喷涂系统的制作方法

1.本技术涉及薄膜太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种喷涂系统。


背景技术：

2.随着光伏技术的发展，薄膜太阳能电池应用愈加广泛。其中，碲化镉薄膜太阳能电池(cdte电池)相较单晶硅太阳能电池，具有制作方便，成本低廉和质量较轻等优点。碲化镉薄膜太阳能电池是一种以p型cdte和n型cds的异质结为基础的薄膜太阳能电池。
3.目前，对于碲化镉薄膜太阳能电池而言，cdcl2的活化处理会直接影响cds和cdte的互扩散以及薄膜本身缺陷。目前cdcl2的活化处理，常采用在cdte薄膜表面喷涂一层10-20μm的cdcl2溶液，含cdcl2溶质质量为5g/m2至10g/m2，而cdcl2的供液控制采用常规的隔膜泵加电磁阀控制的方式，但因cdcl2溶液属于盐类溶液，在常温下放置一段时间后会出现结晶现象，影响隔膜泵的控制精度，进而使得片和片之间的喷涂的cdcl2溶液质量存在差异性。


技术实现要素：

4.本技术实施例提供了一种喷涂系统，能够保证活化处理过程中片和片之间喷涂溶液质量的一致性。
5.第一方面，本技术提供了一种喷涂系统，包括：
6.工作料桶，用于承装用于喷涂的溶液；
7.多个喷雾单元，其中每个所述喷雾单元包括计量泵、第一开关阀及喷雾阀，所述计量泵的第一端口经供液管路与所述工作料桶的出液端连接，所述计量泵的第二端口经管路与所述第一开关阀的第一端口连接，所述第一开关阀的第二端口经管路与所述喷雾阀连接；
8.所述供液管路中设有密度传感器，用于检测管路中溶液的浓度，所述供液管路中还设有第二开关阀；
9.控制单元，用于获取所述密度传感器检测的溶液浓度，并根据所述溶液浓度控制一个或多个喷雾单元中的第一开关阀开启，并控制启用的喷雾单元中的计量泵向其对应的喷雾阀定量供应溶液。
10.在其中一个实施例中，每个喷雾单元还包括循环管路及设置于所述循环管路中的第三开关阀；
11.每个喷雾单元的计量泵的第三端口经所述循环管路与所述工作料桶的循环进液口连接；
12.所述控制单元还用于在控制任意喷雾单元中的第一开关阀关闭时，控制该喷雾单元中的第三开关阀开启，以将所述供液管路提供的溶液循环流入所述工作料桶。
13.在其中一个实施例中，所述喷涂系统还包括：
14.回收单元，分别经管路与每个喷雾单元中计量泵的第四端口连接，且所述回收单
元与每个计量泵的第四端口之间的管路中均设有第四开关阀；
15.所述控制单元还用于控制各喷雾单元中的第一开关阀及第二开关阀均关闭，并控制所述回收单元与各个计量泵之间的第四开关阀导通，以将废液排入所述回收单元。
16.在其中一个实施例中，所述供液管路设有除泡器，用于去除向各所述喷雾单元提供的溶液中的气泡。
17.在其中一个实施例中，所述喷涂系统还包括设置于所述工作料桶内的第一高位传感器、第一中位传感器及第一低位传感器；
18.所述第一高位传感器的设置位置高于所述第一中位传感器的设置位置，所述第一中位传感器的设置位置高于所述第一低位传感器的设置位置；
19.所述第一高位传感器、第一中位传感器及第一低位传感器均用于在检测到液体时向所述控制单元发送第一液位信号；
20.所述控制单元用于根据接收到的第一液位信号确定所述工作料桶内的液位高度。
21.在其中一个实施例中，所述喷涂系统还包括：
22.第一漏液槽，用于放置所述工作料桶；
23.第一漏液传感器，设置于所述第一漏液槽底部，用于在检测到液体时向所述控制单元发送第一漏液信号。
24.在其中一个实施例中，所述喷涂系统还包括：
25.配液桶，用于配置用于喷涂的溶液，所述配液桶内部设有加热组件，所述配液桶还设有搅拌装置；
