机械臂控制方法、存储介质及电子设备与流程

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1.本技术属于半导体工艺技术领域,具体涉及一种机械臂控制方法、存储介质及电子设备。


背景技术:

2.目前在半导体加工领域,尤其是光伏行业,通常使用槽式湿法清洗,通常槽式清洗机通过控制机械臂的移动将花篮在各个槽体中取放,来控制工艺流程。
3.目前对机械臂的控制要么仅适用于一台机械臂,要么控制逻辑不够灵活,增加或改变工艺时验证机械臂移动轨迹繁琐低效,也无法同时支持多种配方轨迹,由此导致清洗效率低下。


技术实现要素:

4.鉴于存在的上述问题,本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本发明提供一种机械臂控制方法、存储介质及电子设备。
5.根据本公开的一个方面,提出一种机械臂控制方法,应用于槽式清洗机,槽式清洗机包括多个槽体,每个槽体具有对应的工艺,所述方法包括:
6.生成取放篮任务,其中,所述取放篮任务至少包括取篮位置和放篮位置;
7.至少基于所述取篮位置和所述放篮位置及机械臂的作业区域,分配所述取放篮任务至对应的所述机械臂,其中,所述作业区域包括一个或多个槽体。
8.在一些实施方式中,所述生成取放篮任务,包括:
9.依序遍历所述多个槽体,判断当前槽体编号是否小于等于下料槽体编号,其中所述多个槽体,按照上料槽体至下料槽体顺序依次递增编号;
10.若当前槽体编号小于等于所述下料槽体编号,基于所述当前槽体对应的参数,判断当前所述槽体是否满足取篮条件,所述参数至少包括槽体中篮的编号;
11.若满足所述取篮条件,基于当前所述槽体中篮的编号对应的配方获取相应的所述取篮位置和所述放篮位置,并将下一槽体作为当前槽体,返回至所述判断当前槽体编号是否小于等于下料槽体编号的步骤;
12.若不满足所述取篮条件,不生成放篮任务,并将下一槽体作为当前槽体,返回至所述判断当前槽体编号是否小于等于下料槽体编号的步骤;
13.若当前槽体编号大于所述下料槽体编号,触发所述机械臂执行所述取放篮任务。
14.在一些实施方式中,所述取篮条件包括:当前槽体内有篮、篮在当前槽体内的有篮累积时长达到预设时长且当前槽体未被禁用。
15.在一些实施方式中,所述参数还包括:有篮参数、有篮累积时长参数、当前槽体禁用参数。
16.在一些实施方式中,所述配方具体为所述槽体的顺序位置表,所述基于当前所述槽体中篮的编号对应的配方获取相应的所述取篮位置和所述放篮位置,包括:
17.按照所述顺序查找获取当前槽体在所述位置表中的位置,该位置作为对应所述取放篮任务的取篮位置;
18.从所述取篮位置处按所述顺序向后遍历位置表,直至位置表中当前位置对应的槽体满足放篮条件,将该位置作为对应所述取放篮任务的放篮位置;
19.其中所述槽体包括功能相同的并列槽体,所述从所述取篮位置处按所述顺序向后遍历位置表,跳过所述取篮位置对应槽体的并列槽体的位置。
20.在一些实施方式中,所述放篮条件包括:所述当前位置对应的槽体未被禁用、当前位置对应的槽体内无篮、当前位置对应的槽体的工作模式为自动模式且同种工艺的并列槽体依次放篮。
