垫材存放结构及设备维护推车的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工领域，尤其涉及一种垫材存放结构及设备维护推车。


背景技术：

2.半导体设备维护推车目前均为2-3层，部分推车设计了存储柜子，但是只能实现简单的堆放及运输维护物品，不能很好的针对特定设备耗材做有序存放。尤其是对于占地面积较大的研磨垫等垫材，只能将其放在表面，不易于存放，并且会占用很多空间。
3.因此需要设计一种便于垫材存放结构及设备维护推车，可以对垫材进行合理收纳，从而实现节约空间的目的。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的技术问题是提供一种垫材存放结构及设备维护推车，可以对垫材进行合理收纳，从而实现节约空间的目的。
5.为了解决上述问题，本实用新型提供了一种垫材存放结构，所述垫材存放结构包括：设置在同一平面内的对置的固定架，用于从侧面固定垫材；第一垫架，所述第一垫架设置于所述固定架下方，所述第一垫架用于从底部支撑垫材；第二垫架，所述第二垫架可移动地设置于所述第一垫架与所述固定架之间，所述第二垫架用于从底部支撑折叠后的垫材。
6.为了解决上述问题，本实用新型提供了一种设备维护推车，所述设备维护推车包括垫材存放结构。
7.在一些实施例中，所述垫材存放结构设置在所述设备维护推车的第一侧面。
8.在一些实施例中，所述第一垫架与所述第二垫架之间设置有晾干架。
9.在一些实施例中，所述设备维护推车上表面设计为开放区域。
10.在一些实施例中，所述设备维护推车上表面设计有多个凹槽，所述多个凹槽用于放置多个收纳桶。
11.在一些实施例中，所述设备维护推车还设置有多段式开关门，所述多段式开关门设置在与所述设备维护推车第一侧面相对的第二侧面，所述多段式开关门包括：第一门扇，所述第一门扇的一侧与门框转动连接，所述第一门扇的宽度与所述门框的侧边宽度相同；第二门扇，所述第二门扇与所述第一门扇转动连接，所述第二门扇的宽度小于所述第一门扇和门框的宽度之和，并且第二门扇的宽度小于所述设备维护推车第二侧面到所述第一侧面的长度。
12.在一些实施例中，所述多段式开关门表面设置有把手。
13.在一些实施例中，在所述多段式开关门半开以及完全打开时，分别在所述第一门扇所贴合的门框以及所述第二门扇所贴合的第三侧面与所述把手相对应的位置嵌入设置有吸附块，所述吸附块用于固定所述多段式开关门的把手。
14.在一些实施例中，所述把手与所述吸附块之间为磁性吸附。
15.以上技术方案，设置第一垫架在固定架下方从而实现在底部支撑垫材，第二垫架
可移动地设置于所述第一垫架与所述固定架之间，从而实现在底部支撑折叠后的垫材。对垫材进行竖直存放，并且设置了可支撑折叠存放垫材的第二垫架，可以对垫材进行合理收纳，从而实现节约空间的目的。
16.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型具体所述方式的技术方案，下面将对本实用新型的实施例中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.附图1所示是本实用新型所述垫材存放结构的实施例一的示意图；
19.附图2所示是本实用新型所述垫材存放结构的实施例二的示意图；
20.附图3所示是本实用新型所述垫材存放结构的实施例三的示意图；
21.附图4a～附图4d所示是本实用新型所述设备维护推车的实施例一的示意图；
22.附图5a～附图5e所示是本实用新型所述设备维护推车的实施例二的示意图。
具体实施方式
23.下面将结合附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.下面请参阅图1，其为本实用新型所述垫材存放结构的实施例一的示意图。
25.所述垫材存放结构包括：固定架10，第一垫架11，第二垫架12。所述固定架10相对设置在同一平面13，用于从侧面固定垫材(图中未绘示)。所述第一垫架11设置于所述固定架10下方，所述第一垫架10用于从底部支撑垫材。所述第二垫架12可移动地设置于所述第一垫架11与所述固定架10之间，所述第二垫架12用于从底部支撑折叠后的垫材。
