一种用于半导体工厂空压机废热回收装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种用于半导体工厂空压机废热回收装置。


背景技术：

2.随着科技的发展，越来越多的电子产品用于市面，在电子设备中会用到半导体装备，半导体在加工过程中对环境的要求非常严格，半导体行业无尘室因制程需要，要求恒温恒湿，燃气锅炉需全年运行，需要消耗大量天然气加热锅炉循环水，用于无尘室空调再热盘管加热，以保证无尘室环境温、湿度。
3.同时，半导体行业动力气体主要由空压机生产，空压机在进行压缩空气生产过程中需要消耗大量的电力将大气压缩到8kg/cm2左右，其中80％以上的电能转换为热能，被循环冷却水带走，携带大量热量的循环水经冷却塔强制降温后，以高焓值水蒸气形式，排放到大气中，大量热量白白浪费掉了，这是一个普遍存在的现象，因此提供了一种用于半导体工厂空压机废热回收装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，利用空压机废热回收装置，提供半导体行业中央空调再热盘管加热解决方案，达到节能降耗，夏季停用燃气锅炉的目的，要求装置与系统配置稳定、可靠，可以对释放的热量回收利用，从而节省大量天然气运行费用，起到节能降耗的作用，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，包括安装座，所述安装座的顶部从左至右均依次安装有空压机本体、热循环锅炉和中央空调主机，所述空压机本体的一侧从上至下均依次开设有连接口，所述空压机本体的连接口分别连通有收集管和回流管，所述空压机本体的另一侧连通有导管，所述导管的另一端与热循环锅炉的一端连通，所述热循环锅炉的另一端通过导热管与冷却组件的一侧连通，所述冷却组件远离热循环锅炉的一侧通过输送组件与中央空调主机的再热盘管连接，所述冷却组件的顶部与回流管的另一端连通，所述回流管和收集管的表面设置有收集过滤机构和回收过滤机构。
6.优选的，所述收集过滤机构包括过滤罩，所述过滤罩的进风口安装有第一过滤网，位于所述第一过滤网的内侧安装有第一活性炭吸附网，所述过滤罩的出风口连通有吸风机，所述吸风机的出风口与收集管的另一端连通。
7.优选的，所述回收过滤机构包括到回收箱，所述回收箱安装在回流管与空压机本体的连接处，所述回收箱内箱从左至右均依次设置有第二过滤网和第二活性炭吸附网。
8.优选的，所述回流管包括第一连接管和第二连接管，所述第一连接管和第二连接管的一端均与回收箱连通，所述第一连接管的另一端与冷却塔的顶部连通，所述第二连接管的另一端与空压机的另一个连接口连通。
9.优选的，所述第一连接管和第二连接管表面靠近回收箱的一端安装有控制阀，所述第一连接管的长度小于第二连接管的长度。
10.优选的，所述冷却组件包括冷却塔，所述冷却塔的顶部连通有废气管，所述废气管的另一端与第一连接管远离收集箱的一端连通，所述冷却塔下表面的一侧与导热管远离热循环锅炉的一端连通，所述冷却塔的另一侧通过输送组件与中央空调主机的再热盘管连接。
11.优选的，位于所述热循环锅炉的上方安装有支撑架，所述支撑架的表面与收集箱的底部固定连接。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、本实用新型提供一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，通过设置回流管的作用能够将冷却塔从废气管中排出的热量进行回收并通过回收过滤机构对废气热量回收进行过滤，然后再次进入到空压机本体内部进行空气压缩，因此可将回收的废气热量能够并入热循环锅炉中作为热水系统补充的作用，从而能够减少热循环锅炉的燃气量使用，降低了热循环锅炉的能耗，同时能够实现在夏季停用热循环锅炉的使用，将收集的热量用于其它热水需求工序。
14.2、本实用新型提供一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，通过设置收集过滤机构和回收过滤机构，能够对为空气和废气提供过滤作用，加强了空气和废气中洁净效果，从而通过中央空调主机的再热盘管能够半导体的加工环境输送更干净的空气，从而保障了半导体加工环境的相对恒温的特性，水蒸气的干净和无污染的效果。
附图说明
15.图1为本实用新型的整体结构示意图；
16.图2为本实用新型的过滤罩结构剖视立体图；
