一种碎硅料杂质的提纯方法与流程

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1.本发明涉及硅料提纯技术领域,具体为一种碎硅料杂质的提纯方法。


背景技术:

2.硅是地壳上最丰富的元素半导体,性质优越而工艺技术比较成熟,已成为固态电子器件的主要原料;硅材料是重要的半导体材料,化学元素符号si,电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能;硅是产量最大、应用最广的半导体材料,它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平;为了适应超大规模集成电路的需要,高完整性高均匀度的硅单晶制备技术正在发展;工业硅料是指在工业生产中有广泛用途的硅产品,主要包括:硅铁、金属硅、硅锰、硅铝、钡锰钛铁、硅锰钒铁、硅铝钡铁、硅铝铁、硅钙、硅钢板、铝硅合金、镍铬-镍硅热电偶丝、锰硅合金、稀土硅钙钡、硅钙合金、硅钡合金、硅铬合金、镁硅合金、锗硅合金、硅钴、硅青铜、铁硅合金、锌硅合金、硅钛铁合金、镍硅合金、铝镁、硅合金、铜硅合金等;硅提纯,硅是一种人造材料;在硅的制造过程中必须从硅的化合物中分离出硅,并从分离后的硅中进一步提纯硅;虽然硅在地壳中是第二多的元素,但它是由多种化合物组成,主要有不纯的二氧化硅和硅酸盐,在自然中没有单纯的硅元素;制造半导体器件所用的单晶硅是一种人造材料。
3.现有专利(公开号:cn102040221a)公开了一种金属硅的提纯方法,包括步骤:一:粉碎,二:酸洗、清洗,三:等离子体火焰处理,四:冷却。在等离子提纯的过程中杂质会向硅颗粒表面扩散,通过进一步的酸洗、等离子提纯,就可以将工业硅的纯度不断提高直到达到太阳能级的要求。本发明取得了简化设备和工艺、降低能耗和生产成本的有益效果。但是目前的硅提纯方式分离不够充分,需要对同批次碎硅料进行多次反复的提纯操作,大大增加了提纯耗时,不能很好满足人们的使用需求等缺点。


技术实现要素:

