缺陷检测方法及装置、存储介质与流程

1.本技术涉及显示技术领域，特别是涉及一种缺陷检测方法及装置、存储介质。


背景技术：

2.显示装置的面板、掩膜板等在制备过程中容易产生诸多缺陷，为了确定缺陷的位置和类型等，需要对其进行缺陷检测，以保证质量。
3.现有的缺陷检测方法通常包括定位、初检、图像处理、数据分析、复检、图像上传等步骤，该流程步骤复杂，检测及处理时间长，影响生产效率。


技术实现要素：

4.本技术主要解决的技术问题是提供一种缺陷检测方法及装置、存储介质，加快检测节拍，提高检测效率，有利于生产节拍的控制。
5.为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种基板缺陷检测方法，包括控制第一扫描装置和第二扫描装置同时对目标对象进行扫描，以得到所述目标对象的第一扫描图像和第二扫描图像，其中，所述第二扫描图像的尺寸等比例大于所述第一扫描图像，且所述第二扫描图像的清晰度大于所述第一扫描图像；对所述第一扫描图像进行分析处理，以识别所述第一扫描图像中的目标缺陷；根据所述目标缺陷在所述第一扫描图像中的第一位置，从所述第二扫描图像截取第二位置处的目标图像，其中，所述第一位置、所述第二扫描图像的所述第二位置对应所述目标对象的同一位置。
6.为解决上述技术问题，本技术采用的另一个技术方案是：提供一种基板缺陷检测装置，包括载台、第一扫描装置、第二扫描装置、控制器和处理器，所述载台用于承载目标对象；所述第一扫描装置用于对所述目标对象进行扫描，得到第一扫描图像；所述第二扫描装置用于对所述目标对象进行扫描，得到第二扫描图像，其中，所述第二扫描图像的尺寸等比例大于所述第一扫描图像，且所述第二扫描图像的清晰度大于所述第一扫描图像；所述控制器与所述第一扫描装置以及所述第二扫描装置连接，所述控制器控制所述第一扫描装置和所述第二扫描装置同时对所述目标对象进行扫描；所述处理器与所述第一扫描装置以及所述第二扫描装置连接，获取所述第一扫描装置扫描得到的第一扫描图像以及所述第二扫描装置扫描得到的第二扫描图像，并对所述第一扫描图像进行分析处理，以识别所述第一扫描图像中的目标缺陷，以及根据所述目标缺陷在所述第一扫描图像中的第一位置，从所述第二扫描图像截取第二位置处的目标图像，其中，所述第一位置、所述第二扫描图像的所述第二位置对应所述目标对象的同一位置。
7.为解决上述技术问题，本技术采用的另一个技术方案是：提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质用于存储程序指令，所述程序指令能够被执行以实现任一项实施例所述的缺陷检测方法。
8.本技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本技术的缺陷检测方法为控制两个扫描装置同时对目标对象进行扫描，在扫描步骤中同时获得第一扫描图像和第二扫描图
像，其中第一扫描图像用于识别目标缺陷，第二扫描图像用于获取更清晰的目标图像，由于本技术的两个扫描步骤为同时进行，使得扫描步骤与后续的图像分析处理步骤相对独立，从而实现了扫描装置对多个目标对象的连续扫描，图像分析处理步骤无需目标对象参与，从而降低了目标对象停留在扫描装置上的时间，提升了目标对象在扫描装置上的流转效率，从而提升生产效率；由于第二扫描图像获得所需时间不收到缺陷数量影响，使得每个目标对象在缺陷检测装置上停留的时间相同，有利于对生产节拍的控制。本技术的缺陷检测装置能够控制两个扫描装置同时对目标对象进行扫描。
附图说明
9.图1是本技术的缺陷检测方法一实施方式的流程示意图；
10.图2是图1中步骤s102的流程示意图；
11.图3是本技术的缺陷检测方法一实施方式中第一扫描图像的结构示意图；
12.图4是本技术的缺陷检测方法一实施方式中第二扫描图像的结构示意图；
