基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路的制作方法

1.本发明属于惯性仪表或惯性器件技术领域，涉及一种基于高共模抑制比(cmrr)运放的石英谐振梁加速度计激振电路。


背景技术：

2.近十年来，石英振梁加速度计以高精度、小体积、低功耗以及直接数字化输出等特点，在国内外得到了快速发展。国外以美国的sdi500组合用加速度计、法国onera系列一体化振梁加速度计等为代表，精度已经超越战术级，常温偏置稳定性优于5μg。在国内，石英振梁加速度计得益于多年的石英材料研究和mems工艺积累，也得到了长足的发展，表头的微加工精度、谐振特性等已接近国外水平。与此同时，配套的电路大多还是基于双反相器的自激振荡方案，其相位噪声水平、静态工作点精度、两路之间的去耦合干扰能力等还存在不足，直接限制了整表的偏置稳定性、分辨率、全温变化量等性能指标提升。因此，亟需新的高精度激振电路方案。
3.为提高石英振梁加速度计的性能，在该激振电路中，重点改善或解决以下问题：
4.(1)降低相位噪声。相位噪声直接影响加速度计的分辨率。基于数字反相器的激振电路往往存在较大的边沿抖动，延迟时间也容易受供电电压、寄生电容的影响，导致相位噪声较大，从而限制了加速度计的分辨率和稳定性水平。
5.(2)提高偏置工作点稳定性。激振电路工作时，整个环路存在直流偏置电压。偏置电压的精度及稳定性直接影响生成方波的相位精度，进而影响频率输出的稳定性。
6.(3)降低两路之间的耦合。由于石英谐振梁往往采用双梁配置，以差分方式抑制环境温度、安装应力及老化的影响。但同时，两根谐振梁的激振电路集成在一起，通过寄生电容、电源线、地线等方式，两路之间容易产生耦合干扰，最终导致相位噪声水平变大，加速度计的分辨率及锁区变差。
7.(4)提高负载驱动能力。反相器构成的方波输出带负载能力往往较弱，在多负载或大电容条件下，往往导致输出电压下降、波形失真。


技术实现要素：

8.本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
9.为此，本发明提供了一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路。
10.本发明的技术解决方案如下：提供一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，该激振电路包括：前置放大模块、同相放大模块、带通滤波模块、相位补偿模块、波形整形模块和驱动增强模块，其中：
11.当石英振梁加速度计表头被驱动信号激励时，产生输入信号给前置放大模块，所述前置放大模块用于实现输入信号在特定直流偏置下的电荷-电压转换和一级放大，并将处理后的信号输出至所述同相放大模块；
12.所述同相放大模块用于实现信号的相位调节和二级放大，并将处理后的信号输出分为两路分别进入带通滤波模块和波形整形模块；
13.所述带通滤波模块用于实现频率信号的带外噪声抑制和环路相位的再次调整，并将处理后的信号输出分为两路，一路施加至石英振梁的驱动电极，形成正反馈激振回路，另一路通过相位补偿模块施加至石英振梁的检测输出电极，对石英振梁自身静态并联电容进行阻抗补偿；
14.所述波形整形模块用于对输入信号的波形上升及下降沿的陡直度进行调整，并将处理后的信号输出至驱动增强模块；
15.所述驱动增强模块用于对输入的信号的波形再一次整形并反相处理，所述驱动增强模块的输出为激振电路最终频率输出。
16.进一步地，所述前置放大模块包括第一运放和并联在所述第一运放反向输入和输出两端之间的第一电阻和第一电容，所述一第一电阻与石英振梁加速度计表头的谐振串联等效电阻一起实现信号的反相放大，所述第一电容起相位补偿作用，其中，石英振梁的检测输出电极输出电荷信号至所述第一运放的反相输入端，所述第一运放输出的信号进入同相放大模块，所述第一运放的共模抑制比大于100db。
17.进一步地，所述同相放大模块包括第二运放和并联在所述第二运放反相输入和输出两端之间的第二电阻和一个调相电容，所述第二电阻用于实现信号的二级放大，所述调相电容用于实现相位的二次调整，其中，第一运放输出的信号进入第二运放运放同相输入端，所述第二运放输出的信号分为两路分别进入带通滤波模块和波形整形模块，所述第二运放的共模抑制比大于100db。
18.进一步地，所述带通滤波模块包括第三运放，第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第二电容和第三电容，所述第三运放的反相输入端通过第四电阻接入参考电压源，所述第三运放的反相输入端和输出端并联第三电阻，所述第三运放的同相输入端分别连接第五电阻、第六电阻、第七电阻、第二电容和第三电容，其中，所述第三运放输出信号分为两路，一路直接施加至石英振梁的驱动电极，形成自激振荡闭环回路，另一路进入相位补偿模块，所述第三运放的共模抑制比大于100db。