26.所述配液桶的出液口经输送管路与所述工作料桶的进液口连接，且所述输送管路中设有第五开关阀和供料泵；
27.所述控制单元用于在向所述工作料桶输送配制完成的溶液时，控制所述第五开关阀开启，并控制所述供料泵工作。
28.在其中一个实施例中，所述喷涂系统还包括设置于所述配液桶内的第二高位传感器、第二中位传感器及第二低位传感器；
29.所述第二高位传感器的设置位置高于所述第二中位传感器的设置位置，所述第二中位传感器的设置位置高于所述第二低位传感器的设置位置；
30.所述第二高位传感器、第二中位传感器及第二低位传感器均用于在检测到液体时向所述控制单元发送第二液位信号；
31.所述控制单元用于根据接收到的第二液位信号确定所述配液桶内的液位高度。
32.在其中一个实施例中，所述喷涂系统还包括：
33.第二漏液槽，用于放置所述配液桶；
34.第二漏液传感器，设置于所述第二漏液槽底部，用于在检测到液体时向所述控制单元发送第二漏液信号。
35.在其中一个实施例中，所述供液管路还设有流量计。
36.从以上技术方案可以看出，本技术实施例具有以下优点：
37.本技术提供的喷涂系统，设有多个喷雾单元，在工作料桶至喷雾单元的供液管路中设置密度传感器用以检测管路中溶液的浓度，控制单元根据密度传感器检测的溶液浓度选择控制一个或多个喷雾单元进行溶液的喷涂，从而调节单位面积上喷涂溶液的含量，并
且对于每个喷雾单元均通过计量泵向喷雾阀定量供应溶液，实现精确控制喷涂溶液的浓度和质量，保证活化处理过程中片和片之间喷涂溶液的一致性，同时能够避免单位面积浓度过高，防止结晶。
附图说明
38.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
39.图1为一个实施例中，喷涂系统的结构示意图；
40.图2为另一个实施例中，喷涂系统的结构示意图
41.图3为又一个实施例中，喷涂系统的结构示意图；
42.图4为一个实施例中，工作料桶中设置传感器的位置示意图；
43.图5为一个实施例中，第一漏液槽与工作料桶的位置关系示意图；
44.图6为一个实施例中，配液桶的结构示意图。
具体实施方式
45.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
46.本技术实施例提供的喷涂系统应用于碲化镉薄膜太阳能电池的活化处理过程中，用于进行氯化镉(cdcl2)溶液的喷涂。本技术实施例中的“溶液”可以为氯化镉溶液，在本技术实施例中以氯化镉溶液为例进行说明，在另一些实施例中，也可以是其他需要定量控制喷涂浓度的溶液。
47.如图1所示，本技术实施例提供了一种喷涂系统，包括工作料桶100、控制单元及多个喷雾单元200，其中，工作料桶100用于承装用于喷涂的溶液；每个喷雾单元200包括计量泵201、第一开关阀s1及喷雾阀202，计量泵201的第一端口经供液管路与工作料桶100的出液端连接，计量泵201的第二端口经管路与第一开关阀s1的第一端口连接，第一开关阀s1的第二端口经管路与喷雾阀202连接；供液管路中设有密度传感器，用于检测管路中溶液的浓度，供液管路中还设有第二开关阀s2。
48.控制单元用于获取密度传感器检测的溶液浓度，并根据溶液浓度控制一个或多个喷雾单元200中的第一开关阀s1开启，并控制启用的喷雾单元200中的计量泵201向其对应的喷雾阀202定量供应溶液。
49.其中，每个喷雾单元200的进液由工作料桶100经供液管道提供，控制单元对于需要开启的喷雾单元200，通过控制该喷雾单元200的第一开关阀s1开启，以及控制供液管路中的第二开关阀s2开启，以导通该喷雾单元200与工作料桶100之间的通路，并控制计量泵201定量送液，将溶液输送至喷雾阀202进行喷涂。计量泵201的电机每转一圈，其输送的溶液质量保持一致，因此通过计量泵201可以同时完成溶液的输送、计量和调节，能够精准定