4.针对现有技术的不足,本发明提供了一种碎硅料杂质的提纯方法,解决了上述背景技术中提出目前硅提纯方式分离不够充分,需要对同批次碎硅料进行多次反复的提纯操作,大大增加了提纯耗时的问题。
5.为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种碎硅料杂质的提纯方法,碎硅料杂质的提纯具体步骤如下:
6.s1、对收集的碎硅料进行等重分装操作;
7.s2、对每份碎硅料进行除杂操作;
8.s3、将碎硅料倒入研磨设备中,对碎硅料进行粉碎研磨操作,直至碎硅料呈粒状体;
9.s4、将碎硅粒倒入水溶液中,并向水溶液中加热捕收剂,使其碳化硅粒漂浮并统一收集清除,随后将沉底的石子进行收集;
10.s5、将收集的碎硅粒倒入酸性溶液中搅拌,针对碎硅粒表面的氧化物进行分解收
集;
11.s6、将分离后的碎硅粒倒入水溶液中进行统一清洗操作;
12.s7、对清洗后的碎硅粒进行干燥处理;
13.s8、将干燥后的碎硅粒统一放置于户外自然冷却,直至碎硅粒冷却至常温状态;
14.s9、对处理完成后的碎硅粒进行纯度检测,如纯度不足,则重复上述s4至s8的操作,直至碎硅粒纯度达到工业需求。
15.可选的,所述s1中的每份碎硅料重量为1000
±
100g。
16.可选的,所述s2中的杂质分别包括有机杂质和无机杂质,其中有机杂质和无机杂质分别以不同的方式进行去除操作。
17.可选的,所述s3中的研磨设备在使用过程中的旋转速度为25-40r/min,直至碎硅粒的直径小于1mm。
18.可选的,所述s4中捕收剂与水溶液的混合比例为1-3.5:50。
19.可选的,所述捕收剂的加入采用分批次方式,以100ml水溶液为例,其每次捕收剂的添加量为2ml。
20.可选的,所述s5中的酸性溶液为氢氟酸、硝酸、去离子水配成的溶液,其中氢氟酸、硝酸和去离子水之间的混合比例为1:1:4。
21.可选的,所述s5中搅拌设备的转速为60-90r/min,其搅拌过程中采用顺时针单向转动方式,搅拌时长为20-30min。
22.可选的,所述s7中对硅料的干燥操作采用烘烤机,其烘烤温度为60-85℃,烘烤时长为90-120min。
23.本发明提供了一种碎硅料杂质的提纯方法,具备以下有益效果:
24.该碎硅料杂质的提纯方法,通过对碎硅料中各种无机物和有机物杂质的逐步去除,不断地提高碎硅料的硅含量比例,该提纯方式对于碎硅料的除杂效果更加全面,可以充分对碎硅料的表面以及混合于碎硅料中的杂质进行清除,并且该清除方式可以重复循环提纯操作。
具体实施方式
25.下面将结合本发明实施例,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0026][0027]
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0028]
实施例一
[0029]
本发明提供一种技术方案:一种碎硅料杂质的提纯方法,碎硅料杂质的提纯具体步骤如下:
[0030]
s1、对收集的碎硅料进行等重分装操作;
[0031]
s2、对每份碎硅料进行除杂操作;
[0032]
s3、将碎硅料倒入研磨设备中,对碎硅料进行粉碎研磨操作,直至碎硅料呈粒状体;
[0033]
s4、将碎硅粒倒入水溶液中,并向水溶液中加热捕收剂,使其碳化硅粒漂浮并统一收集清除,随后将沉底的石子进行收集;
[0034]
s5、将收集的碎硅粒倒入酸性溶液中搅拌,针对碎硅粒表面的氧化物进行分解收集;
[0035]
s6、将分离后的碎硅粒倒入水溶液中进行统一清洗操作;
[0036]
s7、对清洗后的碎硅粒进行干燥处理;
[0037]
s8、将干燥后的碎硅粒统一放置于户外自然冷却,直至碎硅粒冷却至常温状态。
[0038]
实施例二
[0039]
本发明提供一种技术方案:一种碎硅料杂质的提纯方法,碎硅料杂质的提纯具体步骤如下:
[0040]
s1、对收集的碎硅料进行等重分装操作,每份碎硅料重量为1000
±
100g;
[0041]
s2、对每份碎硅料进行除杂操作,杂质分别包括有机杂质和无机杂质,其中有机杂质和无机杂质分别以不同的方式进行去除操作;
[0042]
s3、将碎硅料倒入研磨设备中,对碎硅料进行粉碎研磨操作,直至碎硅料呈粒状体,研磨设备在使用过程中的旋转速度为25-40r/min,直至碎硅粒的直径小于1mm;
[0043]
s4、将碎硅粒倒入水溶液中,并向水溶液中加热捕收剂,捕收剂与水溶液的混合比例为1-3.5:50,捕收剂的加入采用分批次方式,以100ml水溶液为例,其每次捕收剂的添加量为2ml,使其碳化硅粒漂浮并统一收集清除,随后将沉底的石子进行收集;
[0044]
s5、将收集的碎硅粒倒入酸性溶液中搅拌,搅拌设备的转速为60-90r/min,其搅拌过程中采用顺时针单向转动方式,搅拌时长为20-30min,针对碎硅粒表面的氧化物进行分解收集,酸性溶液为氢氟酸、硝酸、去离子水配成的溶液,其中氢氟酸、硝酸和去离子水之间的混合比例为1:1:4;
[0045]
s6、将分离后的碎硅粒倒入水溶液中进行统一清洗操作;
[0046]
s7、对清洗后的碎硅粒进行干燥处理,对硅料的干燥操作采用烘烤机,其烘烤温度为60-85℃,烘烤时长为90-120min;
[0047]
s8、将干燥后的碎硅粒统一放置于户外自然冷却,直至碎硅粒冷却至常温状态;
[0048]
s9、对处理完成后的碎硅粒进行纯度检测,检测纯度合格,满足工业使用需求。
[0049]
实施例三
[0050]
本发明提供一种技术方案:一种碎硅料杂质的提纯方法,碎硅料杂质的提纯具体步骤如下:
[0051]
s1、对收集的碎硅料进行等重分装操作,每份碎硅料重量为1000g;
[0052]
s2、对每份碎硅料进行除杂操作,杂质分别包括有机杂质和无机杂质,其中有机杂质和无机杂质分别以不同的方式进行去除操作;
[0053]
s3、将碎硅料倒入研磨设备中,对碎硅料进行粉碎研磨操作,直至碎硅料呈粒状体,研磨设备在使用过程中的旋转速度为35r/min,直至碎硅粒的直径小于1mm;
[0054]
s4、将碎硅粒倒入水溶液中,并向水溶液中加热捕收剂,捕收剂与水溶液的混合比例为1-3.5:50,捕收剂的加入采用分批次方式,以100ml水溶液为例,其每次捕收剂的添加
量为2ml,使其碳化硅粒漂浮并统一收集清除,随后将沉底的石子进行收集;
[0055]
s5、将收集的碎硅粒倒入酸性溶液中搅拌,搅拌设备的转速为80r/min,其搅拌过程中采用顺时针单向转动方式,搅拌时长为20min,针对碎硅粒表面的氧化物进行分解收集,酸性溶液为氢氟酸、硝酸、去离子水配成的溶液,其中氢氟酸、硝酸和去离子水之间的混合比例为1:1:4;
[0056]
s6、将分离后的碎硅粒倒入水溶液中进行统一清洗操作;
[0057]
s7、对清洗后的碎硅粒进行干燥处理,对硅料的干燥操作采用烘烤机,其烘烤温度为75℃,烘烤时长为100min;
[0058]
s8、将干燥后的碎硅粒统一放置于户外自然冷却,直至碎硅粒冷却至常温状态;
[0059]
s9、对处理完成后的碎硅粒进行纯度检测,检测纯度不合格,重复上述s4至s8的操作,并再次对纯度进行检测。
[0060]
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

