真空抽取装置的制作方法

1.本实用新型涉及化学品供液技术领域，尤其涉及一种真空抽取装置。


背景技术：

2.在化学品的供液系统的缓存罐中，由于供液速度及压力问题，会使得缓存罐的溶剂中残留部分气体，造成喷液过程中管路出现气泡问题。为此，需要对气体进行排除，现有的解决方案为：在供液管路中增加一个过滤化学品过滤装置，过滤装置包括容器和真空发生器，让化学品经过容器，并在经过容器的过程中，真空发生器液体里部分气体抽走。上述装置在除气过程，化学品需要经过整个过滤装置，从而对各个管路造成污染，且化学品从过滤装置泄漏时，会对工作人员的安全产生威胁。
3.为此，亟需研究一种真空抽取装置，实现对化学品除气的同时，避免化学品经过真空抽取装置的功能，避免对各管路造成污染，降低对工作人员的危害。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种真空抽取装置，实现对化学品除气的同时，避免化学品经过真空抽取装置的功能，从而避免对各管路造成污染，降低对工作人员的危害。
5.为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
6.本实用新型提供一种真空抽取装置，该真空抽取装置包括：
7.壳体，所述壳体设有气体入口、真空入口和气体出口，所述真空入口能通过第一外部管路与盛有化学品的容器连通；
8.真空发生器，所述真空发生器设于所述壳体内，所述真空发生器设有入口、出口和真空口，所述入口与所述气体入口连通；所述出口与所述气体出口连通；
9.真空管路，所述真空管路的第一端与所述真空发生器的真空口连通，所述真空管路的第二端与所述真空入口连通；
10.控制阀体，所述控制阀体设于所述真空管路，用于控制所述真空管路的通断；
11.液体传感器，所述液体传感器用于检测所述真空管路内的液体，所述液体传感器检测到所述液体的状态下，所述控制阀体切断所述真空管路。
12.优选地，所述控制阀体位于所述真空发生器和所述液体传感器之间。
13.优选地，所述真空抽取装置包括真空检测件，所述真空检测件的测试端与所述真空管路连通，所述真空检测件用于检测所述真空管路内的真空度。
14.优选地，所述真空抽取装置包括检测管路，所述检测管路的第一端与所述真空检测件连通，所述检测管路的第二端与所述真空管路连通，且位于所述真空发生器和所述控制阀体之间。
15.优选地，所述真空抽取装置包括电磁阀和进气管路，所述进气管路的第一端与所述气体入口连通，所述进气管路的第二端与所述入口连通，所述电磁阀设于所述进气管路，用于控制所述进气管路的通断。
16.优选地，所述真空抽取装置包括压力调整阀，所述压力调整阀设于所述进气管路，且位于所述电磁阀远离所述真空发生器的一侧，所述压力调整阀用于调整进入所述真空发生器的气流流速。
17.优选地，所述控制阀体包括气动阀，控制所述气动阀的气体和进入所述真空发生器的气体同源。
18.优选地，所述真空抽取装置包括连通管，所述连通管的第一端连通所述进气管路，第二端与所述气动阀的进气口连通，所述连通管的第一端位于所述真空发生器和所述电磁阀之间。
19.优选地，所述真空抽取装置包括显示件，所述显示件用于显示所述真空抽取装置的工作状态。
20.优选地，所述显示件包括绿灯，所述真空发生器正常工作状态，所述绿灯点亮；
21.和/或
22.所述显示件包括红灯，所述真空发生器故障工作状态，所述红灯点亮；
23.和/或
24.所述显示件包括黄灯，所述液体传感器检测到所述液体的状态，所述黄灯点亮。
25.本实用新型的有益效果为：
26.本实用新型提供一种真空抽取装置，该真空抽取装置通过设置真空发生器，通过第一外部管路可以与盛有化学品的容器连通，真空发生器工作时，可以将容器内的气体抽出，并通过气体出口排出，整个除气过程不需要化学品流经真空抽取装置，避免对各管路造成污染，且通过在真空管路上设置控制阀体和液体传感器，当有化学品流经真空管路时，则控制阀体能切断真空管路，避免化学品流入真空发生器，进而提高了真空抽取装置的安全性能。
附图说明
27.图1为本实用新型实施例中真空抽取装置的结构示意图；
28.图2为本实用新型实施例中真空抽取装置的内部原理图。
29.图中：
30.1、壳体；11、气体入口；12、气体出口；13、真空入口；
31.2、真空发生器；
32.31、真空管路；32、进气管路；33、出气管路；
33.4、控制阀体；41、连通管；
34.5、液体传感器；
35.6、真空检测件；61、检测管路；62、显示屏；
36.71、电磁阀；72、压力调整阀；73、显示件；74、开关。
具体实施方式
37.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用
新型保护的范围。
38.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