26.上述技术方案将第一垫架11设置于所述固定架10下方，用于从底部支撑垫材；所述第二垫架12可移动地设置于所述第一垫架11与所述固定架10之间，可以用于从底部支撑折叠后的垫材。可以将垫材使用前后分为未折叠和折叠后的形态进行区分，并且进行合理收纳，从而实现节约空间的目的。
27.在本实施例中，所述第二垫架12可平移地设置于所述第一垫架11与所述固定架10之间。在收纳折叠后的垫材时，将所述第二垫架12平移至所述固定架10与所述第一垫架11的中间进行支撑垫材；在不需要收纳折叠后的垫材时，可以将所述第二垫架12平移至所述固定架的一侧。在其他实施例中，所述第二垫架12也可以通过其他方法可移动地设置于所述第一垫架11和所述固定架10之间。
28.在本实施例中，所述垫材存放结构还包括滑杆14，所述滑杆14用于为所述第二垫架12提供平移轨道。
29.下面请参阅图2，其为本实用新型所述垫材存放结构的实施例二的示意图。
30.所述垫材存放结构包括：固定架20，第一垫架21，第二垫架22。所述固定架20相对设置在同一平面23，用于从侧面固定垫材(图中未绘示)。所述第一垫架21设置于所述固定架20下方，所述第一垫架20用于从底部支撑垫材。所述第二垫架22可移动地设置于所述第一垫架21与所述固定架20之间，所述第二垫架22用于从底部支撑折叠后的垫材。
31.上述技术方案将第一垫架21设置于所述固定架20下方，用于从底部支撑垫材；所述第二垫架22可移动地设置于所述第一垫架21与所述固定架20之间，可以用于从底部支撑折叠后的垫材。可以将垫材使用前后分为未折叠和折叠后的形态进行区分，并且进行合理收纳，从而实现节约空间的目的。
32.在本实施例中，所述第二垫架22可推拉地设置于所述第一垫架21与所述固定架20之间。在需要支撑折叠后的垫材时，将所述第二垫架22向外拉至所述固定架20与所述第一垫架21的中间进行支撑垫材；在不需要支撑折叠后的垫材时，可以将所述第二垫架22向内推入所述平面23中。在其他实施例中，所述第二垫架22也可以通过其他方法可移动地设置于所述第一垫架21和所述固定架20之间。
33.下面请参阅图3，其为本实用新型所述垫材存放结构的实施例三的示意图。
34.所述垫材存放结构包括：固定架30，第一垫架31，第二垫架32。所述固定架30相对设置在同一平面33，用于从侧面固定垫材(图中未绘示)。所述第一垫架31设置于所述固定架30下方，所述第一垫架30用于从底部支撑垫材。所述第二垫架32可移动地设置于所述第一垫架31与所述固定架30之间，所述第二垫架32用于从底部支撑折叠后的垫材。
35.上述技术方案将第一垫架31设置于所述固定架30下方，用于从底部支撑垫材；所述第二垫架32可移动地设置于所述第一垫架31与所述固定架30之间，可以用于从底部支撑折叠后的垫材。可以将垫材使用前后分为未折叠和折叠后的形态进行区分，并且进行合理收纳，从而实现节约空间的目的。
36.在本实施例中，所述第二垫架32可翻折地设置于所述第一垫架31与所述固定架30之间。在需要支撑折叠后的垫材时，将所述第二垫架32向外翻折至所述固定架30与所述第一垫架31的中间进行支撑垫材；在不需要支撑折叠后的垫材时，可以将所述第二垫架32向内翻折收回至所述平面33中。在其他实施例中，所述第二垫架32也可以通过其他方法可移动地设置于所述第一垫架31和所述固定架30之间。
37.基于同一发明构思，本实用新型还提供了一种设备维护推车。
38.下面请一并参阅图4a～图4d，其中，图4a是本实用新型所述设备维护推车的实施例一的第一侧面的主视图，图4b是本实用新型所述设备维护推车的实施例一的第二侧面的主视图，图4c是本实用新型所述设备维护推车的实施例一的第三侧面的主视图，图4d是本实用新型所述设备维护推车的实施例一的俯视图。
39.如图4a所示，所述设备维护推车包括固定架411，第一垫架412，第二垫架413。所述固定架411相对设置在同一平面41，用于从侧面固定垫材(图中未绘示)。所述第一垫架412设置于所述固定架411下方，所述第一垫架412用于从底部支撑垫材。所述第二垫架413可移动地设置于所述第一垫架412与所述固定架411之间，所述第二垫架413用于从底部支撑折叠后的垫材。
40.上述技术方案将第一垫架412设置于所述固定架411下方，用于从底部支撑垫材；
所述第二垫架413可移动地设置于所述第一垫架412与所述固定架411之间，可以用于从底部支撑折叠后的垫材。可以将垫材使用前后分为未折叠和折叠后的形态进行区分，并且进行合理收纳，从而实现节约空间的目的。
