解离钝化系统的制作方法

1.本技术实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种解离钝化系统。


背景技术：

2.高功率半导体激光器芯片及阵列产品(bar条)主要用于光纤激光器及固体激光器的前端泵浦光源，广泛用于精密加工、激光焊接、激光熔覆、激光雷达、探测传感等多种领域，具有广阔的应用前景，同时由于技术附加值高，市场需求逐年大幅提升，因此市场潜力极大。
3.长期稳定性及使用寿命作为高功率半导体激光器芯片的关键性能之一，目前技术中在高功率半导体激光器芯片及阵列产品(bar条)处理过程中有过多的人工干预，导致产品质量统一性差，导致高功率半导体激光器芯片及阵列产品(bar条)的加工效率低。


技术实现要素：

4.本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
5.有鉴于此，根据本技术实施例提出了一种解离钝化系统，包括：
6.解离腔室；
7.解离组件，设置在所述解离腔室内，所述解离组件包括：第一夹刀、驱动件、第二夹刀、劈刀和工作台；
8.其中，所述第一夹刀包括移动部和夹持部，所述移动部可移动地设置在所述工作台上，所述夹持部可转动地连接于所述移动部，所述夹持部用于夹持待解离样品；
9.其中，所述驱动件连接于所述移动部，用于驱动所述移动部在所述工作台上移动；
10.其中，所述第二夹刀连接于所述工作台，与所述第一夹刀间隔设置；
11.其中，所述劈刀设置在所述第二夹刀背离于所述第一夹刀的一侧，所述劈刀用于解离所述待解离样品。
12.在一种可行的实施方式中，所述解离组件还包括：自动收集模块，所述自动模块包括：
13.调节块，所述调节块可移动地设置在所述工作台上，位于所述劈刀背离于所述第一夹刀的一侧；
14.第一伺服电机，连接于所述调节块，用于驱动所述调节块靠近或远离于所述第二夹刀；
15.压力传感器，设置在所述调节块上，位于所述调节块朝向于所述第二夹刀的一侧；
16.处理器，所述处理器用于在所述压力传感器的检测结果在一个预设周期内波动范围超过第一阈值时控制所述第一伺服电机停机。
17.在一种可行的实施方式中，自动收集模块还包括：
18.锁止件，连接于所述调节块，用于将所述调节块锁止在所述工作台上。
19.在一种可行的实施方式中，所述解离组件还包括：
20.第一夹具，所述第一夹具的一端连接于所述解离腔室的内壁，所述第一夹具用于夹持位于所述调节块和所述第二夹刀之间的完成解离的样品。
21.在一种可行的实施方式中，解离钝化系统还包括：
22.沉积腔室；
23.第一传输模块，所述第一传输模块的一端设置在所述沉积腔室内，另一端设置在所述解离腔室内；
24.翻转单元，设置在所述沉积腔室内，用于将完成解离的样品翻转；
25.沉积单元，设置在所述沉积腔室内，用于对完成解离的所述样品镀膜。
26.在一种可行的实施方式中，解离钝化系统还包括：
27.进样腔室；
28.第二传输模块，所述第二传输模块的移动位于所述进样腔室内，另一端位于所述解离腔室内；
29.出样腔室；
30.第三传输模块，所述第三传输模块一端位于所述沉积腔室内，另一端位于所述出样腔室内。
31.在一种可行的实施方式中，解离钝化系统还包括：
32.样品供给单元，所述样品供给单元包括：
33.第一烘烤架，设置在所述进样腔室内，所述第一烘烤架上形成有多层设置的第一置物空间，所述第一置物空间内用于容纳所述待解离样品；
34.第二伺服电机和第一丝杠，所述第二伺服电机的输出端连接于所述第一丝杠，所述第一丝杠的一端连接于所述第一烘烤架，用于带动所述第一烘烤架上的第一置物空间与所述第二传输模块处于同一水平位置；