19.进一步地，所述相位补偿模块包括第四运放、放大电阻、第八电阻和第四电容，所述第四运放的反相输入和输出端并联放大电阻，第八电阻与第四运放的反相输入端连接，第三运放输出信号的另一路通过第八电阻进入第四运放的反相输入端，第四运放的同相输入端连接一参考电源，其中，第四运放的输出经第四电容后连接至第一运放的反相输入端，与石英振梁内部的静态电容构成并联电容补偿回路，所述第四运放的共模抑制比大于100db。
20.进一步地，所述第一运放、第二运放、第三运放以及第四运放的共模抑制比为120db。
21.进一步地，所述第一电阻为一级放大电阻。
22.进一步地，所述第二电阻为二级放大电阻。
23.上述技术方案通过设计前置放大模块、同相放大模块、带通滤波模块、相位补偿模块、波形整形模块和驱动增强模块相配合，并采用高cmrr运放方案，不仅能够激励石英振梁起振并正常工作在谐振状态，而且在降低相位噪声、提高静电工作点稳定性、降低两路之间
的耦合及提高负载能力等方面，比现有基于反相器方案的激振电路有显著提升，可以支撑石英谐振梁加速度计的稳定性、分辨率等性能指标达到导航级水平。
附图说明
24.所包括的附图用来提供对本发明实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本发明的实施例，并与文字描述一起来阐释本发明的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
25.图1是本发明实施例激振电路原理框图；
26.图2是本发明实施例基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路结构示意图。
具体实施方式
27.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
28.需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
29.除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
30.如图1至图2所示，在本发明的一个实施例中，提供一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，该激振电路包括：前置放大模块21、同相放大模块22、带通滤波模块23、相位补偿模块24、波形整形模块25和驱动增强模块26，其中：当石英振梁加速度计表头被驱动信号激励时，产生输入信号给前置放大模块21，所述前置放大模块21用于实现输入信号在特定直流偏置下的电荷-电压转换和一级放大，并将处理后的信号输出至所述同相放大模块22；所述同相放大模块22用于实现信号的相位调节和二级放大，并将处理后的信号输出分为两路分别进入带通滤波模块23和波形整形模块25；所述带通滤波模块23用于实现频率信号的带外噪声抑制和环路相位的再次调整，并将处理后的信号输出分为
两路，一路施加至石英振梁的驱动电极，形成正反馈激振回路，另一路通过相位补偿模块24施加至石英振梁的检测输出电极11，对石英振梁自身静态并联电容进行阻抗补偿；所述波形整形模块25用于对输入信号的波形上升及下降沿的陡直度进行调整，并将处理后的信号输出至驱动增强模块26；所述驱动增强模块26用于对输入的信号的波形再一次整形并反相处理，所述驱动增强模块26的输出为激振电路最终频率输出。
31.也即，在谐振状态下，振梁加速度计表头可等效为一个谐振串联等效电阻和一个静态电容的并联。
32.本发明实施例中，驱动增强模块26由专门的驱动芯片组成，对波形再一次整形的并反相，有效提高输出频率信号的带负载能力。
33.可见，本发明实施例涉及的振梁加速度计激振电路主要包含前置放大、同相放大、带通滤波、相位补偿等环节。其中前置放大将石英振梁输出的电荷进行电荷-电压(c/v)转换和信号放大，同相放大环节进行二级放大和一级移相，带通滤波环节实现二级移相和高低频噪声的抑制，相位补偿环节对谐振梁内部静态电容导致的相移进行补偿。生成方波的陡直度通过波形整形环节进行增强，并通过驱动增强环节，提升驱动能力后输出给系统应用。上电后，这些环节与加速度计谐振梁结构形成闭环正反馈自激振荡，驱动石英振梁起振并实现稳幅振荡。
34.应用上述配置方式，通过设计前置放大模块21、同相放大模块22、带通滤波模块23、相位补偿模块24、波形整形模块25和驱动增强模块26相配合，并采用高cmrr运放方案，不仅能够激励石英振梁起振并正常工作在谐振状态，而且在降低相位噪声、提高静电工作点稳定性、降低两路之间的耦合及提高负载能力等方面，比现有基于反相器方案的激振电路有显著提升，可以支撑石英谐振梁加速度计的稳定性、分辨率等性能指标达到导航级水平。