量每次需要喷涂的氯化镉溶液的质量。每个喷雾阀202在进行喷涂时会通入cda(压缩干燥空气)，以将溶液转换为雾状进行喷涂。
50.在供液管路中的溶液浓度一定的情况下，同时开启进行喷涂的喷雾单元200数量越多，单位面积上的氯化镉含量越高，因此通过控制开启的喷雾单元200数量能够根据需要控制单位面积上喷涂的氯化镉含量，另一方面，在供液管路中的溶液浓度不满足喷涂要求时，也可以通过改变开启的喷雾单元200数量进行喷涂浓度的调整，例如，在供液管路中的溶液浓度低于喷涂所需的氯化镉浓度要求时，可以增加开启的喷雾单元200数量，以提高单位面积上的氯化镉含量；反之，若在供液管路中的溶液浓度高于喷涂所需的氯化镉浓度要求时，可以减少开启的喷雾单元200数量，以降低单位面积上的氯化镉含量。
51.设置多个喷雾单元200还能够相互作为备用，在任意喷雾单元200异常无法正常工作时，可以切换由其他喷雾单元200进行喷涂工作，保证喷涂系统稳定工作。
52.在其中一个实施例中，供液管路设有除泡器，用于去除向各喷雾单元200提供的溶液中的气泡。
53.在其中一个实施例中，供液管路还设有流量计，流量计用于监测供液管路中的液体流量，进而可以计算出液体流速，对管路内部的供液情况进行监控。
54.在一个实施例中，工作料桶100上设有排气口和放料口，放料口用于添加物料，排气口用于排放工作料桶100内产生的气体，保持内部气压平衡，排气口排放的气体经过滤系统过滤后经排风系统进行排放。
55.本技术提供的喷涂系统，设有多个喷雾单元200，在工作料桶100至喷雾单元200的供液管路中设置密度传感器用以检测管路中溶液的浓度，控制单元根据密度传感器检测的溶液浓度选择控制一个或多个喷雾单元200进行溶液的喷涂，从而调节单位面积上喷涂溶液的含量，并且对于每个喷雾单元200均通过计量泵201向喷雾阀202定量供应溶液，实现精确控制喷涂溶液的浓度和质量，保证活化处理过程中片和片之间喷涂溶液的一致性，同时能够避免单位面积浓度过高，防止结晶，也能避免单位面积浓度不足，影响活化处理的效果。
56.如图2所示，在其中一个实施例中，每个喷雾单元还包括循环管路及设置于循环管路中的第三开关阀s3；每个喷雾单元的计量泵的第三端口经循环管路与工作料桶的循环进液口连接；控制单元还用于在控制任意喷雾单元中的第一开关阀关闭时，控制该喷雾单元中的第三开关阀s3开启，以将供液管路提供的溶液循环流入工作料桶。
57.为了避免喷雾单元在未被使用时，其管路内的溶液结晶，当喷雾单元未被启用进行喷涂工作时，将控制该喷雾单元的计量泵与工作料桶之间的循环管路导通，即控制该喷雾单元与工作料桶之间的循环管路中的第三开关阀s3开启，并且控制该喷雾单元的计量泵工作，使工作料桶向该喷雾单元供应溶液，但供应的溶液经循环管路输送回工作料桶，使该喷雾单元的管路中溶液保持循环，避免管路中产生结晶导致管路堵塞，并且避免结晶对该喷雾单元进行喷雾工作时的喷雾浓度产生影响。
58.如图3所示，在其中一个实施例中，喷涂系统还包括回收单元400，回收单元400分别经管路与每个喷雾单元中计量泵的第四端口连接，且回收单元400与每个计量泵的第四端口之间的管路中均设有第四开关阀s4。控制单元还用于控制各喷雾单元中的第一开关阀及第二开关阀均关闭，并控制回收单元400与各个计量泵之间的第四开关阀s4导通，以将废
液排入回收单元400。
