一种晶圆切割用线性导轨的制作方法

1.本技术涉及导轨技术领域，具体为一种晶圆切割用线性导轨。


背景技术：

2.晶圆切割主要采用金刚石砂轮刀片即轮毂型硬刀，半导体从业者不断寻求能提高加工质量和加工效率的方法，以达到更低的加工成本。在晶圆切割的过程中，往往离不开导轨的使用，通过导轨可对切割装置可进行位置调节，而在使用时间较长后，导轨不断的受到摩擦，且会产生一定的热量。
3.经检索，例如公开号为cn205207429u的中国实用新型专利中，提供了一种线性导轨，该专利通过在滑轨与滑块的连接处设置有润滑槽，且内部装有润滑油脂，用于减少摩擦力，但是在使用的过程中，润滑油脂可能会大幅度的滑出，不能保证其缓慢且均匀的加入，会导致滑轨在使用时间过长后，润滑油脂缺少导致滑轨摩擦力增大，且热量升高，还有影响运行质量，所以有必要提供一种晶圆切割用线性导轨来解决上述问题。
4.需要说明的是，本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本实用新型构思的背景技术，并且因此，它可以包含不构成现有技术的信息。


技术实现要素：

5.基于现有技术中存在的上述问题，本技术实施例的目的在于：提供一种晶圆切割用线性导轨，达到了可对滑轨缓慢并均匀的进行降温与润滑的效果。
6.本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆切割用线性导轨，包括滑轨，所述滑轨上滑动连接有滑块，所述滑轨上开设有弧形孔，所述弧形孔的下方开设有放置槽，所述放置槽的内部相对安装有连接柱，所述连接柱的内部活动连接有固定杆；
7.所述弧形孔内设有滚珠，所述滚珠的上端突出弧形孔，所述滚珠的内部活动连接有活动轴，所述活动轴固定安装于固定杆上，所述放置槽的内部设有海绵垫，所述海绵垫位于滚珠的下端。
8.当滑块在滑轨上移动过程中，会将滚珠进行挤压，并同时带动滚珠向滑块移动的方向进行转动，当滚珠受到挤压时，会带动活动轴向下活动，此时使滑块在滑动时将滚珠压于弧形孔内，使其不会影响到滑块与滑轨之间的正常与运行，同时滚珠向下挤压海绵垫的同时将其内部的润滑油向外挤出，附着于滚珠的表面，使得滚珠的转动的同时将润滑油向上附带，从而防止润滑油大幅度的溢出，并对滑轨缓慢并均匀的进行降温与润滑。
9.进一步的，所述连接柱的上端开设有活动槽，所述活动槽的内部固定安装有弹性件，所述弹性件的上端固定安装于固定杆的下端。
10.进一步的，所述海绵垫朝向于滚珠的一面设有弧面，所述滚珠放置于海绵垫上的弧面内。
11.进一步的，所述弧形孔与放置槽之间为连通状态，所述放置槽的长度和宽度均大于弧形孔的直径。
12.进一步的，所述滚珠内开设有连接槽，所述活动轴活动连接于连接槽内。
13.进一步的，所述弧形孔设置为半圆形。
14.本技术的有益效果是：本技术提供的一种晶圆切割用线性导轨，通过设置有滚珠，当滑块在滑轨上进行移动时，可将滚珠向下压动，同时通过固定柱将弹簧进行挤压，再将海绵垫内部的润滑油向外挤出，附着于滚珠的表面，使得滚珠的转动的同时将润滑油向上附带，使得滑块在活动时将润滑油向两侧带动，对滑轨与滑块进行润滑，从而防止润滑油大幅度的溢出，并对滑轨缓慢并均匀的进行降温与润滑，提高运行质量。
15.除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。
附图说明
16.构成本实用新型的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
17.图1为本技术中一种晶圆切割用线性导轨的整体示意图；
18.图2为图1中整体结构的部分剖视示意图；
19.图3为图2中a区域的放大示意图；
20.图4为图3中b区域的放大示意图；
21.其中，图中各附图标记：
22.1、滑轨；11、滑槽；12、滑块；14、弧形孔；15、安装孔；2、放置槽；21、连接板；22、连接柱；23、活动槽；24、固定杆；25、弹簧；26、海绵垫；3、滚珠；31、活动轴。
具体实施方式
23.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
24.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