35.在上述实施例中，为了更好地抑制两路之间的耦合、提高电路偏置工作点的稳定性，如图2所示，所述前置放大模块21包括第一运放30和并联在所述第一运放30反向输入和输出两端之间的第一电阻31和第一电容32，所述一第一电阻31与石英振梁加速度计表头的谐振串联等效电阻一起实现信号的反相放大，所述第一电容32起相位补偿作用，其中，石英振梁的检测输出电极11输出电荷信号至所述第一运放30的反相输入端，所述第一运放30输出的信号进入同相放大模块22，所述第一运放30的共模抑制比大于100db。
36.也即，当振梁加速度计表头被驱动信号激励时，产生输入信号给前置放大环节。前置放大主要由高共模抑制比的运放及并联在运放反相输入和输出两端之间的一个一级放大电阻及一个电容组成。该一级放大电阻与振梁加速度计表头的谐振串联等效电阻一起实现信号的反相放大，电容起相位补偿作用。
37.在上述实施例中，为了更好地抑制两路之间的耦合、提高电路偏置工作点的稳定性，如图2所示，所述同相放大模块22包括第二运放33和并联在所述第二运放33反相输入和输出两端之间的第二电阻34和一个调相电容35，所述第二电阻34用于实现信号的二级放大，所述调相电容35用于实现相位的二次调整，其中，第一运放30输出的信号进入第二运放33运放同相输入端，所述第二运放33输出的信号分为两路分别进入带通滤波模块23和波形整形模块25，所述第二运放33的共模抑制比大于100db。
38.也即，前置放大后的信号进入同相放大环节。该同相放大环节主要由高cmrr运放
以及并联在运放反相输入和输出两端之间的一个二级放大电阻及一个调相电容组成。二级放大电阻实现信号的二级放大，调相电容实现相位的二次调整。同相放大环节的输出分为两路，一路经过波形整形、驱动增强后作为加速度计的最终频率输出，另一路经过带通滤波环节，分别反馈至谐振梁结构和相位补偿环节。
39.在上述实施例中，为了更好地抑制两路之间的耦合、提高电路偏置工作点的稳定性，如图2所示，所述带通滤波模块23包括第三运放38，第三电阻36、第四电阻37、第五电阻39、第六电阻40、第七电阻43、第二电容41和第三电容42，所述第三运放38的反相输入端通过第四电阻37接入参考电压源，所述第三运放38的反相输入端和输出端并联第三电阻36，所述第三运放38的同相输入端分别连接第五电阻39、第六电阻40、第七电阻43、第二电容41和第三电容42，其中，所述第三运放38输出信号分为两路，一路直接施加至石英振梁的驱动电极12，形成自激振荡闭环回路，另一路进入相位补偿模块24，所述第三运放的共模抑制比大于100db。
40.也即，带通滤波环节不仅实现频率信号的带外噪声抑制，而且实现环路相位的再次调整。
41.在上述实施例中，为了更好地抑制两路之间的耦合、提高电路偏置工作点的稳定性，如图2所示，所述相位补偿模块24包括第四运放45、放大电阻46、第八电阻44和第四电容47，所述第四运放45的反相输入和输出端并联放大电阻46，第八电阻44与第四运放45的反相输入端连接，第三运放38输出信号的另一路通过第八电阻44进入第四运放45的反相输入端，第四运放45的同相输入端连接一参考电源，其中，第四运放45的输出经第四电容47后连接至第一运放30的反相输入端，与石英振梁内部的静态电容构成并联电容补偿回路，所述第四运放45的共模抑制比大于100db。
42.也即，相位补偿环节主要由高cmrr运放构成反相放大器，补偿谐振梁自身静态电容导致的相位偏移。同相放大后的信号，进入波形整形环节。波形整形由一级运放反相放大器组成，主要用于提高波形的边沿陡直度，以增加振梁加速度计频率测量的精度。信号经波形整形环节后，进入驱动增强环节。驱动增强环节由专门的驱动芯片组成，对波形再一次整形的并反相，有效提高输出频率信号的带负载能力。
43.较佳地，所述第一运放30、第二运放33、第三运放38以及第四运放45的共模抑制比为120db。
44.较佳地，所述第一电阻31为一级放大电阻。
45.较佳地，所述第二电阻34为二级放大电阻。
46.为了对本发明实施例提供的基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路有更进一步了解，下面以一具体实施例进行说明：
47.在图1中，正常工作的石英振梁1可等效为一个谐振串联等效电阻和一个静态电容的并联，与激振电路2构成完整的振荡回路。当石英振梁1被驱动信号激励时，产生输入信号给前置放大模块21。前置放大模块21主要实现输入信号在特定直流偏置下的电荷-电压转换和一级放大。前置放大后的信号进入同相放大模块22。该环节实现信号的相位调节和二级放大后，输出分为两路分别进入带通滤波模块23和波形整形模块25。带通滤波模块23将同相放大模块22输出信号进一步放大，形成方波驱动信号和滤波调理，然后分为两路，一路施加至石英振梁1的驱动电极，形成正反馈激振回路，另一路通过相位补偿模块24施加至石
