一种退火炉尾气回收再利用装置的制作方法

1.本实用新型涉及退火炉技术领域，特别涉及一种退火炉尾气回收再利用装置。


背景技术：

2.退火炉是一种新型换热设备，专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，是节能型周期式作业炉，从退火炉排出的高温烟气往往带走炉子供热量的20～50％，由于能源紧张，为了进一步提高窑炉的热效率，达到节能降耗的目的，回收烟气余热也是一项重要的节能途径。
3.目前，现有的尾气回收再利用装置在使用时存在以下缺点：缺少尾气流动距离调节装置，通常尾气热量回收再利用装置，在尾气流通的过程中，对其中的热量进行回收，但是使用方式固定，难以根据实际的退火炉尾气流量及流速进行调节使用，使用的灵活性较差。为此，我们提出了一种退火炉尾气回收再利用装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的在于提供一种退火炉尾气回收再利用装置，可以有效解决背景技术中的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
6.一种退火炉尾气回收再利用装置，包括退火炉、回收箱和换热器，所述退火炉包括尾气管，所述退火炉的一侧设置有回收箱，且尾气管与回收箱连通，所述回收箱的顶部设置有水箱，所述回收箱内位于水箱的底部通过阻尼转轴安装有导流板，所述水箱内的两侧均通过轴承安装丝杆，且丝杆贯穿导流板，所述丝杆的外围设置有对应的丝块，所述丝块的底部通过螺栓连接有用于调节尾气流向的推板。
7.进一步地，所述回收箱的一侧设置有换热器，且回收箱的出气端通过管道连通换热器的进气端，所述换热器的顶部设置有出水管，且出水管与水箱连通，所述换热器的一侧设置有进水管。
8.进一步地，所述回收箱的一侧设置有伺服电机，所述伺服电机通过驱动轴连接丝杆，回收箱通过螺栓连接伺服电机。
9.进一步地，所述换热器的背部设置有喷淋塔，且换热器的出气端通过管道连通喷淋塔。
10.进一步地，所述回收箱内的顶部设置有过滤槽。
11.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
12.1.通过设置的回收箱、水箱和导流板，能够在对退火炉尾气回收的同时，利用尾气中的余热对水加热进行再利用处理，通过丝杆、丝块和推板，还能根据实际尾气流量及流速，调节其移动的范围，进而通过调节移动距离的方式，提高尾气热量回收的利用率。
13.2.通过设置的换热器、进水管和出水管，还能进一步将尾气中的热量二次回收处理，结构简单紧凑，成本低廉易操作，进一步提高了尾气回收再利用的效果。
附图说明
14.图1为本实用新型一种退火炉尾气回收再利用装置的整体结构示意图。
15.图2为本实用新型一种退火炉尾气回收再利用装置的回收箱剖面结构示意图。
16.图中：1、退火炉；2、回收箱；3、尾气管；4、水箱；5、导流板；6、丝杆；7、丝块；8、推板；9、伺服电机；10、换热器；11、出水管；12、进水管；13、喷淋塔；14、过滤槽。
具体实施方式
17.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
18.如图1和2所示，一种退火炉尾气回收再利用装置，包括退火炉1、回收箱2和换热器10，所述退火炉1包括尾气管3，所述退火炉1的一侧设置有回收箱2，且尾气管3与回收箱2连通，所述回收箱2的顶部设置有水箱4，所述回收箱2内位于水箱4的底部通过阻尼转轴安装有导流板5，所述水箱4内的两侧均通过轴承安装丝杆6，且丝杆6贯穿导流板5，所述丝杆6的外围设置有对应的丝块7，所述丝块7的底部通过螺栓连接有用于调节尾气流向的推板8。
19.回收箱2内的表面铺设有保温板。
20.其中，所述回收箱2的一侧设置有换热器10，且回收箱2的出气端通过管道连通换热器10的进气端，所述换热器10的顶部设置有出水管11，且出水管11与水箱4连通，所述换热器10的一侧设置有进水管12。