21.在一些实施方式中,每个所述机械臂基于与其对应的取放篮任务优先级,依序执行所述取放篮任务。
22.在一些实施方式中,对于优先级并列的所述取放篮任务,基于取篮等待时长,所述等待时长越长对应的所述取放篮任务越早被执行。
23.在一些实施方式中,所述顺序位置表具体为二维表格,单元格中的值为对应槽体的编号,同一列存在多个槽体编号表示所述多个槽体为并列槽体,所述基于当前所述槽体中篮的编号对应的配方获取相应的所述取篮位置和放篮位置,包括:
24.按照先逐列再逐行的顺序遍历所述二维表格,获取当前槽体在所述二维表格中的位置,将该位置作为取篮位置;
25.从所述取篮位置的单元格下一列开始按照先逐列再逐行的顺序遍历所述二维表格,直至当前单元格对应的槽体满足放篮条件,将该位置作为放篮位置。
26.在一些实施方式中,所述至少基于所述取篮位置和所述放篮位置及机械臂的作业区域,分配所述取放篮任务至对应的所述机械臂,包括:
27.所述取篮位置和放篮位置位于第一机械臂的作业区域,则将该取放篮任务分配至所述第一机械臂。
28.本技术实施例还提供一种计算机可读存储介质,所述存储介质上存储有程序指令,所述程序指令能够被处理器执行以实现如上任一实施例所述的机械臂控制方法中的步骤。
29.本技术实施例还提供一种电子设备,所述电子设备包括存储器和处理器,所述存储器中存储有计算机程序,所述处理器通过调用所述存储器中存储的所述计算机程序,执行如上任一实施例所述的机械臂控制方法中的步骤。
30.本公开实施例提供的一种机械臂控制方法、存储介质及电子设备,应用于槽式清洗机,槽式清洗机包括多个槽体,每个槽体具有对应的工艺。基于取篮位置和放篮位置为清洗机生成取放篮任务,并将取放篮任务基于每个机械臂的作业区域,分配至对应的机械臂,并在任务分配完成后,调度机械臂执行对应的取放篮任务,提高了控制机械臂的灵活度从而提高了清洗效率。
31.本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。
附图说明
32.图1为本技术示例性的一些实施方式提供的机械臂控制方法的示意图;
33.图2为本技术示例性的一些实施方式提供的机械臂控制方法的全流程示意图;
34.图3为本技术示例性的一些实施方式提供的配方结构和机械臂作业范围示意图;
35.图4为本技术示例性的一些实施方式提供的电子设备结构示意图。
具体实施方式
36.下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
37.实施例一:
38.具体地,请参阅图1,为本公开提供的一种机械臂控制方法。应用于槽式清洗机,通常槽式清洗机包括多个槽体,每个槽体具有对应的工艺。具体步骤如下:
39.步骤s100:生成取放篮任务,其中,取放篮任务至少包括取篮位置和放篮位置。
40.在一些实施方式中,通常清洗机有多个槽,每个槽具有编号,以下以一个具有30个槽体的清洗机为例说明,可以理解的是,本公开实施例并不限于该示例。
41.槽体的编号可以是10进制的数字编号,例如分别为0、1、2、3、