英振梁1的检测输出电极，对石英振梁自身静态并联电容进行阻抗补偿。波形整形模块25，将同相放大模块22输出信号波形的上升及下降沿的陡直度进一步增强后，进入驱动增强模块26，对输出波形再一次反相的同时提高其负载能力。
48.在图2所示的一种基于高cmrr运放的石英谐振梁加速度计激振电路实现中，石英振梁的检测输出电极11输出电荷信号至第一运放30的反相输入端，该运放的同相输入端连接参考电压29，反相输入端和输出端并联有第一电阻31和第一电容32。第一电阻31主要起跨阻放大作用，第一电容32主要起相位补偿稳定作用。第一运放30输出的信号进入同相放大环节的第二运放33同相输入端。第二运放33的反相输入端接入参考电压源29，同时在反相输入端和输出端并联第二电阻34和调相电容35，对信号进行二级同相放大。二级同相放大后的信号分为两路，第一路进入带通滤波环节。带通滤波采用压控电压源方案：在第三运放38的反相输入端通过第四电阻37接入参考电压源29，同时在反相输入端和输出端并联第三电阻36。在第三运放38的同相输入端分别连接第五电阻39、第六电阻40、第七电阻43以及第二电容41和第三电容42，第三运放38输出信号分为两路：一路直接施加至石英振梁的驱动电极12，形成自激振荡闭环回路；另一路进入相位补偿环节，通过第八电阻44进入第四运放45的反相输入端，同时在反相输入端和输出端连接放大电阻46。在第四运放45的同相输入端，连接参考电压源29。第四运放45的输出经第四电容47后连接至第一运放30的反相输入端，与石英振梁内部的静态电容构成并联电容补偿回路。第二运放33输出的第二路进入整形芯片51，实现信号的边沿调理和电平转换，然后再进入驱动芯片52，生成最终的频率输出信号，反映输入加速度的大小。石英振梁加速度计一般采用双梁配置，需要两路独立的激振电路。本发明实施例中，为抑制相互之间的耦合干扰，图2中所用运放为op07，该运放的cmrr高达120db。
49.综上，本发明实施例方案与现有技术相比，至少具有以下优势：
50.1、有效提高电路偏置工作点的稳定性。石英振梁加速度计激振电路工作时，整个环路存在直流偏置。基于运放方案，相较于之前的反相器方案，可以改善偏置电压的精度及稳定性，直接提高生成方波的相位精度，进而提高加速度计频率输出的偏置稳定性。
51.2、抑制两路之间的耦合。针对同一加速度计两路激振电路之间通过寄生电容、电源线、地线等方式产生的耦合干扰问题，采用高cmrr运放，可以有效实现耦合干扰抑制，有利于进一步提高加速度计的分辨率及锁区指标。
52.3、提高负载驱动能力。通过采用专门的驱动器芯片，可以有效提高方波输出的带负载能力，避免并联反相器方案的驱动能力不足而导致的输出电压下降、波形失真等问题，满足多负载或大电容条件下的系统测频应用需求。
53.如上针对一种实施例描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施例中使用，和/或与其它实施例中的特征相结合或替代其它实施例中的特征使用。
54.应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤、组件或其组合的存在或附加。
55.本发明以上的方法可以由硬件实现，也可以由硬件结合软件实现。本发明涉及这样的计算机可读程序，当该程序被逻辑部件所执行时，能够使该逻辑部件实现上文所述的装置或构成部件，或使该逻辑部件实现上文所述的各种方法或步骤。本发明还涉及用于存
储以上程序的存储介质，如硬盘、磁盘、光盘、dvd、flash存储器等。
56.这些实施例的许多特征和优点根据该详细描述是清楚的，因此所附权利要求旨在覆盖这些实施例的落入其真实精神和范围内的所有这些特征和优点。此外，由于本领域的技术人员容易想到很多修改和改变，因此不是要将本发明的实施例限于所例示和描述的精确结构和操作，而是可以涵盖落入其范围内的所有合适修改和等同物。
57.本发明未详细说明部分为本领域技术人员公知技术。

技术特征：