21.本实施例中如图1所示，通过换热器10能够进行二次热量回收处理，进一步提高尾气中热量的利用率。
22.其中，所述回收箱2的一侧设置有伺服电机9，所述伺服电机9通过驱动轴连接丝杆6。
23.本实施例中如图2所示，通过伺服电机9便于驱动丝杆6转动，丝杆6丝块7为滚珠丝杠，其厂家为：力士乐，型号为：r150244085。
24.其中，所述换热器10的背部设置有喷淋塔13，且换热器10的出气端通过管道连通喷淋塔13。
25.本实施例中如图1所示，通过喷淋塔13能够对尾气进行喷淋过滤清洁后再对外排放。
26.其中，所述回收箱2内的顶部设置有过滤槽14。
27.本实施例中如图1所示，过滤槽14内设置有筛板。
28.需要说明的是，本实用新型为一种退火炉尾气回收再利用装置，工作时，首先退火炉1内的尾气通过尾气管3进入回收箱2内的过滤槽14内，经过筛板进行初步过滤处理，再经过导流板5的导向后反复与水箱4底部相接触，利用其中的热量对水进行加热处理，同时可根据实际使用需要，人工开启伺服电机9驱动丝杆6转动，丝块7带动推板8对导流板5进行挤压，使其产生倾斜，进而能够调节尾气在回收箱2内的移动距离，充分提高热量回收的利用率，接着尾气通过管道进入换热器10内，人工开启外部水泵通过进水管12将水源经过换热器10输送至水箱4内，进行二次尾气热量回收处理，大大提高了尾气热量的利用率，最后通过尾气通过出气端进入喷淋塔13内，经过喷淋过滤清洁后再排放，整体结构简单易操作，回收利用效果好。
29.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.一种退火炉尾气回收再利用装置，包括退火炉(1)、回收箱(2)和换热器(10)，其特征在于：所述退火炉(1)包括尾气管(3)，所述退火炉(1)的一侧设置有回收箱(2)，且尾气管(3)与回收箱(2)连通，所述回收箱(2)的顶部设置有水箱(4)，所述回收箱(2)内位于水箱(4)的底部通过阻尼转轴安装有导流板(5)，所述水箱(4)内的两侧均通过轴承安装丝杆(6)，且丝杆(6)贯穿导流板(5)，所述丝杆(6)的外围设置有对应的丝块(7)，所述丝块(7)的底部通过螺栓连接有用于调节尾气流向的推板(8)。2.根据权利要求1所述的一种退火炉尾气回收再利用装置，其特征在于：所述回收箱(2)的一侧设置有换热器(10)，且回收箱(2)的出气端通过管道连通换热器(10)的进气端，所述换热器(10)的顶部设置有出水管(11)，且出水管(11)与水箱(4)连通，所述换热器(10)的一侧设置有进水管(12)。3.根据权利要求1所述的一种退火炉尾气回收再利用装置，其特征在于：所述回收箱(2)的一侧设置有伺服电机(9)，所述伺服电机(9)通过驱动轴连接丝杆(6)。4.根据权利要求1所述的一种退火炉尾气回收再利用装置，其特征在于：所述换热器(10)的背部设置有喷淋塔(13)，且换热器(10)的出气端通过管道连通喷淋塔(13)。5.根据权利要求1所述的一种退火炉尾气回收再利用装置，其特征在于：所述回收箱(2)内的顶部设置有过滤槽(14)。

技术总结
本实用新型公开了一种退火炉尾气回收再利用装置，包括退火炉、回收箱和换热器，所述退火炉包括尾气管，所述退火炉的一侧设置有回收箱，且尾气管与回收箱连通，所述回收箱的顶部设置有水箱，所述回收箱内位于水箱的底部通过阻尼转轴安装有导流板，所述水箱内的两侧均通过轴承安装丝杆，且丝杆贯穿导流板，所述丝杆的外围设置有对应的丝块，所述丝块的底部通过螺栓连接有用于调节尾气流向的推板。本实用新型一种退火炉尾气回收再利用装置，结构简单易操作，使用更加灵活稳定，实用价值较高，适合被广泛推广和使用。广泛推广和使用。广泛推广和使用。


技术研发人员：刘华 刘春 曾超群
受保护的技术使用者：苏州辰诺气体设备有限公司
技术研发日：2023.01.29
技术公布日：2023/7/14