涂布设备及电气元件制作系统的制作方法

1.本公开涉及电气元件生产设备技术领域，尤其涉及一种涂布设备及电气元件制作系统。


背景技术：

2.涂布设备作为一种能够提供精密的涂布技术的装置，被广泛应用于显示设备或者触摸屏等电气元件的领域中，作为涂装设备进行使用。电气元件在制作过程中，通常会在基板上通过涂布设备涂液态材料后烘干，使液态材料形成膜层，成为电气元件的衬底，以用于后续其他元器件的安装。
3.然而，液体材料在注入涂布设备中或者通过涂布设备进行涂布的过程中不可避免的会混入气体而形成气泡，气泡会随着涂布过程形成在基材表面的膜层中，导致膜层不平整，造成产品缺陷，影响成品率。


技术实现要素：

4.为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本公开提供了一种涂布设备及电气元件制作系统。
5.第一方面，本公开提供了一种涂布设备，其包括载台、模头组件和真空排气组件，所述模头组件包括涂头和密封件，所述涂头相对于所述载台可移动；所述涂头的内部形成有液体容纳腔，所述真空排气组件与所述液体容纳腔连通，所述真空排气组件用于对所述液体容纳腔抽真空；所述涂头上开设有连通于所述液体容纳腔的出液口，所述密封件设置在所述出液口处，并且，所述密封件相对于所述涂头可移动，以使所述密封件密封所述出液口，或者对所述出液口解除密封。
6.可选的，所述真空排气组件包括主排气管路、真空泵、排气阀门和真空测量仪；所述涂头上开设有连通于所述液体容纳腔的排气口，所述主排气管路与所述排气口连通，所述真空泵、所述排气阀门和所述真空测量仪均设置在所述主排气管路上。
7.可选的，所述涂布设备还包括第一预消泡组件，所述第一预消泡组件包括第一罐体和搅拌件，所述第一罐体的内部形成有第一容置腔，所述第一容置腔与所述液体容纳腔连通，所述搅拌件设置在所述第一容置腔内。
8.可选的，所述第一预消泡组件还包括第一排气管路，所述第一排气管路的一端连通于所述第一容置腔，所述第一排气管路的另一端连通于所述真空泵。
9.可选的，所述涂布设备还包括第二预消泡组件，所述第二预消泡组件包括第二罐体和第二排气管路，所述第二罐体的内部形成有第二容置腔，所述第二容置腔与所述液体容纳腔连通；所述第二排气管路的一端连通于所述第二容置腔，所述第二排气管路的另一端连通于所述真空泵。
10.可选的，所述第二罐体上开设有连通于所述第二容置腔的进液口；所述第二预消泡组件还包括喷淋头，所述喷淋头位于所述第二容置腔内，且设置在所述进液口处，所述喷淋头上间隔布设有多个出液孔；和/或，所述第二预消泡组件还包括液体分散件，所述液体分散件位于所述第二容置腔内，且设置在所述进液口的下方。
11.可选的，所述涂布设备还包括第一预消泡组件，所述第一预消泡组件包括第一罐体和搅拌件，所述第一罐体的内部形成有第一容置腔，所述搅拌件设置在所述第一容置腔内；所述第一容置腔与所述第二容置腔连通。
12.可选的，所述密封件包括移动本体和密封圈，所述移动本体的朝向所述出液口的一侧设置有容置槽，所述容置槽的开口与所述出液口的开口边缘相抵接，所述密封圈围设在所述容置槽的开口处，且所述密封圈夹设在所述移动本体与所述涂头之间；所述密封件还包括放气阀，所述移动本体上开设有连通所述容置槽与外界的放气口，所述放气阀设置在所述放气口处。
13.可选的，所述密封件包括移动本体和柔性抵接件，所述移动本体的朝向所述出液口的一侧设置有安装槽，所述柔性抵接件设置在所述安装槽内。
14.第二方面，本公开还提供了一种电气元件制作系统，其包括如上所述的涂布设备。
15.本公开提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：本公开提供的涂布设备及电气元件制作系统，通过在涂头的内部设置用于存放涂布材料的液体容纳腔，并设置密封件在涂头的出液口处，且使密封件相对于涂头可移动，从而能够通过密封件对出液口进行密封，在此基础上，使真空排气组件与液体容纳腔连通，来对液体容纳腔抽真空，从而能够通过真空压强将涂布材料内部的气泡脱出并排出液体容纳腔，实现了在通过涂头进行涂布之前在涂头中就对涂布材料进行了脱泡，因此大大减少了涂布过程中膜层内出现气泡的概率，进一步提升了涂布的效果，保证了成品率。
