制系统提出自动试运行需求的具体方法包括：判断是否需要进行试运行，并在需要进行试运行时根据所述试运行需求在所述先进制程式控制系统中建立试运行规则，并向所述先进制程式控制系统提出自动试运行需求。
11.进一步的，根据所述自动试运行需求，实时派工系统和先进制程式控制系统配合挑选在所述目标机台上可试运行的目标产品，并基于在所述先进制程式控制系统中建立的试运行规则传送指令给制造执行系统和实时派工系统，以将所述目标产品所在的晶舟盒自动派工至所述目标机台的具体方法为：根据所述自动试运行需求，所述先进制程式控制系统挑选出在所述目标机台上可试运行的所有产品，并将所述试运行规则传输至所述实时派工系统；根据在线产品的实际参数，所述实时派工系统在所有所述产品中挑出目标产品，并向所述制造执行系统发出预约要求；所述制造执行系统根据所述目标产品的信息获得需要试运行的所述目标产品的目标晶舟盒的信息以完成预约，并获得预约信息，将所述预约信息发送给所述先进制程式控制系统，其中，所述实际参数为在线产品的产品型号和数量。
12.进一步的，将所述目标产品所在晶舟自动派工至所述目标机台的具体方法为：所述先进制程式控制系统根据所述预约信息锁定所述目标晶舟盒，并根据所述目标产品的所需数量向所述制造执行系统提出拆批所述目标晶舟盒的要求；所述制造执行系统对所述目标晶舟盒进行自动拆批，以得到承载所需数量的所述目标产品的子目标晶舟盒，并得到需要试运行的子目标晶舟盒的讯息，所述制造执行系统将所述讯息反馈至所述先进制程式控制系统；所述先进制程式控制系统将所述讯息传输至所述实时派工系统，所述实时派工系统根据所述讯息向所述制造执行系统预约传输所述子目标晶舟盒，所述制造执行系统确认预约后将所述子目标晶舟盒中的目标产品自动派工至所述目标机台。
13.可选的，在所述自动运行系统将可试运行产品自动派工至所述目标机台之后，还包括：所述制造执行系统对所述目标产品进行试运行，并在完成试运行后将完成信息反馈给所述先进制程式控制系统和工程单位，所述工程单位对试运行产品进行验证，并通知
所述自动运行系统试运行结束。
14.与现有技术相比，本发明具有以下意想不到的有益效果：本发明提供一种自动派工系统及试运行产品的自动派工方法，自动派工系统包括相互通信连接的实时派工系统、制造执行系统和先进制程式控制系统，所述先进制程式控制系统中设置有在目标机台上的试运行规则，并接收工程单位提出的自动试运行需求，所述实时派工系统和先进制程式控制系统配合挑选出在所述目标机台上可试运行的目标产品，所述先进制程式控制系统基于所述试运行规则传送指令给所述制造执行系统和实时派工系统，以将所述目标产品所在的晶舟盒自动派工至所述目标机台，本发明的自动派工系统可以将人为干预的动作，全部自动化，去除人为失误，以及能精准的完成试运行的产品与目标机台的派工动作，还减少了制造人员和工程人员的工作负荷，无需针对试运行产品派工重新开发新的系统，降低了开发的成本。
附图说明
15.图1为本发明一实施例提供的一种自动派工系统的简易结构示意图；图2为本发明一实施例提供的一种试运行产品的自动派工方法的流程示意图；图3为两种方法下生产试运行产品所花费时间的直方图。
16.其中：10-先进制程式控制系统；20-实时派工系统；30-制造执行系统。
具体实施方式
17.以下将对本发明的一种自动派工系统及试运行产品的自动派工方法作进一步的详细描述。下面将参照附图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
18.为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
19.为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
20.图1为本实施例提供的一种自动派工系统的简易结构示意图，如图1所示，本实施例提供一种自动派工系统，自动派工系统包括相互通信连接的rtd（real time dispatching，实时派工系统20）、mes（manufacturing execution system，制造执行系统30）和apc（advanced process control，先进制程式控制系统10）。
