分体式镀膜设备及镀膜系统的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种分体式镀膜设备及镀膜系统。


背景技术：

2.现有的镀膜设备的镀膜腔室均为一体化结构，主要包括封门和腔体，通过封门能够将腔体密封，以实现镀膜腔室的镀膜作业。
3.但现有的镀膜设备中靶材、离子源以及加热件等结构均集成在统一的腔体上，一方面使得腔体的整体尺寸极大，另一方面，由于设备在运转作业一定时间后，需要进行检修和维护以及更换靶材等作业，因此，在进行检修、维护以及更换靶材等作业时，需要将镀膜作业停止，待检修维护完成后，才能开始继续作业，导致整体作业效率降低。
4.因此，急需提供一种分体式镀膜设备及镀膜系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种分体式镀膜设备及镀膜系统，以在一定程度上优化镀膜设备，提高镀膜设备的灵活性和整体作业效率。
6.本实用新型提供的一种分体式镀膜设备，包括传动腔体、工作腔体和锁定件；所述传动腔体的边缘形成有对位件，所述工作腔体对应所述对位件的位置形成有对位部，所述对位件进入所述对位部以使所述工作腔体与所述传动腔体对位连接；所述锁定件的一端能够穿过所述工作腔体和所述传动腔体，以将所述工作腔体和所述传动腔体相锁定。
7.其中，所述传动腔体内设有传动机构，所述传动机构沿所述传动腔体的长度方向延伸，所述传动腔体在长度方向上的一端开设有进货口，另一端开设有出货口，且所述进货口和所述出货口与所述传动机构的两端相对位。
8.具体地，所述工作腔体包括第一缸体，所述第一缸体与所述传动腔体可拆卸连接，所述第一缸体上形成有四个第一安装接口，四个所述第一安装接口沿所述第一缸体的周向间隔设置。
9.进一步地，所述工作腔体包括第二缸体，所述第二缸体上形成有第二安装接口，且所述第二安装接口位于所述第二缸体的侧部。
10.更进一步地，所述工作腔体包括第三缸体，所述第三缸体的壁体内设有加热组件或冷却组件。
11.实际应用时，所述工作腔体的垂直于轴线方向的截面呈优弧形或呈梯形或呈半圆形。
12.其中，所述锁定件为梅花扳手，所述锁定件的数量为多个，且多个所述锁定件相对分布于所述工作腔体和传动腔体的两侧。
13.具体地，所述工作腔体的外壁面上设有吊装构件，且所述吊装构件位于所述工作
腔体的顶部。
14.进一步地，所述传动机构包括多个传动轮和传送带，多个所述传动轮沿所述传动腔体的长度方向间隔设置，以使所述传送带沿所述传动腔体的长度方向延伸，并由所述进货口向所述出货口传动。
15.相对于现有技术，本实用新型提供的分体式镀膜设备具有以下优势：
16.本实用新型提供的分体式镀膜设备，包括传动腔体、工作腔体和锁定件；传动腔体的边缘形成有对位件，工作腔体对应对位件的位置形成有对位部，对位件进入对位部以使工作腔体与传动腔体对位连接；锁定件的一端能够穿过工作腔体和传动腔体，以将工作腔体和传动腔体相锁定。
17.由此分析可知，通过将镀膜设备分为工作腔体和传动腔体，一方面能够明确分区，以实现通过工作腔体对工件进行清洗以及镀膜等工艺，通过传动腔体对工件进行输送的流水化作业。另一方面，由于在镀膜作业中，靶材在使用一定时间后需要进行更换，且设备也需要进行检修，因此，通过使工作腔体和传动腔体为分体式结构，当需要对工作腔体进行检修或更换靶材时，可先将原有工作腔体与传动腔体相分离，再将新的工作腔体与传动腔体相对接，从而既能够通过新的工作腔体与传动腔体相结合，实现镀膜作业，也能够对拆除的工作腔体进行检修以及更换靶材等作业，实现镀膜作业、设备检修以及靶材更换的同步进行，互不影响，提高整体作业效率。
18.可以理解的是，由于本技术中传动腔体的边缘形成有对位件，且工作腔体对应对位件的位置形成有对位部，因此，通过对位件和对位部的配合，能够实现工作腔体和作业腔体之间的初步对位。待对位完成后，再通过锁定件实现工作腔体与作业腔体之间的锁定和密封。
19.此外，本实用新型还提供一种镀膜系统，包括靶材机构、清洗机构、加热机构、冷却机构、检测机构以及上述的分体式镀膜设备；所述分体式镀膜设备中的工作腔体有多个，多个所述工作腔体内均设有所述检测机构，且多个所述工作腔体分别与所述靶材机构、所述清洗机构、所述加热机构以及所述冷却机构对应设置。
20.本技术提供的镀膜系统中通过包括多个工作腔体，从而能够对应承载靶材机构、清洗机构、加热机构以及冷却机构。而分体式镀膜设备中的传动腔体可以为一个，根据不同需求将不同的作业腔体与传动腔体相连接，从而实现对工件的清洗、镀膜以及烘干及冷却等作业。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本实用新型实施例提供的分体式镀膜设备中传动腔体的结构示意图；