附图说明
16.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。
17.为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本公开实施例所述的涂布设备的结构示意图；图2为本公开实施例所述的涂布设备的部分结构示意图；图3为本公开实施例所述的另一设置方式的涂布设备的部分结构示意图；图4为本公开实施例所述的设置另一种密封件的涂布设备的结构示意图；图5为本公开实施例所述的涂布设备的涂头的截面示意图；图6为本公开实施例所述的涂布设备的另一种涂头的截面示意图；图7为本公开实施例所述的设置有第一预消泡组件和第二预消泡组件的涂布设备的结构示意图；
图8为本公开实施例所述的涂布设备的第一预消泡组件的结构示意图；图9为本公开实施例所述的涂布设备的第二预消泡组件的结构示意图。
19.其中，1、载台；2、模头组件；21、涂头；210、液体容纳腔；211、出液口；212、涂唇；213、左侧模头；214、右侧模头；215、柔性密封垫片；22、密封件；221、移动本体；222、密封圈；223、柔性抵接件；224、放气阀；3、真空排气组件；31、主排气管路；32、真空泵；33、排气阀门；34、真空测量仪；4、基板；5、注液管路；51、注液阀门；6、液体泵；7、第一预消泡组件；71、第一罐体；72、搅拌件；73、第一排液管路；74、第一排液阀门；75、第一排气管路；76、第一真空阀门；77、第一放气阀门；8、第二预消泡组件；81、第二罐体；82、第二排气管路；83、第二真空阀门；84、第二放气阀门；85、喷淋头；86、液体分散件。
具体实施方式
20.为了能够更清楚地理解本公开的上述目的、特征和优点，下面将对本公开的方案进行进一步描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
21.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本公开，但本公开还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施；显然，说明书中的实施例只是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。
22.涂布设备作为一种能够提供精密的涂布技术的装置，被广泛应用于显示设备或者触摸屏等电气元件的领域中，作为涂装设备进行使用。
23.电气元件在制作过程中，通常是通过在硬性平整的基板上通过涂布设备涂布各种液体材料，然后再经过烘干、硬化等工艺，使液体材料形成膜层，这些膜层可以作为电气元件的衬底，也可以作为元器件的功能层。例如，在制作oled（organic light-emitting diode，指有机发光半导体）显示器的柔性基板时，需要在大气环境下，将pi（polyimide，指聚酰亚胺）的液体反应物通过涂布设备涂布于玻璃基板表面，再将基板送入真空加热室抽真空并加热，使液体反应物生成固体的pi薄膜。
24.然而，由于整个工艺是在大气环境下进行的，所以液体材料在注入涂布设备中或者通过涂布设备进行涂布的过程中不可避免的会混入气体而形成气泡，气泡会随着涂布过程形成在基材表面的膜层中，导致膜层不平整，造成产品缺陷，影响成品率。
25.针对上述缺陷，本实施例提供一种涂布设备及包括其的电气元件制作装置，通过对涂布设备的结构进行改进，在一定程度上大大减少了液体材料内混入气泡的可能性，进一步保证了膜层的平整度，从而提升了成品率。具体地，关于该涂布设备及包括其的电气元件制作装置的结构设置方式见以下实施例内容。