21.先进制程式控制系统10中设置有在目标机台上的试运行规则，并接收工程单位提出的自动试运行需求，实时派工系统20和先进制程式控制系统10配合挑选出在目标机台上可试运行的目标产品，先进制程式控制系统10基于试运行规则传送指令给制造执行系统30和实时派工系统20，以将目标产品所在的晶舟盒自动派工至目标机台。其中，试运行规则包
括目标机台的信息，自动试运行需求包括在目标机台上可运行的目标产品的信息。
22.详细的，先进制程式控制系统10根据自动试运行需求挑选出在目标机台上可试运行的所有产品，并将试运行规则传输至实时派工系统20；实时派工系统20根据在线产品的实际参数，在所有产品中挑出目标产品，并向制造执行系统30发出预约要求；制造执行系统30根据目标产品的信息获得需要试运行的目标产品的目标晶舟盒的信息以完成预约，并获得预约信息，将预约信息发送给先进制程式控制系统10。其中，实际参数为在线产品的产品型号和数量。
23.先进制程式控制系统10根据预约信息锁定目标晶舟盒，并根据所述目标产品的所需数量向制造执行系统30提出拆批目标晶舟盒（即将目标晶舟盒的所有产品拆分成两个批次，其中包括所需数量的所述目标产品的子目标晶舟盒）的要求；制造执行系统30对目标晶舟盒进行自动拆批，以得到承载所需数量的所述目标产品的子目标晶舟盒，并得到需要试运行的子目标晶舟盒的讯息，制造执行系统30将讯息反馈至先进制程式控制系统10；先进制程式控制系统10将讯息传输至实时派工系统20，实时派工系统20根据讯息向制造执行系统30预约传输子目标晶舟盒，制造执行系统30确认预约后将子目标晶舟盒中的目标产品自动派工至目标机台。
24.制造执行系统30对目标产品进行试运行，并在完成试运行后将完成信息反馈给先进制程式控制系统10。详细的，制造执行系统30对目标产品进行试运行，并在完成试运行后将完成信息反馈给先进制程式控制系统10和工程单位，工程单位对试运行产品进行验证，并通知自动运行系统试运行结束。
25.图2为本实施例提供的一种试运行产品的自动派工方法的流程示意图。如图2所示，本实施例提供一种试运行产品的自动派工方法，包括以下步骤：步骤1：制造单位向工程单位提出在目标机台上的试运行需求，所述工程单位根据试运行需求建立试运行规则，并向先进制程式控制系统10提出自动试运行需求；步骤2：根据自动试运行需求，实时派工系统20和先进制程式控制系统10配合挑选在目标机台上可试运行的目标产品，并基于试运行规则传送指令给制造执行系统30和实时派工系统20，以将目标产品所在的晶舟盒自动派工至目标机台。
26.以下对本实施例提供的一种试运行产品的自动派工方法进行详细说明。
27.首先执行步骤1，制造单位向工程单位提出在目标机台上的试运行需求，所述工程单位根据试运行需求建立试运行规则，并向先进制程式控制系统10提出自动试运行需求。其中，试运行规则包括目标机台的信息，自动试运行需求包括在目标机台上可运行的目标产品的信息。
28.在本步骤中，自动派工系统包括相互通信连接的rtd（real time dispatching，实时派工系统20）、mes（manufacturing execution system，制造执行系统30）和apc（advanced process control，先进制程式控制系统10）。
29.本步骤具体包括：首先，rtd提供派工参数给mes，并通过apc将产品自动派工到目标机台，此时，目标机台出现了故障回线等原因需要进行产品试运行的情况时，提出产品在目标机台上的试运行需求，因此，制造单位（mfg，manufacturing）向工程单位（moudle）提出试运行需求。
30.接着，工程单位判断是否需要进行试运行，并在需要进行试运行时根据试运行需
求在apc中建立试运行规则，并向apc提出自动试运行需求。
31.接着执行步骤2，根据自动试运行需求，实时派工系统20和先进制程式控制系统10配合挑选在目标机台上可试运行的目标产品，并基于试运行规则传送指令给制造执行系统30和实时派工系统20，以将目标产品所在的晶舟盒自动派工至目标机台。