35.第三伺服电机、第二丝杠和第一丝杠螺母结构，所述第一丝杠螺母结构设置在每个所述第一置物空间内，所述第二丝杠的一端连接于所述第三伺服单元，所述第二丝杠的另一端用于连接于所述第一丝杠螺母结构，以驱动所述第一丝杠螺母结构转动，带动所述第一置物空间内的待解离样品输送到所述第二传输模块上。
36.在一种可行的实施方式中，解离钝化系统还包括：
37.样品收集单元，所述样品收集单元包括：
38.第二烘烤架，设置在所述出样腔室内，所述第二烘烤架上形成有多层设置的第二置物空间，所述第二置物空间内用于容纳完成待解离的所述样品；
39.第四伺服电机和第三丝杠，所述第四伺服电机的输出端连接于所述第三丝杠，所述第三丝杠的一端连接于所述第二烘烤架，用于带动所述第二烘烤架上的第二置物空间与所述第三传输模块处于同一水平位置；
40.第五伺服电机、第四丝杠和第二丝杠螺母结构，所述第二丝杠螺母结构设置在每个所述第二置物空间内，所述第四丝杠的一端连接于所述第五伺服单元，所述第四丝杠的另一端用于连接于所述第二丝杠螺母结构，以驱动所述第二丝杠螺母结构转动，带动所述第三传输模块上的完成解离的所述样品输送到所述第二置物空间内。
41.在一种可行的实施方式中，解离钝化系统还包括：
42.基片存储腔室，设置在所述进样腔室和所述解离腔室之间，所述第二传输模块穿
过所述基片存储腔室。
43.在一种可行的实施方式中，所述翻转单元包括：
44.转动盘，所述转动盘可转动地连接于沉积腔室，所述转动盘上形成有多个镂空区域
45.翻转部，铰接于所述转动盘，位于所述镂空区域内，所述翻转部上形成有搭接杆；
46.限位杆，连接于所述沉积腔室，在所述搭接杆搭接在所述限位杆上的情况下，所述翻转部翻转。
47.相比现有技术，本发明至少包括以下有益效果：本技术实施例提供的解离钝化系统包括了解离腔室和设置在解离腔室内的解离组件，解离组件包括了第一夹刀、驱动件、第二夹刀、劈刀和工作台，在使用过程中，将需要解离的样品(如巴条)设置在解离腔室内，第一夹刀的夹持部即可夹持抓取待解离的样品，而后第一夹刀的移动部转动，使得被夹持的待解离样品转动到第二夹刀和劈刀的上方，劈刀下移即可对待解离样品进行解离，在劈刀完成一次解离动作之后，驱动件可以驱动第一夹刀的移动部在工作台上移动，第一夹刀即可带动待解离样品向靠近于劈刀的一侧移动，劈刀可以再次执行解离动作，如此循环即可对待解离的样品进行解离。本技术实施例通过第一夹刀、驱动件、第二夹刀、劈刀和工作台的设置，只需要控制驱动件的驱动行程和劈刀的工作节拍即可实现自动化解离，整个待解离样品的解离过程中无人工干预，能够保证样品解离的精度，保证了产品的一致性，同时能够避免外部污染源与样品产生接触，进一步地提高了产品的质量。
附图说明
48.通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本技术的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：
49.图1为本技术提供的一种实施例的解离钝化系统的示意性结构图；
50.图2为本技术提供的一种实施例的解离钝化系统的解离组件的示意性结构图；
51.图3为本技术提供的一种实施例的解离钝化系统的样品供给单元的示意性结构图；
52.图4为本技术提供的一种实施例的解离钝化系统的第一传输模块的示意性结构图；
53.图5为本技术提供的一种实施例的解离钝化系统的翻转单元的示意性结构图。
54.其中，图1至图5中附图标记与部件名称之间的对应关系为：
55.110解离腔室、120解离组件、130自动收集模块、140沉积腔室、150第一传输模块、160翻转单元、170沉积单元、180进样腔室、190第二传输模块、200出样腔室、210第三传输模块、220样品供给单元、230基片存储腔室；
