机体设备控制系统的制作方法

1.本发明涉及集成电路制造设备领域，尤其涉及一种机体设备控制系统。


背景技术：

2.在目前机械手范围领域，如果电机、驱动器或者系统发生错误报警时，在系统无法使用的状态下，机械手会出现情况：由于电机、驱动器或者系统发生错误报警，无法上电z轴，导致z轴卡住，如果z轴内的casstte托满晶圆，如果不能及时取出将会导致极大的损失。
3.因此，有必要提供一种机体设备控制系统以解决现有技术中存在的上述问题。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种机体设备控制系统，以解决现有技术中z轴抱闸不可控的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供了一种机体设备控制系统，包括外部控制模块和第一插头，所述外部控制模块与所述第一插头电连接，所述外部控制模块的电流通过所述第一插头流入到抱闸以控制所述抱闸的启停。
6.本发明所述的机体设备控制系统的有益效果在于：通过所述外部控制模块与所述第一插头电连接，所述外部控制模块的电流通过所述第一插头流入到抱闸以控制所述抱闸的启停。本发明解决了现有技术中z轴抱闸不可控的问题。
7.可选的，所述机体设备控制系统还包括第二插头和原控制模块，当所述原控制模块正常工作时，所述原控制模块的电流依次通过所述第二插头和所述第一插头流入到所述抱闸以控制所述抱闸的启停，当所述原控制模块无法正常工作时，所述外部控制模块的电流通过所述第一插头流入到所述抱闸以控制所述抱闸的启停。
8.可选的，所述外部控制模块包括第三插头和控制单元，所述第三插头与所述控制单元电连接，当所述原控制模块无法正常工作时，所述控制单元与所述第一插头电连接。
9.可选的，所述控制单元包括继电器，所述继电器与所述第三插头电连接，当所述原控制模块无法正常工作时，所述继电器与所述第一插头电连接。
10.可选的，所述外部控制模块还包括第一供电单元，所述第一供电单元与所述第三插头电连接。
11.可选的，当所述源控制模块无法正常工作时，所述第一供电单元与所述第三插头的输入端连接，所述第三插头的输出端与所述继电器的输入端连接，所述继电器的输出端与所述第一插头的输入端连接，所述第一插头的输出端与所述抱闸连接。
12.可选的，所述原控制模块包括第二供电单元，所述第二供电单元与所述第二插头电连接。
13.可选的，当所述原控制模块正常工作时，所述第二供电单元与所述第二插头的输入端连接，所述第二插头的输出端与所述第一插头的输入端连接，所述第一插头的输出端与所述抱闸连接。
附图说明
14.图1为本发明实施例的机体设备控制系统的示意图；
15.图2为本发明实施例的机体设备控制系统的线路示意图。
具体实施方式
16.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
17.本发明提出一种机体设备控制系统，通过增加电池和按钮以及继电器，当机械手出现故障时，使机械手的z轴抱闸实现自由控制，并且电流不会影响机体设备控制系统的正常控制。
18.本发明的实施例提供了一种机体设备控制系统，所述机体设备控制系统包括外部控制模块和第一插头，所述外部控制模块与所述第一插头电连接，所述外部控制模块的电流通过所述第一插头流入到抱闸以控制所述抱闸的启停。一些具体实施例，所述第一插头为芯母头-z_motor1。
19.具体的，通过所述外部控制模块与所述第一插头电连接，所述外部控制模块的电流通过所述第一插头流入到抱闸以控制所述抱闸的启停。本发明解决了现有技术中z轴抱闸不可控的问题。
20.本发明的一些实施例，所述机体设备控制系统还包括第二插头和原控制模块，当所述原控制模块正常工作时，所述原控制模块的电流依次通过所述第二插头和所述第一插头流入到所述抱闸以控制所述抱闸的启停，当所述原控制模块无法正常工作时，所述外部控制模块的电流通过所述第一插头流入到所述抱闸以控制所述抱闸的启停。一些具体实施例，所述第二插头为芯母头-sysio-bt-xp。
21.本发明的一些实施例，所述外部控制模块包括第三插头和控制单元，所述第三插头与所述控制单元电连接，当所述原控制模块无法正常工作时，所述控制单元与所述第一插头电连接。一些具体实施例，所述第三插头包括母头db9和公头db9。
22.本发明的一些实施例，所述控制单元包括继电器，所述继电器与所述第三插头电连接，当所述原控制模块无法正常工作时，所述继电器与所述第一插头电连接。一些具体实施例，所述继电器为g2r-2-snd。
23.本发明的一些实施例，所述外部控制模块还包括第一供电单元，所述第一供电单元与所述第三插头电连接。一些具体实施例，所述第一供电单元为电池盒。
24.本发明的一些实施例，当所述源控制模块无法正常工作时，所述第一供电单元与所述第三插头的输入端连接，所述第三插头的输出端与所述继电器的输入端连接，所述继电器的输出端与所述第一插头的输入端连接，所述第一插头的输出端与所述抱闸连接。
25.本发明的一些实施例，所述原控制模块包括第二供电单元，所述第二供电单元与
所述第一插头电连接。
26.本发明的一些实施例，当所述原控制模块正常工作时，所述第二供电单元与所述第一插头的输入端连接，所述第一插头的输出端与所述第二插头的输入端连接，所述第二插头的输出端与所述抱闸连接。
27.图1为本发明实施例的机体设备控制系统的示意图；图2为本发明实施例的机体设备控制系统的线路示意图。
28.本发明的一些实施例，参照图1，所述机体设备控制系统10包括外部控制模块1、第一插头2、抱闸3、第二插头4和原控制模块5，所述外部控制模块1与所述第一插头2电连接，所述第一插头2与所述抱闸3电连接，所述原控制模块5与所述第二插头4电连接，所述第二插头4与所述第一插头2电连接，所述第一插头2与所述抱闸3电连接，当所述原控制模块5正常工作时，所述原控制模块5的电流依次通过所述第二插头4和所述第一插头2流入到所述抱闸3以控制所述抱闸3的启停，当所述原控制模块5无法正常工作时，所述外部控制模块1的电流通过所述第一插头2流入到所述抱闸3以控制所述抱闸3的启停。
29.本发明的一些实施例，参照图1，所述外部控制模块1包括第一供电单元11、第三插头12和控制单元13，所述第一供电单元11与所述第三插头12电连接，所述第三插头12与所述控制单元13电连接，所述控制单元13与所述第一插头2电连接。一些具体实施例，所述控制单元包括继电器，所述继电器与所述第三插头电连接，当所述原控制模块无法正常工作时，所述继电器与所述第一插头电连接。又一些具体实施例，所述原控制模块包括第二供电单元，所述第二供电单元与所述第一插头电连接。
30.本发明的一些实施例，参照图2，所述第三插头12包括公头121和母头122，所述第一供电单元11与所述母头122电连接，所述母头122与所述公头121电连接，所述公头121与所述控制单元13电连接，当所述源控制模块正常工作时，所述第二供电单元(图中未标示)与所述第二插头4的输入端连接，所述第二插头4的输出端与所述第一插头2的输入端连接，所述第一插头2的输出端与所述抱闸连接，一组电信号通过所述第二插头4经过所述控制单元13的常闭触点41-21及42-22接到电机的抱闸上；当使用所述外部控制模块1截断时，由于所述第一供电单元11通过所述公头121和所述母头122的连接，使所述控制单元13的线圈吸合，在吸合状态下41-21和42-22的触点由常开变为常闭，从而使电流输入信号变成131-21和132-22，以使电流输入到电机的线圈，使电机的抱闸可以达到外部可控的效果。所述控制单元13为继电器，所述继电器的型号为g2r-2-snd，所述第三插头12包括母头122和公头121，所述公头121为公头db9，所述母头122为母头db9，所述第二插头4为芯母头-sysio-bt-xp所述第一插头2为芯母头-z_motor1，所述第一供电单元11是直流电源且电压为24v。
31.本发明通过增加外部抱闸，使得抱闸外部可控，从而保护z轴上的晶圆，并且有益于现场的维修改造。
32.虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

