用于双面卷对卷激光直写曝光机的涨紧装置的制作方法

1.本实用新型涉及激光直写曝光技术领域，具体涉及一种用于双面卷对卷激光直写曝光机的涨紧装置。


背景技术：

2.传统的双面曝光机中部是上下曝光设备，两侧是用于基材卷料输送的收放卷机构，能够将基材卷料拉紧伸直，从而达到悬空状态，避免了使用玻璃支撑时带来的灰尘和脏污。但由于基材属于软性材料，中间悬空部分过长的话，会在自身重力作用下，在悬空中心位置处产生下垂变形，从而影响曝光精度。另外，平台运动过程中会不可避免产生振动，基材卷料在曝光过程中未采用任何固定措施，平台移动所带来的振动及基材自身的微小振动都会对曝光精度产生影响。


技术实现要素：

3.本实用新型提供一种能够减小曝光过程中卷式基材产生振动和位移的涨紧装置。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
5.一种用于双面卷对卷激光直写曝光机的涨紧装置，包括：
6.具有水平导轨的机架，该机架中部设置有用于对基材悬空的中间部位进行支撑的支撑机构，该支撑机构能够沿着水平导轨移动；
7.设置在机架长度方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端和收料端分别进行夹紧；以及
8.设置在端部夹紧机构内侧机架上的用于压紧基材的涨紧机构。
9.进一步地，所述支撑机构包括：
10.一对侧边梁，该一对侧边梁之间固定有水平布置的多个支撑杆，侧边梁的一端设置有安装横梁；以及
11.驱动机构，该驱动机构的伸缩端与所述安装横梁固定连接，所述驱动机构能够带动侧边梁沿着所述水平导轨移动。
12.进一步地，还包括设置在机架两端的电动滑台，该电动滑台能够带动支撑机构在竖直方向运动。
13.由以上技术方案可知，本实用新型通过在基材悬空的中间部位设置支撑机构，在基材两端设置端部夹紧机构和涨紧机构，使得在曝光过程中基材始终被夹紧，并且基材一直贴合在支撑机构的表面，避免在曝光过程中卷式基材由于精密运动平台的运动而产生振动和位移，从而影响曝光精度。
附图说明
14.图1为本实用新型涨紧装置的结构示意图；
15.图2为本实用新型中端部夹紧机构的结构示意图。
具体实施方式
16.下面结合附图对本实用新型的一种优选实施方式作详细的说明。
17.本实用新型的涨紧装置是用于双面卷对卷激光直写曝光机对基材拉直夹紧，避免曝光过程中基材产生微小移动。涨紧装置通过对基材中间悬空部分进行支撑，以及对基材的端部进行夹紧并下压拉直，从而完成曝光时的涨紧作用。
18.如图1所示，所述涨紧装置10包括一个机架11，该机架中部设置有支撑机构20，机架11的两端设置有端部夹紧机构30和涨紧机构40。
19.所述支撑机构20包括一对沿着基材长度方向布置的侧边梁21，该一对侧边梁之间固定有水平布置的多个支撑杆22，该支撑杆具有与基材底部接触的接触面，能够对基材悬空的中间部位进行支撑。
20.为不遮挡下部光路，多个支撑杆22在曝光过程中需要进行水平移动，使得上、下曝光机构能曝光出完整图形，具体是支撑杆22先向下移动，再水平方向移动，移动到位后再向上移动归位，这就需要支撑杆22能够竖直方向和水平方向均移动，本实用新型通过设置在机架11上的驱动机构50和电动滑台60分别完成水平方向和竖直方向的移动。
21.为了实现支撑杆22水平方向的移动，需要在机架11沿基材长度方向的内侧设置有水平导轨12，支撑机构20的一对侧边梁21能够沿着水平导轨12移动。侧边梁21的一端还设置有安装横梁23，通过驱动机构50的伸缩端与安装横梁23固定连接，驱动机构50能够带动侧边梁21沿着水平导轨12移动。驱动机构50可以采用气缸或电机等(不限于此)驱动，本实施例中采用的是电机驱动，移动过程平顺稳定，不会产生多余的振动和冲击，避免了对基材稳定性的影响。
22.如图2所示，所述端部夹紧机构30包括上下布置的上辊轮31和下辊轮32，以及用于带动上、下辊轮夹紧的夹紧气缸，通过上、下辊轮的合并对基材的放料端和收料端进行夹紧，本实用新型具体使用的夹紧气缸包括用于驱动上辊轮运动的第一夹紧气缸33和第二夹紧气缸34，以及用于驱动下辊轮运动的第三夹紧气缸35和第四夹紧气缸36，其中上、下辊轮的两端分别设置有第一安装板37和第二安装板38，所述第一夹紧气缸33和第三夹紧气缸35分别设置在第一安装板37的两侧，所述第二夹紧气缸34和第四夹紧气缸36分别设置在第二安装板38的两侧。
23.为了让基材在曝光作业时一直贴合在多个支撑杆22上，本实用新型在非曝光区域中设置涨紧机构40，该涨紧机构包括垂直于基材长度方向布置的涨紧轮41，以及设置在该涨紧轮两端的用于驱动涨紧轮下压的第五夹紧气缸42，通过第五夹紧气缸42带动涨紧轮41下压基材，使得基材与多个支撑杆22的支撑面处于同一水平面上，保证基材曝光时的平整度。本实施例中，所述涨紧机构40为两个，分别安装在端部夹紧机构30内侧机架上。
24.所述涨紧装置10还包括升降组件70，该升降组件用于调节多个支撑杆22的高度，使基材高度处于上、下曝光组件的焦面上。
25.以上所述实施方式仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。