39.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
40.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
41.如图1-2所示，本实施例提供一种真空抽取装置，该真空抽取装置包括壳体1、真空发生器2、真空管路31、控制阀体4和液体传感器5，其中，壳体1设有气体入口11、气体出口12和真空入口13，真空入口13能通过第一外部管路与盛有化学品的容器连通；真空发生器2设于壳体1内，真空发生器2设有入口、出口和真空口，入口与气体入口11连通；出口与气体出口12连通；真空管路31的第一端与真空发生器2的真空口连通，真空管路31的第二端与真空入口13连通；控制阀体4设于真空管路31，用于控制真空管路31的通断；液体传感器5用于检测真空管路31内的液体，液体传感器5检测到液体的状态下，控制阀体4能切断真空管路31。
42.需要说明的是，真空抽取装置还包括控制器，控制器和液体传感器5通讯连接，控制器和控制阀体4通讯连接，液体传感器5检测到液体后产生液体信号，控制器接收到液体信号后控制控制阀体4动作，并切断真空管路31，避免化学品进入真空发生器2。控制器的控制原理为本领域的技术人员所熟知，故在此不再赘述。
43.该真空抽取装置通过设置真空发生器2，通过第一外部管路可以与盛有化学品的容器连通，真空发生器2工作时，可以将容器内的气体抽出，并通过气体出口12排出，整个除气过程不需要化学品流经真空抽取装置，避免对各管路造成污染，且通过在真空管路31上设置控制阀体4和液体传感器5，当有化学品流经真空管路31时，则控制阀体4能切断真空管路31，避免化学品流入真空发生器2，进而提高了真空抽取装置的安全性能。
44.可选地，控制阀体4位于真空发生器2和液体传感器5之间。该设置使得化学品不会经过控制阀体4，能避免化学品对控制阀体4的侵蚀。
45.真空抽取装置包括真空检测件6，真空检测件6的测试端与真空管路31连通，真空检测件6用于检测真空管路31内的真空度。具体地，真空检测件6包括真空检测表。进一步
地，真空检测件6为通过显示屏62显示真空度。
46.其中，真空抽取装置包括检测管路61，检测管路61的第一端与真空检测件6连通，检测管路61的第二端与真空管路31连通，且位于真空发生器2和控制阀体4之间。该设置也能避免化学品进入真空检测件6。
47.为提高自动化程度，本实施例中，真空抽取装置包括电磁阀71和进气管路32，进气管路32的第一端与气体入口11连通，进气管路32的第二端与真空发生器2的入口连通，电磁阀71设于进气管路32，用于控制进气管路32的通断。
48.真空抽取装置包括手动开关74，手动开关74用于控制电磁阀71的通断电。手动开关74打开后，电磁阀71得电，外部的气体能从气体入口11进入真空发生器2。其中，出气管路33的第一端连通真空发生器2的出口，出气管路33的第二端连通气体出口12。
49.为实现真空发生器2的抽气速率可调，本实施例中，真空抽取装置包括压力调整阀72，压力调整阀72设于进气管路32，且位于电磁阀71远离真空发生器2的一侧，压力调整阀72用于调整进入真空发生器2的气流流速。
50.控制阀体4包括气动阀，控制气动阀的气体和进入真空发生器2的气体同源。该设置使得整个真空抽取装置仅需要一个进气源即可，简化了操作流程，仅仅将外部高压气体从气体入口11接入即可。
51.具体地，真空抽取装置包括连通管41，连通管41的第一端连通进气管路32，第二端与气动阀的进气口连通，连通管41的第一端位于真空发生器2和电磁阀71之间。
52.真空抽取装置包括显示件73，显示件73用于显示真空抽取装置的工作状态。以便对真空抽取装置的工作状态进行直观的观察。具体地，显示件73包括绿灯，真空发生器2正常工作状态，绿灯点亮。显示件73包括红灯，真空发生器2故障工作状态，红灯点亮。显示件73包括黄灯，液体传感器5检测到液体的状态，黄灯点亮。
53.液体传感器5包括光电传感器。光电传感器检测到化学品后能产生液体信号。当然，在其他实施例中，液体传感器5还可以为液位传感器，且液位传感器设置在真空管路31的竖直段。
54.外部高压气体通过第二外部管路传输，第二外部管路的出口与气体入口11连通，其中，可以备用多个型号的入口接头，选择一个可以和第二外部管路匹配的入口接头与气体入口11的侧壁螺接。
55.第三外部管路可以通过一个出口接头和气体出口12连通，将气体排放出去。其中，出口接头的型号可以设有多个，使用时选择一个能与第三外部管路匹配的出口接头与气体出口12的侧壁螺接。
56.真空接头的型号可以设有多个，使用时选择一个能与第一外部管路匹配的真空接头与真空入口13的侧壁螺接。
57.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