、29,其中0号槽为上料槽,29号槽为下料槽,可以理解的是,槽体的编号还可以是二进制的数字编号或约定的其他编码方式。其中有些槽是并列的,功能相同,例如5号槽和6号槽并列,可选择其中一个执行对应工艺。
42.按照上料槽至下料槽的顺序,依序遍历所有槽体,生成相应的取放篮任务,详细过程如下,参考图2:
43.从上料槽开始,从0开始赋值,每多遍历一个槽体,赋值加1,例如遍历至下料槽时赋值为29;对赋值的当前槽号与下料槽对应的下料槽号比较,当赋值到大于下料槽号时,即“当前槽号《=下料槽号”的判断为false;表示所有的取放篮任务已经生成并分配完毕,即触发调度机械臂执行取放篮任务的流程。
[0044]“当前槽号《=下料槽号”的判断为true时,进一步判断当前槽是否满足取篮条件,具体地,以下三个取篮条件同时满足时,“当前槽取篮条件”的判断为true,只要有一个条件不满足,该判断为false,生成0个取放篮任务或者不生成取放篮任务,再回到“当前槽号《=下料槽号”的判断步骤,对当前槽号被赋予的下一个槽号进行判断。
[0045]
取篮条件一:当前槽内有篮;
[0046]
取篮条件二:篮在当前槽内的有篮累积时长到达预设时长;
[0047]
取篮条件三:当前槽未被禁用;
[0048]
每个槽都对应一个参数表格,实时更新一些参数,以记录当前槽的状况,如篮的编号、有篮参数、有篮累积时长参数、该槽体的禁用参数,基于表格中的参数,以判断是否满足取篮条件。
[0049]“当前槽取篮条件”的判断为true之后,根据当前槽中篮的编号载入其对应编号的配方(recipe)内容,每个recipe的内容如图3所示,在一些实施例中配方具体为轨迹表格,
可以理解的是,本公开并不限定表格的数据结构。
[0050]
在一些实施例中,轨迹表格可以是一个二维表格,轨迹表格中的一个单元格位置表示一个槽,单元格对应的值即为槽号(没有值被认为无对应槽体)。在实际应用中,可以用二维数组表示二维表格,用行号i和列号j表征槽的位置,例如图3中(i=1,j=1)表示0号槽,(i=2,j=7)表示9号槽。同一列若有多个槽,则表示这多个槽为功能相同的并列槽。
[0051]
在一些实施例中,载入轨迹表格之后,若存在并列槽的情况,则结合槽对应的参数表格,根据并列槽是否有被禁用的情况还可以对该列加上标记,该标记用于标识该列的并列槽是否全部禁用。按照逐列再逐行的顺序寻找当前槽在轨迹表格中的位置,其中,若某列的并列槽全部禁用,则跳过该列,直接到下一列寻找,这些可以提高查找效率也可以避免不必要的错误。例如遍历赋值至当前槽为5号槽时,从(i=1,j=1)开始寻找内容为“5”的单元格,若j=2的一列中的1号槽和2号槽这2个并列槽被标记为全部禁用,则直接到j=3的一列开始寻找,直到在(i=1,j=5)的位置找到内容为“5”的单元格,进行起始点标记(take),作为后续生成的取放篮任务的取篮位置。上面的取篮条件三决定了当前槽所在的列肯定不会被标记为禁用。
[0052]
找到取篮位置之后,从take点所在单元格的下一列开始寻找放篮位置,同样按照逐列再逐行的顺序,遍历每个单元格,判断遍历至的当前单元格对应的槽是否满足放篮条件。同样的,以下四个条件同时满足时,“放篮条件”的判断为true,只要有一个条件不满足,该判断为false,继续遍历,将下一个槽作为当前槽。
[0053]
放篮条件一:当前单元格未被标记为禁用。(有些recipe中会出现回到0号槽的情况)。
[0054]
放篮条件二:当前单元格对应的槽内无篮。
[0055]
放篮条件三:当前单元格对应的槽的工作模式为自动模式,即未被切换为手动操作模式的情况。
[0056]
放篮条件四:同种工艺的并列槽依次放篮。
[0057]
在“放篮条件”的判断为true之后,相当于找到了取放篮任务的放篮位置,进行终点标记(put),结合take和put生成一个取放篮任务。
[0058]
步骤s200:至少基于取篮位置和放篮位置及机械臂的作业区域,分配取放篮任务至对应的机械臂,其中,作业区域包括一个或多个槽体。
[0059]
在一些实施例中,生成取放篮任务后,判断该取放篮任务是属于哪个机械臂(arm)的作业区域,参照图3,从机械臂1(arm1)开始遍历执行,当take和put对应的槽均在某个机械臂的作业区域内时,认为对应的取放篮任务是属于该机械臂的,将取放篮任务号存储到该机械臂的任务表中。其中,每个取篮任务均带有优先级参数,该优先级参数可通过取篮槽号索引。
[0060]
在一些实施例中,遍历完所有的槽号后,每个机械臂的任务表中保存了0个、或者1个、或者多个取放篮任务号,指挥机械臂执行取放篮任务。也是从arm1开始遍历,对每个机械臂的任务按照优先级排序,将优先级最高的任务派发给对应的机械臂。当出现优先级并列时,按照取篮等待时长排序,取篮等待时长越长的任务、越早派发给对应的机械臂进行执行。直至遍历至最后一个机械臂后,执行完所有任务。
[0061]