56.121第一夹刀、122第二夹刀、123劈刀、124工作台、131调节块、132锁止件、161转动盘、162翻转部、163搭接杆、221第一烘烤架、222第一置物空间、223第二丝杠、151驱动带、152支撑件、1211移动部、1212夹持部。
具体实施方式
57.为了更好的理解上述技术方案，下面通过附图以及具体实施例对本技术实施例的技术方案做详细的说明，应当理解本技术实施例以及实施例中的具体特征是对本技术实施例技术方案的详细的说明，而不是对本技术技术方案的限定，在不冲突的情况下，本技术实施例以及实施例中的技术特征可以相互组合。
58.如图1至图5所示，根据本技术实施例提出了一种解离钝化系统，包括：解离腔室110；解离组件120，设置在解离腔室110内，解离组件120包括：第一夹刀121、驱动件、第二夹刀122、劈刀123和工作台124；其中，第一夹刀121包括移动部和夹持部，移动部可移动地设置在工作台124上，夹持部可转动地连接于移动部，夹持部用于夹持待解离样品；其中，驱动件连接于移动部，用于驱动移动部在工作台124上移动；其中，第二夹刀122连接于工作台124，与第一夹刀121间隔设置；其中，劈刀123设置在第二夹刀122背离于第一夹刀121的一侧，劈刀123用于解离待解离样品。
59.如图1和图2所示，本技术实施例提供的解离钝化系统包括了解离腔室110和设置在解离腔室110内的解离组件120，解离组件120包括了第一夹刀121、驱动件、第二夹刀122、劈刀123和工作台124，在使用过程中，将需要解离的样品(如巴条)设置在解离腔室110内，第一夹刀121的夹持部即可夹持抓取待解离的样品，而后第一夹刀121的移动部转动，使得被夹持的待解离样品转动到第二夹刀122和劈刀123的上方，劈刀123下移即可对待解离样品进行解离，在劈刀123完成一次解离动作之后，驱动件可以驱动第一夹刀121的移动部在工作台124上移动，第一夹刀121即可带动待解离样品向靠近于劈刀123的一侧移动，劈刀123可以再次执行解离动作，如此循环即可对待解离的样品进行解离。本技术实施例通过第一夹刀121、驱动件、第二夹刀122、劈刀123和工作台124的设置，只需要控制驱动件的驱动行程和劈刀123的工作节拍即可实现自动化解离，整个待解离样品的解离过程中无人工干预，能够保证样品解离的精度，保证了产品的一致性，同时能够避免外部污染源与样品产生接触，进一步地提高了产品的质量。
60.可以理解的是，在劈刀123执行解离动作时，通过第二夹刀122的设置可以对待解离的样品起到支撑作用，能够使解离效果更佳。
61.可以理解的是，解离钝化系统还包括抽真空模块，抽真空模块连接于解离腔室110，以使待解离样品能够在真空条件下进行解离，能够避免样品被污染。
62.如图2所示，在一些示例中，解离钝化系统解离组件120还包括：自动收集模块130，自动模块包括：调节块131，调节块131可移动地设置在工作台124上，位于劈刀123背离于第一夹刀121的一侧；第一伺服电机，连接于调节块131，用于驱动调节块131靠近或远离于第二夹刀122；压力传感器，设置在调节块131上，位于调节块131朝向于第二夹刀122的一侧；处理器，处理器用于在压力传感器的检测结果在一个预设周期内波动范围超过第一阈值时控制第一伺服电机停机。
63.解离钝化系统解离组件120还包括：自动收集模块130，而自动收集模块130包括了调节块131、第一伺服电机、压力传感器和处理器，在劈刀123多次执行解离动作时，待解离样品被解离，完成解离的产品会在重力作用下掉落到调节块131和第二夹刀122之间的间隙内，通过第一伺服电机可以驱动调节块131向多个完成解离的样品移动，随着调节块131推动多个样品位移，多个样品在调节块131的推动下摆放方式会趋近于统一，而在调节块131
