一种晶圆测试装置的探针检测机构的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆测试技术领域，具体涉及一种晶圆测试装置的探针检测机构。


背景技术：

2.在集成电路制造中，一片晶圆内一般含有多颗晶粒，不同类型的晶圆，其晶粒的间距也不相同，在制造的过程中，需要对晶圆的晶粒进行检测，一般采用探针对晶圆的晶粒进行性能的检测，而目前的晶圆测试装置由于需要对晶圆的晶粒进行逐个检测，存在检测效率低下的问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是针对现有技术中的上述不足，提供了一种晶圆测试装置的探针检测机构，能够提高测试效率，并且能够适配不同类型的晶圆。
4.本实用新型的目的通过以下技术方案实现：一种晶圆测试装置的探针检测机构，包括底座；所述底座设有相对设置的上测试架以及下测试架；
5.所述上测试架的一侧设有上固定块；所述上测试架的另一侧设有上活动块；所述上测试架设有用于驱动上活动块靠近或者远离上固定块的上微动平台；所述上固定块以及上活动块均设有上探针；
6.所述下测试架的一侧设有下固定块；所述下测试架的另一侧设有下活动块；所述下测试架设有用于驱动下活动块靠近或者远离下固定块的下微动平台；所述下固定块以及下活动块均设有下探针；
7.所述上探针与下探针正对设置。
8.本实用新型进一步设置为，所述晶圆测试装置的探针检测机构还包括用于驱动下测试架靠近或者远离上测试架的间距微动平台。
9.本实用新型进一步设置为，所述上微动平台、下微动平台以及间距微动平台均包括固定座、活动设于固定座的活动座、与固定座连接的调节块、与活动座连接的连接块以及与调节块螺纹连接的调节螺杆；所述调节螺杆穿过调节块后与连接块连接。
10.本实用新型进一步设置为，所述上微动平台的移动方向以及下微动平台的移动方向分别与间距微动平台的移动方向垂直设置。
11.本实用新型进一步设置为，所述底座设有用于驱动上测试架以及下测试架升降的升降组件。
12.本实用新型进一步设置为，所述升降组件包括设于底座的电机、与电机输出端连接的升降螺杆、套设于升降螺杆的上螺母、套设于升降螺杆的下螺母、与上螺母连接的上移动座、与下螺母连接的下移动座、设于底座的滑轨、与滑轨滑动连接的上滑块以及与滑轨滑动连接的下滑块；
13.所述上滑块与上移动座连接；所述下滑块与下移动座连接；所述上测试架设于上
移动座；所述下测试架设于下移动座。
14.本实用新型的有益效果：本实用新型通过设置上探针以及下探针，使得能够同时与晶圆的正反两面进行测试；其次，上探针的数量以及下探针的数量均为两个，能够同时对晶圆的两个晶粒进行测试，有效地提高了测试效率；另外，通过设置上微动平台以及下微动平台，能够调整两个上探针的间距以及两个下探针的间距，从而能够适配不同类型的晶圆。
附图说明
15.利用附图对实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。
16.图1是本实用新型的结构示意图；
17.图2是本实用新型另一视角的结构示意图；
18.图3是本实用新型下测试架的结构示意图；
19.其中：1、底座；21、上测试架；22、下测试架；31、上固定块；32、上活动块；33、上微动平台；34、上探针；41、下固定块；42、下活动块；43、下微动平台；44、下探针；5、间距微动平台；51、固定座；52、活动座；53、调节块；54、连接块；55、调节螺杆；61、电机；62、升降螺杆；63、上螺母；64、下螺母；65、上移动座；66、下移动座；67、滑轨；68、上滑块；69、下滑块。
具体实施方式
20.结合以下实施例对本实用新型作进一步描述。
21.由图1至图3可知，本实施例所述的一种晶圆测试装置的探针检测机构，包括底座1；所述底座1设有相对设置的上测试架21以及下测试架22；
22.所述上测试架21的一侧设有上固定块31；所述上测试架21的另一侧设有上活动块32；所述上测试架21设有用于驱动上活动块32靠近或者远离上固定块31的上微动平台33；所述上固定块31以及上活动块32均设有上探针34；
23.所述下测试架22的一侧设有下固定块41；所述下测试架22的另一侧设有下活动块42；所述下测试架22设有用于驱动下活动块42靠近或者远离下固定块41的下微动平台43；所述下固定块41以及下活动块42均设有下探针44；
24.所述上探针34与下探针44正对设置。
25.具体地，本实施例所述的晶圆测试装置的探针检测机构，通过设置上探针34以及下探针44，使得能够同时与晶圆的正反两面进行测试；其次，上探针34的数量以及下探针44的数量均为两个，能够同时对晶圆的两个晶粒进行测试，有效地提高了测试效率；另外，通过设置上微动平台33以及下微动平台43，能够调整两个上探针34的间距以及两个下探针44的间距，从而能够适配不同类型的晶圆。
26.本实施例所述的一种晶圆测试装置的探针检测机构，所述晶圆测试装置的探针检测机构还包括用于驱动下测试架22靠近或者远离上测试架21的间距微动平台5。通过上述设置，能够对上探针34与下探针44的间距进行微调，以适配不同尺寸的晶圆。
27.本实施例所述的一种晶圆测试装置的探针检测机构，所述上微动平台33、下微动平台43以及间距微动平台5均包括固定座51、活动设于固定座51的活动座52、与固定座51连
接的调节块53、与活动座52连接的连接块54以及与调节块53螺纹连接的调节螺杆55；所述调节螺杆55穿过调节块53后与连接块54连接。具体地，当需要进行调节的时候，通过转动调节螺杆55，即可以使得活动座52在固定座51上进行移动。
28.本实施例所述的一种晶圆测试装置的探针检测机构，所述上微动平台33的移动方向以及下微动平台43的移动方向分别与间距微动平台5的移动方向垂直设置。通过上述设置使得晶圆测试装置的探针检测机构的结构紧凑合理。
29.本实施例所述的一种晶圆测试装置的探针检测机构，所述底座1设有用于驱动上测试架21以及下测试架22升降的升降组件。通过上述设置便于调节上测试架21以及下测试架22的位置。
30.本实施例所述的一种晶圆测试装置的探针检测机构，所述升降组件包括设于底座1的电机61、与电机61输出端连接的升降螺杆62、套设于升降螺杆62的上螺母63、套设于升降螺杆62的下螺母64、与上螺母63连接的上移动座65、与下螺母64连接的下移动座66、设于底座1的滑轨67、与滑轨67滑动连接的上滑块68以及与滑轨67滑动连接的下滑块69；
31.所述上滑块68与上移动座65连接；所述下滑块69与下移动座66连接；所述上测试架21设于上移动座65；所述下测试架22设于下移动座66。
32.通过上述设置，使得电机61启动的时候，通过上螺母63以及下螺母64的作用下，使得上测试架21以及下测试架22同时进行升降。
33.最后应当说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型作了详细地说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。