23.图2为本实用新型实施例提供的分体式镀膜设备中工作腔体的结果示意图；
24.图3为本实用新型实施例提供的分体式镀膜设备中工作腔体第一种形式的结构示意图；
25.图4为本实用新型实施例提供的分体式镀膜设备中工作腔体第二种形式的结构示意图；
26.图5为本实用新型实施例提供的分体式镀膜设备中工作腔体第三种形式的结构示意图。
27.图中：1-传动腔体；101-传动机构；1011-传动轮；1012-传送带；102-进货口；103-出货口；104-对位件；2-第一缸体；201-第一安装接口；3-第二缸体；4-第三缸体；5-锁定件；6-吊装构件；7-靶材机构。
具体实施方式
28.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
29.在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
31.在本技术实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
32.如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项中的任何一项和任何两项或更多项的任何组合。
33.为了易于描述，在这里可使用诸如“在
……
之上”、“上部”、“在
……
之下”和“下部”的空间关系术语，以描述如附图所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间关系术语意图除了包含在附图中所描绘的方位之外，还包含装置在使用或操作中的不同方位。
34.在此使用的术语仅用于描述各种示例，并非用于限制本公开。除非上下文另外清楚地指明，否则单数的形式也意图包括复数的形式。术语“包括”、“包含”和“具有”列举存在的所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。
35.由于制造技术和/或公差，可出现附图中所示的形状的变化。因此，这里所描述的示例不限于附图中所示的特定形状，而是包括在制造期间出现的形状上的改变。
36.这里所描述的示例的特征可按照在理解本技术的公开内容之后将是显而易见的各种方式进行组合。此外，尽管这里所描述的示例具有各种各样的构造，但是如在理解本技术的公开内容之后将显而易见的，其他构造是可能。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
37.如图1-图5所示，本实用新型提供一种分体式镀膜设备，包括传动腔体1、工作腔体和锁定件5；传动腔体1的边缘形成有对位件104，工作腔体对应对位件104的位置形成有对位部，对位件104进入对位部以使工作腔体与传动腔体1对位连接；锁定件5的一端能够穿过工作腔体和传动腔体1，以将工作腔体和传动腔体1相锁定。
38.相对于现有技术，本实用新型提供的分体式镀膜设备具有以下优势：
39.本实用新型提供的分体式镀膜设备，通过将镀膜设备分为工作腔体和传动腔体1，一方面能够明确分区，以实现通过工作腔体对工件进行清洗以及镀膜等工艺，通过传动腔体1对工件进行输送的流水化作业。另一方面，由于在镀膜作业中，靶材在使用一定时间后需要进行更换，且设备也需要进行检修，因此，通过使工作腔体和传动腔体1为分体式结构，当需要对工作腔体进行检修或更换靶材时，可先将原有工作腔体与传动腔体1相分离，再将新的工作腔体与传动腔体1相对接，从而既能够通过新的工作腔体与传动腔体1相结合，实现镀膜作业，也能够对拆除的工作腔体进行检修以及更换靶材等作业，实现镀膜作业、设备检修以及靶材更换的同步进行，互不影响，提高整体作业效率。
40.可以理解的是，由于本技术中传动腔体1的边缘形成有对位件104，且工作腔体对应对位件104的位置形成有对位部，因此，通过对位件104和对位部的配合，能够实现工作腔体和作业腔体之间的初步对位。待对位完成后，再通过锁定件5实现工作腔体与作业腔体之间的锁定和密封。
41.此处需要补充说明的是，本技术中的对位件104可以为传动腔体1的边缘形成的定位凸起，也可以采用定位销与传动腔体1可拆卸连接，实现对工作腔体的定位和初步连接。而锁定件5可以为螺栓和螺母的配合，通过在工作腔体和传动腔体1的对应位置开设穿孔，通过螺栓和螺母的配合，实现传动腔体1和工作腔体之间的可拆卸连接。锁定件5还可以采用单螺栓结构，即通过将传动腔体1或工作腔体的对应位置形成螺孔，使螺栓的一端穿过传动腔体1或工作腔体并进入螺孔内，从而通过螺纹配合，能够实现工作腔体和传动腔体1的可拆卸连接。