59.在不使用时，为了避免管路内产生结晶，在使用完毕后，需要对管路进行清洗，通常会通入纯水进行清洗，清洗后的废液则排入回收单元400。在对系统管路进行清洗时可以先控制循环管路导通，对供液管路和循环管路进行清洗，再控制每个喷雾单元与回收单元400之间的第四开关阀s4开启，将清洗后的废液排入回收单元400。
60.如图4所示，在其中一个实施例中，喷涂系统还包括设置于工作料桶内的第一高位传感器301、第一中位传感器302及第一低位传感器303。其中，第一高位传感器301的设置位置高于第一中位传感器302的设置位置，第一中位传感器302的设置位置高于第一低位传感器303的设置位置。即在不同的高度分别设置第一高位传感器301、第一中位传感器302、第一低位传感器303，以检测工作料桶内的液位高度。
61.第一高位传感器301、第一中位传感器302及第一低位传感器303均用于在检测到液体时向控制单元发送第一液位信号；控制单元用于根据接收到的第一液位信号确定工作料桶内的液位高度。
62.控制单元在仅接收到第一低位传感器303发送的第一液位信号时，则可以确定工作料桶内的液位高度达到了第一低位传感器303所检测的低液位，但未达到第一中位传感器302所检测的中液位；当接收第一中位传感器302发送的第一液位信号，但未接收到第一高位传感器301发送的第一液位信号时，则可以确定工作料桶内的液位高度达到了第一中位传感器302所检测的中液位，但未达到第一高位传感器301所检测的高液位；当接收到第一高位传感器301发送的第一液位信号时，则可以确定工作料桶内的液位高度达到了第一高位传感器301所检测的高液位。
63.在其中一个实施例中，在工作料桶内的液位不高于低液位时，或液位达到高液位时，控制单元触发报警并控制第二开关阀及启用的喷雾单元中各第一开关阀关闭。
64.如图5所示，在其中一个实施例中，喷涂系统还包括第一漏液槽501和第一漏液传感器502，其中，第一漏液槽501用于放置工作料桶；第一漏液传感器502设置于第一漏液槽501底部，用于在检测到液体时向控制单元发送第一漏液信号。
65.通过将工作料桶置于第一漏液槽501中，能够在工作料桶发生漏液时，将漏液收集在第一漏液槽501中，便于进行漏液的处理，并且在第一漏液槽501中设置了第一漏液传感器502，当第一漏液传感器502检测到液体时，即表明工作料桶发生了漏液，控制单元接收到第一漏液信号时，触发漏液报警，提示工作人员及时处理。
66.如图6所示，在其中一个实施例中，喷涂系统还包括配液桶600，配液桶600内部设有加热组件604，配液桶600还设有搅拌装置605；配液桶600的出液口经输送管路与工作料桶的进液口连接，且输送管路中设有第五开关阀s5和供料泵700，配液桶600用于配置用于喷涂的溶液，控制单元还用于在向工作料桶输送配制完成的溶液时，控制第五开关阀s5开启，并控制供料泵700工作。
67.在进行溶液配制时，控制加热组件604加热，使配液桶600内的液体维持在预设温度，并控制搅拌装置605进行搅拌，提高溶质的溶解速度，避免输送至工作料桶的溶液中存在结晶或未溶解的溶质。
68.在其中一个实施例中，控制单元可以根据工作料桶内的溶液剩余量控制第五开关阀s5关闭或开启，当工作料桶内的溶液剩余量较少，例如低于低液位时，则控制第五开关阀
s5开启，向工作料桶内输送溶液；当工作料桶内的溶液剩余量较多，例如高于高液位时，则控制第五开关阀s5关闭，停止向工作料桶内输送溶液。
69.在其中一个实施例中，喷涂系统还包括设置于配液桶600内的第二高位传感器601、第二中位传感器602及第二低位传感器603；第二高位传感器601的设置位置高于第二中位传感器602的设置位置，第二中位传感器602的设置位置高于第二低位传感器603的设置位置；第二高位传感器601、第二中位传感器602及第二低位传感器603均用于在检测到液体时向控制单元发送第二液位信号；控制单元用于根据接收到的第二液位信号确定配液桶600内的液位高度。
