一种洁净室内防交叉污染控制装置的制作方法
未命名
07-15
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1.本实用新型涉及的是一种洁净室内防交叉污染控制装置,属于洁净室内污染物控制技术领域。
背景技术:
2.现有技术常规的洁净厂房中,洁净室内的气态污染物通过吊顶上的化学过滤器清除,但不能做到洁净室内交叉污染的防治。
3.现有技术中,为防止气态污染物的交叉污染,通过设定压力梯度,也就是高洁净等级的室内压力大于相邻低洁净等级的室内压力,这样可在室内维持一定的压差,有效避免洁净室被邻室污染或污染邻室。然而由于洁净室内墙体开洞和oht天车运动,很难通过压差达到污染物控制的目的。
4.cn112097349a公开了一种洁净室过滤装置,需要在相邻洁净室之间设置压力高的缓冲区域,并相应设置空气输送设备和空气过滤设备,结构较为复杂,投入成本过高。
技术实现要素:
5.本实用新型提出的是一种洁净室内防交叉污染控制装置,其目的旨在克服现有技术存在的上述不足,在不影响洁净室内环境控制的前提下,可以高效去除oht运动携带的污染物,防止对相邻洁净室的污染。
6.本实用新型的技术解决方案:一种洁净室内防交叉污染控制装置,其结构包括由隔墙隔出且内底部设有高架地板的洁净室,洁净室内吊顶设有ffu、oht天车和污染物控制装置,oht天车安装在amhs系统轨道上,amhs系统轨道穿过多个相邻洁净室,每个洁净室的amhs系统轨道旁设置有一个污染物控制装置,污染物控制装置包括抽风管和安装在抽风管端部且相邻amhs系统轨道设置的抽风口,抽风口为孔板、与抽风管通过卡扣连接,孔板边缘为堵实区域,而不是孔板满铺式,孔板为方形板,开孔率为25%。可在oht天车运动时高效去除oht运动携带的污染物,防止对相邻洁净室的污染。
7.抽风口内孔板上带阀、设置电动或手动风口开孔宽度调节机构,可调节抽风口的吸入速度,满足不同oht运动速度下的污染物抽离。
8.污染物控制装置设计为共三种,一种是oht天车为一台时,抽风口设置在oht天车经过路径的一侧和下方、分别连接单独的抽风管,采用侧、下两面抽风,下方的抽风管尺寸小于侧面的抽风管尺寸。
9.第二种是oht天车为上下设置的两台,两个抽风口上下相邻设置在两台oht天车经过路径的一侧,采用上下抽风。
10.第三种是oht天车为三台、包括水平方向相邻设置的两台和设置在两台之间上方的一台,抽风管设置在三台oht天车两侧,单侧抽风管呈上凸下凹式,四个抽风口对称设置在三台oht天车经过路径的两侧抽风管端部,采用双侧上下抽风。上方的抽风口窄于下方的抽风口。
11.针对不同oht天车设计不同污染物控制装置及相应不同风口形式,可进一步防止对相邻洁净室的污染。
12.本实用新型的优点:可有效解决oht天车穿越不同洁净区的引起的交叉污染,针对不同oht天车设计不同的污染物控制装置,并配有不同的风口形式,且风口孔板优选带阀,能够调节风口的吸入速度,在不影响洁净室内的环境控制的前提下,满足不同oht运动速度下污染物的高效抽离,解决相邻洁净室之间的交叉污染问题。
附图说明
13.图1是本实用新型洁净室内防交叉污染控制装置第一种实施例结构示意图。
14.图2是图1的正视图。
15.图3是图2中抽风口的侧视结构示意图。
16.图4是本实用新型洁净室内防交叉污染控制装置第一种实施例结构示意图。
17.图5是图4的正视图。
18.图6是图5中抽风口的侧视结构示意图。
19.图7是本实用新型洁净室内防交叉污染控制装置第一种实施例结构示意图。
20.图8是图7的正视图。
21.图9是图8中抽风口的侧视结构示意图。
22.图中的1是洁净室、2是ffu(送风过滤单元)、3是oht天车、4是抽风管、5是抽风口、6是高架地板、7是隔墙。
具体实施方式
23.下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
24.实施例1
25.如图1-3所示,一种洁净室内防交叉污染控制装置,其结构包括由隔墙7隔出且内底部设有高架地板6的洁净室1,洁净室1内吊顶设有ffu2、oht天车3和污染物控制装置,oht天车3安装在amhs系统轨道上,amhs系统轨道穿过多个相邻洁净室1,每个洁净室1的amhs系统轨道旁设置有一个污染物控制装置,污染物控制装置包括抽风管4和安装在抽风管4端部且相邻amhs系统轨道设置的抽风口5,抽风口5为孔板、与抽风管4通过卡扣连接,孔板边缘为堵实区域,而不是孔板满铺式,孔板为方形板,开孔率为25%。
