一种六氯乙硅烷及其制备方法与流程

1.本发明涉及六氯乙硅烷制备技术领域，具体为一种六氯乙硅烷的制备方法。


背景技术：

2.六氯乙硅烷是一种性能稳定、挥发性低的湿度敏感型液体。一般作为一种高纯度前体产品，在多种高级薄膜淀积(半导体存储和逻辑芯片制造技术)工艺中发挥着至关重要的作用，即在低温工况中替代硅烷或二氯甲硅烷应用于高品质氧化硅与氮化硅薄膜的淀积生产工艺中。
3.目前六氯乙硅烷制备方法主要分为两类，一类是从现有的氯硅烷混合物原料进行分离和提取，如多晶硅行业的废气；另一类是硅粉/硅合金与氯气或四氯化硅进行固相反应，如申请号202011478997.3所述的一种六氯乙硅烷的制备方法，其采用硅粉、sicl4和催化剂混匀后进行加热的方式，进行六氯乙硅烷的制备。
4.基于对上述资料的检索，可以看出，采用固相反应进行六氯乙硅烷制备时，通常采用催化釜进行加工，该方式加工过程中需要对原料进行预加工混匀，且在加工过程中，无法有效保证六氯乙硅烷的均匀加热，影响六氯乙硅烷的制备效率，在加工完成后，无法实现对反应釜热量的有效收集，同时，反应釜清理麻烦，无法为反应釜的再次加工使用提供便利条件。


技术实现要素：

5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术的不足，本发明提供了一种六氯乙硅烷的制备方法，解决了采用固相反应进行六氯乙硅烷制备时，需要对原料进行预加工混匀，且在加工过程中，无法有效保证六氯乙硅烷的均匀加热，影响六氯乙硅烷的制备效率，在加工完成后，无法实现对反应釜热量的有效收集，同时，反应釜清理麻烦，无法为反应釜的再次加工使用提供便利条件的问题。
7.(二)技术方案
8.为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种六氯乙硅烷的制备方法，具体包括以下步骤：
9.步骤一、上料：将称量好设定质量的硅粉、四氯化硅和活性炭通过加料管直接投入到反应釜中，启动加热组件，对反应釜进行加热；
10.步骤二、搅拌：启动驱动组件，驱动组件带动搅拌组件对反应釜中的硅粉、四氯化硅和活性炭进行搅动，同时，驱动组件带动反应釜做与搅拌组件相反方向的转动；
11.步骤三、出料：加热设定时间后，反应釜中获得液态产物，关闭驱动组件，打开封堵组件，将液态产物导出到收集盆中；
12.步骤四、过滤纯化：对收集盆中的液态产物进行过滤后，使用脱轻塔进行纯化，得到六氯乙硅烷；
13.步骤五、换热：完成加工后，关闭加热组件，启动水循环组件，使水箱中的水与加热组件进行换热，换热后的水储存在水箱中；
14.步骤六、清理：通过升降组件将盖板升起，使盖板脱离反应釜，利用水循环组件将换热后的水导入到反应釜中，对反应釜进行冲洗。
15.为了保证反应釜的有效加热，本发明进一步设置为：所述反应釜的外周设置有固定外壳，所述加热组件固定安装在固定外壳的内部，所述加热组件包括若干个固定环，所述固定环的内弧面镶嵌设置有若干个加热块，所述加热块的内弧面固定安装有导热块，所述固定环与反应釜的外周相配合使用，所述导热块的内弧面与反应釜的外周相接触，固定外壳内腔的底部固定安装有若干个支撑杆，且支撑杆的顶端与反应釜的底部相接触；
16.所述反应釜的外周间隔均匀的镶嵌设置有若干个陶瓷块；
17.所述盖板与固定外壳的顶部相配合使用，所述加料管贯穿固定在盖板的顶部。
18.为了实现反应釜的有效转动驱动，保证反应釜对原料的均匀加热，本发明进一步设置为：所述驱动组件包括伺服电机，所述伺服电机通过固定架固定安装在盖板的顶部，所述伺服电机的输出端通过联轴器固定连接有花键柱，所述花键柱的底端贯穿盖板设置，且花键柱的外周套设并固定连接有大齿轮，所述盖板底部的两侧均转动安装有小齿轮，且两个小齿轮均与大齿轮的外周相啮合，所述反应釜内腔的顶部间隔均匀的固定安装有若干个齿牙，且若干个齿牙与两个小齿轮相配合使用。