41.在本实施例中，所述第二垫架413可平移地设置于所述第一垫架412与所述固定架411之间。在收纳折叠后的垫材时，将所述第二垫架413平移至所述固定架411与所述第一垫架412的中间进行支撑垫材；在不需要收纳折叠后的垫材时，可以将所述第二垫架413平移至所述固定架的一侧。在其他实施例中，所述第二垫架413也可以采用可推拉的方法或者其他方法可移动地设置于所述第一垫架412和所述固定架411之间。
42.在本实施例中，所述设备维护推车还包括滑杆414，所述滑杆414用于为所述第二垫架413提供平移轨道。
43.在本实施例中，所述设备维护推车还包括两个推手415，所述推手415设置于垂直于所述推车的第一侧面的两侧。
44.在本实施例中，所述设备维护推车还包括多个万向轮416，所述多个万向轮416设置于所述推车的底部。在本实施例中，所述万向轮为带锁万向轮，方便停车。
45.在本实施例中，所述设备维护推车还包括晾干架417，所述晾干架417设置于所述第一垫架412与所述第二垫架413之间，可以用来晾干海绵刷等物件。
46.如图4b所示，所述设备维护推车还设置有多段式开关门，所述多段式开关门设置在于所述设备维护推车第一侧面41相对的第二侧面42。所述多段式开关门包括：第一门扇421，第二门扇422。所述第一门扇421的一侧与门框423转动连接，所述第一门扇421的宽度与所述门框423的侧边宽度相同；所述第二门扇422与所述第一门扇421转动连接，所述第二门扇422的宽度小于所述第一门扇421和门框423的宽度之和，并且所述第二门扇422的宽度小于所述设备维护推车第二侧面42到所述第一侧面41的长度。
47.在本实施例中，多段式开关门表面还设置有把手424，所述把手424设置在所述第二门扇422远离第一门扇421的一侧，方便开关。
48.如图4c所示，在本实施例中，所述设备维护推车还包括吸附块425，所述吸附块425嵌入设置在所述第一门扇421所贴合的门框423以及所述第二门扇422所贴合的第三侧面43与所述把手424相对应的位置，所述吸附块425用于固定所述多段式开关门的把手424。
49.在本实施例中，所述把手424为铁质材料，所述吸附块425为磁铁，所述把手424与所述吸附块425之间为磁性吸附。在其他实施例中，也可以是所述把手424为磁铁，所述吸附块425为铁质材料，从而进行吸附。
50.上述技术方案设置所述第二门扇422的宽度小于所述第一门扇421和门框423的宽度之和，可以在仅打开第二门扇422的时候，使所述把手424与所述嵌入设置在所述门框423的吸附块425进行吸附，从而完全打开所述第二门扇422；设置所述第一门扇421的宽度与所述门框423的侧边宽度相同，并且所述第二门扇422的宽度小于所述设备维护推车第二侧面42到所述第一侧面41的长度，可以在打开第二门扇422的基础上，继续打开所述第一门扇421，使得所述第一门扇421完全打开翻折至所述门框423表面贴合，所述第二门扇422翻折至所述设备维护推车的第三侧面43，所述把手424与所述第三侧面43的吸附块425进行吸附。上述多段式开关门的设置，在取用较小的物品时仅打开第二门扇422即可，当需要取用较大物品或者有其他需求时，可以进一步打开第一门扇421，并将所述第二门扇422翻折贴
合在所述设备维护推车的第三侧面43，可以节省开关门的空间，同时避免移动过程中所述第一门扇421和所述第二门扇422发生晃动。
51.如图4d所示，所述设备维护推车上表面设计为开放区域，可以存放一些常用物品。所述推车上表面设计有多个凹槽441，所述多个凹槽441用于放置多个收纳桶。通过凹槽441的设计，可以避免收纳桶在移动过程中来回跑动。
52.上述技术方案，通过设置第一垫架412和第二垫架413，可以对垫材进行合理收纳，实现了节约空间的目的。
53.下面请一并参阅图5a～图5e，其中，图5a是本实用新型所述设备维护推车的实施例二的第一侧面的主视图，图5b是本实用新型所述设备维护推车的实施例二的第二侧面的主视图，图5c是本实用新型所述设备维护推车的实施例二的第三侧面的主视图，图5d是本实用新型所述设备维护推车的实施例二的第四侧面的主视图，图5e是本实用新型所述设备维护推车的实施例二的俯视图。