13.图5是图1中步骤s103的流程示意图
14.图6是本技术的缺陷检测装置一实施方式的俯视图。
具体实施方式
15.为使本技术的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本技术进一步详细说明。显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
16.现有的缺陷检测方法通常包括定位、初检、图像处理、数据分析、复检、图像上传等步骤，其中，目标对象首先固定在检测装置上，在初检步骤中，扫描装置扫描目标对象，获取图像；然后通过图像处理找出目标缺陷，并通过数据分析获取目标缺陷的位置、大小等数据；在复检步骤中，相机移动至目标缺陷位置对目标缺陷进行拍照，获得清晰的目标图像；之后目标对象可以移出检测装置，最后将获得的目标图像上传，方便后续用户查看确认。
17.发明人发现现有技术存在如下问题：一方面，现有技术在复检阶段需要将相机移动至目标缺陷位置对目标缺陷进行拍照，而当初检步骤中检测出多个目标缺陷，在复检阶段相机就需要多次移动并对多个目标缺陷分别进行拍照，而每拍一张照片需要花费约0.6秒，因此复检所花费的时间较长且与缺陷数量相关，即目标缺陷数量越多，复检时长越长。因此，对于依次检测多个目标对象而言，其停留在检测设备上的时间不一定相同，不利于对生产节拍的控制。另一方面，从定位步骤到复检步骤，目标对象必须一直停留在设备上，只有完成复检步骤，才能更换下一目标对象，每个目标对象在设备上停留时间过长，影响了生产效率。
18.有鉴于此，本技术提供了一种缺陷检测方法，该方法可以由缺陷检测装置执行。参阅图1，图1是本技术的缺陷检测方法一实施方式的流程示意图。需注意的是，若有实质上相同的结果，本发明的方法并不以图1所示的流程顺序为限。该方法包括如下步骤：
19.s101：控制第一扫描装置和第二扫描装置同时对目标对象进行扫描，以得到目标对象的第一扫描图像和第二扫描图像，其中，第二扫描图像的尺寸等比例大于第一扫描图
像，且第二扫描图像的清晰度大于第一扫描图像。
20.具体地，本技术的目标对象可以为待检测的显示面板、基板、芯片或掩膜板等。在步骤s101之前，可以将目标对象放置在缺陷检测装置上，然后对目标对象进行固定和定位，以确保后续检出缺陷位置的精确度，例如可以除了机械定位还可以通过光学定位计算位置偏差，便于后续软、硬件校正位置。
21.缺陷检测装置可以包括第一扫描装置和第二扫描装置，在步骤s101中，第一扫描装置可以包括光学扫描仪，对目标对象进行光学扫描，光学扫描仪包括可移动光源，可移动光源扫过目标对象，照射到目标对象的光线反射后形成光信号，并通过ccd(光电耦合器)将光信号转换为电信号，通过可移动光源的不断移动，形成对整个目标对象的扫描，获得第一扫描图像。第一扫描图像可以为灰阶图像，也可以为彩色图像。
22.第二扫描装置可以包括可拍摄出更高清晰度的摄像头等装置。摄像头可以对目标对象进行全景摄像，形成具有完整目标对象的第二扫描图像；也可以对目标对象的多个区域分别进行拍摄，然后合成为一个完整的第二扫描图像。摄像头可以通过移动位置或调整焦距等方法拍摄出尺寸更大、更清晰的第二扫描图像。
23.由于第二扫描图像为目标对象的完整图像，其拍摄时长不受目标缺陷数量的影响，因此对于相同类型的多个目标对象而言，每个目标对象在缺陷检测装置上停留的时间相同，有利于对生产节拍的控制；且扫描第一扫描图像和第二扫描图像同时进行，因此每个目标对象在缺陷检测装置上停留的时间仅包括前期定位时间和扫描时间(扫描时间为第一扫描装置和第二扫描装置中扫描时间更长的一个)，不包括图像分析或数据处理时间，停留时间相较于现有方法大大缩短；并且，完成当前目标对象的扫描或拍摄后，可以将当前目标对象移出缺陷检测装置，并立即移入下一目标对象进行扫描或拍摄，提高检测装置的利用效率，提高生产效率。
