密封圈和密封装置的制作方法

1.本实用新型涉及密封圈技术领域，具体而言，涉及一种密封圈和密封装置。


背景技术：

2.密封圈是用于提升气密性的重要元件。由于密封圈的工作环境存在变化，需要选用合适的密封圈类型，而且，选择密封圈时，还要根据不同的沟槽尺寸，选用不同尺寸的密封圈。尤其是在压力环境的情况下，容易发生密封圈被挤入密封间隙的现象，更容易发生密封圈的挤压破坏，从而导致密封性能下降。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种密封圈和密封装置，其能够提高密封圈的强度，防止密封圈变形以及松动，解决漏气问题，提升气密性，并且有利于消除静电影响。
4.本实用新型的实施例是这样实现的：
5.第一方面，本实用新型提供一种密封圈，包括：
6.密封圈本体，所述密封圈本体上设有容置部；
7.磁铁，所述磁铁设于所述容置部内。
8.在可选的实施方式中，所述容置部为通孔和/或凹槽。
9.在可选的实施方式中，所述通孔的轴线与所述密封圈本体的轴线方向平行，或者，所述通孔的轴线沿所述密封圈本体的径线方向设置。
10.在可选的实施方式中，所述密封圈本体上设有多个容置部，多个所述容置部沿所述密封圈本体的环向均匀间隔设置。
11.在可选的实施方式中，所述密封圈本体包括外周面以及相对设置的第一端面和第二端面，所述外周面位于所述第一端面和所述第二端面之间，且所述外周面分别连接于所述第一端面和所述第二端面；
12.所述第一端面、所述第二端面和所述外周面的至少一者设有所述容置部。
13.在可选的实施方式中，所述密封圈本体上设有安装槽，所述安装槽用于安装垫圈。
14.在可选的实施方式中，所述密封圈本体上开设有安装孔，所述安装孔用于安装主轴。
15.第二方面，本实用新型提供一种密封装置，包括主轴和如前述实施方式中任一项所述的密封圈，所述密封圈连接于所述主轴，所述主轴采用磁吸材料。
16.在可选的实施方式中，还包括垫圈，所述垫圈设于所述密封圈的安装槽内。
17.在可选的实施方式中，所述主轴贯穿设于所述密封圈，或所述主轴连接与所述密封圈的端面。
18.本实用新型实施例的有益效果包括：
19.本实用新型实施例提供的密封圈，在密封圈本体内设置磁铁，可以提升密封圈本体的强度，从而防止密封圈变形以及松动，解决漏气的问题，提高密封性能。此外，磁铁可以
消散静电，以消除密封圈周围的静电影响。
20.本实用新型实施例提供的密封装置，包括主轴和上述的密封圈，磁铁能够吸附主轴，防止密封圈变形以及松动，提升密封圈本体的强度和密封性能。同时，也能将密封圈本体周围的静电消散至主轴上，消除静电影响。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
22.图1为本实用新型实施例提供的密封圈的第一种结构示意图；
23.图2为本实用新型实施例提供的密封圈的第一种结构的分解示意图；
24.图3为本实用新型实施例提供的密封圈的第二种结构示意图；
25.图4为本实用新型实施例提供的密封圈的第三种结构示意图；
26.图5为本实用新型实施例提供的密封装置的分解结构示意图。
27.图标：100-密封圈；110-密封圈本体；111-外周面；113-第一端面；120-磁铁；130-容置部；141-安装孔；145-安装槽；200-密封装置；210-主轴；220-垫圈；230-轴套。
具体实施方式
28.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
29.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
30.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
31.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
32.此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
33.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设
置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.随着半导体行业的快速发展，化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质，在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。该工艺中，通常采用密封圈进行密封，由于密封圈的工作环境存在变化，需要根据工作环境选用适合的密封圈类型。而且，还要根据不同的沟槽尺寸，选用不同尺寸的密封圈。尤其是在压力环境的情况下，很容易发生密封圈被挤入密封间隙的现象，从而导致密封圈的挤压破坏，使得密封圈的密封性能受到极大地挑战。
35.为了克服现有技术中的至少一个缺陷，本实施例提出了一种密封圈和密封装置，该密封圈的强度得到大大提升，能有效防止密封圈变形以及松动，解决漏气的问题。同时还能消除静电影响，提高化学气相沉积的成膜质量。