32.本步骤具体包括：根据自动试运行需求，apc挑选出在目标机台上可试运行的所有产品，并将试运行规则传递至rtd；根据在线产品的实际参数（即当前在线产品的产品型号、数量等），rtd在所有产品中挑出目标产品，并向mes发出预约要求；mes根据目标产品的信息获得需要试运行的目标产品的目标晶舟盒的信息以完成预约，并获得预约信息，将预约信息发送给apc；apc根据预约信息锁定目标晶舟盒，并根据所述目标产品的所需数量向mes提出拆批目标晶舟盒的要求；mes对目标晶舟盒进行自动拆批，以得到承载所需数量的所述目标产品的子目标晶舟盒，并得到需要试运行的子目标晶舟盒的讯息，mes将讯息反馈至apc；apc将讯息传输至rtd，rtd根据讯息向mes预约传输子目标晶舟盒，mes确认预约后将子目标晶舟盒中的目标产品自动派工至目标机台。
33.在步骤s2之后，接着，mes对目标产品进行试运行，并在完成试运行后将完成信息反馈给apc和工程单位，工程单位对试运行产品进行验证，以比较故障回线（故障解除后返回产线）后的产品质量是否符合规定，并通知自动运行系统试运行结束。
34.如图3所示，在未使用本实施例的试运行产品的自动派工方法（即方法1）时，工艺1至工艺6总花费时间为48.5小时，而使用本实施例的试运行产品的自动派工方法（即方法2）时，工艺1至工艺6总花费时间为16小时，使得所有的工艺流程的预估总减少人力时间为67%工时，其大大降低了人力，也就是说，在产品的派工过程中大大减少了所花费的时间。以工艺1为例，采用现有的方式需要花费每人每天的时间为17.5小时，而采用了本实施例的试运行产品的自动派工方法（即未使用本实施例的试运行产品的自动派工方法时）则需要花费每人每天的时间为4小时。
35.综上所述，本发明提供一种自动派工系统及试运行产品的自动派工方法，本技术意想不到的效果是：自动派工系统包括相互通信连接的实时派工系统20、制造执行系统30和先进制程式控制系统10，所述先进制程式控制系统10中设置有在目标机台上的试运行规则，并接收自动试运行需求，所述实时派工系统20和先进制程式控制系统10配合挑选出在所述目标机台上可试运行的目标产品，所述先进制程式控制系统10基于所述试运行规则传送指令给所述制造执行系统30和实时派工系统20，以将所述目标产品所在的晶舟盒自动派工至所述目标机台，本发明的自动派工系统可以将人为干预的动作，全部自动化，去除人为失误，以及能精准的完成试运行的产品与目标机台的派工动作，还减少了制造人员和工程人员的工作负荷，无需针对试运行产品派工重新开发新的系统，降低了开发的成本。
36.可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

技术特征：
1.一种自动派工系统，其特征在于，包括相互通信连接的实时派工系统、制造执行系统和先进制程式控制系统，所述先进制程式控制系统中设置有在目标机台上的试运行规则，并接收工程单位提出的自动试运行需求，所述实时派工系统和先进制程式控制系统配合挑选出在所述目标机台上可试运行的目标产品，所述先进制程式控制系统基于所述试运行规则传送指令给所述制造执行系统和实时派工系统，以将所述目标产品所在的晶舟盒自动派工至所述目标机台。2.如权利要求1所述的自动派工系统，其特征在于，所述先进制程式控制系统根据所述自动试运行需求挑选出在所述目标机台上可试运行的所有产品，并将所述试运行规则传输至所述实时派工系统；所述实时派工系统根据在线产品的实际参数，在所有所述产品中挑出目标产品，并向所述制造执行系统发出预约要求；所述制造执行系统根据所述目标产品的信息获得需要试运行的所述目标产品的目标晶舟盒的信息以完成预约，并获得预约信息，将所述预约信息发送给所述先进制程式控制系统，其中，所述实际参数为在线产品的产品型号和数量。3.如权利要求2所述的自动派工系统，其特征在于，所述先进制程式控制系统根据所述预约信息锁定所述目标晶舟盒，并根据所述目标产品的所需数量向所述制造执行系统提出拆批所述目标晶舟盒的要求；所述制造执行系统对所述目标晶舟盒进行自动拆批，以得到承载所需数量的所述目标产品的子目标晶舟盒，并得到需要试运行的子目标晶舟盒的讯息，所述制造执行系统将所述讯息反馈至所述先进制程式控制系统；所述先进制程式控制系统将所述讯息传输至所述实时派工系统，所述实时派工系统根据所述讯息向所述制造执行系统预约传输所述子目标晶舟盒，所述制造执行系统确认预约后将所述子目标晶舟盒中的目标产品自动派工至所述目标机台。