一种用于蒸发舟的夹紧装置的制作方法

1.本发明涉及镀膜设备的技术领域，具体而言，涉及一种用于蒸发舟的夹紧装置。


背景技术：

2.真空卷绕镀膜设备在蒸镀过程中，蒸发源是主要的组成部分，采用的发热原件一般是氮化硼陶瓷坩埚，其功用是将待镀的材料在真空状态下融化并气化后沉积到薄膜形成金属薄膜，蒸发舟是其中的重要组成部分，其发热功能是决定蒸发质量的重要保证。
3.现有申请专利202020292463.0一种新型蒸发舟夹紧结构，包括水冷蒸发底板、设置在水冷蒸发底板下方的支撑柱和设置在水冷蒸发底板上的蒸发槽，蒸发槽内对称错位设置有两排用于夹持蒸发舟结构相同的正负极夹持组件，两组正负极夹持组件均包括蒸发阴极和蒸发阳极，水冷蒸发底板上设置有两组可以调节对应蒸发阳极位置的弹性调节组件，每个弹性调节组件包括用于安装蒸发阳极的复合安装架和安装在水冷蒸发底板下方用于拉紧复合安装架的弹性夹紧机构，通过将蒸发舟放置于公用阴极和阳极之间，弹簧通过绝缘滑动轴承座、夹板的传递将蒸发舟紧紧夹持，阳极用压盖牢固地与夹板连成一体，通过拉杆和蝴蝶螺母，弹簧的夹紧力来进行调节。
4.上述申请专利需要额外添加夹紧机构等使其才能达到对蒸发舟的夹紧，结构相对复杂，且在实际使用过程中发现，上述结构对蒸发舟的夹紧力也相对较差，使其导电效果不佳，主要原因是对蒸发舟的夹紧并不及时造成的。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种蒸发舟夹紧装置，用以实现能够提供更加简洁，且设计巧妙的夹紧装置，并能更加及时调节夹紧力，进而保证接触的紧密性的技术效果。
6.本发明通过以下技术方案实现：
7.包括阳极和公用电极，在所述阳极和所述公用电极之间夹持有蒸发舟，所述阳极远离蒸发舟的一端设有立板，所述立板上设有绝缘滑套，以使所述阳极端部能够在所述绝缘滑套内滑动；
8.还包括引入电极，所述引入电极的一端穿过所述绝缘滑套与所述阳极刚性连接，所述引入电极还连接有调节组件，通过所述调节组件以使推动所述引入电极和所述阳极靠近或远离所述蒸发舟，使其夹紧或松开所述蒸发舟。
9.为了更好的实现本发明，进一步的，所述调节组件包括预紧弹簧，所述预紧弹簧套设于部分所述引入电极的外壁，所述预紧弹簧的一端连接有绝缘连接环，所述预紧弹簧的另一端与所述引入电极的外壁连接。
10.为了更好的实现本发明，进一步的，所述调节组件还包括夹紧电极，所述夹紧电极设置于所述引入电极的另一端，且与所述引入电极刚性夹紧连接，所述夹紧电极上还设有气缸，通过所述气缸以使推动所述引入电极夹紧所述蒸发舟。
11.为了更好的实现本发明，进一步的，所述调节组件还包括安装板，所述安装板上设
有固定套，所述引入电极穿过所述固定套与所述阳极刚性连接，所述预紧弹簧设置于所述固定套与所述引入电极之间。
12.为了更好的实现本发明，进一步的，在所述固定套端部还连接有伸缩波纹管，所述伸缩波纹管的自由端与所述引入电极连接。
13.为了更好的实现本发明，进一步的，在所述安装板与所述立板之间还设有屏蔽罩。
14.为了更好的实现本发明，进一步的，所述绝缘连接环设置在所述安装板上，所述绝缘连接环设于所述固定套与所述预紧弹簧之间，且所述绝缘连接环的端部与所述固定套的端部固定连接。
15.为了更好的实现本发明，进一步的，所述阳极外壁还设有屏蔽板，所述屏蔽板靠近设于所述立板，以阻止蒸发时蒸发材料沉积于所述绝缘滑套造成短路。
16.为了更好的实现本发明，进一步的，所述绝缘滑套采用绝缘材料，所述阳极的端部设置与所述绝缘滑套内。
17.为了更好的实现本发明，进一步的，还包括直板，所述公用电极远离所述蒸发舟的一端固定设置于所述直板上；
18.在所述直板和所述立板之间还设有蒸发围罩。
19.本发明的有益效果是：
20.本发明当需要对蒸发舟的夹紧力进行调节时，优先会通过预紧弹簧的自弹力使向阳极方向，使其对蒸发舟进行预先夹紧，安装蒸发舟时只需较小的力就能摆放到正确的位置，操作更容易、效率更高，当所有的蒸发舟全部安装到位后，通过启动气缸使其带动夹紧电极和引入电极向阳极方向推动，进而保证蒸发舟的有效夹紧。
21.本发明在机构中设置有伸缩波纹管，其目的是：伸缩波纹管具有很好的伸缩性，引入电极是穿过真空室壁引入真空室内，需要很好地真空密封，但引入电极又是需要伸缩以方便安装蒸发舟，如果采用在所述引入电极与安装板之间设置密封圈就会形成动密封而造成密封圈的很快磨损失效，设置伸缩波纹管能有效地把动密封转换成静密封，能有效保证真空密封的可靠性。
22.本装置的结构设计巧妙，能够及时有效、且有序、有力的夹紧蒸发舟，保障接触的良好，提高使用寿命和工作效率。
附图说明
23.为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对本发明中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