36.请参照图1和图2，本实施例提供一种密封圈100，包括密封圈本体110和磁铁120，密封圈本体110上设有容置部130；磁铁120设于容置部130内，可以极大提高密封圈100的强度，防止密封圈100变形以及松动，解决漏气问题。且磁铁120可将密封圈本体110周围的静电消散至主轴210上，消除静电影响，从而提高化学气相沉积的成膜质量。
37.容置部130为通孔和/或凹槽。容置部130可以全部设置为通孔结构，也可以全部设置为凹槽结构。当然，容置部130也可以是部分设置为通孔结构，部分设置为凹槽结构，这里不作具体限定。
38.本实施例中，以容置部130为通孔为例进行说明。通孔的轴线与密封圈本体110的轴线方向平行，或者，通孔的轴线沿密封圈本体110的径线方向设置。当然，在一些实施方式中，通孔的轴线可以与密封圈本体110的轴线形成一定的夹角，这里不作具体限定。通孔的截面形状可以是圆形、椭圆形、方形、菱形、三角形、任意多边形或其它任意规则或不规则形状，这里不作具体限定。
39.可选的，密封圈本体110上设有多个容置部130，多个容置部130沿密封圈本体110的环向均匀间隔设置。每个容置部130用于放置一个磁铁120，每个容置部130的形状大小与磁铁120的形状大小相适应。每个容置部130的形状可以相同，也可以不同。每个容置部130的大小尺寸可以相同，也可以不相同。
40.密封圈本体110包括外周面111以及相对设置的第一端面113和第二端面(图未示)，外周面111位于第一端面113和第二端面之间，且外周面111分别连接于第一端面113和第二端面。第一端面113、第二端面和外周面111的至少一者设有容置部130。
41.结合图1，容置部130采用通孔，通孔贯穿第一端面113和第二端面，即通孔的轴线与密封圈本体110的轴线平行。密封圈本体110上开设有安装孔141，安装孔141用于安装主轴210。本实施例中，安装孔141开设于密封圈本体110的中部。密封圈本体110上还设有安装槽145，安装槽145用于安装垫圈220。安装槽145位于安装孔141的外围，呈环形槽。安装槽145的轴线和安装孔141的轴线为同一轴线。通孔的数量为多个，多个通孔在安装孔141的外围呈环形均匀分布。这样设置，磁铁120不仅能增加密封圈本体110的强度，还能吸附位于安装孔141内的主轴210，防止密封圈本体110松动及变形，有效解决密封圈本体110漏气的问
题。
42.多个通孔均匀分布，使得多个磁铁120在密封圈本体110上均匀分布，有利于提高密封圈本体110的强度以及受力均匀性，增强密封圈本体110的密封性能。
43.结合图3，在一些实施方式中，多个通孔开设在密封圈本体110的外周面111上，即通孔的轴线沿密封圈本体110的径向设置。多个通孔均匀间隔分布，这样也能提高密封圈本体110的强度，防止密封圈100变形和松动，提高密封圈本体110的密封性能，解决漏气问题。并且，这样设置，磁铁120位于通孔内，也能吸附主轴210，结构更加稳定，并且有利于将密封圈本体110周围的静电消散至主轴210上，消除化学气相沉积工艺中静电的影响，提高成膜质量。
44.当然，在其它一些实施方式中，所有通孔中，可以一部分通孔贯穿第一端面113和第二端面，另一部分通孔沿密封圈本体110的径向开设在外周面111上，也能实现上述相似的效果，这里不作具体限定。
45.在一些实施方式中，通孔可以呈多圈结构设置，即从密封圈本体110的中心朝向边缘的方向，呈扩散状设置。其中通孔的排布方式可以根据实际需要灵活设定。结合图4，通孔呈两圈结构分布，内圈包括六个通孔，呈环形分布在安装槽145的靠近密封圈本体110的中心的一侧。外圈包括六个通孔，呈环形分布在安装槽145的远离密封圈本体110的中心的一侧。应当理解，内圈的通孔数量和外圈的通孔数量可以相等，也可以不相等，各圈的通孔的数量可以灵活设定。图4中，通孔的圈数为两圈，也可以是三圈、四圈或更多圈数，这里不作具体限定。通孔的分布方式可以均匀间隔分布，也可以非均匀分布。
46.还需说明的是，密封圈本体110可以采用实心结构，即可以省略安装孔141。若省略安装孔141的结构，密封圈本体110与主轴210采用端面抵接的方式进行装配，如主轴210的端面和第一端面113或第二端面抵接。容易理解，若主轴210和密封圈100采用端面接触的方式进行装配，可以省略垫圈220，这样，密封圈本体110上的安装槽145也可以省略，结构更加简单。
47.本实用新型实施例提供的密封圈100，在密封圈本体110上设置磁铁120，可以极大提高密封圈本体110的强度，防止密封圈本体110变形以及松动，解决漏气的问题。并且，磁铁120可将密封圈本体110周围的静电消散至主轴210上，消除静电影响，有利于提高化学气相沉积的成膜质量。