移动的过程中，如若存在多种摆放方式，那么调节块131将会受到比较复杂的反作用力，而当所有的样品摆放方式统一时，所有的样品对调节块131施压的反作用力将会是一致的，因此在多个样品经由摆放方式杂乱过度到摆放方式统一时，压力传感器的检测结果将会出现显著的波动，因此当压力传感器的检测结果识别到波动时，就可以认为所有完成解离的样品已经摆放统一，这种情况下可以控制第一伺服电机停机。
64.如图2所示，在一些示例中，自动收集模块130还包括：锁止件132，连接于调节块131，用于将调节块131锁止在工作台124上。
65.自动收集模块130还包括了锁止件132，在完成解离的样品摆放方式统一之后，可以通过锁止件132锁止调节块131，防止调节块131继续移动的同时可以对多个完成统一摆放的样品进行固定，便于完成解离的样品的取出。
66.在一些示例中，解离组件120还包括：第一夹具，第一夹具的一端连接于解离腔室110的内壁，第一夹具用于夹持位于调节块131和第二夹刀122之间的完成解离的样品。
67.解离组件120还包括了第一夹具，通过第一夹具的设置可以对完成解离的样品进行统一的抓取，便于完成解离的样品的取出，进一步减少了人工干预。
68.如图1所示，在一些示例中，解离钝化系统还包括：沉积腔室140；第一传输模块150，第一传输模块150的一端设置在沉积腔室140内，另一端设置在解离腔室110内；翻转单元160，设置在沉积腔室140内，用于将完成解离的样品翻转；沉积单元170，设置在沉积腔室140内，用于对完成解离的样品镀膜。
69.解离钝化系统还包括沉积腔室140、第一传输模块150和翻转单元160，通过第一传输模块150的设置，第一夹具可以抓取完成解离的样品至第一传输模块150上，第一传输模块150可以将完成解离的样品输送到沉积腔室140内，沉积腔室140内的沉积单元170可以对完成解离的样品进行镀膜钝化，通过翻转单元160的设置可以对完成解离的样品进行翻转，能够使镀膜沉积在预期的面上，能够实现样品的自动化解离和镀膜，能够更进一步地减少人工的干预，提高产品质量。
70.如图5所示，在一些示例中，所述翻转单元包括：转动盘161，所述转动盘161可转动地连接于沉积腔室，所述转动盘161上形成有多个镂空区域翻转部162，铰接于所述转动盘161，位于所述镂空区域内，所述翻转部162上形成有搭接杆163；限位杆，连接于所述沉积腔室，在所述搭接杆163搭接在所述限位杆上的情况下，所述翻转部162翻转。
71.在使用过程中，可以将用于盛放样品的支撑件设置在翻转部162上，通过转动盘161的转动可以带动搭接杆163搭接在限位杆上，通过限位杆的阻力作用即可带动翻转部162翻转，进而即可带动设置在支撑件内的样品翻转。
72.可以理解的是，可以设置电机和驱动轴驱动转动盘161转动。限位杆的一端连接于沉积腔室140的内壁，另一端悬空设置
73.如图1所示，在一些示例中，解离钝化系统还包括：进样腔室180；第二传输模块200，第二传输模块200的移动位于进样腔室180内，另一端位于解离腔室110内；出样腔室190；第三传输模块210，第三传输模块210一端位于沉积腔室140内，另一端位于出样腔室190内。
74.解离钝化系统还包括了进样腔室180、第二传输模块200、出样腔室190和第三传输模块210，通过进样腔室180和第二传输模块200的设置，可以实现待解离样品自动向解离腔
室110内的输送，进一步实现了产品的自动化加工，减少了人工干预。
75.通过出样腔室190和第三传输模块210的设置，能够将完成解离和镀膜的样品进行自动化输出，进一步实现了产品的自动化加工，减少了人工干预。