19.为了方便对反应釜中反应产物的有效收集，本发明进一步设置为：所述固定外壳的底部固定安装有工作架，所述封堵组件设置在固定外壳的底部，所述封堵组件包括出料筒，所述出料筒贯穿并固定安装在固定外壳的底部，所述出料筒的底部贯穿工作架并延伸至工作架下方，所述出料筒的顶端贯穿反应釜设置，所述出料筒的顶部贯穿并滑动安装有封堵柱，所述封堵柱的底部通过轴承转动连接有联动杆，所述联动杆的外周套设有第一弹簧，且第一弹簧的两端分别与封堵柱的底部和出料筒内腔的底部相接触；
20.所述封堵柱的外周开设有下料槽，所述出料筒的外周连通有下料管，所述下料管设置在工作架的下方，所述收集盆设置在工作架中。
21.为了保证搅拌组件的有效转动驱动和盖板的便捷装配，本发明进一步设置为：所述搅拌组件包括在封堵柱的顶部开设的与花键柱相适配的花键槽，所述封堵柱的外周固定安装有驱动条，所述驱动条设置在反应釜的内部，所述封堵柱的外周套设并滑动安装有若干个联动环，所述联动环的内部开设有与驱动条相适配的驱动槽，所述联动环的外周通过搅拌杆固定连接有搅拌板，竖直方向相邻两个搅拌杆之间通过对接杆固定连接；
22.所述花键槽与下料槽之间通过开孔连通设置。
23.为了保证出料筒和反应釜之间的密封效果，本发明进一步设置为：所述反应釜的底部固定安装有密封环，所述出料筒的外周套设并固定安装有密封托板，所述密封环套设并滑动安装在密封托板的外周，所述密封托板的底部固定安装有限位环，且限位环和密封环之间设置有密封垫圈。
24.为了保证盖板的便捷升降，为反应釜的清理提供便利条件，本发明进一步设置为：所述升降组件包括立板，所述立板的顶部固定安装有横板，所述横板的顶部开设有两个滑孔和一个通孔，两个所述滑孔的内部分别固定滑动安装有一个辅助杆和一个齿牙板，所述辅助杆和齿牙板的底部均与盖板的顶部固定连接，所述横板的顶部固定安装有升降电机，
所述升降电机的输出端固定安装有升降齿轮，且升降齿轮与齿牙板相配合使用；
25.所述通孔与伺服电机相配合使用。
26.为了实现对加热组件和反应釜上热量的有效收集，本发明进一步设置为：所述水循环组件包括水泵，所述水箱固定安装在工作架中，所述水泵固定安装在工作架的顶部，所述水泵的输入端连通有进水管，所述进水管的一端与水箱连通设置，所述水泵的输出端连通有送水管，所述送水管的一端通过三通接头连通有注水管，所述注水管与固定外壳连通设置，所述固定外壳的底部连通有回水管，所述回水管的一端与水箱连通设置，所述注水管和回水管的表面均设置有第一电磁控制阀门；
27.所述固定环的顶部开设有导流孔，且若干个导流孔错位设置。
28.为了实现对反应釜的便捷清理，为反应釜的再次加工提供便利条件，本发明进一步设置为：所述送水管的一端通过三通接头连通有喷水软管，所述喷水软管的表面设置有第二电磁控制阀门；
29.所述水箱的正面连通有水龙头，所述水箱的顶部连通有加水头。
30.为了实现出料筒通断的便捷控制，本发明进一步设置为：所述工作架中固定安装有定位板，所述定位板的正面固定安装有导向杆，所述导向杆的外周套设并滑动安装有辅助块，所述导向杆的外周套设有第二弹簧，且第二弹簧的两端分别与定位板和辅助块相对的一侧固定连接，所述辅助块的顶部开设有与联动杆相适配的竖槽，所述联动杆的底部通过螺栓固定连接有锁定板，所述辅助块的正面从上至下依次开设有与竖槽连通的第一固定槽、活动槽和第二固定槽，且第一固定槽、活动槽和第二固定槽均与锁定板相配合使用。
31.(三)有益效果
32.本发明提供了一种六氯乙硅烷的制备方法。具备以下有益效果：
