一种单晶硅加工用研磨装置的制作方法

1.本实用新型涉及单晶硅加工装置技术领域，尤其涉及一种单晶硅加工用研磨装置。


背景技术：

2.单晶硅在加工时需要经过研磨工序，如公告号为cn213380953u的中国专利所公开的一种适用于单晶硅片的高精度双面研磨装置加工装置，其利用上下研磨盘对单晶硅片进行双面研磨，但是其结构较为复杂，为此，本实用新型提出一种结构较为简单的单晶硅加工用研磨装置。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是针对背景技术中存在的问题，提出一种单晶硅加工用研磨装置。
4.本实用新型的技术方案：一种单晶硅加工用研磨装置，包括底盘，底盘的上表面固定连接有固定柱，所述固定柱的顶端固定连接有下研磨盘，所述下研磨盘的上表面水平转动连接有安装盘，所述安装盘开设有多个用于放置单晶硅个体的安装孔，所述底盘的上表面固定连接有安装架，所述安装架的上表面固定连接有气缸，所述气缸的活塞杆底端活动贯穿安装架后固定连接有上研磨盘，所述单晶硅个体的顶端与上研磨盘的下表面接触，所述单晶硅个体的底端与下研磨盘的上表面接触。
5.优选的，所述底盘的上表面固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有主齿轮，所述安装盘的外环面固定套接有能与主齿轮啮合连接的齿环。
6.优选的，所述下研磨盘的上表面靠近边缘位置固定连接有让安装盘在下研磨盘上水平旋转的环条。
7.优选的，所述上研磨盘的上表面固定连接有导向杆，所述导向杆活动贯穿安装架。
8.优选的，所述上研磨盘和下研磨盘均贯穿开设有用于向安装盘添加研磨液的入液孔。
9.优选的，所述安装架开设有用于安装研磨液储存设备的螺栓孔。
10.优选的，所述安装架的底端通过螺栓与底盘的上表面固定连接。
11.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益的技术效果：
12.本申请通过下研磨盘、上研磨盘和安装盘的设计，可以对单晶硅个体进行双面研磨，整体结构较为简单，成本低且操作容易。此外，安装盘为独立式结构，便于根据不同的单晶硅进行更换。
附图说明
13.图1为单晶硅加工用研磨装置的结构示意图；
14.图2为图1的分离式结构示意图。
15.附图标记：1、底盘；2、固定柱；3、下研磨盘；4、安装架；5、气缸；6、螺栓孔；7、上研磨盘；8、导向杆；9、安装盘；10、齿环；11、电机；12、主齿轮；13、环条；14、安装孔；15、单晶硅个体；16、入液孔。
具体实施方式
16.下文的描述本质上仅是示例性的而并非意图限制本申请、应用及用途。应当理解，在所有这些附图中，相同或相似的附图标记指示相同的或相似的零件及特征。各个附图仅示意性地表示了本申请的实施方式的构思和原理，并不一定示出了本申请各个实施方式的具体尺寸及其比例。在特定的附图中的特定部分可能采用夸张的方式来图示本申请的实施方式的相关细节或结构。
17.实施例
18.如图1-2所示，本实用新型提出的一种单晶硅加工用研磨装置，包括底盘1，底盘1的上表面固定连接有固定柱2，固定柱2与底盘1的中心轴共线。固定柱2的顶端固定连接有下研磨盘3，下研磨盘3的中心轴与固定柱2共线。
19.如图2所示，下研磨盘3的上表面靠近边缘位置固定连接环条13，环条13与安装盘9同心共轴，环条13的内环面与安装盘9的底端外环面相互接触且安装盘9与下研磨盘3同心共轴。
20.如图2所示，安装盘9开设有多个用于放置单晶硅个体15的安装孔14，安装孔14以安装盘9的中心轴环形分布。底盘1的上表面通过螺栓固定连接有安装架4，安装架4的上表面固定连接有气缸5，气缸5的活塞杆底端活动贯穿安装架4后固定连接有上研磨盘7，上研磨盘7的上表面固定连接有导向杆8，导向杆8活动贯穿安装架4。单晶硅个体15的顶端与上研磨盘7的下表面接触，单晶硅个体15的底端与下研磨盘3的上表面接触。
21.如图1-2所示，底盘1的上表面固定连接有电机11，电机11的输出轴固定连接有主齿轮12，安装盘9的外环面固定套接有能与主齿轮12啮合连接的齿环10。
22.如图2所示，上研磨盘7和下研磨盘3均贯穿开设有用于向安装盘9添加研磨液的入液孔16，安装架4开设有用于安装研磨液储存设备的螺栓孔6，研磨液储存设备可以是带有水泵的储液箱，通过水管穿过入液孔16将研磨液从储存设备内导向安装盘9的上下表面。
23.本实施例的工作原理为：研磨时，先将安装盘9放入下研磨盘3的上表面，环条13的内环面与安装盘9的底端外环面相接触，此时安装盘9与下研磨盘3共轴，并且在放入时使齿环10与主齿轮12啮合，因此安装盘9可通过主齿轮12与齿环10之间的啮合连接实现水平旋转。将待研磨的单晶硅个体15放入安装孔14内，单晶硅个体15的底端在重力作用下与下研磨盘3的上表面接触，气缸5的活塞杆带动上研磨盘7向下移动以与单晶硅个体15的顶端接触，随后电机11的输出轴带动主齿轮12旋转，进而通过与齿环10之间的啮合带动安装盘9旋转，由于安装孔14是以安装盘9的中心轴环形分布的，因此安装孔14也会带动单晶硅个体15以安装盘9的中心轴旋转，进而使得安装盘9的上下两端分别与上研磨盘7以及下研磨盘3之间产生摩擦以达到双面研磨效果。在研磨过程中，还可以通过入液孔16向安装盘9的上表面加入研磨液，以避免因干研磨产生高温而使单晶硅个体15的性能下降。
24.上文中参照优选的实施例详细描述了本申请所提出的方案的示范性实施方式，然而本领域技术人员可理解的是，在不背离本申请理念的前提下，可以对上述具体实施例做
出多种变型和改型，且可以对本申请提出的各种技术特征、结构进行多种组合，而不超出本申请的保护范围，本申请的保护范围由所附的权利要求确定。