实施例二:
[0062]
相应的,本技术实施例还提供一种电子设备,该电子设备可以为终端或者服务器。如图4所示,图4为本技术实施例提供的电子设备的结构示意图。
[0063]
该电子设备400包括有一个或者一个以上处理核心的处理器401、有一个或一个以上计算机可读存储介质的存储器402及存储在存储器402上并可在处理器上运行的计算机程序。其中,处理器401与存储器402电性连接。本领域技术人员可以理解,图中示出的电子设备结构并不构成对电子设备的限定,可以包括比图示更多或更少的部件,或者组合某些部件,或者不同的部件布置。
[0064]
处理器401是电子设备400的控制中心,利用各种接口和线路连接整个电子设备400的各个部分,通过运行或加载存储在存储器402内的软件程序(计算机程序)和/或单元,以及调用存储在存储器402内的数据,执行电子设备400的各种功能和处理数据,从而对电子设备400进行整体监控。
[0065]
在本技术实施例中,电子设备400中的处理器401会按照如下的步骤,将一个或一个以上的应用程序的进程对应的指令加载到存储器402中,并由处理器401来运行存储在存储器402中的应用程序,从而实现各种功能:
[0066]
步骤s100:生成取放篮任务,其中,取放篮任务至少包括取篮位置和放篮位置,
[0067]
步骤s200:至少基于取篮位置和放篮位置及机械臂的作业区域,分配取放篮任务至对应的机械臂,其中,作业区域包括一个或多个槽体。
[0068]
以上各个操作的具体实施可参见前述的实施例,在此不再赘述。
[0069]
可选的,如图4所示,电子设备400还包括:机械臂控制单元403、通讯模块404、输入单元405以及电源406。其中,处理器401分别与机械臂控制单元403、通讯模块404、输入单元405以及电源406电性连接。本领域技术人员可以理解,图4中示出的电子设备结构并不构成对电子设备的限定,可以包括比图示更多或更少的部件,或者组合某些部件,或者不同的部件布置。
[0070]
机械臂控制单元403可用于实现对机械臂的控制。
[0071]
通信模块404可用于与其他设备通信。
[0072]
输入单元405可用于接收输入的数字、字符信息或用户特征信息(例如指纹、虹膜、面部信息等),以及产生与用户设置以及功能控制有关的键盘、鼠标、操作杆、光学或者轨迹球信号输入。
[0073]
电源406用于给电子设备400的各个部件供电。可选的,电源406可以通过电源管理系统与处理器401逻辑相连,从而通过电源管理系统实现管理充电、放电、以及功耗管理等功能。电源406还可以包括一个或一个以上的直流或交流电源、再充电系统、电源故障检测电路、电源转换器或者逆变器、电源状态指示器等任意组件。
[0074]
在上述实施例中,对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详述的部分,可以参见其他实施例的相关描述。
[0075]
实施例三
[0076]
本领域普通技术人员可以理解,上述实施例的各种方法中的全部或部分步骤可以通过指令来完成,或通过指令控制相关的硬件来完成,该指令可以存储于一计算机可读存储介质中,并由处理器进行加载和执行。
[0077]
为此,本技术实施例提供一种计算机可读存储介质,其中存储有多条计算机程序,
该计算机程序能够被处理器进行加载,以执行本技术实施例所提供的机械臂控制方法中的步骤。例如,该计算机程序可以执行如下步骤:
[0078]
步骤s100:生成取放篮任务,其中,取放篮任务至少包括取篮位置和放篮位置。
[0079]
步骤s200:至少基于取篮位置和放篮位置及机械臂的作业区域,分配取放篮任务至对应的机械臂,其中,作业区域包括一个或多个槽体。
[0080]
以上各个操作的具体实施可参见前面的实施例,在此不再赘述。
[0081]
其中,该计算机可读存储介质可以包括:只读存储器(rom,read only memory)、随机存取记忆体(ram,random access memory)、磁盘或光盘等。
[0082]
由于该存储介质中所存储的计算机程序,可以执行本技术实施例所提供的任一种机械臂控制方法中的步骤,因此,可以实现本技术实施例所提供的任一种机械臂控制方法所能实现的有益效果,详见前面的实施例,在此不再赘述。
[0083]
本发明说明书中未详细说明部分为本领域技术人员公知技术。
[0084]
在本发明的描述中,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。需要说明的是,本文中使用的术语“和/或”或者“/”仅仅是一种描述关联对象的关联关系,表示可以存在三种关系,例如,a和/或b,可以表示:单独存在a,同时存在a和b,单独存在b这三种情况。
[0085]
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