33.(1)本发明通过利用驱动组件驱动搅拌组件对六氯乙硅烷制备原料进行搅拌，无需对原料进行预混匀处理，同时驱动组件还可以驱动反应釜进行转动，进一步提高原料混匀效果的同时，还可以保证加热组件对反应釜的均匀加热，为六氯乙硅烷的制备提供便捷保障，在升降组件和水循环组件的配合下，不仅方便盖板的升降，为六氯乙硅烷的制备提供便捷保证的同时，还可以实现对反应釜和加热组件热量的有效收集，同时为反应釜的清理提供了便捷保障。
34.(2)本发明通过利用多个固定环的设置，保证固定外壳和反应釜之间拥有一定的间隔，配合导流孔的设置，为反应釜和水之间的换热提供便利条件，从保证反应釜余热和加热组件余热的有效收集，利用加热块对反应釜进行加热，在陶瓷块的配合下，保证加热块的热量可以迅速的传递到反应釜中，实现对原料的有效加热，在反应釜转动时，保证原料的均匀的加热。
35.(3)本发明通过联动杆、第一弹簧和封堵柱的配合，实现对出料筒的有效封堵，避免反应釜中原料的反应产物渗出的同时，在下料管、下料槽和收集盆的配合下，通过向下拉动联动杆，即可保证反应釜中的反应产物依次经过下料槽和下料管后，流至收集盆中，使用更为方便，且在花键柱、花键槽、驱动条、联动环和驱动槽的配合下，保证伺服电机运行过程中，可以带动封堵柱进行转动，进而实现联动环的转动，使搅拌杆、对接杆和搅拌板对反应釜中的原料进行有效搅动。
36.(4)本发明通过密封环、密封托板、限位环和密封垫圈的配合，保证反应釜和出料
筒之间便捷装配的同时，还可以有效保证出料筒和反应釜之间连接的密封效果。
37.(5)本发明通过升降电机、升降齿轮、齿牙板和辅助杆的配合，利用控制升降电机的正反转，即可实现盖板的升降调节，盖板升降稳定的同时，可以有效降低盖板温度过高时对升降电机的影响，进而保证装置的长期稳定使用。
38.(6)本发明通过水泵、水箱、进水管、送水管、注水管和回水管的配合，保证水箱中的水在输送到固定外壳和反应釜的间隔中进行换热后，还可以流回到水箱中，保证加工完成后热量的有效收集，配合第一电磁控制阀门的设置，实现注水管和喷水软管的通断控制，在盖板脱离固定外壳后，利用喷水软管可以将换热后的热水冲入到反应釜中，对反应釜进行清理，为反应釜的再次使用通过便利条件。
39.(7)本发明通过定位板、导向杆、第二弹簧和辅助块的设置，实现对辅助块的弹性限位，在竖槽、第一固定槽和锁定板的配合下，保证封堵柱对出料筒的有效封堵，有效避免反应釜在加工过程中的原料从出料筒中溢出的情况，在竖槽、活动槽和锁定板的配合下，在盖板压紧在固定外壳上后，为花键柱插入到花键槽中提供便利，在竖槽、第二固定槽和锁定板的配合下，保证反应釜中反应产物可以便捷的排出到收集盆中，还可以保证反应釜在进行清洁时，清洁用于可以顺利的从下料管中排出。
附图说明
40.图1为本发明的方法流程示意图；
41.图2为本发明的外部结构示意图；
42.图3为本发明的内部结构示意图；
43.图4为本发明附图3中a处结构的放大示意图；
44.图5为本发明花键柱、大齿轮、小齿轮和齿牙结构的连接示意图；
45.图6为本发明花键槽、驱动条、联动环和驱动槽结构的连接示意图；
46.图7为本发明封堵柱的内部结构示意图；
47.图8为本发明附图3中b处结构的放大示意图；
48.图9为本发明定位板、导向杆、辅助块和第二弹簧结构的连接示意图；