技术特征：
1.一种用于双面卷对卷激光直写曝光机的涨紧装置，其特征在于，包括：具有水平导轨的机架，该机架中部设置有用于对基材悬空的中间部位进行支撑的支撑机构，该支撑机构能够沿着水平导轨移动；设置在机架长度方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端和收料端分别进行夹紧；以及设置在端部夹紧机构内侧机架上的用于压紧基材的涨紧机构。2.根据权利要求1所述的涨紧装置，其特征在于，所述端部夹紧机构包括上下布置的上辊轮和下辊轮，以及用于带动上、下辊轮夹紧的夹紧气缸。3.根据权利要求2所述的涨紧装置，其特征在于，所述夹紧气缸包括用于驱动上辊轮运动的第一夹紧气缸和第二夹紧气缸，以及用于驱动下辊轮运动的第三夹紧气缸和第四夹紧气缸，其中上、下辊轮的两端分别设置有第一安装板和第二安装板，所述第一夹紧气缸和第三夹紧气缸分别设置在第一安装板的两侧，所述第二夹紧气缸和第四夹紧气缸分别设置在第二安装板的两侧。4.根据权利要求1所述的涨紧装置，其特征在于，所述支撑机构包括：一对侧边梁，该一对侧边梁之间固定有水平布置的多个支撑杆，侧边梁的一端设置有安装横梁；以及驱动机构，该驱动机构的伸缩端与所述安装横梁固定连接，所述驱动机构能够带动侧边梁沿着所述水平导轨移动。5.根据权利要求1所述的涨紧装置，其特征在于，还包括设置在机架两端的电动滑台，该电动滑台能够带动支撑机构在竖直方向运动。6.根据权利要求1所述的涨紧装置，其特征在于，所述涨紧机构包括垂直于基材长度方向布置的涨紧轮，以及设置在该涨紧轮两端的用于驱动涨紧轮下压的第五夹紧气缸。

技术总结
本实用新型提供一种用于双面卷对卷激光直写曝光机的涨紧装置，包括具有水平导轨的机架，该机架中部设置有用于对基材悬空的中间部位进行支撑的支撑机构，该支撑机构能够沿着水平导轨移动；设置在机架长度方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端和收料端分别进行夹紧；以及设置在端部夹紧机构内侧机架上的用于压紧基材的涨紧机构。本实用新型通过在基材悬空的中间部位设置支撑机构，在基材两端设置端部夹紧机构和涨紧机构，使得在曝光过程中基材始终被夹紧，并且基材一直贴合在支撑机构的表面，避免在曝光过程中卷式基材由于精密运动平台的运动而产生振动和位移，从而影响曝光精度。影响曝光精度。影响曝光精度。


技术研发人员：叶飞
受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
技术研发日：2023.01.04
技术公布日：2023/7/14