17.图3为本实用新型的回收箱结构剖视立体图。
18.图中标号：1、安装座；2、空压机本体；3、热循环锅炉；4、中央空调主机；5、收集管；6、回流管；61、第一连接管；62、第二连接管；7、导管；8、导热管；9、冷却组件；91、冷却塔；92、废气管；10、收集过滤机构；101、过滤罩；102、第一过滤网；103、第一活性炭吸附网；104、吸风机；11、回收过滤机构；111、回收箱；112、第二过滤网；113、第二活性炭吸附网；12、支撑架。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.本实用新型提供了如图1～3所示的一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，包括安装座1，安装座1的顶部从左至右均依次安装有空压机本体2、热循环锅炉3和中央空调主机4，空压机本体2的一侧从上至下均依次开设有连接口，空压机本体2的连接口分别连通有收集管5和回流管6，空压机本体2的另一侧连通有导管7，导管7的另一端与热循环锅炉3
的一端连通，热循环锅炉3的另一端通过导热管8与冷却组件9的一侧连通，冷却组件9远离热循环锅炉3的一侧通过输送组件与中央空调主机4的再热盘管连接，冷却组件9的顶部与回流管6的另一端连通，回流管6和收集管5的表面设置有收集过滤机构10和回收过滤机构11，通过设置回流管6的作用能够将冷却塔91从废气管92中排出的热量进行回收并通过回收过滤机构11对废气热量回收进行过滤，然后再次进入到空压机本体2内部进行空气压缩，因此可将回收的废气热量能够并入热循环锅炉3中作为热水系统补充的作用，从而能够减少热循环锅炉3的燃气量使用，降低了热循环锅炉3的能耗，同时能够实现在夏季停用热循环锅炉3的使用，将收集的热量用于其它热水需求工序。
21.收集过滤机构10包括过滤罩101，过滤罩101的进风口安装有第一过滤网102，位于第一过滤网102的内侧安装有第一活性炭吸附网103，过滤罩101的出风口连通有吸风机104，吸风机104的出风口与收集管5的另一端连通，通过第一过滤网102和第一活性炭网能够对空气中的杂质进行过滤，增强了空压机本体2吸收空气的净化效果。
22.回收过滤机构11包括到回收箱111，回收箱111安装在回流管6与空压机本体2的连接处，回收箱111内箱从左至右均依次设置有第二过滤网112和第二活性炭吸附网113，能够将回收的废气再次经过第二过滤网112和第二活性炭网进行过滤，提高废气的洁净效果，便于用于其他热水系统操作。
23.回流管6包括第一连接管61和第二连接管62，第一连接管61和第二连接管62的一端均与回收箱111连通，第一连接管61的另一端与冷却塔91的顶部连通，第二连接管62的另一端与空压机的另一个连接口连通，第一连接管61和第二连接管62表面靠近回收箱111的一端安装有控制阀，第一连接管61的长度小于第二连接管62的长度，能够与回收箱111进行连接，从而将回收的废气经过回收箱111过滤再次进入到空压机本体2内部，并通过设置控制阀的作用能够对回收的废气的流动进行控制。
24.冷却组件9包括冷却塔91，冷却塔91的顶部连通有废气管92，废气管92的另一端与第一连接管61远离收集箱的一端连通，冷却塔91下表面的一侧与导热管8远离热循环锅炉3的一端连通，冷却塔91的另一侧通过输送组件与中央空调主机4的再热盘管连接，能够将冷却塔91与中央空调主机4的再热盘管进行连接，从而通过中央空调主机4对半导体加工的工作室提供恒温的特性。
25.位于热循环锅炉3的上方安装有支撑架12，支撑架12的表面与收集箱的底部固定连接，能够对回收箱111提供固定支撑作用。
26.具体使用时，通过设置回流管6的作用能够将冷却塔91从废气管92中排出的热量进行回收并通过回收过滤机构11对废气热量回收进行过滤，然后再次进入到空压机本体2内部进行空气压缩，可将回收的废气热量能够并入热循环锅炉3中作为热水系统补充的作用，从而能够减少热循环锅炉3的燃气量使用，降低了热循环锅炉3的能耗，同时也能够实现在夏季停用热循环锅炉3的使用，将收集的热量用于其它热水需求工序，实现了利用空压机本体2废热回收装置，提供半导体行业中央空调再热盘管加热解决方案，达到节能降耗，夏季停用燃气锅炉的目的，要求装置与系统配置稳定、可靠，可以对释放的热量回收利用，从而节省大量天然气运行费用，起到节能降耗的作用。