76.如图3所示，在一些示例中，解离钝化系统还包括：样品供给单元220，样品供给单元220包括：第一烘烤架221，设置在进样腔室180内，第一烘烤架221上形成有多层设置的第一置物空间222，第一置物空间222内用于容纳待解离样品；第二伺服电机和第一丝杠，第二伺服电机的输出端连接于第一丝杠，第一丝杠的一端连接于第一烘烤架221，用于带动第一烘烤架221上的第一置物空间222与第二传输模块200处于同一水平位置；第三伺服电机、第二丝杠223和第一丝杠螺母结构，第一丝杠螺母结构设置在每个第一置物空间222内，第二丝杠223的一端连接于第三伺服单元，第二丝杠223的另一端用于连接于第一丝杠螺母结构，以驱动第一丝杠螺母结构转动，带动第一置物空间222内的待解离样品输送到第二传输模块200上。
77.解离钝化系统还包括：样品供给单元220，样品供给单元220包括了第一烘烤架221、第二伺服电机、第一丝杠、第三伺服电机、第二丝杠223和第一丝杠螺母结构，在使用过程中，待解离样品设置在第一烘烤架221的第一置物空间222之内，多个第一置物空间222呈多层设置，使得一个第一烘烤架221能够容纳更多的待解离样品，而在待解离样品进行加工的过程中，可以通过第二伺服电机和第一丝杠调节第一烘烤架221的位置，使得第一置物空间222与第二传输模块200相对设置，而后在开启第三伺服电机，第三伺服电机带动第二丝杠223运动，第二丝杠223带动第一丝杠螺母结构中的丝杠转动，第一丝杠螺母结构即可将位于第一置物空间222之内的待解离样品推送到第二传输模块200上，第二传输模块200即可将待解离样品输送到解离腔室110之内，再通过解离腔室110之内的夹具即可将待解离样品抓取到解离组件120之上。
78.可以理解的是，第一丝杠螺母结构上可以套设有齿轮或斜齿轮，齿轮或斜齿轮与第二丝杠223啮合，时限近似于蜗轮蜗杆的结构，第二丝杠223的直线运动即可带动第一丝杠螺母结构转动，即可实现待解离样品的输出。
79.可以理解的是，在进样腔室180内可以设置有加热件，加热件为第一烘烤架221提供热能以烘干待解离样品。
80.可以理解的是，通过控制第二伺服电机和第三伺服电机的给进速度即可控制样品的供给速度。
81.在一些示例中，解离钝化系统还包括：样品收集单元，样品收集单元包括：第二烘烤架，设置在出样腔室190内，第二烘烤架上形成有多层设置的第二置物空间，第二置物空间内用于容纳完成待解离的样品；第四伺服电机和第三丝杠，第四伺服电机的输出端连接于第三丝杠，第三丝杠的一端连接于第二烘烤架，用于带动第二烘烤架上的第二置物空间与第三传输模块210处于同一水平位置；第五伺服电机、第四丝杠和第二丝杠螺母结构，第二丝杠螺母结构设置在每个第二置物空间内，第四丝杠的一端连接于第五伺服单元，第四丝杠的另一端用于连接于第二丝杠螺母结构，以驱动第二丝杠螺母结构转动，带动第三传输模块210上的完成解离的样品输送到第二置物空间内。
82.解离钝化系统还包括：样品收集单元，样品收集单元包括了第二烘烤架、第四伺服电机、第三丝杠、第五伺服电机、第四丝杠和第二丝杠螺母结构，在样品完成镀膜处理之后，
样品可以通过沉积腔室140内的夹具抓取设置到第三传输模块210上，而在第三传输模块210将完成解离和镀膜的样品输送到出样腔室190时，可以通过第四伺服电机带动第三丝杠转动，第三丝杠调节第二烘烤架的位置，使得第二烘烤架上的第二置物空间与第二烘烤架相对设置，而后在开启第五伺服电机，第五伺服电机即可带动第四丝杠转动，第四丝杠带动第二丝杠螺母结构转动，第二丝杠螺母结构即可伸出第二置物空间，而后空置第五伺服电机反向转动，第二丝杠螺母结构即可将完成处理的样品收纳到第二置物空间之内，完成样品的收储。
83.可以理解的是，第二丝杠螺母结构上可以套设有齿轮或斜齿轮，齿轮或斜齿轮与第四丝杠啮合，时限近似于蜗轮蜗杆的结构，第四丝杠的直线运动即可带动第二丝杠螺母结构转动，即可实现待解离样品的输出。