48.结合图5，本实用新型实施例还提供一种密封装置200，包括主轴210和如前述实施方式中任一项的密封圈100，密封圈100连接于主轴210，主轴210采用磁吸材料。这里的磁吸材料为金属，如铁、钴、镍等。这样，密封圈100内的磁铁120可以吸附主轴210，保持密封圈本体110的稳定性，防止密封圈本体110松动，进一步提升气密性。同时，磁铁120可将密封圈本体110周围的静电消散至主轴210上，消除静电影响，有利于提高化学气相沉积的成膜质量。
49.可选的，密封装置200还包括垫圈220和轴套230，垫圈220设于密封圈100的安装槽145内。垫圈220可进一步提升密封圈本体110的密封性，以及保持密封圈本体110的稳定性。本实施例中，垫圈220可采用磁吸材料，如垫圈220采用铁材料制成，使得磁铁120可同时吸附垫圈220。轴套230套设在主轴210上，对主轴210起到保护作用，也用于连接主轴210和其它零件。当然，在一些实施方式中，垫圈220也可以采用非磁吸材料，也能消散轴套230内的静电。
50.可选的，主轴210和密封圈100有两种装配方式。若密封圈100设有安装孔141，则主轴210穿过安装孔141，使得主轴210贯穿设于密封圈100。若密封圈100没有设置安装孔141，则主轴210连接于密封圈100的端面。
51.本实施例提供的密封装置200，其装配过程如下：
52.密封圈本体110套设于主轴210上，将垫圈220卡入密封圈本体110的凹槽内，再将磁铁120安放于密封圈本体110的通孔内，在主轴210上套设轴套230，完成安装。由于密封圈100长时间工作，容易受到热膨胀张力变形导致泄露，以及密封圈100在主轴210工作时容易存在松动。故本实施例在密封圈本体110上设置磁铁120，通过磁铁120吸附垫圈220以及磁铁120吸附主轴210，提高密封圈本体110的强度，从而防止密封圈100变形以及松动，解决漏气的问题。在密封圈100上放置垫圈220，垫圈220可以进一步提升密封性能。通过磁铁120、垫圈220以及主轴210的设计，可以有效解决轴套230内的静电消散问题，通过磁铁120将密封圈本体110周围的静电消散至主轴210上，从而减小内部静电，避免密封环境内部气体或者药剂等受静电影响，有利于提高化学气相沉积的成膜质量。
53.综上所述，本实用新型实施例提供的密封圈100和密封装置200，具有以下几个方面的有益效果，包括：
54.本实用新型实施例提供的密封圈100，在密封圈本体110内设置磁铁120，可以提升密封圈本体110的强度，从而防止密封圈100变形以及松动，解决漏气的问题，提高密封性能。此外，磁铁120可以消散静电，以消除密封圈100周围的静电影响。
55.本实用新型实施例提供的密封装置200，包括主轴210、垫圈220、轴套230和上述的密封圈100，磁铁120能够吸附主轴210，防止密封圈100变形以及松动，提升密封圈本体110的强度和密封性能。同时，也能将密封圈本体110周围的静电消散至主轴210上，消除静电影响，避免密封环境内部气体或者药剂等受静电影响，有利于提高化学气相沉积的成膜质量。
56.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种密封圈，其特征在于，包括：密封圈本体，所述密封圈本体上设有容置部；磁铁，所述磁铁设于所述容置部内。2.根据权利要求1所述的密封圈，其特征在于，所述容置部为通孔和/或凹槽。3.根据权利要求2所述的密封圈，其特征在于，所述通孔的轴线与所述密封圈本体的轴线方向平行，或者，所述通孔的轴线沿所述密封圈本体的径线方向设置。4.根据权利要求1所述的密封圈，其特征在于，所述密封圈本体上设有多个容置部，多个所述容置部沿所述密封圈本体的环向均匀间隔设置。5.根据权利要求1所述的密封圈，其特征在于，所述密封圈本体包括外周面以及相对设置的第一端面和第二端面，所述外周面位于所述第一端面和所述第二端面之间，且所述外周面分别连接于所述第一端面和所述第二端面；所述第一端面、所述第二端面和所述外周面的至少一者设有所述容置部。6.根据权利要求1所述的密封圈，其特征在于，所述密封圈本体上设有安装槽，所述安装槽用于安装垫圈。7.根据权利要求1至6中任一项所述的密封圈，其特征在于，所述密封圈本体上开设有安装孔，所述安装孔用于安装主轴。8.一种密封装置，其特征在于，包括主轴和如权利要求1至7中任一项所述的密封圈，所述密封圈连接于所述主轴，所述主轴采用磁吸材料。9.根据权利要求8所述的密封装置，其特征在于，还包括垫圈，所述垫圈设于所述密封圈的安装槽内。10.根据权利要求8所述的密封装置，其特征在于，所述主轴贯穿设于所述密封圈，或所述主轴连接与所述密封圈的端面。

技术总结
本公开提供的一种密封圈和密封装置，涉及密封圈技术领域。该密封圈包括密封圈本体和磁铁，密封圈本体上设有容置部；磁铁设于容置部内，可以极大提高密封圈的强度，防止密封圈变形以及松动，解决漏气问题。该密封装置包括密封圈和主轴，磁铁可将密封圈周围的静电消散至主轴上，消除静电影响。消除静电影响。消除静电影响。


技术研发人员：李奎奎 何正鸿 宋祥祎 王承杰
受保护的技术使用者：甬矽电子（宁波）股份有限公司
技术研发日：2023.04.10
技术公布日：2023/7/12