70.控制单元在仅接收到第二低位传感器603发送的第二液位信号时，则可以确定配液桶600内的液位高度达到了第二低位传感器603所检测的低液位，但未达到第二中位传感器602所检测的中液位；当接收第二中位传感器602发送的第二液位信号，但未接收到第二高位传感器601发送的第二液位信号时，则可以确定配液桶600内的液位高度达到了第二中位传感器602所检测的中液位，但未达到第二高位传感器601所检测的高液位；当接收到第二高位传感器601发送的第二液位信号时，则可以确定配液桶600内的液位高度达到了第二高位传感器601所检测的高液位。
71.在其中一个实施例中，在配液桶600内的液位不高于低液位时，或液位达到高液位时，控制单元触发报警并控制第五开关阀s5关闭。
72.在其中一个实施例中，喷涂系统还包括第二漏液槽801和第二漏液传感器802。其中，第二漏液槽801用于放置配液桶600；第二漏液传感器802设置于第二漏液槽801底部，用于在检测到液体时向控制单元发送第二漏液信号。
73.通过将配液桶600置于第二漏液槽801中，能够在配液桶600发生漏液时，将漏液收集在第二漏液槽801中，便于进行漏液的处理，并且在第二漏液槽801中设置了第二漏液传感器802，当第二漏液传感器802检测到液体时，即表明配液桶600发生了漏液，控制单元接收到第二漏液信号时，触发漏液报警，提示工作人员及时处理。
74.在一个实施例中，配液桶600上设有排气口和放料口，放料口用于添加物料，排气口用于排放配液桶600内产生的气体，保持内部气压平衡，排气口排放的气体经过滤系统过滤后经排风系统进行排放。
75.最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
76.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
77.需要说明的是，当一个元件被认为是“连接”另一个元件时，它可以是直接连接到
另一个元件，或者通过居中元件连接另一个元件。此外，本技术实施例中的“连接”，如果被连接的电路、模块、单元等相互之间具有电信号或数据的传递，则应理解为“电连接”、“通信连接”等。
78.本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间可以根据需要进行组合，且相同相似部分互相参见即可。
79.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

技术特征：
1.一种喷涂系统，其特征在于，包括：工作料桶，用于承装用于喷涂的溶液；多个喷雾单元，其中每个所述喷雾单元包括计量泵、第一开关阀及喷雾阀，所述计量泵的第一端口经供液管路与所述工作料桶的出液端连接，所述计量泵的第二端口经管路与所述第一开关阀的第一端口连接，所述第一开关阀的第二端口经管路与所述喷雾阀连接；所述供液管路中设有密度传感器，用于检测管路中溶液的浓度，所述供液管路中还设有第二开关阀；控制单元，用于获取所述密度传感器检测的溶液浓度，并根据所述溶液浓度控制一个或多个喷雾单元中的第一开关阀开启，并控制启用的喷雾单元中的计量泵向其对应的喷雾阀定量供应溶液。2.根据权利要求1所述的喷涂系统，其特征在于，每个喷雾单元还包括循环管路及设置于所述循环管路中的第三开关阀；每个喷雾单元的计量泵的第三端口经所述循环管路与所述工作料桶的循环进液口连接；所述控制单元还用于在控制任意喷雾单元中的第一开关阀关闭时，控制该喷雾单元中的第三开关阀开启，以将所述供液管路提供的溶液循环流入所述工作料桶。