42.可选地，如图1-图5所示，传动腔体1内设有传动机构101，传动机构101沿传动腔体1的长度方向延伸，传动腔体1在长度方向上的一端开设有进货口102，另一端开设有出货口103，且进货口102和出货口103与传动机构101的两端相对位。
43.通过在传动腔体1内设置的传动机构101，且使传动机构101沿传动腔体1的长度方向延伸，并在传动腔体1的一端开设有进货口102，一端开设出货口103，从而能够使转架由进货口102进入传动腔体1内，再由出货口103移出传动腔体1。并且，由于本技术中的进货口102和出货口103与传动机构101的两端相对位，因此，进入传动腔体1内的转架能够稳定的
被传动机构101承接，并能够在工作腔体中完成对应工艺后，再次由传动机构101送出传动腔体1，从而实现镀膜工艺的流水线作业。
44.可选地，如图3所示，本技术中的工作腔体包括第一缸体2，第一缸体2与传动腔体1可拆卸连接，第一缸体2上形成有四个第一安装接口201，四个第一安装接口201沿第一缸体2的周向间隔设置。
45.本技术中图3示出的为工作腔体的第一种实施方式，且在该实施方式中，第一缸体2用于承载靶材机构7，从而形成的工作腔体为镀膜腔。
46.而由于镀膜工艺需要使工件能够均匀形成膜层，因此，本技术通过在工作腔体上形成的四个第一安装接口201，且四个第一安装接口201沿第一缸体2的周向间隔设置，从而能够在安装靶材机构7后，实现靶材机构7相对工件的周向分布，进而能够在一定程度上保证工件在镀膜过程中能够形成均匀膜层。
47.可选地，如图4所示，本技术中的工作腔体包括第二缸体3，第二缸体3上形成有第二安装接口，且第二安装接口位于第二缸体3的侧部。
48.本技术中的第二缸体3用于安装清洗机构，且清洗机构可以包括离子源和/或刻蚀弧源，通过离子源和刻蚀弧源能够对工件进行清洗作业，从而清除工件表面的杂质，保证后续镀膜效果。
49.可以理解的是，本技术通过在第二缸体3上形成的第二安装接口，能够使离子源或刻蚀弧源与第二缸体3稳定连接和安装，保证刻蚀清洗效果。相应地，由于第二缸体3用于安装清洗机构，因此，形成的工作腔体为清洗腔。
50.可选地，如图5所示，本技术中的工作腔体包括第三缸体4，第三缸体4的壁体内设有加热组件或冷却组件。
51.由于在镀膜工艺中还需要对工件进行烘干或在进行作业前，需要将工件提高到一定温度，在作业完成后需要将工件冷却到一定温度，以保证膜层的稳定形成。因此，通过第三缸体4能够为加热组件或冷却组件提供稳定的安装位置，从而形成的工作腔体为冷却腔或烘干腔，以在镀膜前或镀膜后提供对应工序的工作腔体。
52.优选地，如图3-图5所示，本技术中的工作腔体的垂直于轴线方向的截面呈优弧形或呈梯形或呈半圆形。
53.可以理解的是，如图3-图5所示，由于本技术中的第一缸体2需要安装靶材机构7，因此，上述的工作腔体的截面呈优弧形主要是指第一缸体2的截面呈优弧形，一方面，能够提供充足的空间承载挂设工件的转架，并保证靶材机构7与工件之间的距离，另一方面，也能够为靶材机构7提供充足的安装位置，以实现四个靶材机构7能够相对工件周向均布的目的。
54.相应地，由于第二缸体3仅需要对应安装清洗机构，即离子源或刻蚀弧源，因此，上述的工作腔体的截面呈梯形主要是指第二缸体3的截面呈梯形，一方面，能够为清洗机构提供稳定的安装位置，另一方面，能够区分第一缸体2和第二缸体3，避免在拆装维护过程中产生混乱的问题。
55.优选地，如图3所示，本技术中的锁定件5为梅花扳手，锁定件5的数量为多个，且多个锁定件5相对分布于工作腔体和传动腔体1的两侧。
56.实际上，本技术中的锁定件5为螺栓和梅花扳手的结合，通过螺栓能够将工作腔体
和传动腔体1的边缘相连，通过梅花扳手，能够与螺栓相配合，并便于操作人员旋拧，提高工作腔体和传动腔体1之间的贴合程度，保证腔室内的气密性。
57.进一步优选地，如图3-图5所示，本技术中的工作腔体的外壁面上设有吊装构件6，且吊装构件6位于工作腔体的顶部。
58.可以理解的是，本技术中第一缸体2、第二缸体3以及第三缸体4的顶部均形成有吊装构件6，且吊装构件6可以为吊耳，能够便于吊钩的连接。吊装构件6的数量也可为一个，且当吊装构件6为一个时，吊装构件6需要位于工作腔体的中心位置，以保证工作腔体吊装时的平衡。而当吊装构件6为两个或两个以上时，则仅需保证工作腔体的两端位置分别具有一个吊装构件6，且在吊装时两个吊装构件6均起作用即可。
59.可选地，如图1所示，本技术中的传动机构101包括多个传动轮1011和传送带1012，多个传动轮1011沿传动腔体1的长度方向间隔设置，以使传送带1012沿传动腔体1的长度方向延伸，并由进货口102向出货口103传动。