24.图1为本发明提供的蒸发舟夹紧装置的结构示意图；
25.图标：
26.10-阳极，11-屏蔽板，20-公用电极，21-直板，22-蒸发围罩，30-蒸发舟，40-立板，41-绝缘滑套，50-引入电极，60-预紧弹簧，70-夹紧电极，71-气缸，80-安装板，81-固定套，82-伸缩波纹管，83-绝缘连接环，90-屏蔽罩，91-真空室。
具体实施方式
27.下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行描述。
28.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
29.请参看图1，本发明提供一种蒸发舟夹紧装置，主要包括蒸发舟30，设置在蒸发舟30一端的公用电极20和设置在蒸发舟30另一端的阳极10，为了使结构的稳定性，因此还设置了直板21和立板40，其中公用电极20的自由端与直板21固定连接，阳极10的自由端与立板40滑动连接，具体是在立板40上开设有绝缘滑套41，阳极10的自由端端部滑动置于该绝缘滑套41内，如图中所示，该绝缘滑套41采用绝缘材料，阳极10的自由端能够在绝缘滑套41内移动，使其能够对蒸发舟30进行夹紧或者松开，以图中方向为例，当阳极10向左移动时，夹紧蒸发舟30，保障接触的良好性，当阳极10向右移动时，松开蒸发舟30，此时可以对蒸发舟30进行更换等，为了能够防止蒸发时蒸发材料沉积于绝缘滑套41造成短路，因此还在阳极10的外壁设置有屏蔽板11，以保证蒸发过程的连续性。
30.在蒸发舟30使用过程中，为了能够提供更有好的工作环境，避免外界环境等影响，因此还在直板21和立板40之间设置蒸发围罩22。
31.阳极10在绝缘滑套41内的左右移动的力主要来源于调节组件和引入电极50，该引入电极50的一端插入至阳极10内，如图中所示，该阳极10朝向引入电极50的一端设置向内凹的凹槽，使其引入电极50与阳极10之间的接触更好，在引入电极50的作用下，将其对阳极10进行相关升压等工作，使其蒸发舟30能够升温并作用于镀膜材料，该蒸发舟30的使用为现有技术，在此不进行过多的阐述。
32.调节组件则是用于推动引入电极50，进而推动阳极10在绝缘滑套41内左右移动，从而实现对蒸发舟30夹紧或者松开的状态。
33.该调节组件包括预紧弹簧60，如图中所示，该预紧弹簧60套设在引入电极50的外壁，预紧弹簧60的一端与绝缘连接环83连接，预紧弹簧60的另一端与引入电极50的外壁连接，当蒸发舟30放置在阳极10和公用电极20之间时，会使阳极10向右的方向移动，使预紧弹簧60被压缩，当蒸发舟30在使用时，阳极10的夹紧力在预紧弹簧60的作用下，逐渐向蒸发舟30释放，使其能够进一步的加强对蒸发舟30的夹紧，进而保证接触的稳定性。
34.为了能够更好的夹紧蒸发舟30，因此还进一步在引入电极50的另一端设置了夹紧电极70，并在夹紧电极70上设置气缸71，通过气缸71以使推动引入电极50夹紧蒸发舟30，在使用过程中，气缸71的动力带动下，向左推动夹紧电极70，进而带动引入电极50向左移动，以及阳极10向左移动，从而对蒸发舟30进行夹紧。
35.在使用过程中，为了保障装置的稳定性，减少误差等，因此还设置安装板80，安装板80上设置固定套81，该引入电极50穿过固定套81与阳极10，预紧弹簧60则是设置在固定套81和引入电极50之间。
36.为提高夹紧机构的使用寿命、减少故障率，机构中设置有伸缩波纹管，其目的是：伸缩波纹管具有很好的伸缩性，引入电极是穿过真空室壁引入真空室内，需要很好地真空密封，但引入电极又是需要伸缩以方便安装蒸发舟，如果采用在引入电极与安装板之间设置密封圈就会形成动密封而造成密封圈的很快磨损失效，设置伸缩波纹管能有效地把动密
封转换成静密封，能有效保证真空密封的可靠性。
37.在伸缩波纹管82与预紧弹簧60和气缸71的协同作用下能够更好的适配对蒸发舟30的夹紧，使其有力、有张力、且有序的保障夹紧蒸发舟30。
38.为了使本装置的使用过程中更加完善，因此还在安装板80与立板40之间设置屏障罩，能有效减少蒸发过程中对本装置的污染且清洁维护更方便、高效。
39.如图中所示，为了保证结构的稳定性，因此还在安装板80上设置绝缘连接环83，该绝缘连接环83设于固定套81和预紧弹簧60之间，该绝缘连接环83的端部与固定套81的端部活动连接。
40.本发明的工作流程如下：
41.当需要对蒸发舟30的进行更换时，先通过预紧弹簧60的自弹力使向阳极10方向，使其对蒸发舟30进行预夹紧，以保证蒸发舟30的准确位置，弹簧力无需很大以使操作时更容易、快捷、高效、安全，当所有的蒸发舟均更换完成后，通过启动气缸71使其带动夹紧电极70和引入电极50向阳极10方向推动，进而保证蒸发舟30的有效夹紧，为了保证气缸71在推动过程中，不会损伤蒸发舟30，夹紧力的大小可以通过调节气缸内压缩空气压力的大小实现。