49.图中，1、反应釜；2、固定外壳；3、加热组件；4、固定环；5、加热块；6、导热块；7、陶瓷块；8、盖板；9、驱动组件；10、伺服电机；11、花键柱；12、大齿轮；13、小齿轮；14、齿牙；15、工作架；16、封堵组件；17、出料筒；18、封堵柱；19、联动杆；20、第一弹簧；21、下料槽；22、下料管；23、收集盆；24、搅拌组件；25、花键槽；26、驱动条；27、联动环；28、驱动槽；29、搅拌杆；30、搅拌板；31、对接杆；32、密封环；33、密封托板；34、限位环；35、密封垫圈；36、升降组件；37、立板；38、横板；39、滑孔；40、通孔；41、辅助杆；42、齿牙板；43、升降电机；44、升降齿轮；45、水循环组件；46、水泵；47、水箱；48、进水管；49、送水管；50、注水管；51、回水管；52、导流孔；53、喷水软管；54、水龙头；55、加水头；56、定位板；57、导向杆；58、辅助块；59、第二弹簧；60、竖槽；61、锁定板；62、第一固定槽；63、活动槽；64、第二固定槽；65、加料管。
具体实施方式
50.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
51.请参阅图1-9，本发明实施例提供以下两种技术方案：
52.实施例一、
53.一种六氯乙硅烷的制备方法，具体包括以下步骤：
54.步骤一、上料：将称量好设定质量的硅粉、四氯化硅和活性炭通过加料管65直接投入到反应釜1中，启动加热块5，加热块5为电加热块，与外界电源电性连接，通过控制开关进行控制，加热块5产生的热量通过导热块6传递到陶瓷块7中，对反应釜1进行加热；
55.步骤二、搅拌：启动伺服电机10，伺服电机10与外界电源电性连接，通过控制开关进行控制，伺服电机10带动花键柱11转动，花键柱11带动封堵柱18转动，封堵柱18通过驱动条26带动联动环27转动，联动环27带动搅拌杆29使搅拌板30和对接杆31转动，对反应釜1中的硅粉、四氯化硅和活性炭进行搅动，同时，在花键柱11转动的过程中，花键柱11带动大齿轮12转动，大齿轮12带动小齿轮13转动，小齿轮13带动齿牙14使反应釜1做与花键柱11转动方向相反方向的转动；
56.步骤三、出料：加热设定时间后，反应釜1中获得液态产物，关闭伺服电机10，向下拉动联动杆19，联动杆19带动封堵柱18向下移动，过程中，封堵柱18对第一弹簧20进行挤压，在下料槽21与下料管22连通后，反应釜1中的液态产物经过下料槽21流至下料管22中，后落在收集盆23中，完成液态产物的收集后，松开联动杆19，封堵柱18在第一弹簧20的推动下进行复位，对下料管22进行封堵；
57.步骤四、过滤纯化：对收集盆23中的液态产物进行过滤后，使用脱轻塔进行纯化，得到六氯乙硅烷；
58.步骤五、换热：完成加工后，关闭加热块5，启动水泵46，水泵46与外界电源电性连接，通过控制开关进行控制，水泵46通过进水管48将水箱47中的水输送到送水管49中，过程中，打开注水管50上的第一电磁控制阀门和回水管51上的第一电磁控制阀门，送水管49将水从注水管50中输送到固定外壳2和反应釜1之间的间隔中，水经过导流孔52下落，最终从回水管51中流回到水箱47中，过程中，水与加热组件3和反应釜1进行换热，完成换热后，关闭水泵46；
59.步骤六、清理：启动升降电机43，其中升降电机43采用三相异步电机，可正反转，与外界电源电性连接，通过控制开关进行控制，控制升降电机43带动升降齿轮44逆时针转动，升降齿轮44驱动齿牙板42上升，使盖板8脱离反应釜1，关闭步骤五中的两个第一电磁控制阀门，打开喷水软管53上的第二电磁控制阀门，启动水泵46，水泵46将水箱47中的热水输送到喷水软管53中喷出，对反应釜1进行冲洗，过程中，向下拉动联动杆19，使下料槽21与下料管22连通，将反应釜1中的冲洗用水排出。
60.本实施例中，不需要对六氯乙硅烷制备所需原料进行预混匀加工的同时，还可以保证原料的均匀加热，使用方便的同时，还可以实现对反应釜余热的有效收集，同时为反应釜的清洁提供便利，保证反应釜的再次加工使用。
61.实施例二、