24.可选地，第一扫描装置和第二扫描装置可以在相同起点同步移动完成扫描或拍摄，也可以同时分别从不同起点移动完成扫描或拍摄。
25.其中，步骤s101具体可以由缺陷检测装置中的控制器执行，该控制器与第一扫描装置、第二扫描装置的连接，进而控制第一扫描装置、第二扫描装置对目标对象进行扫描。
26.s102：对第一扫描图像进行分析处理，以识别第一扫描图像中的目标缺陷。
27.具体地，目标缺陷在第一扫描图像中可以表现为与周围图像的灰度、色度等不一致，例如过暗或过亮，色彩饱和度过低或过高等，可以利用分析软件根据图像的灰度、色度的不同，识别出目标缺陷。
28.s103：根据目标缺陷在第一扫描图像中的第一位置，从第二扫描图像截取第二位置处的目标图像，其中，第一位置和第二扫描图像的第二位置对应目标对象的同一位置。
29.由于第一扫描图像和第二扫描图像为等比例图像，因此可以快速通过目标缺陷在第一扫描图像中的第一位置确定目标缺陷在第二扫描图像中的第二位置。由于目标图像为等比例倍数放大的目标缺陷对应的图像，且更为清晰，方便后续通过目标图像确认缺陷的类型或真伪，确认步骤可以通过人工，也可以通过算法实现。可以理解，第一扫描图像和第二扫描图像可以分别包括位置信息。
30.其中，步骤s102和步骤s103可以由缺陷检测装置中的处理器执行，该处理器也与第一扫描装置、第二扫描装置连接，在第一扫描装置扫描而得到第一扫描图像之后，将第一
扫描图像发送给该处理器，在第二扫描装置扫描而得到第二扫描图像之后，将第二扫描图像发送给该处理器，而后处理器进行图像的分析处理。
31.其中，如果目标对象的数量是多个，处理器可以是在接收到某一个目标对象对应的第一扫描图像和第二扫描图像之后，就立即对图像进行分析，也可以是在获取到所有目标对象对应的第一扫描图像、第二扫描图像之后，再进行图像的分析处理过程。
32.从上述内容可以看出，本技术设置第一扫描装置和第二扫描装置同时对目标对象进行扫描，分别得到第一扫描图像和第二扫描图像，由于根据第一扫描图像和第二扫描图像能够最终确定目标对象上是否存在目标缺陷，因此在完成对当前的目标对象进行扫描后，可以继续再扫描下一个目标对象，无需让目标对象在缺陷检测装置上等待图像分析或数据处理，从而可以减少等待的时间，提高效率。
33.其中为了便于理解，在此结合实例进行说明：
34.第一扫描装置和第二扫描装置同时对目标对象a进行扫描，得到目标对象a的第一扫描图像和第二扫描图像，而后可以理解将目标对象a从缺陷检测装置上移走，然后第一扫描装置和第二扫描装置可以立即对下一个目标对象b进行扫描，得到目标对象b的第一扫描图像和第二扫描图像。
35.从上述内容还可以看出，本技术得到的第一扫描图像和第二扫描图像均为目标对象的完整图像，其拍摄时长不受目标缺陷数量的影响，因此对于相同类型的多个目标对象而言，每个目标对象所需要的扫描时间均相同，其中扫描时间为第一扫描图像获得所需时间和第二扫描图像获得所需时间中较长的一个。由于每个目标对象在缺陷检测装置上的停留时间为前期定位时间以及扫描时间的总和，因此每个目标对象在缺陷检测装置上停留的时间相同，有利于对生产节拍的控制。
36.在本实施例中，第一扫描图像是灰阶图像，第二扫描图像是彩色图像。
37.具体地，针对为灰阶图像的第一扫描图像，可以通过不同的灰阶识别出目标缺陷，从而确定目标缺陷的位置，相较于彩色图像，拍摄灰阶图像的成本更低。而相较于灰阶图像，彩色图像更有利于判断目标缺陷的类型和真伪，识别度更高，因此将第二扫描图像设置为彩色图像，可以提高最终确定目标对象上是否真正存在目标缺陷的准确率。
38.当然在其他实施方式中，第一扫描图像也可以是彩色图像，或者，第二扫描图像也可以是灰阶图像，总而言之，本技术对第一扫描图像、第二扫描图像的类型不做限制。