4.如权利要求3所述的自动派工系统，其特征在于，所述制造执行系统对所述目标产品进行试运行，并在完成试运行后将完成信息反馈给所述先进制程式控制系统。5.一种试运行产品的自动派工方法，其特征在于，包括以下步骤：制造单位向工程单位提出在目标机台上的试运行需求，所述工程单位根据所述试运行需求建立试运行规则，并向先进制程式控制系统提出自动试运行需求；以及根据所述自动试运行需求，实时派工系统和先进制程式控制系统配合挑选在所述目标机台上可试运行的目标产品，并基于试运行规则传送指令给制造执行系统和实时派工系统，以将所述目标产品所在的晶舟盒自动派工至所述目标机台。6.如权利要求5所述的试运行产品的自动派工方法，其特征在于，根据所述试运行需求建立试运行规则，并向先进制程式控制系统提出自动试运行需求的具体方法包括：判断是否需要进行试运行，并在需要进行试运行时根据所述试运行需求在所述先进制程式控制系统中建立试运行规则，并向所述先进制程式控制系统提出自动试运行需求。7.如权利要求6所述的试运行产品的自动派工方法，其特征在于，根据所述自动试运行需求，实时派工系统和先进制程式控制系统配合挑选在所述目标机台上可试运行的目标产品，并基于在所述先进制程式控制系统中建立的试运行规则传送指令给制造执行系统和实时派工系统，以将所述目标产品所在的晶舟盒自动派工至所述目标机台的具体方法为：根据所述自动试运行需求，所述先进制程式控制系统挑选出在所述目标机台上可试运行的所有产品，并将所述试运行规则传输至所述实时派工系统；根据在线产品的实际参数，
所述实时派工系统在所有所述产品中挑出目标产品，并向所述制造执行系统发出预约要求；所述制造执行系统根据所述目标产品的信息获得需要试运行的所述目标产品的目标晶舟盒的信息以完成预约，并获得预约信息，将所述预约信息发送给所述先进制程式控制系统，其中，所述实际参数为在线产品的产品型号和数量。8.如权利要求7所述的试运行产品的自动派工方法，其特征在于，将所述目标产品所在晶舟自动派工至所述目标机台的具体方法为：所述先进制程式控制系统根据所述预约信息锁定所述目标晶舟盒，并根据所述目标产品的所需数量向所述制造执行系统提出拆批所述目标晶舟盒的要求；所述制造执行系统对所述目标晶舟盒进行自动拆批，以得到承载所需数量的所述目标产品的子目标晶舟盒，并得到需要试运行的子目标晶舟盒的讯息，所述制造执行系统将所述讯息反馈至所述先进制程式控制系统；所述先进制程式控制系统将所述讯息传输至所述实时派工系统，所述实时派工系统根据所述讯息向所述制造执行系统预约传输所述子目标晶舟盒，所述制造执行系统确认预约后将所述子目标晶舟盒中的目标产品自动派工至所述目标机台。9.如权利要求5所述的试运行产品的自动派工方法，其特征在于，在所述自动运行系统将可试运行产品自动派工至所述目标机台之后，还包括：所述制造执行系统对所述目标产品进行试运行，并在完成试运行后将完成信息反馈给所述先进制程式控制系统和工程单位，所述工程单位对试运行产品进行验证，并通知所述自动运行系统试运行结束。

技术总结
本发明提供一种自动派工系统及试运行产品的自动派工方法，自动派工系统包括相互通信连接的实时派工系统、制造执行系统和先进制程式控制系统，先进制程式控制系统中设置有在目标机台上的试运行规则，并接收自动试运行需求，实时派工系统和先进制程式控制系统配合挑选出在可试运行的目标产品，先进制程式控制系统基于试运行规则传送指令给制造执行系统和实时派工系统，以将目标产品所在的晶舟盒自动派工至所述目标机台，以将人为干预的动作，全部自动化，去除人为失误，以及能精准的完成试运行的产品与目标机台的派工动作，还减少了制造人员和工程人员的工作负荷，无需针对试运行产品派工重新开发新的系统，降低了开发的成本。本。本。


技术研发人员：林郁翰 杨学人 陈凯峰
受保护的技术使用者：合肥晶合集成电路股份有限公司
技术研发日：2023.09.01
技术公布日：2023/10/7