42.本装置的结构设计巧妙，能够及时有效、且有序、有力的夹紧蒸发舟30，保障接触的良好，提高使用寿命和工作效率。
43.以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，包括阳极(10)和公用电极(20)，在所述阳极(10)和所述公用电极(20)之间夹持有蒸发舟(30)，所述阳极(10)远离蒸发舟(30)的一端设有立板(40)，所述立板(40)上设有绝缘滑套(41)，以使所述阳极(10)端部能够在所述绝缘滑套(41)内滑动；还包括引入电极(50)，所述引入电极(50)的一端穿过所述绝缘滑套(41)与所述阳极(10)刚性连接，所述引入电极(50)还连接有调节组件，通过所述调节组件以使推动所述引入电极(50)和所述阳极(10)靠近或远离所述蒸发舟(30)，使其夹紧或松开所述蒸发舟(30)。2.根据权利要求1所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，所述调节组件包括预紧弹簧(60)，所述预紧弹簧(60)套设于部分所述引入电极(50)的外壁，所述预紧弹簧(60)的一端连接有绝缘连接环(83)，所述预紧弹簧(60)的另一端与所述引入电极(50)的外壁连接。3.根据权利要求2所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，所述调节组件还包括夹紧电极(70)，所述夹紧电极(70)设置于所述引入电极(50)的另一端，且与所述引入电极(50)刚性夹紧连接，所述夹紧电极(70)上还设有气缸(71)，通过所述气缸(71)以使推动所述引入电极(50)夹紧所述蒸发舟(30)。4.根据权利要求3所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，所述调节组件还包括安装板(80)，所述安装板(80)上设有固定套(81)，所述引入电极(50)穿过所述固定套(81)与所述阳极(10)刚性连接，所述预紧弹簧(60)设置于所述固定套(81)与所述引入电极(50)之间。5.根据权利要求4所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，在所述固定套(81)端部还连接有伸缩波纹管(82)，所述伸缩波纹管(82)的自由端与所述引入电极(50)连接。6.根据权利要求5任一项所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，在所述安装板(80)与所述立板(40)之间还设有屏蔽罩(90)。7.根据权利要求5所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，所述绝缘连接环(83)设置在所述安装板(80)上，所述绝缘连接环(83)设于所述固定套(81)与所述预紧弹簧(60)之间，且所述绝缘连接环(83)的端部与所述固定套(81)的端部固定连接。8.根据权利要求1所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，所述阳极(10)外壁还设有屏蔽板(11)，所述屏蔽板(11)靠近设于所述立板(40)，以阻止蒸发时蒸发材料沉积于所述绝缘滑套(41)造成短路。9.根据权利要求1所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，所述绝缘滑套(41)采用绝缘材料，所述阳极(10)的端部设置与所述绝缘滑套(41)内。10.根据权利要求1所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，还包括直板(21)，所述公用电极(20)远离所述蒸发舟(30)的一端固定设置于所述直板(21)上；在所述直板(21)和所述立板(40)之间还设有蒸发围罩(22)。

技术总结
本发明提供一种蒸发舟的夹紧装置，涉及镀膜设备的技术领域，包括阳极和公用电极，在所述阳极和所述公用电极之间夹持有蒸发舟，所述阳极远离蒸发舟的一端设有立板，所述立板上设有绝缘滑套，以使所述阳极端部能够在所述绝缘滑套内滑动；还包括引入电极，所述引入电极的一端穿过所述绝缘滑套与所述阳极刚性连接，所述引入电极还连接有调节组件，通过所述调节组件以使推动所述引入电极和所述阳极靠近或远离所述蒸发舟，使其夹紧或松开所述蒸发舟。使其夹紧或松开所述蒸发舟。使其夹紧或松开所述蒸发舟。


技术研发人员：向海洋 李庆国
受保护的技术使用者：四川海格锐特科技有限公司
技术研发日：2023.03.24
技术公布日：2023/7/12