62.本实施例作为上一实施例的改进，一种六氯乙硅烷的制备方法，还包括在步骤三中向下拉动联动杆19，排出反应釜1中液态产物时，向后推动辅助块58，使辅助块58沿着导向杆57向后移动，过程中，辅助块58对第二弹簧59进行挤压，将联动杆19上的锁定板61拉至于第二固定槽64同一水平处，松开辅助块58，第二弹簧59推动辅助块58移动，使第二固定槽
64套在锁定板61上，竖槽60套在联动杆19上，此时松开联动杆19，联动杆19也不会上升，为反应釜1中液态产物的导出提供便利；
63.在步骤三中松开联动杆19，使封堵柱18对下料管22进行封堵时，向后推动辅助块58，使第二固定槽64脱离锁定板61，封堵柱18在第一弹簧20的推动下，对下料管22进行封堵，此时，锁定板61移动至与第一固定槽62同一水平处，松开辅助块58，第二弹簧59推动辅助块58移动，使第一固定槽62套在锁定板61上。
64.作为优选方案，在完成步骤六的清洁后，控制升降电机43带动升降齿轮44顺时针转动，升降齿轮44驱动齿牙板42下降，使盖板8落在反应釜1上，过程中，启动伺服电机10，伺服电机10带动花键柱11转动，花键柱11带动大齿轮12转动，大齿轮12带动小齿轮13转动，直至小齿轮13与若干个齿牙14相啮合，此时盖板8与固定外壳2的顶部紧密贴合，过程中，向后推动辅助块58，使辅助块58沿着导向杆57向后移动，辅助块58对第二弹簧59进行挤压，将联动杆19上的锁定板61拉至于活动槽63同一水平处，松开辅助块58，第二弹簧59推动辅助块58移动，使活动槽63套在锁定板61上，竖槽60套在联动杆19上，在花键柱11随着盖板8下降过程中，花键柱11对封堵柱18进行挤压，封堵柱18挤压第一弹簧20，同时封堵柱18挤压联动杆19使锁定板61在活动槽63中向下滑动，随着花键柱11的转动，封堵柱18上的花键槽25与花键柱11配合，在花键柱11插入到花键槽25中后，第一弹簧20推动封堵柱18上升，封堵柱18带动联动杆19，联动杆19带动锁定板61在活动槽63中上升，即通过对锁定板61位置的判定，即可判断花键柱11是否插入到花键槽25中，在花键柱11插入到花键槽25中后，向后推动辅助块58，使活动槽63脱离锁定板61，封堵柱18在第一弹簧20的推动下，带动锁定板61移动至与第一固定槽62同一水平处，松开辅助块58，第二弹簧59推动辅助块58移动，使第一固定槽62套在锁定板61上。
65.同样的，在步骤六中对反应釜1进行清理时，向后推动辅助块58，使辅助块58沿着导向杆57向后移动，过程中，辅助块58对第二弹簧59进行挤压，将联动杆19上的锁定板61拉至于第二固定槽64同一水平处，松开辅助块58，第二弹簧59推动辅助块58移动，使第二固定槽64套在锁定板61上，竖槽60套在联动杆19上，此时松开联动杆19，联动杆19也不会上升，为反应釜1中清洁用水的导出提供便利。
66.实施例二相对于实施例一的优点在于：在定位板56、导向杆57、辅助块58、第二弹簧59、竖槽60、锁定板61、第一固定槽62、活动槽63和第二固定槽64的配合下，为反应釜1中液体的排出提供方便，使用起来更为方便，且进一步保证了装置在使用过程中的稳定性。

技术特征：
1.一种六氯乙硅烷的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：步骤一、上料：将称量好设定质量的硅粉、四氯化硅和活性炭通过加料管(65)直接投入到反应釜(1)中，启动加热组件(3)，对反应釜(1)进行加热；步骤二、搅拌：启动驱动组件(9)，驱动组件(9)带动搅拌组件(24)对反应釜(1)中的硅粉、四氯化硅和活性炭进行搅动，同时，驱动组件(9)带动反应釜(1)做与搅拌组件(24)相反方向的转动；步骤三、出料：加热设定时间后，反应釜(