3.根据权利要求1或2所述的喷涂系统，其特征在于，所述喷涂系统还包括：回收单元，分别经管路与每个喷雾单元中计量泵的第四端口连接，且所述回收单元与每个计量泵的第四端口之间的管路中均设有第四开关阀；所述控制单元还用于控制各喷雾单元中的第一开关阀及第二开关阀均关闭，并控制所述回收单元与各个计量泵之间的第四开关阀导通，以将废液排入所述回收单元。4.根据权利要求1所述的喷涂系统，其特征在于，所述供液管路设有除泡器，用于去除向各所述喷雾单元提供的溶液中的气泡。5.根据权利要求1所述的喷涂系统，其特征在于，所述喷涂系统还包括设置于所述工作料桶内的第一高位传感器、第一中位传感器及第一低位传感器；所述第一高位传感器的设置位置高于所述第一中位传感器的设置位置，所述第一中位传感器的设置位置高于所述第一低位传感器的设置位置；所述第一高位传感器、第一中位传感器及第一低位传感器均用于在检测到液体时向所述控制单元发送第一液位信号；所述控制单元用于根据接收到的第一液位信号确定所述工作料桶内的液位高度。6.根据权利要求1所述的喷涂系统，其特征在于，所述喷涂系统还包括：第一漏液槽，用于放置所述工作料桶；第一漏液传感器，设置于所述第一漏液槽底部，用于在检测到液体时向所述控制单元发送第一漏液信号。7.根据权利要求1所述的喷涂系统，其特征在于，所述喷涂系统还包括：配液桶，用于配置用于喷涂的溶液，所述配液桶内部设有加热组件，所述配液桶还设有搅拌装置；所述配液桶的出液口经输送管路与所述工作料桶的进液口连接，且所述输送管路中设有第五开关阀和供料泵；
所述控制单元用于在向所述工作料桶输送配制完成的溶液时，控制所述第五开关阀开启，并控制所述供料泵工作。8.根据权利要求7所述的喷涂系统，其特征在于，所述喷涂系统还包括设置于所述配液桶内的第二高位传感器、第二中位传感器及第二低位传感器；所述第二高位传感器的设置位置高于所述第二中位传感器的设置位置，所述第二中位传感器的设置位置高于所述第二低位传感器的设置位置；所述第二高位传感器、第二中位传感器及第二低位传感器均用于在检测到液体时向所述控制单元发送第二液位信号；所述控制单元用于根据接收到的第二液位信号确定所述配液桶内的液位高度。9.根据权利要求7所述的喷涂系统，其特征在于，所述喷涂系统还包括：第二漏液槽，用于放置所述配液桶；第二漏液传感器，设置于所述第二漏液槽底部，用于在检测到液体时向所述控制单元发送第二漏液信号。10.根据权利要求1所述的喷涂系统，其特征在于，所述供液管路还设有流量计。

技术总结
本申请提供了一种喷涂系统。该喷涂系统包括：工作料桶，用于承装用于喷涂的溶液；多个喷雾单元，其中每个喷雾单元包括计量泵、第一开关阀及喷雾阀，计量泵的第一端口经供液管路与工作料桶的出液端连接，计量泵的第二端口经管路与第一开关阀的第一端口连接，第一开关阀的第二端口经管路与喷雾阀连接；供液管路中设有密度传感器，用于检测管路中溶液的浓度，供液管路中还设有第二开关阀；控制单元，用于获取密度传感器检测的溶液浓度，并根据溶液浓度控制一个或多个喷雾单元中的第一开关阀开启，并控制启用的喷雾单元中的计量泵向其对应的喷雾阀定量供应溶液。本申请能够保证活化处理过程中片和片之间喷涂溶液质量的一致性。程中片和片之间喷涂溶液质量的一致性。程中片和片之间喷涂溶液质量的一致性。


技术研发人员：刘振新 黄周师 何坤鹏 屈新成
受保护的技术使用者：江苏先导微电子科技有限公司
技术研发日：2023.07.10
技术公布日：2023/10/15