26.如图1-图9所示，本实施例提供一种涂布设备，其包括载台1、模头组件2和真空排气组件3，模头组件2包括涂头21和密封件22，涂头21相对于载台1可移动。
27.其中，涂头21的内部形成有液体容纳腔210，真空排气组件3与液体容纳腔210连通，真空排气组件3用于对液体容纳腔210抽真空，涂头21上开设有连通于液体容纳腔210的出液口211，密封件22设置在出液口211处，并且，密封件22相对于涂头21可移动，以使密封件22密封出液口211，或者对出液口211解除密封。
28.载台1用于摆放需要进行涂布的基板4，载台1的顶面形成有平整且沿水平方向延
伸的放置面，基板4置于放置面上。涂头21相对于载台1可移动，具体为涂头21上的出液口211朝向载台1的放置面，且沿着放置面的延伸方向移动，从而实现对放置在放置面上的基板4表面进行涂布。
29.涂头21的液体容纳腔210内用于存放涂布材料，以方便通过涂头21将涂布材料涂布在基板4上。涂头21上还开设有连通液体容纳腔210和外部的注液口，注液口用于向液体容纳腔210内注入呈液态的涂布材料。示例性的，注液口可与涂布材料出料系统、用于输送的注射泵以及过滤装置连通，以实现向液体容纳腔210中不断供入涂布材料。
30.密封件22相对于涂头21可移动，具体可以为朝向涂头21的出液口211的方向移动，或者朝向远离涂头21的出液口211的方向移动，从而实现在朝向涂头21的方向移动后能够堵住并密封出液口211，以实现对液体容纳腔210的密封。具体实现时，密封件22相对于涂头21可移动，可以为涂头21位置固定，密封件22移动，也可以为密封件22位置固定，涂头21可移动，本实施例中采用使涂头21进行移动，以实现密封件22和涂头21两者之间可相对移动的效果。
31.同样地，密封件22在朝向远离涂头21的方向移动后，能够重新打开出液口211，从而使液体容纳腔210中的涂布材料能够从出液口211处流出，以实现对基板4的涂布。
32.其中，由于涂头21通常设置在载台1的上方，以方便进行涂布，因此密封件22可设置在载台1的一侧，使涂头21向下移动后能够与密封件22抵接，以实现对涂头21的出液口211的密封。
33.具体实现时，首先向下移动涂头21，使密封件22对涂头21的出液口211进行密封，然后通过真空排气组件3对液体容纳腔210抽真空，使液体容纳腔210内达到预设真空环境，然后打开注液口，向液体容纳腔210内注入涂布材料。当呈液态的涂布材料进入液体容纳腔210中后，由于真空环境的作用，液体内的气泡能够全部脱出，并可进一步通过真空排气组件3抽出，从而实现了将涂布材料中的气泡进行脱出。
34.当需要使用涂头21进行涂布时，使密封件22朝向远离涂头21的方向移动，以使密封件22对出液口211解除密封，然后涂头21即可进一步朝向基板4的表面移动，以对基板4表面进行涂布操作。
35.本实施例提供的涂布设备，通过在涂头21的内部设置用于存放涂布材料的液体容纳腔210，并设置密封件22在涂头21的出液口211处，且使密封件22相对于涂头21可移动，从而能够通过密封件22对出液口211进行密封，在此基础上，使真空排气组件3与液体容纳腔210连通，来对液体容纳腔210抽真空，从而能够通过真空压强将涂布材料内部的气泡脱出并排出液体容纳腔210，实现了在通过涂头21进行涂布之前在涂头21中就对涂布材料进行了脱泡，因此大大减少了涂布完成后膜层内出现气泡的概率，进一步提升了涂布的效果，保证了成品率。
36.根据上述的涂布设备，本实施例还提供一种电气元件制作系统，其包括上述的涂布设备。电气元件制作系统例如可以制作oled显示器的电路板，也可以制作显示器的散热基板等。该电气元件制作系统除了包括上述的涂布设备外，还进一步包括例如输送机构、烘干箱、芯片安装机构等其他设备，以形成完整的制作系统。
37.参照图1所示，在一些实施例中，涂头21的底部设置有自涂头21的底面向下突出延伸的涂唇212，涂唇212朝向密封件22设置，并且涂头21上的出液口211形成在涂唇212的底