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，包括安装座(1)，其特征在于：所述安装座(1)的顶部从左至右均依次安装有空压机本体(2)、热循环锅炉(3)和中央空调主机(4)，所述空压机本体(2)的一侧从上至下均依次开设有连接口，所述空压机本体(2)的连接口分别连通有收集管(5)和回流管(6)，所述空压机本体(2)的另一侧连通有导管(7)，所述导管(7)的另一端与热循环锅炉(3)的一端连通，所述热循环锅炉(3)的另一端通过导热管(8)与冷却组件(9)的一侧连通，所述冷却组件(9)远离热循环锅炉(3)的一侧通过输送组件与中央空调主机(4)的再热盘管连接，所述冷却组件(9)的顶部与回流管(6)的另一端连通，所述回流管(6)和收集管(5)的表面设置有收集过滤机构(10)和回收过滤机构(11)。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，其特征在于：所述收集过滤机构(10)包括过滤罩(101)，所述过滤罩(101)的进风口安装有第一过滤网(102)，位于所述第一过滤网(102)的内侧安装有第一活性炭吸附网(103)，所述过滤罩(101)的出风口连通有吸风机(104)，所述吸风机(104)的出风口与收集管(5)的另一端连通。3.根据权利要求2所述的一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，其特征在于：所述回收过滤机构(11)包括到回收箱(111)，所述回收箱(111)安装在回流管(6)与空压机本体(2)的连接处，所述回收箱(111)内箱从左至右均依次设置有第二过滤网(112)和第二活性炭吸附网(113)。4.根据权利要求3所述的一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，其特征在于：所述回流管(6)包括第一连接管(61)和第二连接管(62)，所述第一连接管(61)和第二连接管(62)的一端均与回收箱(111)连通，所述第一连接管(61)的另一端与冷却塔(91)的顶部连通，所述第二连接管(62)的另一端与空压机的另一个连接口连通。5.根据权利要求4所述的一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，其特征在于：所述第一连接管(61)和第二连接管(62)表面靠近回收箱(111)的一端安装有控制阀，所述第一连接管(61)的长度小于第二连接管(62)的长度。6.根据权利要求4所述的一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，其特征在于：所述冷却组件(9)包括冷却塔(91)，所述冷却塔(91)的顶部连通有废气管(92)，所述废气管(92)的另一端与第一连接管(61)远离收集箱的一端连通，所述冷却塔(91)下表面的一侧与导热管(8)远离热循环锅炉(3)的一端连通，所述冷却塔(91)的另一侧通过输送组件与中央空调主机(4)的再热盘管连接。7.根据权利要求3所述的一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，其特征在于：位于所述热循环锅炉(3)的上方安装有支撑架(12)，所述支撑架(12)的表面与收集箱的底部固定连接。

技术总结
本实用新型公开了一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，属于半导体加工技术领域，包括安装座，所述安装座的顶部从左至右均依次安装有空压机本体、热循环锅炉和中央空调主机，所述空压机本体的一侧从上至下均依次开设有连接口，通过设置回流管的作用能够将冷却塔从废气管中排出的热量进行回收并通过回收过滤机构对废气热量回收进行过滤，然后再次进入到空压机本体内部进行空气压缩，因此可将回收的废气热量能够并入热循环锅炉中作为热水系统补充的作用，从而能够减少热循环锅炉的燃气量使用，降低了热循环锅炉的能耗，同时能够实现在夏季停用热循环锅炉的使用，将收集的热量用于其它热水需求工序。用于其它热水需求工序。用于其它热水需求工序。


技术研发人员：王奇平
受保护的技术使用者：上海合晶硅材料股份有限公司
技术研发日：2022.12.30
技术公布日：2023/7/19