一种存放样品的输送系统的制作方法

1.本发明涉及半导体输送领域，尤其涉及一种存放样品的输送系统。


背景技术：

2.制造半导体的过程有严格的标准，要求晶圆和封装芯片都经过各种测试，以确保它们能够在最极端的环境和危险条件下生存。测试过程的一个阶段是评估芯片是否可以在极低温和极高温下工作。根据特定类型芯片的标准，温度范围可以是-20℃至+40℃，-50℃至+60℃，-65℃至+150℃，或各种温度的组合。有些标准要求这些极端温度的多次重复循环，在非常高的温度和非常低的温度之间交替，多达100次、500次、1000次、5000次，或者直到芯片失效。其他标准可能需要温度的快速变化，有时称为“热冲击”，并将这些冲击施加到封装的芯片上数百或数千次。
3.目前市场上主要使用两种类型的设备设计。在一个版本中，被测试的样品被固定在一个腔室里，分开的热室和冷室通过空气管道连接到这个腔室。该设备通过编程自动打开或关闭不同的阀门，并使用风扇将热或冷空气吹过样品区域，这种方法设计最简单，制造成本最低，但能耗极高，因为每个循环都需要加热和冷却整个腔室。此外，气流不是很均匀，完成所有循环所需的时间很长。第二种方法使用两个保持冷热温度的腔室。一个电梯将样品在两个腔室之间移动，腔室内的空气被吹来改变样品的温度。从最初的角度来看，这似乎更有效，因为每个循环都没有单独的加热和冷却室。然而，电梯结构保留了在每个循环中必须交换的大量热量，升降电梯的方法允许热在室之间泄漏，热室和冷室的靠得很近会导致热在它们之间传递。