54.上述设备维护推车包括：固定架411，第一垫架412，第二垫架413。与图4a～图4d所示实施例的不同之处在于，在本实施例中，所述多段式开关门相对地设置为两个，新增了第三门扇511和第四门扇512，相应地，在所述第四门扇512远离所述第三门扇511的一侧也设置有把手424，同理，在所述第三门扇511所贴合的门框513以及在所述第四门扇512所贴合的第四侧面44分别与所述把手424相对应的位置设置有吸附块425。上述技术方案可以更好地根据物品的大小开关不同门扇，更好的节约空间。
55.需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或者操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或者操作之间存在任何这种实际的关系或顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，有语句“还包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
56.本实用新型中的各个实施例均采用相关的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。
57.以上所述仅是本实用新型的优选实施例，并非用于限定本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

技术特征：
1.一种垫材存放结构，其特征在于，包括：设置在同一平面内的对置的固定架，用于从侧面固定垫材；第一垫架，所述第一垫架设置于所述固定架下方，所述第一垫架用于从底部支撑垫材；第二垫架，所述第二垫架可移动地设置于所述第一垫架与所述固定架之间，所述第二垫架用于从底部支撑折叠后的垫材。2.一种设备维护推车，其特征在于，所述设备维护推车包括权利要求1所述的垫材存放结构。3.根据权利要求2所述的设备维护推车，其特征在于，所述垫材存放结构设置在所述推车的第一侧面。4.根据权利要求2所述的设备维护推车，其特征在于，所述第一垫架与所述第二垫架之间设置有晾干架。5.根据权利要求2所述的设备维护推车，其特征在于，所述设备维护推车上表面设计为开放区域。6.根据权利要求5所述的设备维护推车，其特征在于，所述设备维护推车上表面设计有多个凹槽，所述多个凹槽用于放置多个收纳桶。7.根据权利要求3所述的设备维护推车，其特征在于，所述设备维护推车还设置有多段式开关门，所述多段式开关门设置在与所述设备维护推车第一侧面相对的第二侧面，所述多段式开关门包括：第一门扇，所述第一门扇的一侧与门框转动连接，所述第一门扇的宽度与所述门框的侧边宽度相同；第二门扇，所述第二门扇与所述第一门扇转动连接，所述第二门扇的宽度小于所述第一门扇和门框的宽度之和，并且所述第二门扇的宽度小于所述设备维护推车第二侧面到所述第一侧面的长度。8.根据权利要求7所述的设备维护推车，其特征在于，所述多段式开关门表面设置有把手。9.根据权利要求8所述的设备维护推车，其特征在于，在所述多段式开关门半开以及完全打开时，分别在所述第二门扇所贴合的门框以及所述第二门扇所贴合的第三侧面与所述把手相对应的位置嵌入设置有吸附块，所述吸附块用于固定所述多段式开关门的把手。10.根据权利要求9所述的设备维护推车，其特征在于，所述把手与所述吸附块之间为磁性吸附。

技术总结
本实用新型提供了一种垫材存放结构。所述垫材存放结构包括：设置在同一平面内的对置的固定架，用于从侧面固定垫材；第一垫架，所述第一垫架设置于所述固定架下方，所述第一垫架用于从底部支撑垫材；第二垫架，所述第二垫架可移动地设置于所述第一垫架与所述固定架之间，所述第二垫架用于从底部支撑折叠后的垫材。以上技术方案，设置第一垫架在固定架下方从而实现在底部支撑垫材，第二垫架可移动地设置于所述第一垫架与所述固定架之间，从而实现在底部支撑折叠后的垫材。对垫材进行竖直存放，并且设置了可支撑折叠存放垫材的第二垫架，可以对垫材进行合理收纳，从而实现节约空间的目的。从而实现节约空间的目的。从而实现节约空间的目的。


技术研发人员：杨俊男 闫晓晖
受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司
技术研发日：2023.05.15
技术公布日：2023/10/20