技术特征：
1.真空抽取装置，其特征在于，包括：壳体(1)，所述壳体(1)设有气体入口(11)、真空入口(13)和气体出口(12)，所述真空入口(13)能通过第一外部管路与盛有化学品的容器连通；真空发生器(2)，所述真空发生器(2)设于所述壳体(1)内，所述真空发生器(2)设有入口、出口和真空口，所述入口与所述气体入口(11)连通；所述出口与所述气体出口(12)连通；真空管路(31)，所述真空管路(31)的第一端与所述真空发生器(2)的真空口连通，所述真空管路(31)的第二端与所述真空入口(13)连通；控制阀体(4)，所述控制阀体(4)设于所述真空管路(31)，用于控制所述真空管路(31)的通断；液体传感器(5)，所述液体传感器(5)用于检测所述真空管路(31)内的液体，所述液体传感器(5)检测到所述液体的状态下，所述控制阀体(4)切断所述真空管路(31)。2.根据权利要求1所述的真空抽取装置，其特征在于，所述控制阀体(4)位于所述真空发生器(2)和所述液体传感器(5)之间。3.根据权利要求1所述的真空抽取装置，其特征在于，所述真空抽取装置包括真空检测件(6)，所述真空检测件(6)的测试端与所述真空管路(31)连通，所述真空检测件(6)用于检测所述真空管路(31)内的真空度。4.根据权利要求3所述的真空抽取装置，其特征在于，所述真空抽取装置包括检测管路(61)，所述检测管路(61)的第一端与所述真空检测件(6)连通，所述检测管路(61)的第二端与所述真空管路(31)连通，且位于所述真空发生器(2)和所述控制阀体(4)之间。5.根据权利要求1所述的真空抽取装置，其特征在于，所述真空抽取装置包括电磁阀(71)和进气管路(32)，所述进气管路(32)的第一端与所述气体入口(11)连通，所述进气管路(32)的第二端与所述入口连通，所述电磁阀(71)设于所述进气管路(32)，用于控制所述进气管路(32)的通断。6.根据权利要求5所述的真空抽取装置，其特征在于，所述真空抽取装置包括压力调整阀(72)，所述压力调整阀(72)设于所述进气管路(32)，且位于所述电磁阀(71)远离所述真空发生器(2)的一侧，所述压力调整阀(72)用于调整进入所述真空发生器(2)的气流流速。7.根据权利要求5所述的真空抽取装置，其特征在于，所述控制阀体(4)包括气动阀，控制所述气动阀的气体和进入所述真空发生器(2)的气体同源。8.根据权利要求7所述的真空抽取装置，其特征在于，所述真空抽取装置包括连通管(41)，所述连通管(41)的第一端连通所述进气管路(32)，所述连通管(41)的第二端与所述气动阀的进气口连通，所述连通管(41)的第一端位于所述真空发生器(2)和所述电磁阀(71)之间。9.根据权利要求1-8任一项所述的真空抽取装置，其特征在于，所述真空抽取装置包括显示件(73)，所述显示件(73)用于显示所述真空抽取装置的工作状态。10.根据权利要求9所述的真空抽取装置，其特征在于，所述显示件(73)包括绿灯，所述真空发生器(2)正常工作状态，所述绿灯点亮；和/或所述显示件(73)包括红灯，所述真空发生器(2)故障工作状态，所述红灯点亮；
和/或所述显示件(73)包括黄灯，所述液体传感器(5)检测到所述液体的状态，所述黄灯点亮。

技术总结
本实用新型涉及化学品供液技术领域，具体公开了一种真空抽取装置，该真空抽取装置中，壳体设有气体入口、真空入口和气体出口，真空入口通过第一外部管路与盛有化学品的容器连通；真空发生器设于壳体内，真空发生器设有入口、出口和真空口，入口与气体入口连通；出口与气体出口连通；真空管路的第一端与真空发生器的真空口连通，真空管路的第二端与真空入口连通；控制阀体设于真空管路，用于控制真空管路的通断；液体传感器用于检测真空管路内的液体，液体传感器检测到液体的状态下，控制阀体能切断真空管路。该真空抽取装置在整个除气过程不需要化学品流经真空抽取装置，降低对工作人员的危害。人员的危害。人员的危害。


技术研发人员：谢乾坤
受保护的技术使用者：上海众鸿半导体设备有限公司
技术研发日：2022.12.27
技术公布日：2023/7/12