技术实现要素：

4.本发明旨在提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种存放样品的输送系统，以解决电梯结构保留了在每个循环中必须交换的大量热量，升降电梯的方法允许热在室之间泄漏，热室和冷室的靠得很近会导致热在它们之间传递问题。
5.为达到上述目的，本发明的技术方案具体是这样实现的：
6.本发明的提供了一种存放样品的输送系统，包括：固定框，所述固定框的顶面与底面均固定安装有承重板，所述承重板的一侧固定安装有储热器，所述固定框的两侧均开设有安装孔，所述安装孔的内壁面合页连接有安装门，所述固定框的内部设置有半导体样本，控温组件，所述控温组件设置在所述固定框的内部，用于对所述半导体样本进行控温。
7.通过采用上述技术方案，通过设置固定框，通过固定框由加热室与中央隔离室、冷却室组成，使半导体样本在进行传输时减少热室和冷室之间的输送系统所携带的热量，从而提高了输送系统的实用性。
8.作为本发明进一步的方案，所述控温组件包括：加热模块，所述加热模块固定安装在所述承重板的底面，所述承重板的底面固定安装有冷却模块，所述固定框的内壁面固定安装有两个隔离板，所述隔离板的一侧开设有限位孔，所述固定框的一侧开设有固定孔，所
述固定孔的内圆壁面固定套设有风扇，所述储热器与风扇相对应。
9.通过采用上述技术方案，通过设置固定孔，通过固定孔可以对风扇进行安装，使输送系统可以通过风扇进行循环散热，在结构下吹空气，并通过单独的热交换器使空气循环，在加热模块加热半导体样本后，输送系统通过储热器内部的单独的热交换器储存热量，在冷却组件冷却半导体样本后，输送系统的热量通过储热器内部单独的热交换器释放热量，从而提高了控温组件的控温效率。
10.作为本发明进一步的方案，所述承重板的顶面设置有两个安装框，所述安装框的内壁面设置有传送带，所述安装框的底面固定安装有顶板，所述顶板的底面固定安装有若干个热交换翅片。
11.通过采用上述技术方案，通过设置顶板，通过顶板可以对热交换翅片进行安装，顶板的材料为石墨烯是一种理想的材料，它具有较高的导热性和较低的密度，热交换翅片的材料为铝，铝具有较低的密度和高的热导率。
12.作为本发明进一步的方案，所述安装框的底面四个拐角处均固定安装有支撑柱，所述支撑柱的底面开设有限位槽，所述限位槽的内壁面两侧均开设有转动槽，所述转动槽的内圆壁面活动套设有车轮。
13.通过采用上述技术方案，通过设置支撑柱，通过支撑柱由不锈钢薄板制成，以提供强度且可以存储少量的热量。
14.作为本发明进一步的方案，所述安装框的一侧固定安装有放置板，所述传送带的顶面设置有放置块，所述放置块的顶面开设有两个放置槽，所述放置槽的内壁面与所述半导体样本的外壁面活动套设。
15.通过采用上述技术方案，通过设置放置槽，通过放置槽可以对半导体样本进行放置，避免了半导体样本在传送带上出现晃动，从而提高了输送系统的输送效率。
16.作为本发明进一步的方案，所述安装框的顶面固定安装有安装块，所述安装块的底面开设有容纳槽，所述容纳槽的内壁面固定安装有红外线扫描器。
17.通过采用上述技术方案，通过设置安装块，通过安装块可以对红外线扫描器进行安装，使红外线扫描器可以对每个样品进行标识和追踪以及与计算机控制系统配合使用的数据库。
18.作为本发明进一步的方案，所述承重板的底面固定安装有固定块，所述固定块的顶面开设有固定槽，所述固定槽的内圆壁面固定套设有驱动电机。
19.通过采用上述技术方案，通过设置固定块，通过固定块可以对驱动电机进行安装，使驱动电机可以带动转动盘及机械手进行旋转，从而方便了对半导体样本进行拿取移动。
20.作为本发明进一步的方案，所述驱动电机旋转轴的一端固定安装有转动盘，所述转动盘的顶面固定安装有机械手。
21.通过采用上述技术方案，通过设置机械手，通过机械手可以将左侧传送带上的半导体样本与右侧传送带上的半导体样本进行来回交换，从而避免了人工的干预，进而节省了大量的劳动力成本。
22.本发明提供了一种存放样品的输送系统，有益效果在于：
23.通过设置控温组件，通过控温组件可以通过固定孔可以对风扇进行安装，使输送系统可以通过风扇进行循环散热，在结构下吹空气，并通过单独的热交换器使空气循环，在
加热模块加热半导体样本后，输送系统通过储热器内部的单独的热交换器储存热量，在冷却组件冷却半导体样本后，输送系统的热量通过储热器内部单独的热交换器释放热量，从而提高了控温组件的控温效率，通过顶板可以对热交换翅片进行安装，顶板的材料为石墨烯是一种理想的材料，它具有较高的导热性和较低的密度，热交换翅片的材料为铝，铝具有较低的密度和高的热导率。
24.通过设置固定框，通过固定框由加热室与中央隔离室、冷却室组成，使半导体样本在进行传输时减少热室和冷室之间的输送系统所携带的热量，从而提高了输送系统的实用性，通过设置支撑柱，通过支撑柱由不锈钢薄板制成，以提供强度且可以存储少量的热量。
25.通过设置放置槽，通过放置槽可以对半导体样本进行放置，避免了半导体样本在传送带上出现晃动，从而提高了输送系统的输送效率，通过设置安装块，通过安装块可以对红外线扫描器进行安装，使红外线扫描器可以对每个样品进行标识和追踪以及与计算机控制系统配合使用的数据库。
26.通过设置固定块，通过固定块可以对驱动电机进行安装，使驱动电机可以带动转动盘及机械手进行旋转，从而方便了对半导体样本进行拿取移动，通过设置机械手，通过机械手可以将左侧传送带上的半导体样本与右侧传送带上的半导体样本进行来回交换，从而避免了人工的干预，进而节省了大量的劳动力成本。
附图说明
27.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。
28.图1为本发明实施例提供的立体结构示意图；
29.图2为本发明实施例提供的拆分结构示意图；
30.图3为本发明实施例提供的放置板结构示意图；
31.图4为本发明实施例提供的安装块结构示意图；
32.图5为本发明实施例提供的固定块结构示意图；
33.图6为图3中a的局部结构放大示意图；