技术特征：
1.一种机体设备控制系统，其特征在于，包括外部控制模块和第一插头，所述外部控制模块与所述第一插头电连接，所述外部控制模块的电流通过所述第一插头流入到抱闸以控制所述抱闸的启停。2.根据权利要求1所述的机体设备控制系统，其特征在于，还包括第二插头和原控制模块，当所述原控制模块正常工作时，所述原控制模块的电流依次通过所述第二插头和所述第一插头流入到所述抱闸以控制所述抱闸的启停，当所述原控制模块无法正常工作时，所述外部控制模块的电流通过所述第一插头流入到所述抱闸以控制所述抱闸的启停。3.根据权利要求2所述的机体设备控制系统，其特征在于，所述外部控制模块包括第三插头和控制单元，所述第三插头与所述控制单元电连接，当所述原控制模块无法正常工作时，所述控制单元与所述第一插头电连接。4.根据权利要求3所述的机体设备控制系统，其特征在于，所述控制单元包括继电器，所述继电器与所述第三插头电连接，当所述原控制模块无法正常工作时，所述继电器与所述第一插头电连接。5.根据权利要求4所述的机体设备控制系统，其特征在于，所述外部控制模块还包括第一供电单元，所述第一供电单元与所述第三插头电连接。6.根据权利要求5所述的机体设备控制系统，其特征在于，当所述原控制模块无法正常工作时，所述第一供电单元与所述第三插头的输入端连接，所述第三插头的输出端与所述继电器的输入端连接，所述继电器的输出端与所述第一插头的输入端连接，所述第一插头的输出端与所述抱闸连接。7.根据权利要求2所述的机体设备控制系统，其特征在于，所述原控制模块包括第二供电单元，所述第二供电单元与所述第二插头电连接。8.根据权利要求7所述的机体设备控制系统，其特征在于，当所述原控制模块正常工作时，所述第二供电单元与所述第二插头的输入端连接，所述第二插头的输出端与所述第一插头的输入端连接，所述第一插头的输出端与所述抱闸连接。

技术总结
本发明提供了一种机体设备控制系统，所述机体设备控制系统包括外部控制模块和第一插头，所述外部控制模块与所述第一插头电连接，所述外部控制模块的电流通过所述第一插头流入到抱闸以控制所述抱闸的启停。本发明解决了现有技术中Z轴抱闸不可控的问题。现有技术中Z轴抱闸不可控的问题。现有技术中Z轴抱闸不可控的问题。


技术研发人员：朱玉东 何海龙 王静 洪烨
受保护的技术使用者：中科芯微智能装备（沈阳）有限公司
技术研发日：2023.07.13
技术公布日：2023/10/11