39.在本实施方式中，第二扫描装置是变焦扫描装置，从而可以根据不同应用场景的需求调节第二扫描图像的大小，其中第二扫描装置可以为光学变焦摄像头或数码变焦摄像头。在本实施例中，第二扫描装置是光学变焦摄像头，在放大画面的同时，不易导致成像质量的损失，拍摄获得的图像更为清晰。
40.需要说明的是，在其他实施方式中，第二扫描装置也可以不能变焦，只要保证第二扫描图像的尺寸等比例大于第一扫描图像，且第二扫描图像的清晰度大于第一扫描图像即可。
41.在本实施方式中，第一扫描图像和第二扫描图像均呈矩形，第二扫描图像的宽度是第一扫描图像的宽度的20倍，第二扫描图像的长度是第一扫描图像的长度的20倍。在其他实施例中，第一扫描图像和第二扫描图像也可以是其他形状，例如圆形，在这种情况下，第二扫描图像的直径是第一扫描图像的直径的20倍。在其他实施方式中，第二扫描图像的
尺寸与第一扫描图像之间可以为其他倍数关系，例如5倍、10倍等。
42.结合图2和图3，图2是图1中步骤s102的流程示意图，图3是本技术的缺陷检测方法一实施方式中第一扫描图像的结构示意图。在本实施方式中，步骤s102具体包括：
43.步骤s1021：将第一扫描图像10划分为多个子图像11。
44.具体地，例如，如图3所示，第一扫描图像10为矩形，第一扫描图像10被划分为16个相同的矩形的子图像11。子图像11的数量和大小可以根据缺陷的情况设定，在其他实施例中，为了提高目标缺陷30识别的精度，也可以增大每个第一扫描图像10所划分的子图像11的数量，即减小每个子图像11的尺寸，例如将子图像11的尺寸设定为像素级别，有利于获取尺寸较小的目标缺陷30的精确位置。
45.步骤s1022：针对每个子图像11，响应于子图像11的灰度与相邻的任意子图像11的灰度的差值大于预设阈值，确定子图像11中存在目标缺陷30。
46.具体地，通过比对每个子图像11和与其相邻的其余子图像11的灰度，若该子图像11的灰度与至少一个相邻的子图像11的灰度的差值过大，则确定该子图像11中存在目标缺陷30，后续需要确定该子图像11的位置，以确定该子图像11中目标缺陷30的位置。例如，如图3所示，目标缺陷30的灰度大于目标缺陷30周围区域的灰度，从图中可以看出，目标缺陷30跨越第一子图像111和第二子图像112，即第一子图像111和第二子图像112中均存在目标缺陷30，第一子图像111和第二子图像112周围均具有8个相邻的子图像11，其中第一子图像111的灰度大于除第二子图像112之外的其余相邻子图像11的灰度，因此第一子图像111能够被确认存在目标缺陷30。同理，目标缺陷30在第二子图像112中的占比更大，第二子图像112的灰度大于全部8个相邻子图像11的灰度，也能够被确认第二子图像112中存在目标缺陷。
47.在其他实施例中，也可以调整比对的相邻子图像11的数量以提高精确度，例如，针对每个子图像11，响应于子图像11的灰度与相邻的任意预设数量的子图像11的灰度的差值均大于预设阈值，确定子图像11中存在目标缺陷30，其中，预设数量可以为大于4个等，以确保该子图像11的灰度与其大部分相邻的子图像的灰度差值均较大，从而提高精确度。仍以图3所示为例，除了第一子图像111和第二子图像112，第三子图像113的灰度与其他相邻的子图像11的灰度均相同或差值小于预设阈值，即第三子图像113周围仅存在两个相邻子图像11的灰度与第三子图像113灰度的差值大于预设阈值，小于预设数量，因此，利用上述方法，可以排除第三子图像113被错误识别为存在目标缺陷30。
48.在本实施方式中，缺陷检测方法还包括：预先建立第一扫描图像和第二扫描图像中坐标信息的对应关系。该步骤可以预先写入处理器中。