技术特征：
1.一种晶圆测试装置的探针检测机构，其特征在于：包括底座(1)；所述底座(1)设有相对设置的上测试架(21)以及下测试架(22)；所述上测试架(21)的一侧设有上固定块(31)；所述上测试架(21)的另一侧设有上活动块(32)；所述上测试架(21)设有用于驱动上活动块(32)靠近或者远离上固定块(31)的上微动平台(33)；所述上固定块(31)以及上活动块(32)均设有上探针(34)；所述下测试架(22)的一侧设有下固定块(41)；所述下测试架(22)的另一侧设有下活动块(42)；所述下测试架(22)设有用于驱动下活动块(42)靠近或者远离下固定块(41)的下微动平台(43)；所述下固定块(41)以及下活动块(42)均设有下探针(44)；所述上探针(34)与下探针(44)正对设置。2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试装置的探针检测机构，其特征在于：所述晶圆测试装置的探针检测机构还包括用于驱动下测试架(22)靠近或者远离上测试架(21)的间距微动平台(5)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆测试装置的探针检测机构，其特征在于：所述上微动平台(33)、下微动平台(43)以及间距微动平台(5)均包括固定座(51)、活动设于固定座(51)的活动座(52)、与固定座(51)连接的调节块(53)、与活动座(52)连接的连接块(54)以及与调节块(53)螺纹连接的调节螺杆(55)；所述调节螺杆(55)穿过调节块(53)后与连接块(54)连接。4.根据权利要求2所述的一种晶圆测试装置的探针检测机构，其特征在于：所述上微动平台(33)的移动方向以及下微动平台(43)的移动方向分别与间距微动平台(5)的移动方向垂直设置。5.根据权利要求1所述的一种晶圆测试装置的探针检测机构，其特征在于：所述底座(1)设有用于驱动上测试架(21)以及下测试架(22)升降的升降组件。6.根据权利要求5所述的一种晶圆测试装置的探针检测机构，其特征在于：所述升降组件包括设于底座(1)的电机(61)、与电机(61)输出端连接的升降螺杆(62)、套设于升降螺杆(62)的上螺母(63)、套设于升降螺杆(62)的下螺母(64)、与上螺母(63)连接的上移动座(65)、与下螺母(64)连接的下移动座(66)、设于底座(1)的滑轨(67)、与滑轨(67)滑动连接的上滑块(68)以及与滑轨(67)滑动连接的下滑块(69)；所述上滑块(68)与上移动座(65)连接；所述下滑块(69)与下移动座(66)连接；所述上测试架(21)设于上移动座(65)；所述下测试架(22)设于下移动座(66)。

技术总结
本实用新型涉及晶圆测试技术领域，具体涉及一种晶圆测试装置的探针检测机构，包括底座；所述底座设有上测试架以及下测试架；所述上测试架设有上固定块与上活动块；所述上测试架设有上微动平台；所述上固定块以及上活动块均设有上探针；所述下测试架设有下固定块与下活动块；所述下测试架设有下微动平台；所述下固定块以及下活动块均设有下探针；所述上探针与下探针正对设置。本实用新型通过设置上探针以及下探针，上探针的数量以及下探针的数量均为两个，能够同时对晶圆的两个晶粒进行测试，有效地提高了测试效率；另外，通过设置上微动平台以及下微动平台，能够调整两个上探针的间距以及两个下探针的间距，从而能够适配不同类型的晶圆。型的晶圆。型的晶圆。


技术研发人员：李雄 廖大军
受保护的技术使用者：纳美半导体设备（东莞）有限公司
技术研发日：2023.03.28
技术公布日：2023/7/17