部。涂唇212的内部形成有出液通道，出液通道连通于液体容纳腔210，以使涂布材料通过出液通道由涂唇212下方的出液口211流出。示例性的，液体容纳腔210沿竖直方向的横截面可呈倒置的水滴形，以方便与涂唇212上的出液通道平滑相接，同时也能够容纳尽可能多的涂布材料，当然，在其他实施例中，液体容纳腔210的横截面也可呈其他形状。
38.进一步地，参照图5和图6所示，涂头21包括左侧模头213和右侧模头214，左侧模头213上形成有左侧容纳槽，右侧模头214的对应左侧容纳槽的位置处形成有右侧容纳槽，左侧模头213和右侧模头214相互连接，并且左侧容纳槽和右侧容纳槽共同拼合形成液体容纳腔210。
39.为了达到较好的密封效果，左侧模头213和右侧模头214之间可夹设有柔性密封垫片215，以使柔性密封垫片215对左侧模头213和右侧模头214之间的空隙进行进一步密封。
40.此外，左侧模头213和右侧模头214之间也可采用法兰连接的方式，例如在左侧模头213和右侧模头214的相对应的周向边缘处开设连接孔，通过紧固件穿设在两者上的连接孔中，以实现对左侧模头213和右侧模头214进行紧固，且进一步保证了固定效果。其中，柔性密封垫片215可以覆盖法兰结构的边缘处，例如图5所示，也可以仅覆盖到法兰结构的内侧，例如图6所示。
41.参照图1-图3所示，在一些实施例中，可使密封件22包括移动本体221和柔性抵接件223，移动本体221的朝向涂头21的出液口211的一侧设置有安装槽，柔性抵接件223设置在安装槽内。这样设置，能够在涂头21的涂唇212相对于柔性抵接件223移动，并在与柔性抵接件223抵接后使柔性抵接件223发生一定程度的变形，柔性抵接件223则能够实现对出液口211的密封。并且，柔性抵接件223能够使涂头21与密封件22之间的抵接为柔性抵接，从而进一步避免对涂头21的涂唇212造成损坏。
42.其中，柔性抵接件223可至安装槽的槽口处部分突出，以实现对涂唇212较好的密封效果，并且，柔性抵接件223可采用直接放置在安装槽内的方式，以便于后续需要更换柔性抵接件223时操作人员直接将其拿出替换即可。此外，柔性抵接件223的材质可使用橡胶或者硅胶材质，以提供较好的密封效果以及柔性抵接的效果。
43.参照图4所示，在其他实施例中，密封件22还可设置为包括移动本体221和密封圈222，移动本体221的朝向出液口的一侧设置有容置槽，容置槽的开口与出液口的开口边缘相抵接，密封圈222围设在容置槽的开口处，且密封圈222夹设在移动本体221与涂头21之间。这样设置，能够使涂头21在朝向密封件22移动的过程中通过移动本体221上的容置槽为涂唇212提供容置空间，进一步地，通过密封圈222将整个容置空间进行密封，从而实现了对涂头21内部的密封，保证了涂唇212在使用过程中的安全性，避免对涂唇212施力过大而损伤到结构本体。
44.在一种可实现的方式中，密封件22还包括有放气阀224，移动本体221上开设有连通容置槽与外界的放气口，放气阀224设置在放气口处。放气阀224的设置，能够在对涂头21内部抽真空并注入液体后向密封件22的容置槽内部加压，从而方便将密封件22从涂头21上脱下。
45.在一些实施例中，该涂布设备还包括控制系统，控制系统用于操作涂头21进行移动，并且还能够通过控制系统操作真空排气组件3对液体容纳腔210进行抽真空操作，从而进一步提升该涂布设备的自动化程度。
46.在一些实施例中，真空排气组件3具体包括主排气管路31、真空泵32、排气阀门33和真空测量仪34。其中，涂头21上开设有连通于液体容纳腔210的排气口，主排气管路31与排气口连通，真空泵32、排气阀门33和真空测量仪34均设置在主排气管路31上。
47.其中，真空泵32用于实现对液体容纳腔210的抽真空，真空泵32与涂头21之间通过主排气管路31连通，以方便将真空泵32设置在涂头21的附近，且与涂头21实现连通。排气阀门33可设置在真空泵32的下游，以在通过真空泵32对液体容纳腔210抽真空完成后将液体容纳腔210进行封闭，同时还能够使真空泵32无需持续处于在负压环境下，进一步保证了真空泵32的使用寿命。