1.一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其特征在于，所述激振电路包括：前置放大模块、同相放大模块、带通滤波模块、相位补偿模块、波形整形模块和驱动增强模块，其中：当石英振梁加速度计表头被驱动信号激励时，产生输入信号给前置放大模块，所述前置放大模块用于实现输入信号在特定直流偏置下的电荷-电压转换和一级放大，并将处理后的信号输出至所述同相放大模块；所述同相放大模块用于实现信号的相位调节和二级放大，并将处理后的信号输出分为两路分别进入带通滤波模块和波形整形模块；所述带通滤波模块用于实现频率信号的带外噪声抑制和环路相位的再次调整，并将处理后的信号输出分为两路，一路施加至石英振梁的驱动电极，形成正反馈激振回路，另一路通过相位补偿模块施加至石英振梁的检测输出电极，对石英振梁自身静态并联电容进行阻抗补偿；所述波形整形模块用于对输入信号的波形上升及下降沿的陡直度进行调整，并将处理后的信号输出至驱动增强模块；所述驱动增强模块用于对输入的信号的波形再一次整形并反相处理，所述驱动增强模块的输出为激振电路最终频率输出。2.根据权利要求1所述的一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其特征在于，所述前置放大模块包括第一运放和并联在所述第一运放反向输入和输出两端之间的第一电阻和第一电容，所述一第一电阻与石英振梁加速度计表头的谐振串联等效电阻一起实现信号的反相放大，所述第一电容起相位补偿作用，其中，石英振梁的检测输出电极输出电荷信号至所述第一运放的反相输入端，所述第一运放输出的信号进入同相放大模块，所述第一运放的共模抑制比大于100db。3.根据权利要求2所述的一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其特征在于，所述同相放大模块包括第二运放和并联在所述第二运放反相输入和输出两端之间的第二电阻和一个调相电容，所述第二电阻用于实现信号的二级放大，所述调相电容用于实现相位的二次调整，其中，第一运放输出的信号进入第二运放运放同相输入端，所述第二运放输出的信号分为两路分别进入带通滤波模块和波形整形模块，所述第二运放的共模抑制比大于100db。4.根据权利要求1-3所述的一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其特征在于，所述带通滤波模块包括第三运放，第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第二电容和第三电容，所述第三运放的反相输入端通过第四电阻接入参考电压源，所述第三运放的反相输入端和输出端并联第三电阻，所述第三运放的同相输入端分别连接第五电阻、第六电阻、第七电阻、第二电容和第三电容，其中，所述第三运放输出信号分为两路，一路直接施加至石英振梁的驱动电极，形成自激振荡闭环回路，另一路进入相位补偿模块，所述第三运放的共模抑制比大于100db。5.根据权利要求4所述的一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其特征在于，所述相位补偿模块包括第四运放、放大电阻、第八电阻和第四电容，所述第四运放的反相输入和输出端并联放大电阻，第八电阻与第四运放的反相输入端连接，第三运放输出信号的另一路通过第八电阻进入第四运放的反相输入端，第四运放的同相输入端
连接一参考电源，其中，第四运放的输出经第四电容后连接至第一运放的反相输入端，与石英振梁内部的静态电容构成并联电容补偿回路，所述第四运放的共模抑制比大于100db。6.根据权利要求5所述的一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其特征在于，所述第一运放、第二运放、第三运放以及第四运放的共模抑制比为120db。7.根据权利要求2所述的一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其特征在于，所述第一电阻为一级放大电阻。8.根据权利要求3所述的一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其特征在于，所述第二电阻为二级放大电阻。

技术总结
本发明提供一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其中，前置放大将石英振梁输出的电荷进行电荷-电压转换和信号放大，同相放大环节进行二级放大和一级移相，带通滤波环节实现二级移相和高低频噪声的抑制，相位补偿环节对谐振梁内部静态电容导致的相移进行补偿，生成方波的陡直度通过波形整形环节进行增强，并通过驱动增强环节，提升驱动能力后输出给系统应用。上电后，这些环节与加速度计谐振梁结构形成闭环正反馈自激振荡，驱动石英振梁起振并实现稳幅振荡。本发明可以支撑石英谐振梁加速度计稳定性、分辨率等性能指标达到导航级水平。指标达到导航级水平。指标达到导航级水平。


技术研发人员：马高印 张菁华 孙刚 刘晓智 丁凯 苏翼
受保护的技术使用者：北京自动化控制设备研究所
技术研发日：2023.06.14
技术公布日：2023/10/15