技术特征:
1.一种机械臂控制方法,应用于槽式清洗机,所述槽式清洗机包括多个槽体,每个所述槽体具有对应的工艺,其特征在于,所述方法包括:生成取放篮任务,其中,所述取放篮任务至少包括取篮位置和放篮位置;至少基于所述取篮位置和所述放篮位置及机械臂的作业区域,分配所述取放篮任务至对应的所述机械臂,其中,所述作业区域包括一个或多个槽体。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述生成取放篮任务,包括:依序遍历所述多个槽体,判断当前槽体编号是否小于等于下料槽体编号,其中所述多个槽体,按照上料槽体至下料槽体顺序依次递增编号;若当前槽体编号小于等于所述下料槽体编号,基于所述当前槽体对应的参数,判断当前所述槽体是否满足取篮条件,所述参数至少包括槽体中篮的编号;若满足所述取篮条件,基于当前所述槽体中篮的编号对应的配方获取相应的所述取篮位置和所述放篮位置,并将下一槽体作为当前槽体,返回至所述判断当前槽体编号是否小于等于下料槽体编号的步骤;若不满足所述取篮条件,不生成放篮任务,并将下一槽体作为当前槽体,返回至所述判断当前槽体编号是否小于等于下料槽体编号的步骤;若当前槽体编号大于所述下料槽体编号,触发所述机械臂执行所述取放篮任务。3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述取篮条件包括:当前槽体内有篮、篮在当前槽体内的有篮累积时长达到预设时长且当前槽体未被禁用。4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述参数还包括:有篮参数、有篮累积时长参数、当前槽体禁用参数。5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述配方具体为所述槽体的顺序位置表,所述基于当前所述槽体中篮的编号对应的配方获取相应的所述取篮位置和所述放篮位置,包括:按照所述顺序查找获取当前槽体在所述位置表中的位置,该位置作为对应所述取放篮任务的取篮位置;从所述取篮位置处按所述顺序向后遍历位置表,直至位置表中当前位置对应的槽体满足放篮条件,将该位置作为对应所述取放篮任务的放篮位置;其中所述槽体包括功能相同的并列槽体,所述从所述取篮位置处按所述顺序向后遍历位置表,跳过所述取篮位置对应槽体的并列槽体的位置。6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述放篮条件包括:所述当前位置对应的槽体未被禁用、当前位置对应的槽体内无篮、当前位置对应的槽体的工作模式为自动模式且同种工艺的并列槽体依次放篮。7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,每个所述机械臂基于与其对应的取放篮任务优先级,依序执行所述取放篮任务。8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,对于优先级并列的所述取放篮任务,基于取篮等待时长,所述等待时长越长对应的所述取放篮任务越早被执行。9.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述顺序位置表具体为二维表格,单元格
中的值为对应槽体的编号,同一列存在多个槽体编号表示所述多个槽体为并列槽体,所述基于当前所述槽体中篮的编号对应的配方获取相应的所述取篮位置和放篮位置,包括:按照先逐列再逐行的顺序遍历所述二维表格,获取当前槽体在所述二维表格中的位置,将该位置作为取篮位置;从所述取篮位置的单元格下一列开始按照先逐列再逐行的顺序遍历所述二维表格,直至当前单元格对应的槽体满足放篮条件,将该位置作为放篮位置。10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述至少基于所述取篮位置和所述放篮位置及机械臂的作业区域,分配所述取放篮任务至对应的所述机械臂,包括:所述取篮位置和放篮位置位于第一机械臂的作业区域,则将该取放篮任务分配至所述第一机械臂。11.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述存储介质上存储有程序指令,所述程序指令能够被处理器执行以实现如权利要求1-10任一项所述的方法中的步骤。12.一种电子设备,其特征在于,所述电子设备包括存储器和处理器,所述存储器中存储有计算机程序,所述处理器通过调用所述存储器中存储的所述计算机程序,执行如权利要求1-10任一项所述的方法中的步骤。

技术总结
本公开实施例提供的一种机械臂控制方法、存储介质及电子设备,应用于槽式清洗机,槽式清洗机包括多个槽体,每个槽体具有对应的工艺。基于取篮位置和放篮位置为清洗机生成取放篮任务,并将取放篮任务基于每个机械臂的作业区域,分配至对应的机械臂,并在任务分配完成后,调度机械臂执行对应的取放篮任务,提高了控制机械臂的灵活度从而提高了清洗效率。控制机械臂的灵活度从而提高了清洗效率。控制机械臂的灵活度从而提高了清洗效率。


技术研发人员:孔祥才 龚庆
受保护的技术使用者:江苏启威星装备科技有限公司
技术研发日:2023.01.12
技术公布日:2023/7/11
版权声明

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