34.图7为本发明实施例提供的系统框示意图。
35.图中：1、固定框；2、承重板；3、储热器；4、安装孔；5、安装门；6、加热模块；7、冷却模块；8、隔离板；9、限位孔；10、固定孔；11、风扇；13、安装框；14、传送带；15、顶板；16、热交换翅片；17、支撑柱；18、限位槽；19、转动槽；20、车轮；21、放置板；22、放置块；23、放置槽；24、半导体样本；25、安装块；26、容纳槽；27、红外线扫描器；28、固定块；29、固定槽；30、驱动电机；31、转动盘；32、机械手。
具体实施方式
36.下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围
完整的传达给本领域的技术人员。
37.参见图1、图2、图3、图4、图5、图6和图7，本发明实施例提供的一种存放样品的输送系统，包括固定框1，所述固定框1的顶面与底面均固定连接有承重板2，承重板2的一侧固定连接有储热器3，固定框1的两侧均开设有安装孔4，安装孔4的内壁面合页连接有安装门5，固定框1的一侧固定安装有plc控制器，plc控制器与储热器3、风扇11、传送带14、红外线扫描器27、驱动电机30、机械手32电性连接，plc控制器与储热器3、风扇11、传送带14、红外线扫描器27、驱动电机30、机械手32为已有结构在此不做赘述，固定框1的内部设置有半导体样本24，半导体样本24为已有结构在此不做赘述，固定框1的内部设置有控温组件，用于对半导体样本24进行控温，通过固定框1由加热室与中央隔离室、冷却室组成，使半导体样本24在进行传输时减少热室和冷室之间的输送系统所携带的热量，从而提高了输送系统的实用性，承重板2的顶面设置有两个安装框13，安装框13的内壁面设置有传送带14，安装框13的底面固定连接有顶板15，顶板15的底面固定连接有若干个热交换翅片16，通过顶板15可以对热交换翅片16进行安装，顶板15的材料为石墨烯是一种理想的材料，它具有较高的导热性和较低的密度，热交换翅片16的材料为铝，铝具有较低的密度和高的热导率。
38.参见图2、图3和图6，安装框13的底面四个拐角处均固定连接有支撑柱17，支撑柱17的底面开设有限位槽18，限位槽18的内壁面两侧均开设有转动槽19，转动槽19的内圆壁面活动套设有车轮20，通过支撑柱17由不锈钢薄板制成，以提供强度且可以存储少量的热量，安装框13的一侧固定连接有放置板21，传送带14的顶面设置有放置块22，放置块22的顶面开设有两个放置槽23，放置槽23的内壁面与半导体样本24的外壁面活动套设，通过放置槽23可以对半导体样本24进行放置，避免了半导体样本24在传送带14上出现晃动，从而提高了输送系统的输送效率。
39.参见图2、图3、图4和图5，安装框13的顶面固定连接有安装块25，安装块25的底面开设有容纳槽26，容纳槽26的内壁面固定连接有红外线扫描器27，通过安装块25可以对红外线扫描器27进行安装，使红外线扫描器27可以对每个样品进行标识和追踪以及与计算机控制系统配合使用的数据库，承重板2的底面固定连接有固定块28，固定块28的顶面开设有固定槽29，固定槽29的内圆壁面固定套设有驱动电机30，通过固定块28可以对驱动电机30进行安装，使驱动电机30可以带动转动盘31及机械手32进行旋转，从而方便了对半导体样本24进行拿取移动。
40.参见图1、图2和图5，驱动电机30旋转轴的一端固定连接有转动盘31，转动盘31的顶面固定连接有机械手32，通过机械手32可以将左侧传送带14上的半导体样本24与右侧传送带14上的半导体样本24进行来回交换，从而避免了人工的干预，进而节省了大量的劳动力成本，控温组件包括加热模块6，加热模块6固定连接在承重板2的底面，承重板2的底面固定连接有冷却模块7，固定框1的内壁面固定连接有两个隔离板8，隔离板8的一侧开设有限位孔9，固定框1的一侧开设有固定孔10，固定孔10的内圆壁面固定套设有风扇11，储热器3与风扇11相对应，通过固定孔10可以对风扇11进行安装，使输送系统可以通过风扇11进行循环散热，在结构下吹空气，并通过单独的热交换器使空气循环，在加热模块6加热半导体样本24后，输送系统通过储热器3内部的单独的热交换器储存热量，在冷却组件冷却半导体样本24后，输送系统的热量通过储热器3内部单独的热交换器释放热量，从而提高了控温组件的控温效率。
41.工作原理：请参见图1-图7所示，在使用时，工作人员可先将半导体样本24放置在放置槽23内，然后将放置块22放置在传送带14顶面，再通过plc控制器启动加热模块6与冷却模块7、风扇11、储热器3，通过固定孔10可以对风扇11进行安装，使输送系统可以通过风扇11进行循环散热，在结构下吹空气，并通过单独的热交换器使空气循环，在加热模块6加热半导体样本24后，输送系统通过储热器3内部的单独的热交换器储存热量，在冷却组件冷却半导体样本24后，输送系统的热量通过储热器3内部单独的热交换器释放热量，从而提高了控温组件的控温效率，通过安装块25可以对红外线扫描器27进行安装，使红外线扫描器27可以对每个样品进行标识和追踪以及与计算机控制系统配合使用的数据库，进而在传送带14的作用下对放置块22进行传输，通过固定块28可以对驱动电机30进行安装，使驱动电机30可以带动转动盘31及机械手32进行旋转，从而方便了对半导体样本24进行拿取移动。
42.当空气在输送系统下面循环并通过热交换器时，它从输送系统中释放热量并将其保存到储热材料中，通过这种方式可以将近50％的热量排出并储存起来，这将显著降低冷室冷却系统的能耗，当样品在冷室中完成测试后，它们再次穿过中央隔离室。风扇11再次在输送系统和热交换器之间循环空气，将储存的部分热量返回到输送系统，这也减少了热室加热系统中消耗的能量。
43.以上仅为本技术的实施例而已，并不用于限制本技术。对于本领域技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的权利要求范围之内。