49.具体地，例如，在第一扫描图像和第二扫描图像均为矩形的情况下，坐标系使用直角坐标系，第一扫描图像的坐标系原点可以设置在矩形的任意一个顶点上，也可以设置在矩形的几何中心上，且第一扫描图像和第二扫描图像的坐标系重合，则当第二扫描图像的宽度和长度均为第一扫描图像的n倍时，第二扫描图像的横坐标值和纵坐标值均为第一扫描图像的n倍。该第一扫描图像的坐标系可以集成在扫描图像中，即扫描完成后直接获得具有坐标系的第一扫描图像，而第二扫描图像的坐标系可以在获得第二扫描图像后通过处理器根据第一扫描图像的坐标系扩大n倍后附加在第二扫描图像上。在其他实施例中，第一扫描图像和第二扫描图像中的坐标系也可以使用重合的极坐标系。
50.结合图3、图4和图5，图4是本技术的缺陷检测方法一实施方式中第二扫描图像的结构示意图，图5是图1中步骤s103的流程示意图。
51.此时步骤s103具体包括：
52.s1031：根据目标缺陷在第一扫描图像中的第一坐标信息以及对应关系，确定第二坐标信息。
53.具体地，如图3所示，第一扫描图像10的宽度为a，长度为b，目标缺陷30在第一扫描图像10中的第一坐标信息可以为第一子图像111和第二子图像112的坐标范围(图3中虚线矩形框所示)，例如该矩形框横坐标的范围为b1～b2,纵坐标的范围为a1～a2。参阅图4，图4是本技术的缺陷检测方法另一实施方式中第二扫描图像的结构示意图。如图4所示，第二扫描图像20的宽度为20a，长度为20b，由于第二扫描图像20与第一扫描图像呈等比例倍数关系，因此目标缺陷30在第二扫描图像20中横坐标的范围为20b1～20b2，纵坐标的范围为20a1～20a2，即确认图4中虚线框所划定范围为目标缺陷30在第二扫描图像20的第二坐标信息。
54.s1032：根据第二坐标信息，从第二扫描图像中截取目标图像。
55.具体地，如图4所示，可以根据第二坐标信息截取第二扫描图像20的虚线框中的画面作为目标图像，也可以将目标图像作为所截取图像的中心，向外围扩展一定范围截取部分第二扫描图像20，获得更大范围的图像，向外扩展的范围可以根据实际情况预先设定，即截取的图像应至少包括目标图像。一个目标图像中可以只包含一个目标缺陷30，也可以包含多个目标缺陷30。由于目标图像为直接从尺寸更大且更清晰的第二扫描图像20中截取，因此目标缺陷30的图像更为清晰，完成目标图像的截取后，可以将目标图像上传至服务器，方便后续用户人工查看，或检测装置自动复检，以确认该目标缺陷30的真伪或判断目标缺陷30的类型。
56.需要说明的是，上述实施例是以目标对象具有至少一个目标缺陷30为前提的。当目标对象不具备任何目标缺陷30时，则步骤s101步骤和s102仍如同前述，而由于在步骤s1022中，由于无法识别出目标缺陷30，因此步骤s103则不继续执行，而是继续执行对下一目标对象的扫描，即回到步骤s101。
57.本技术还提供了一种缺陷检测装置。参阅图6，图6是本技术的缺陷检测装置一实施方式的俯视图，该缺陷检测装置包括载台1、第一扫描装置3、第二扫描装置4、控制器以及处理器。载台1用于承载目标对象2；第一扫描装置3用于对目标对象2进行扫描，得到第一扫描图像(图未示)；第二扫描装置4用于对目标对象2进行扫描，得到第二扫描图像(图未示)，其中，第二扫描图像的尺寸等比例大于第一扫描图像，且第二扫描图像的清晰度大于第一扫描图像；控制器(图未示)与第一扫描装置3以及第二扫描装置4连接，控制第一扫描装置3和第二扫描装置4同时对目标对象2进行扫描；处理器(图未示)与第一扫描装置3以及第二扫描装置4连接，获取第一扫描装置3扫描得到的第一扫描图像以及第二扫描装置4扫描得到的第二扫描图像，并对第一扫描图像进行分析处理，以识别第一扫描图像中的目标缺陷，以及根据目标缺陷在第一扫描图像中的位置，从第二扫描图像截取目标位置处的目标图像，其中，目标图像、第一扫描图像中目标缺陷处的图像对应目标对象的同一位置。
58.在本实施例中，第一扫描图像为灰阶图像，第二扫描图像为彩色图像。