48.在主排气管路31上设置真空测量仪34，以在抽真空内的过程中检测主排气管路31内，同样也为液体容纳腔210内的负压大小，并在达到需要的预设真空值后控制真空泵32停止运行，或者还可在涂布设备的使用过程中实时监测液体容纳腔210内的负压大小，保证使用过程的正常进行。
49.参照图3所示，在其他实施例中，也可不在涂头21上开设排气口。示例性的，涂头21上的注液口处设置有注液管路5，使真空排气组件3与注液管路5连通，从而通过注液管路5实现对液体容纳腔210的抽真空，以进一步简化结构。
50.进一步地，可在注液管路5上设置有注液阀门51，并使注液阀门51位于真空排气组件3的上游，从而能够在对通过真空排气组件3对液体容纳腔210抽真空之间对注液管路5进行封闭，以避免将液体抽至真空排气组件3内部，影响其正常工作。此外，还可在注液管路5上设置液体泵6，以起到挤压涂布材料进入液体容纳腔210内，以及起到使涂布材料内的气体聚集，从而预先挤压出涂布材料内的气泡的效果。
51.参照图7和图8所示，在一些实施例中，涂布设备还包括第一预消泡组件7，第一预消泡组件7包括第一罐体71和搅拌件72，第一罐体71的内部形成有第一容置腔，第一容置腔与液体容纳腔210连通，搅拌件72设置在第一容置腔内。通过设置第一预消泡组件7，能够实现在通过真空排气组件3和液体容纳腔210实现对涂布材料的消泡效果之前，预先通过第一预消泡组件7实现对涂布材料的预消泡，具体为通过搅拌件72对第一容置腔中的涂布材料进行搅拌，以进一步提升涂布设备的消泡效果。
52.在一种可实现的方式中，搅拌件72可以为搅拌桨，搅拌桨进一步设置在第一罐体71的液位线以下，以保证对液体材料起到足够的搅拌效果。搅拌桨可通过驱动电机驱动，以保证能够持续性地对涂布材料进行搅拌，其中，驱动电机可与涂布设备的控制系统连接，以方便操作人员对驱动电机进行控制，以实现搅拌的启停。
53.在一些实施例中，第一预消泡组件7还包括第一排气管路75，第一排气管路75的一端连通于第一容置腔，第一排气管路75的另一端连通于真空泵32。这样设置，能够通过真空排气组件3也实现对第一罐体71的抽真空，从而使涂布材料在第一罐体71内部也能够实现通过抽真空的方式进行一定程度的消泡。
54.其中，第一容置腔相对于外界密封，从而保证在将涂布材料注入第一容置腔后不会混入过多气泡。同时，第一罐体71上开设有连通于涂头21的液体容纳腔210的第一排液口，第一排液口与涂头21的注液口之间可通过第一排液管路73连通。第一排液管路73上可设置第一排液阀门74，从而能够在对通过真空排气组件3对液体容纳腔210抽真空之间对第一排液管路73进行封闭，以避免将液体抽至真空排气组件3内部。此外，还可在第一排液管
路73上设置液体泵6，以起到挤压涂布材料进入液体容纳腔210内，以及起到使涂布材料内的气体聚集，从而预先挤压出涂布材料内的气泡的效果。
55.在一种可实现的方式中，第一排气管路75上还可进一步设置第一真空阀门76，第一真空阀门76的设置能够对第一容置腔和真空泵32之间进行阻隔，以在不需要使用第一预消泡组件7时关闭真空排气组件3对第一罐体71的抽真空作用。此外，在第一排气管路75上还可进一步设置第一放气支路，并在第一放气支路上设置第一放气阀门77，以便于将从第一容置腔中抽出的气体排出。
56.参照图7和图9所示，在一些实施例中，涂布设备还包括第二预消泡组件8，第二预消泡组件8包括第二罐体81和第二排气管路82，第二罐体81的内部形成有第二容置腔，第二容置腔与液体容纳腔210连通，第二排气管路82的一端连通于第二容置腔，第二排气管路82的另一端连通于真空泵32。
57.通过设置第二预消泡组件8，能够实现在通过真空排气组件3和液体容纳腔210实现对涂布材料的消泡效果之前，预先通过第二预消泡组件8实现对涂布材料的预消泡，具体为通过真空排气组件3对第二罐体81进行抽真空，以进一步提升涂布设备的消泡效果。