技术特征：
1.一种存放样品的输送系统，其特征在于，包括：固定框(1)，所述固定框(1)的顶面与底面均固定安装有承重板(2)，所述承重板(2)的一侧固定安装有储热器(3)，所述固定框(1)的两侧均开设有安装孔(4)，所述安装孔(4)的内壁面合页连接有安装门(5)，所述固定框(1)的内部设置有半导体样本(24)；控温组件，所述控温组件设置在所述固定框(1)的内部，用于对所述半导体样本(24)进行控温。2.根据权利要求1所述的一种存放样品的输送系统，其特征在于，所述控温组件包括：加热模块(6)，所述加热模块(6)固定安装在所述承重板(2)的底面，所述承重板(2)的底面固定安装有冷却模块(7)，所述固定框(1)的内壁面固定安装有两个隔离板(8)，所述隔离板(8)的一侧开设有限位孔(9)，所述固定框(1)的一侧开设有固定孔(10)，所述固定孔(10)的内圆壁面固定套设有风扇(11)，所述储热器(3)与风扇(11)相对应。3.根据权利要求2所述的一种存放样品的输送系统，其特征在于，所述承重板(2)的顶面设置有两个安装框(13)，所述安装框(13)的内壁面设置有传送带(14)，所述安装框(13)的底面固定安装有顶板(15)，所述顶板(15)的底面固定安装有若干个热交换翅片(16)。4.根据权利要求3所述的一种存放样品的输送系统，其特征在于，所述安装框(13)的底面四个拐角处均固定安装有支撑柱(17)，所述支撑柱(17)的底面开设有限位槽(18)，所述限位槽(18)的内壁面两侧均开设有转动槽(19)，所述转动槽(19)的内圆壁面活动套设有车轮(20)。5.根据权利要求4所述的一种存放样品的输送系统，其特征在于，所述安装框(13)的一侧固定安装有放置板(21)，所述传送带(14)的顶面设置有放置块(22)，所述放置块(22)的顶面开设有两个放置槽(23)，所述放置槽(23)的内壁面与所述半导体样本(24)的外壁面活动套设。6.根据权利要求5所述的一种存放样品的输送系统，其特征在于，所述安装框(13)的顶面固定安装有安装块(25)，所述安装块(25)的底面开设有容纳槽(26)，所述容纳槽(26)的内壁面固定安装有红外线扫描器(27)。7.根据权利要求1所述的一种存放样品的输送系统，其特征在于，所述承重板(2)的底面固定安装有固定块(28)，所述固定块(28)的顶面开设有固定槽(29)，所述固定槽(29)的内圆壁面固定套设有驱动电机(30)。8.根据权利要求7所述的一种存放样品的输送系统，其特征在于，所述驱动电机(30)旋转轴的一端固定安装有转动盘(31)，所述转动盘(31)的顶面固定安装有机械手(32)。

技术总结
本发明提供了一种存放样品的输送系统，包括：固定框，所述固定框的顶面与底面均固定安装有承重板，所述承重板的一侧固定安装有储热器，所述固定框的两侧均开设有安装孔，所述安装孔的内壁面合页连接有安装门，所述固定框的内部设置有半导体样本；控温组件，所述控温组件设置在所述固定框的内部，用于对所述半导体样本进行控温，通过固定框由加热室与中央隔离室、冷却室组成，使半导体样本在进行传输时减少热室和冷室之间的输送系统所携带的热量，从而提高了输送系统的实用性，通过固定孔可以对风扇进行安装，使输送系统可以通过风扇进行循环散热，在结构下吹空气，并通过单独的热交换器使空气循环。器使空气循环。器使空气循环。


技术研发人员：布览灯
受保护的技术使用者：长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司
技术研发日：2023.05.22
技术公布日：2023/7/12