1)中获得液态产物，关闭驱动组件(9)，打开封堵组件(16)，将液态产物导出到收集盆(23)中；步骤四、过滤纯化：对收集盆(23)中的液态产物进行过滤后，使用脱轻塔进行纯化，得到六氯乙硅烷；步骤五、换热：完成加工后，关闭加热组件(3)，启动水循环组件(45)，使水箱(47)中的水与加热组件(3)进行换热，换热后的水储存在水箱(47)中；步骤六、清理：通过升降组件(36)将盖板(8)升起，使盖板(8)脱离反应釜(1)，利用水循环组件(45)将换热后的水导入到反应釜(1)中，对反应釜(1)进行冲洗。2.根据权利要求1所述的一种六氯乙硅烷的制备方法，其特征在于：所述反应釜(1)的外周设置有固定外壳(2)，所述加热组件(3)固定安装在固定外壳(2)的内部，所述加热组件(3)包括若干个固定环(4)，所述固定环(4)的内弧面镶嵌设置有若干个加热块(5)，所述加热块(5)的内弧面固定安装有导热块(6)，所述固定环(4)与反应釜(1)的外周相配合使用，所述导热块(6)的内弧面与反应釜(1)的外周相接触；所述反应釜(1)的外周间隔均匀的镶嵌设置有若干个陶瓷块(7)；所述盖板(8)与固定外壳(2)的顶部相配合使用，所述加料管(65)贯穿固定在盖板(8)的顶部。3.根据权利要求2所述的一种六氯乙硅烷的制备方法，其特征在于：所述驱动组件(9)包括伺服电机(10)，所述伺服电机(10)通过固定架固定安装在盖板(8)的顶部，所述伺服电机(10)的输出端通过联轴器固定连接有花键柱(11)，所述花键柱(11)的底端贯穿盖板(8)设置，且花键柱(11)的外周套设并固定连接有大齿轮(12)，所述盖板(8)底部的两侧均转动安装有小齿轮(13)，且两个小齿轮(13)均与大齿轮(12)的外周相啮合，所述反应釜(1)内腔的顶部间隔均匀的固定安装有若干个齿牙(14)，且若干个齿牙(14)与两个小齿轮(13)相配合使用。4.根据权利要求3所述的一种六氯乙硅烷的制备方法，其特征在于：所述固定外壳(2)的底部固定安装有工作架(15)，所述封堵组件(16)设置在固定外壳(2)的底部，所述封堵组件(16)包括出料筒(17)，所述出料筒(17)贯穿并固定安装在固定外壳(2)的底部，所述出料筒(17)的底部贯穿工作架(15)并延伸至工作架(15)下方，所述出料筒(17)的顶端贯穿反应釜(1)设置，所述出料筒(17)的顶部贯穿并滑动安装有封堵柱(18)，所述封堵柱(18)的底部通过轴承转动连接有联动杆(19)，所述联动杆(19)的外周套设有第一弹簧(20)，且第一弹簧(20)的两端分别与封堵柱(18)的底部和出料筒(17)内腔的底部相接触；所述封堵柱(18)的外周开设有下料槽(21)，所述出料筒(17)的外周连通有下料管(22)，所述下料管(22)设置在工作架(15)的下方，所述收集盆(23)设置在工作架(15)中。5.根据权利要求4所述的一种六氯乙硅烷的制备方法，其特征在于：所述搅拌组件(24)
包括在封堵柱(18)的顶部开设的与花键柱(11)相适配的花键槽(25)，所述封堵柱(18)的外周固定安装有驱动条(26)，所述驱动条(26)设置在反应釜(1)的内部，所述封堵柱(18)的外周套设并滑动安装有若干个联动环(27)，所述联动环(27)的内部开设有与驱动条(26)相适配的驱动槽(28)，所述联动环(27)的外周通过搅拌杆(29)固定连接有搅拌板(30)，竖直方向相邻两个搅拌杆(29)之间通过对接杆(31)固定连接；所述花键槽(25)与下料槽(21)之间通过开孔连通设置。6.根据权利要求5所述的一种六氯乙硅烷的制备方法，其特征在于：所述反应釜(1)的底部固定安装有密封环(32)，所述出料筒(17)的外周套设并固定安装有密封托板(33)，所述密封环(32)套设并滑动安装在密封托板(33)的外周，所述密封托板(33)的底部固定安装有限位环(34)，且限位环(34)和密封环(32)之间设置有密封垫圈(35)。