58.在一种可实现的方式中，第二排气管路82上还可进一步设置第二真空阀门83，第二真空阀门83的设置能够对第二容置腔和真空泵32之间进行阻隔，以在不需要使用第二预消泡组件8时关闭真空排气组件3对第二罐体81的抽真空作用。此外，在第二排气管路82上还可进一步设置第二放气支路，并在第二放气支路上设置第二放气阀门84，以便于将从第二容置腔中抽出的气体排出。
59.参照图9所示，在一些实施例中，第二罐体81上开设有连通于第二容置腔的进液口，第二预消泡组件8还包括喷淋头85，喷淋头85位于第二容置腔内，且设置在进液口处，喷淋头85上间隔布设有多个出液孔。喷淋头85的设置，能够使涂布材料在进入第二容置腔后进一步增大与真空环境的接触面积，从而使涂布材料内的气泡更容易脱出。
60.在一些实施例中，第二预消泡组件8还包括液体分散件86，液体分散件86位于第二容置腔内，且设置在进液口的下方。液体分散件86的设置能够起到对涂布材料的分散作用，使其与第二容置腔内的真空环境的接触面积进一步增大，同样起到使涂布材料内的气泡更容易脱出的效果。
61.在本实施例中，采用在第二容置腔内同时设置有喷淋头85和液体分散件86，以使涂布材料更好的与真空环境进行接触，使气体更好地脱出。其中，喷淋头85可朝向液体分散板设置，从而使喷洒出来的涂布材料进一步通过液体分散板实现分散作用，示例性的，液体分散板可设置为呈圆锥形扩展的板型，以在起到分散涂布材料的同时，进一步保证液体的分散均匀性。
62.此外，在本实施例中，可采用使第一预消泡组件7和第二预消泡组件8串联的方式，以实现消泡效果的叠加，使消泡效果更加显著。具体地，可使第一容置腔与第二容置腔连通，即，第一容置腔的第一排液管路73与第二罐体81的进液口连通，第二容置腔上的出液口进一步与涂头21内部的液体容纳腔210连通，具体为与涂头21上的注液口连通。
63.当一预消泡组件和第二预消泡组件8串联设置时，真空排气组件3则可与第一容置腔和第二容置腔均实现连通，在此基础上，则可以通过真空泵32实现对三个腔室的同时抽真空，从而进一步节省操作时间，提升消泡效果。
64.需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
65.以上所述仅是本公开的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本公开。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本公开的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本公开将不会被限制于本文所述的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

技术特征：
1.一种涂布设备，其特征在于，包括载台（1）、模头组件（2）和真空排气组件（3），所述模头组件（2）包括涂头（21）和密封件（22），所述涂头（21）相对于所述载台（1）可移动；所述涂头（21）的内部形成有液体容纳腔（210），所述真空排气组件（3）与所述液体容纳腔（210）连通，所述真空排气组件（3）用于对所述液体容纳腔（210）抽真空；所述涂头（21）上开设有连通于所述液体容纳腔（210）的出液口（211），所述密封件（22）设置在所述出液口（211）处，并且，所述密封件（22）相对于所述涂头（21）可移动，以使所述密封件（22）密封所述出液口（211），或者对所述出液口（211）解除密封。2.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述真空排气组件（3）包括主排气管路（31）、真空泵（32）、排气阀门（33）和真空测量仪（34）；所述涂头（21）上开设有连通于所述液体容纳腔（210）的排气口，所述主排气管路（31）与所述排气口连通，所述真空泵（32）、所述排气阀门（33）和所述真空测量仪（34）均设置在所述主排气管路（31）上。