60.本技术中的传动轮1011的数量可根据具体需求增减，但多个传动轮1011需要保证设置间隔一致，从而能够保证传动带的各个位置均保持在同一水平面上，且受力均衡，进而保证整体结构的传动稳定性。
61.此外，本实用新型还提供一种镀膜系统，包括靶材机构7、清洗机构、加热机构、冷却机构、检测机构以及上述的分体式镀膜设备；分体式镀膜设备中的工作腔体有多个，多个工作腔体内均设有检测机构，且多个工作腔体分别与靶材机构7、清洗机构、加热机构以及冷却机构对应设置。
62.本技术提供的镀膜系统中通过包括多个工作腔体，从而能够对应承载靶材机构7、清洗机构、加热机构以及冷却机构。而分体式镀膜设备中的传动腔体1可以为一个，根据不同需求将不同的作业腔体与传动腔体1相连接，从而实现对工件的清洗、镀膜以及烘干及冷却等作业。
63.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种分体式镀膜设备，其特征在于，包括传动腔体、工作腔体和锁定件；所述传动腔体的边缘形成有对位件，所述工作腔体对应所述对位件的位置形成有对位部，所述对位件进入所述对位部以使所述工作腔体与所述传动腔体对位连接；所述锁定件的一端能够穿过所述工作腔体和所述传动腔体，以将所述工作腔体和所述传动腔体相锁定。2.根据权利要求1所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述传动腔体内设有传动机构，所述传动机构沿所述传动腔体的长度方向延伸，所述传动腔体在长度方向上的一端开设有进货口，另一端开设有出货口，且所述进货口和所述出货口与所述传动机构的两端相对位。3.根据权利要求1所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述工作腔体包括第一缸体，所述第一缸体与所述传动腔体可拆卸连接，所述第一缸体上形成有四个第一安装接口，四个所述第一安装接口沿所述第一缸体的周向间隔设置。4.根据权利要求1所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述工作腔体包括第二缸体，所述第二缸体上形成有第二安装接口，且所述第二安装接口位于所述第二缸体的侧部。5.根据权利要求1所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述工作腔体包括第三缸体，所述第三缸体的壁体内设有加热组件或冷却组件。6.根据权利要求1所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述工作腔体的垂直于轴线方向的截面呈优弧形或呈梯形或呈半圆形。7.根据权利要求1所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述锁定件为梅花扳手，所述锁定件的数量为多个，且多个所述锁定件相对分布于所述工作腔体和传动腔体的两侧。8.根据权利要求1所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述工作腔体的外壁面上设有吊装构件，且所述吊装构件位于所述工作腔体的顶部。9.根据权利要求2所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述传动机构包括多个传动轮和传送带，多个所述传动轮沿所述传动腔体的长度方向间隔设置，以使所述传送带沿所述传动腔体的长度方向延伸，并由所述进货口向所述出货口传动。10.一种镀膜系统，其特征在于，包括靶材机构、清洗机构、加热机构、冷却机构、检测机构以及上述权利要求1-9中任一项所述的分体式镀膜设备；所述分体式镀膜设备中的工作腔体有多个，多个所述工作腔体内均设有所述检测机构，且多个所述工作腔体分别与所述靶材机构、所述清洗机构、所述加热机构以及所述冷却机构对应设置。

技术总结
本实用新型提供一种分体式镀膜设备及镀膜系统，涉及镀膜设备技术领域，分体式镀膜设备包括传动腔体、工作腔体和锁定件；传动腔体的边缘形成有对位件，工作腔体对应对位件的位置形成有对位部，对位件进入对位部以使工作腔体与传动腔体对位连接；锁定件的一端能够穿过工作腔体和传动腔体，以将工作腔体和传动腔体相锁定。通过本申请提供的分体式镀膜设备，由于工作腔体和传动腔体为分体式结构，且通过锁定件锁定连接，因此，可根据作业需求快速更换对应的工作腔体，以提高作业效率。并且，当需要对工作腔体进行检修时，可将待检修工作腔体拆除，更换新的工作腔体进行作业，以实现作业和维修的同步进行。维修的同步进行。维修的同步进行。


技术研发人员：王君
受保护的技术使用者：沈阳爱科斯科技有限公司
技术研发日：2023.04.13
技术公布日：2023/7/14