84.可以理解的是，在出样腔室190内可以设置有加热件，加热件为第二烘烤架提供热能以烘干待解离样品。
85.可以理解的是，多个第二置物空间呈多层设置，使得一个第二烘烤架可以容纳更多的样品。
86.可以理解的是，通过控制第四伺服电机和第五伺服电机的给进速度即可控制样品的取样速度。
87.在一些示例中，解离钝化系统还包括：基片存储腔室230，设置在进样腔室180和解离腔室110之间，第二传输模块200穿过基片存储腔室230。
88.解离钝化系统还包括：基片存储腔室230，通过基片存储腔室230的设置可以收储待解离样品，能够对待解离样品起到缓冲的作用，使得沉积腔室140和解离腔室110的处理速度能够适配于样品的供给速度，利于实现样品的自动化处理。
89.如图4所示，在一些示例中，第一传输模块150、第二传输模块200和第三传输模块210的结构相同，第一传输模块150、第二传输模块200和第三传输模块210均包括：驱动带151，驱动带151上形成有卡接槽；支撑件152，设置在卡接槽内，卡接槽用于容纳待解离样品或完成解离的样品。
90.第一传输模块150、第二传输模块200和第三传输模块210的结构相同，便于驱动模块的设置和生产制备，每个传输模块包括了驱动带151和支撑件152，通过支撑件152的设置可以容纳样品，通过驱动带151的设置驱动带151移动即可带动支撑件152移动即可带动样品移动，而支撑件152设置在卡接槽内能够提高支撑件152的固定强度。
91.在本发明中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
92.本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本发明的限制。
93.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述
意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
94.以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种解离钝化系统，其特征在于，包括：解离腔室；解离组件，设置在所述解离腔室内，所述解离组件包括：第一夹刀、驱动件、第二夹刀、劈刀和工作台；其中，所述第一夹刀包括移动部和夹持部，所述移动部可移动地设置在所述工作台上，所述夹持部可转动地连接于所述移动部，所述夹持部用于夹持待解离样品；其中，所述驱动件连接于所述移动部，用于驱动所述移动部在所述工作台上移动；其中，所述第二夹刀连接于所述工作台，与所述第一夹刀间隔设置；其中，所述劈刀设置在所述第二夹刀背离于所述第一夹刀的一侧，所述劈刀用于解离所述待解离样品。2.根据权利要求1所述的解离钝化系统，其特征在于，所述解离组件还包括：自动收集模块，所述自动模块包括：调节块，所述调节块可移动地设置在所述工作台上，位于所述劈刀背离于所述第一夹刀的一侧；第一伺服电机，连接于所述调节块，用于驱动所述调节块靠近或远离于所述第二夹刀；压力传感器，设置在所述调节块上，位于所述调节块朝向于所述第二夹刀的一侧；处理器，所述处理器用于在所述压力传感器的检测结果在一个预设周期内波动范围超过第一阈值时控制所述第一伺服电机停机。3.根据权利要求2所述的解离钝化系统，其特征在于，所述自动收集模块还包括：锁止件，连接于所述调节块，用于将所述调节块锁止在所述工作台上。4.根据权利要求2所述的解离钝化系统，其特征在于，所述解离组件还包括：第一夹具，所述第一夹具的一端连接于所述解离腔室的内壁，所述第一夹具用于夹持位于所述调节块和所述第二夹刀之间的完成解离的样品。