7.根据权利要求3所述的一种六氯乙硅烷的制备方法，其特征在于：所述升降组件(36)包括立板(37)，所述立板(37)的顶部固定安装有横板(38)，所述横板(38)的顶部开设有两个滑孔(39)和一个通孔(40)，两个所述滑孔(39)的内部分别固定滑动安装有一个辅助杆(41)和一个齿牙板(42)，所述辅助杆(41)和齿牙板(42)的底部均与盖板(8)的顶部固定连接，所述横板(38)的顶部固定安装有升降电机(43)，所述升降电机(43)的输出端固定安装有升降齿轮(44)，且升降齿轮(44)与齿牙板(42)相配合使用；所述通孔(40)与伺服电机(10)相配合使用。8.根据权利要求5所述的一种六氯乙硅烷的制备方法，其特征在于：所述水循环组件(45)包括水泵(46)，所述水箱(47)固定安装在工作架(15)中，所述水泵(46)固定安装在工作架(15)的顶部，所述水泵(46)的输入端连通有进水管(48)，所述进水管(48)的一端与水箱(47)连通设置，所述水泵(46)的输出端连通有送水管(49)，所述送水管(49)的一端通过三通接头连通有注水管(50)，所述注水管(50)与固定外壳(2)连通设置，所述固定外壳(2)的底部连通有回水管(51)，所述回水管(51)的一端与水箱(47)连通设置，所述注水管(50)和回水管(51)的表面均设置有第一电磁控制阀门；所述固定环(4)的顶部开设有导流孔(52)，且若干个导流孔(52)错位设置。9.根据权利要求8所述的一种六氯乙硅烷的制备方法，其特征在于：所述送水管(49)的一端通过三通接头连通有喷水软管(53)，所述喷水软管(53)的表面设置有第二电磁控制阀门；所述水箱(47)的正面连通有水龙头(54)，所述水箱(47)的顶部连通有加水头(55)；所述工作架(15)中固定安装有定位板(56)，所述定位板(56)的正面固定安装有导向杆(57)，所述导向杆(57)的外周套设并滑动安装有辅助块(58)，所述导向杆(57)的外周套设有第二弹簧(59)，且第二弹簧(59)的两端分别与定位板(56)和辅助块(58)相对的一侧固定连接，所述辅助块(58)的顶部开设有与联动杆(19)相适配的竖槽(60)，所述联动杆(19)的底部通过螺栓固定连接有锁定板(61)，所述辅助块(58)的正面从上至下依次开设有与竖槽(60)连通的第一固定槽(62)、活动槽(63)和第二固定槽(64)，且第一固定槽(62)、活动槽(63)和第二固定槽(64)均与锁定板(61)相配合使用。10.六氯乙硅烷，其特征在于：由上述权利要求1-9中任意一项所述方法制成。

技术总结
本发明公开了一种六氯乙硅烷的制备方法，具体包括以下步骤：步骤一、上料；步骤二、搅拌；步骤三、出料；步骤四、过滤纯化；步骤五、换热；步骤六、清理；本发明涉及六氯乙硅烷制备技术领域。该六氯乙硅烷的制备方法，利用驱动组件驱动搅拌组件对六氯乙硅烷制备原料进行搅拌，无需对原料进行预混匀处理，驱动组件还可以驱动反应釜进行转动，提高原料混匀效果的同时，还可以保证加热组件对反应釜的均匀加热，为六氯乙硅烷的制备提供便捷保障，在升降组件和水循环组件的配合下，不仅方便盖板的升降，为六氯乙硅烷的制备提供便捷保证的同时，还可以实现对反应釜和加热组件热量的有效收集，同时为反应釜的清理提供了便捷保障。反应釜的清理提供了便捷保障。反应釜的清理提供了便捷保障。


技术研发人员：胡红亮 卢迪锋 汪海燕 朱思坤 李建恒
受保护的技术使用者：铜陵安德科铭电子材料科技有限公司
技术研发日：2023.08.01
技术公布日：2023/10/11