3.根据权利要求2所述的涂布设备，其特征在于，所述涂布设备还包括第一预消泡组件（7），所述第一预消泡组件（7）包括第一罐体（71）和搅拌件（72），所述第一罐体（71）的内部形成有第一容置腔，所述第一容置腔与所述液体容纳腔（210）连通，所述搅拌件（72）设置在所述第一容置腔内。4.根据权利要求3所述的涂布设备，其特征在于，所述第一预消泡组件（7）还包括第一排气管路（75），所述第一排气管路（75）的一端连通于所述第一容置腔，所述第一排气管路（75）的另一端连通于所述真空泵（32）。5.根据权利要求2所述的涂布设备，其特征在于，所述涂布设备还包括第二预消泡组件（8），所述第二预消泡组件（8）包括第二罐体（81）和第二排气管路（82），所述第二罐体（81）的内部形成有第二容置腔，所述第二容置腔与所述液体容纳腔（210）连通；所述第二排气管路（82）的一端连通于所述第二容置腔，所述第二排气管路（82）的另一端连通于所述真空泵（32）。6.根据权利要求5所述的涂布设备，其特征在于，所述第二罐体（81）上开设有连通于所述第二容置腔的进液口；所述第二预消泡组件（8）还包括喷淋头（85），所述喷淋头（85）位于所述第二容置腔内，且设置在所述进液口处，所述喷淋头（85）上间隔布设有多个出液孔；和/或，所述第二预消泡组件（8）还包括液体分散件（86），所述液体分散件（86）位于所述第二容置腔内，且设置在所述进液口的下方。7.根据权利要求5所述的涂布设备，其特征在于，所述涂布设备还包括第一预消泡组件（7），所述第一预消泡组件（7）包括第一罐体（71）和搅拌件（72），所述第一罐体（71）的内部形成有第一容置腔，所述第一容置腔与所述液体容纳腔（210）连通，所述搅拌件（72）设置在所述第一容置腔内；所述第一容置腔与所述第二容置腔连通。8.根据权利要求1-7中任一项所述的涂布设备，其特征在于，所述密封件（22）包括移动本体（221）和密封圈（222），所述移动本体（221）的朝向所述出液口（211）的一侧设置有容置槽，所述容置槽的开口与所述出液口（211）的开口边缘相抵接，所述密封圈（222）围设在所述容置槽的开口处，且所述密封圈（222）夹设在所述移动本体（221）与所述涂头（21）之间；
所述密封件（22）还包括放气阀（224），所述移动本体（221）上开设有连通所述容置槽与外界的放气口，所述放气阀（224）设置在所述放气口处。9.根据权利要求1-7中任一项所述的涂布设备，其特征在于，所述密封件（22）包括移动本体（221）和柔性抵接件（223），所述移动本体（221）的朝向所述出液口（211）的一侧设置有安装槽，所述柔性抵接件（223）设置在所述安装槽内。10.一种电气元件制作系统，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的涂布设备。

技术总结
本公开涉及电气元件生产设备技术领域，尤其涉及一种涂布设备及包括其的电气元件制作系统，涂布设备包括载台、模头组件和真空排气组件，模头组件包括涂头和密封件，涂头相对于载台可移动；涂头内形成有液体容纳腔，真空排气组件与液体容纳腔连通，用于对液体容纳腔抽真空；涂头上开设有连通液体容纳腔的出液口，密封件设置在出液口处，且相对于涂头可移动，以使密封件密封出液口，或者对出液口解除密封，从而能够通过真空压强将涂布材料内部的气泡脱出并排出液体容纳腔，实现了在通过涂头进行涂布之前在涂头中就对涂布材料进行了脱泡，因此大大减少了涂布过程中膜层内出现气泡的概率，进一步提升了涂布的效果，保证了成品率。保证了成品率。保证了成品率。


技术研发人员：杨一新 郭汝海 胡俊 蔡炜 徐成 刘启鑫 郑念竹 赵绪尧 张朝志 赵宏春 何昊名 王铂
受保护的技术使用者：季华实验室
技术研发日：2023.06.09
技术公布日：2023/7/12