59.具体地，第一扫描装置3包括第一承载臂31、第一摄像头32和第一驱动件(图未示)，第一摄像头32沿第一方向(图5中y方向)与第一承载臂31滑动连接，第一驱动件驱动第
一摄像头32沿第一方向移动，第一承载臂31沿第二方向(图5中x方向)与载台1滑动连接，第一方向与第二方向垂直。可选地，载台1上可以设置沿第二方向延伸的两条滑轨，第一承载臂31横跨两条滑轨，并与滑轨滑动连接。
60.第二扫描装置4包括第二承载臂41、第二摄像头42和第二驱动件(图未示)，第二摄像头42沿第一方向与第二承载臂41滑动连接，第二驱动件驱动第二摄像头42沿第一方向移动，第二承载臂41沿第二方向与载台1滑动连接。可选地，第二摄像头42为光学变焦摄像头。可选地，第二承载臂41与第一承载臂31平行设置，也与滑轨滑动连接。
61.承载臂驱动装置，用于驱动第一承载臂31和第二承载臂41沿第二方向移动。
62.具体地，第一驱动件驱动第一摄像头32在第一承载臂31上沿y方向移动，直到第一摄像头32完成一列图像的扫描，承载臂驱动装置驱动第一承载臂31带动第一摄像头32沿x方向移动至下一列，第一驱动件再次驱动第一摄像头32沿y方向移动并扫描，直到完成第一扫描图像。同理，第二驱动件驱动第二摄像头42在第二承载臂41上沿y方向移动，直到第二摄像头42完成一列图像的扫描，承载臂驱动装置驱动第二承载臂41带动第二摄像头42沿x方向移动至下一列，第二驱动件再次驱动第二摄像头42沿y方向移动并扫描，直到完成第二扫描图像。需要说明的是，由于第一摄像头32和第二摄像头42每次的扫描或拍摄范围不一定一致，第一承载臂31和第二承载臂41的移动可以完全同步，也可以不同步，第一摄像头32和第二摄像头42的移动可以完全同步，也可以不同步。只需确保完成第一扫描图像和第二扫描图像时间的总和达到最小值即可，即扫描时间为完成第一扫描图像所需时间和第二扫描图像所需时间中更长的一个，或同时完成。
63.利用本技术的缺陷检测装置，两个扫描装置能够同时对目标对象进行扫描，在扫描步骤中同时获得第一扫描图像和第二扫描图像，由于本技术的两个扫描步骤为同时进行，使得扫描步骤与后续的图像分析处理步骤相对独立，从而实现了扫描装置对多个目标对象的连续扫描，图像分析处理通过处理器处理，无需目标对象参与，从而降低了目标对象停留在载台上的时间，提升了目标对象在载台上的流转效率，从而提升生产效率；由于第二扫描图像获得所需时间不收到缺陷数量影响，使得每个目标对象在载台上停留的时间相同，有利于对生产节拍的控制。
64.以上仅为本技术的实施方式，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本技术的专利保护范围内。

技术特征：
1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：控制第一扫描装置和第二扫描装置同时对目标对象进行扫描，以得到所述目标对象的第一扫描图像和第二扫描图像，其中，所述第二扫描图像的尺寸等比例大于所述第一扫描图像，且所述第二扫描图像的清晰度大于所述第一扫描图像；对所述第一扫描图像进行分析处理，以识别所述第一扫描图像中的目标缺陷；根据所述目标缺陷在所述第一扫描图像中的第一位置，从所述第二扫描图像截取第二位置处的目标图像，其中，所述第一位置和所述第二扫描图像的所述第二位置对应所述目标对象的同一位置。2.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述第一扫描图像是灰阶图像。3.根据权利要求2所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述第二扫描图像是彩色图像。4.