26.oht天车3为一台,抽风口5设置在oht天车3经过路径的一侧和下方、分别连接单独的抽风管4,采用侧、下两面抽风,下方的抽风管4尺寸小于侧面的抽风管4尺寸。
27.抽风管4为镀锌风管,是接至一般排风的独立排气管。
28.抽风口5内孔板上带阀、设置电动或手动风口开孔宽度调节机构,从而调节抽风口5的吸入速度,满足不同oht运动速度下的污染物抽离。
29.工作时,洁净室1内ffu2提供过滤后的循环气流,使洁净室1维持在一定的温度、湿度、压力范围,并保持洁净等级为百级;洁净室1内oht天车3在amhs系统轨道下以一定速度通过污染物控制装置,污染物会随oht天车3运动扩散至抽风口5,抽风管4经抽风口5将oht天车3携带的污染物排出,避免oht天车3对相邻洁净室1的交叉污染。
30.实施例2
31.如图4-6所示,一种洁净室内防交叉污染控制装置,与实施例1区别在于oht天车3为上下设置的两台,两个抽风口5上下相邻设置在两台oht天车3经过路径的一侧,采用上下抽风。
32.实施例3
33.如图7-9所示,一种洁净室内防交叉污染控制装置,与实施例1、2区别在于oht天车3为三台、包括水平方向相邻设置的两台和设置在两台之间上方的一台,抽风管4设置在三台oht天车3两侧,单侧抽风管4呈上凸下凹式,四个抽风口5对称设置在三台oht天车3经过路径的两侧抽风管4端部,采用双侧上下抽风。
34.上方的抽风口5窄于下方的抽风口5。
35.以上所述各部件均为现有技术,本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
36.以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。
技术特征:
1.一种洁净室内防交叉污染控制装置,其结构包括由隔墙(7)隔出且内底部设有高架地板(6)的洁净室(1),洁净室(1)内吊顶设有ffu(2)和oht天车(3),oht天车(3)安装在amhs系统轨道上,amhs系统轨道穿过多个相邻洁净室(1),其特征在于,每个所述的洁净室(1)的amhs系统轨道旁设置有一个污染物控制装置,污染物控制装置包括抽风管(4)和安装在抽风管(4)端部且相邻amhs系统轨道设置的抽风口(5),抽风管(4)接至一般排风。2.如权利要求1所述的一种洁净室内防交叉污染控制装置,其特征在于,所述的oht天车(3)为一台,抽风口(5)设置在oht天车(3)经过路径的一侧和下方、分别连接单独的抽风管(4),下方的抽风管(4)尺寸小于侧面的抽风管(4)尺寸。3.如权利要求1所述的一种洁净室内防交叉污染控制装置,其特征在于,所述的oht天车(3)为上下设置的两台,两个抽风口(5)上下相邻设置在两台oht天车(3)经过路径的一侧。4.如权利要求1所述的一种洁净室内防交叉污染控制装置,其特征在于,所述的oht天车(3)为三台、包括水平方向相邻设置的两台和设置在两台之间上方的一台,抽风管(4)设置在三台oht天车(3)两侧,单侧抽风管(4)呈上凸下凹式,四个抽风口(5)对称设置在三台oht天车(3)经过路径的两侧抽风管(4)端部,采用双侧上下抽风,上方的抽风口(5)窄于下方的抽风口(5)。5.如权利要求1-4任一项所述的一种洁净室内防交叉污染控制装置,其特征在于,所述的抽风管(4)为镀锌风管,抽风口(5)为孔板、与抽风管(4)通过卡扣连接,孔板为方形板、开孔率为25%。6.如权利要求5所述的一种洁净室内防交叉污染控制装置,其特征在于,所述的抽风口(5)孔板上设置电动或手动风口开孔宽度调节机构。
技术总结
本实用新型是一种洁净室内防交叉污染控制装置,其结构包括由隔墙隔出且内底部设有高架地板的洁净室,洁净室内吊顶设有FFU、OHT天车和污染物控制装置,OHT天车安装在AMHS系统轨道上,AMHS系统轨道穿过多个相邻洁净室,每个洁净室的AMHS系统轨道旁设置有一个污染物控制装置,污染物控制装置包括抽风管和安装在抽风管端部且相邻AMHS系统轨道设置的抽风口,抽风口为孔板、与抽风管通过卡扣连接,孔板边缘为堵实区域,而不是孔板满铺式,孔板为方形板,开孔率为25%。可在OHT天车运动时高效去除OHT运动携带的污染物,防止对相邻洁净室的污染。染。染。
技术研发人员:徐瑾睿 张柯 周玉 鲍允州 何滔 吴建华 钱振
受保护的技术使用者:中国电子系统工程第二建设有限公司
技术研发日:2022.12.26
技术公布日:2023/7/14
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