技术特征:
1.一种碎硅料杂质的提纯方法,其特征在于:所述碎硅料杂质的提纯具体步骤如下:s1、对收集的碎硅料进行等重分装操作;s2、对每份碎硅料进行除杂操作;s3、将碎硅料倒入研磨设备中,对碎硅料进行粉碎研磨操作,直至碎硅料呈粒状体;s4、将碎硅粒倒入水溶液中,并向水溶液中加热捕收剂,使其碳化硅粒漂浮并统一收集清除,随后将沉底的石子进行收集;s5、将收集的碎硅粒倒入酸性溶液中搅拌,针对碎硅粒表面的氧化物进行分解收集;s6、将分离后的碎硅粒倒入水溶液中进行统一清洗操作;s7、对清洗后的碎硅粒进行干燥处理;s8、将干燥后的碎硅粒统一放置于户外自然冷却,直至碎硅粒冷却至常温状态;s9、对处理完成后的碎硅粒进行纯度检测,如纯度不足,则重复上述s4至s8的操作,直至碎硅粒纯度达到工业需求。2.根据权利要求1所述的一种碎硅料杂质的提纯方法,其特征在于:所述s1中的每份碎硅料重量为1000
±
100g。3.根据权利要求1所述的一种碎硅料杂质的提纯方法,其特征在于:所述s2中的杂质分别包括有机杂质和无机杂质,其中有机杂质和无机杂质分别以不同的方式进行去除操作。4.根据权利要求1所述的一种碎硅料杂质的提纯方法,其特征在于:所述s3中的研磨设备在使用过程中的旋转速度为25-40r/min,直至碎硅粒的直径小于1mm。5.根据权利要求1所述的一种碎硅料杂质的提纯方法,其特征在于:所述s4中捕收剂与水溶液的混合比例为1-3.5:50。6.根据权利要求5所述的一种碎硅料杂质的提纯方法,其特征在于:所述捕收剂的加入采用分批次方式,以100ml水溶液为例,其每次捕收剂的添加量为2ml。7.根据权利要求1所述的一种碎硅料杂质的提纯方法,其特征在于:所述s5中的酸性溶液为氢氟酸、硝酸、去离子水配成的溶液,其中氢氟酸、硝酸和去离子水之间的混合比例为1:1:4。8.根据权利要求1所述的一种碎硅料杂质的提纯方法,其特征在于:所述s5中搅拌设备的转速为60-90r/min,其搅拌过程中采用顺时针单向转动方式,搅拌时长为20-30min。9.根据权利要求1所述的一种碎硅料杂质的提纯方法,其特征在于:所述s7中对硅料的干燥操作采用烘烤机,其烘烤温度为60-85℃,烘烤时长为90-120min。

技术总结
本发明公开了一种碎硅料杂质的提纯方法,涉及硅料提纯技术领域,具体为一种碎硅料杂质的提纯方法,具体步骤如下:S1、对收集的碎硅料进行等重分装操作;S2、对每份碎硅料进行除杂操作;S3、将碎硅料倒入研磨设备中,对碎硅料进行粉碎研磨操作,直至碎硅料呈粒状体;S4、将碎硅粒倒入水溶液中,并向水溶液中加热捕收剂,使其碳化硅粒漂浮并统一收集清除,随后将沉底的石子进行收集;S5、将收集的碎硅粒倒入酸性溶液中搅拌,针对碎硅粒表面的氧化物进行分解收集。该碎硅料杂质的提纯方法,通过对碎硅料中各种无机物和有机物杂质的逐步去除,不断地提高碎硅料的硅含量比例,该方式对于碎硅料的除杂效果更加全面,可以充分对碎硅料的表面以及混合于碎硅料中的杂质进行清除,并且该清除方式可以重复循环提纯操作。方式可以重复循环提纯操作。


技术研发人员:李文超
受保护的技术使用者:四川硅旺新材料科技有限公司
技术研发日:2023.07.18
技术公布日:2023/10/15
版权声明

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