5.根据权利要求1至4中任一项所述的解离钝化系统，其特征在于，还包括：沉积腔室；第一传输模块，所述第一传输模块的一端设置在所述沉积腔室内，另一端设置在所述解离腔室内；翻转单元，设置在所述沉积腔室内，用于将完成解离的样品翻转；沉积单元，设置在所述沉积腔室内，用于对完成解离的所述样品镀膜。6.根据权利要求5所述的解离钝化系统，其特征在于，还包括：进样腔室；第二传输模块，所述第二传输模块的移动位于所述进样腔室内，另一端位于所述解离腔室内；出样腔室；第三传输模块，所述第三传输模块一端位于所述沉积腔室内，另一端位于所述出样腔室内。7.根据权利要求6所述的解离钝化系统，其特征在于，还包括：样品供给单元，所述样品供给单元包括：第一烘烤架，设置在所述进样腔室内，所述第一烘烤架上形成有多层设置的第一置物
空间，所述第一置物空间内用于容纳所述待解离样品；第二伺服电机和第一丝杠，所述第二伺服电机的输出端连接于所述第一丝杠，所述第一丝杠的一端连接于所述第一烘烤架，用于带动所述第一烘烤架上的第一置物空间与所述第二传输模块处于同一水平位置；第三伺服电机、第二丝杠和第一丝杠螺母结构，所述第一丝杠螺母结构设置在每个所述第一置物空间内，所述第二丝杠的一端连接于所述第三伺服单元，所述第二丝杠的另一端用于连接于所述第一丝杠螺母结构，以驱动所述第一丝杠螺母结构转动，带动所述第一置物空间内的待解离样品输送到所述第二传输模块上。8.根据权利要求6所述的解离钝化系统，其特征在于，还包括：样品收集单元，所述样品收集单元包括：第二烘烤架，设置在所述出样腔室内，所述第二烘烤架上形成有多层设置的第二置物空间，所述第二置物空间内用于容纳完成待解离的所述样品；第四伺服电机和第三丝杠，所述第四伺服电机的输出端连接于所述第三丝杠，所述第三丝杠的一端连接于所述第二烘烤架，用于带动所述第二烘烤架上的第二置物空间与所述第三传输模块处于同一水平位置；第五伺服电机、第四丝杠和第二丝杠螺母结构，所述第二丝杠螺母结构设置在每个所述第二置物空间内，所述第四丝杠的一端连接于所述第五伺服单元，所述第四丝杠的另一端用于连接于所述第二丝杠螺母结构，以驱动所述第二丝杠螺母结构转动，带动所述第三传输模块上的完成解离的所述样品输送到所述第二置物空间内。9.根据权利要求6所述的解离钝化系统，其特征在于，还包括：基片存储腔室，设置在所述进样腔室和所述解离腔室之间，所述第二传输模块穿过所述基片存储腔室。10.根据权利要求6所述的解离钝化系统，其特征在于，所述翻转单元包括：转动盘，所述转动盘可转动地连接于沉积腔室，所述转动盘上形成有多个镂空区域翻转部，铰接于所述转动盘，位于所述镂空区域内，所述翻转部上形成有搭接杆；限位杆，连接于所述沉积腔室，在所述搭接杆搭接在所述限位杆上的情况下，所述翻转部翻转。

技术总结
本申请实施例公开了一种解离钝化系统，包括：解离腔室；解离组件，设置在解离腔室内，解离组件包括：第一夹刀、驱动件、第二夹刀、劈刀和工作台；其中，第一夹刀包括移动部和夹持部，移动部可移动地设置在工作台上，夹持部可转动地连接于移动部，夹持部用于夹持待解离样品；其中，驱动件连接于移动部；其中，第二夹刀连接于工作台，与第一夹刀间隔设置；其中，劈刀设置在第二夹刀背离于第一夹刀的一侧。本申请实施例只需要控制驱动件的驱动行程和劈刀的工作节拍即可实现自动化解离，整个待解离样品的解离过程中无人工干预，能够保证样品解离的精度，保证了产品的一致性，同时能够避免外部污染源与样品产生接触，进一步地提高了产品的质量。量。量。


技术研发人员：徐豪 安海岩 王威 徐马记
受保护的技术使用者：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2023/7/13