根据权利要求2所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述对所述第一扫描图像进行分析处理，以识别所述第一扫描图像中的目标缺陷的步骤，包括：将所述第一扫描图像划分为多个子图像；针对每个所述子图像，响应于所述子图像的灰度与相邻的任意所述子图像的灰度的差值大于预设阈值，确定所述子图像中存在所述目标缺陷。5.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述方法还包括：预先建立所述第一扫描图像和所述第二扫描图像中坐标信息的对应关系；所述根据所述目标缺陷在所述第一扫描图像中的第一位置，从所述第二扫描图像截取第二位置处的目标图像的步骤，包括：根据所述目标缺陷在所述第一扫描图像中的第一坐标信息以及所述对应关系，确定第二坐标信息；根据所述第二坐标信息，从所述第二扫描图像中截取所述目标图像。6.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述第二扫描装置是变焦扫描装置；优选地，所述第二扫描装置是光学变焦扫描装置；优选地，第一扫描图像和所述第二扫描图像均呈矩形，所述第二扫描图像的宽度是所述第一扫描图像的宽度的20倍，所述第二扫描图像的长度是所述第一扫描图像的长度的20倍。7.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：载台，用于承载目标对象；第一扫描装置，用于对所述目标对象进行扫描，得到第一扫描图像；第二扫描装置，用于对所述目标对象进行扫描，得到第二扫描图像，其中，所述第二扫描图像的尺寸等比例大于所述第一扫描图像，且所述第二扫描图像的清晰度大于所述第一扫描图像；控制器，与所述第一扫描装置以及所述第二扫描装置连接，所述控制器控制所述第一扫描装置和所述第二扫描装置同时对所述目标对象进行扫描；处理器，与所述第一扫描装置以及所述第二扫描装置连接，获取所述第一扫描装置扫描得到的第一扫描图像以及所述第二扫描装置扫描得到的第二扫描图像，并对所述第一扫描图像进行分析处理，以识别所述第一扫描图像中的目标缺陷，以及根据所述目标缺陷在
所述第一扫描图像中的第一位置，从所述第二扫描图像截取第二位置处的目标图像，其中，所述第一位置、所述第二扫描图像的所述第二位置对应所述目标对象的同一位置。8.根据权利要求7所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一扫描图像是灰阶图像。9.根据权利要求7所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第二扫描图像是彩色图像；优选地，所述第二扫描装置是变焦扫描装置；优选地，所述第二扫描图像的宽是所述第一扫描图像的宽的20倍，所述第二扫描图像的高是所述第一扫描图像的高的20倍。10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质用于存储程序指令，所述程序指令能够被执行以实现如权利要求1-6任一项所述的缺陷检测方法。

技术总结
本申请公开了一种缺陷检测方法及装置、存储介质，所述方法包括：控制第一扫描装置和第二扫描装置同时对目标对象进行扫描，以得到目标对象的第一扫描图像和第二扫描图像，其中，第二扫描图像的尺寸等比例大于第一扫描图像，且第二扫描图像的清晰度大于第一扫描图像；对第一扫描图像进行分析处理，以识别第一扫描图像中的目标缺陷；根据所述目标缺陷在所述第一扫描图像中的第一位置，从所述第二扫描图像截取第二位置处的目标图像，其中，所述第一位置和所述第二扫描图像的所述第二位置对应所述目标对象的同一位置。通过上述方案，能够加快检测节拍，提高检测效率，有利于生产节拍的控制。制。制。


技术研发人员：汪前前 杨大可
受保护的技术使用者：昆山国显光电有限公司
技术研发日：2023.03.30
技术公布日：2023/7/12