技术特征：
1.一种单晶硅加工用研磨装置，包括底盘(1)，其特征在于：所述底盘(1)的上表面固定连接有固定柱(2)，所述固定柱(2)的顶端固定连接有下研磨盘(3)，所述下研磨盘(3)的上表面水平转动连接有安装盘(9)，所述安装盘(9)开设有多个用于放置单晶硅个体(15)的安装孔(14)，所述底盘(1)的上表面固定连接有安装架(4)，所述安装架(4)的上表面固定连接有气缸(5)，所述气缸(5)的活塞杆底端活动贯穿安装架(4)后固定连接有上研磨盘(7)，所述单晶硅个体(15)的顶端与上研磨盘(7)的下表面接触，所述单晶硅个体(15)的底端与下研磨盘(3)的上表面接触。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用研磨装置，其特征在于，所述底盘(1)的上表面固定连接有电机(11)，所述电机(11)的输出轴固定连接有主齿轮(12)，所述安装盘(9)的外环面固定套接有能与主齿轮(12)啮合连接的齿环(10)。3.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用研磨装置，其特征在于，所述下研磨盘(3)的上表面靠近边缘位置固定连接有让安装盘(9)在下研磨盘(3)上水平旋转的环条(13)。4.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用研磨装置，其特征在于，所述上研磨盘(7)的上表面固定连接有导向杆(8)，所述导向杆(8)活动贯穿安装架(4)。5.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用研磨装置，其特征在于，所述上研磨盘(7)和下研磨盘(3)均贯穿开设有用于向安装盘(9)添加研磨液的入液孔(16)。6.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用研磨装置，其特征在于，所述安装架(4)开设有用于安装研磨液储存设备的螺栓孔(6)。7.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用研磨装置，其特征在于，所述安装架(4)的底端通过螺栓与底盘(1)的上表面固定连接。

技术总结
本实用新型涉及单晶硅加工装置技术领域，尤其涉及一种单晶硅加工用研磨装置。其技术方案包括：底盘，底盘的上表面固定连接有固定柱，所述固定柱的顶端固定连接有下研磨盘，所述下研磨盘的上表面水平转动连接有安装盘，所述安装盘开设有多个用于放置单晶硅个体的安装孔，所述底盘的上表面固定连接有安装架，所述安装架的上表面固定连接有气缸，所述气缸的活塞杆底端活动贯穿安装架后固定连接有上研磨盘，所述单晶硅个体的顶端与上研磨盘的下表面接触，所述单晶硅个体的底端与下研磨盘的上表面接触。本实用新型通过下研磨盘、上研磨盘和安装盘的设计，可以对单晶硅个体进行双面研磨，且安装盘为独立式结构，便于根据不同的单晶硅进行更换。行更换。行更换。


技术研发人员：鲁亮
受保护的技术使用者：上海瑞颀自动化科技有限公司
技术研发日：2023.02.10
技术公布日：2023/7/14