25.需要说明的是，本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的术语在适当情况下可以互换，以便这里描述的本实用新型的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
26.需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包
括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
27.如图1-4所示，本技术提供了一种晶圆切割用线性导轨，包括滑轨1，滑轨1位于所需切割的晶圆一侧，滑轨1的两侧开设有滑槽11，滑轨1上滑动连接有滑块12，滑块12与滑槽11滑动连接，滑块12上安装有切割装置(图未示)，切割装置用于对晶圆进行切割，通过将滑块12再滑轨1上滑动，从而调节切割装置的位置。
28.滑轨1上均匀开设有多组的弧形孔14，本实施方式中，弧形孔14设置为半圆形，且弧形孔14的下方还开设有放置槽2，可以理解的是，放置槽2开设为方形，并位于弧形孔14的下方，其之间为连通状态，且放置槽2的长度和宽度均大于弧形孔14的直径。
29.放置槽2的内部两侧均固定安装有连接板21，连接板21的上端固定安装有连接柱22，如图3、图4所示，连接柱22的上端开设有活动槽23，活动槽23的内部固定安装有弹簧25，弹簧25的上端固定安装有固定杆24，如图4所示，固定杆24的下半部分位于连接柱22内，且固定杆24与连接柱22活动连接并于活动槽23内滑动。
30.弧形孔14内设有滚珠3，如图3所示，滚珠3的上端一部分位于弧形孔14的上方，滚珠3的中心处开设有连接槽，且连接槽内活动连接有活动轴31，活动轴31固定安装于固定杆24上，将滚珠3进行固定。
31.本实施方式中，弹簧25的弹力可撑住滚珠3的重力。
32.放置槽2的内部放置有海绵垫26，海绵垫26位于滚珠3的下端，且海绵垫26朝向于滚珠3的一面设有弧面，可以理解的是，在滚珠3正常状态下，放置于海绵垫26的上端面，海绵垫26内滴加且吸附有润滑油。
33.滑轨1上还开设有安装孔15，安装孔15与弧形孔14交叉设置，通过安装孔15将滑轨1进行固定。
34.本实施方式中，放置槽2的下端设有开板(图未示)，开板位于滑轨1的底部，且之间设有橡胶垫用来密封，通过将开板打开，可将海绵垫26进行更换，且可对放置槽2内进行清洗。
35.实施例：当需要移动切割装置时，需要将滑块12在滑轨1上进行移动,当滑块12在滑轨1上移动过程中，会将滚珠3进行挤压，并同时带动滚珠3向滑块12移动的方向进行转动，当滚珠3受到挤压时，会带动活动轴31向下活动，将固定杆24向下挤压，固定杆24向下的同时将弹簧25进行挤压，此时使滑块12在滑动时将滚珠3压于弧形孔14内，使其不会影响到滑块12与滑轨1之间的正常与运行。
36.同时滚珠3向下挤压海绵垫26的同时将其内部的润滑油向外挤出，附着于滚珠3的表面，使得滚珠3的转动的同时将润滑油向上附带，使得滑块12在活动时将润滑油向两侧带动，对滑轨1与滑块12进行润滑，从而防止润滑油大幅度的溢出，并对滑轨1缓慢并均匀的进行降温与润滑，提高运行质量。
37.当滑块12离开滚珠3的位置时，弹簧25反弹将固定杆24向上推动并带动滚珠3向上活动，将其复位，方便后续继续使用。
38.除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授
权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
39.为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
40.在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
41.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种线性导轨，包括滑轨(1)，所述滑轨(1)上滑动连接有滑块(12)，其特征在于：所述滑轨(1)上开设有弧形孔(14)，所述弧形孔(14)的下方开设有放置槽(2)，所述放置槽(2)的内部相对安装有连接柱(22)，所述连接柱(22)的内部活动连接有固定杆(24)；所述弧形孔(14)内设有滚珠(3)，所述滚珠(3)的上端突出弧形孔(14)，所述滚珠(3)的内部活动连接有活动轴(31)，所述活动轴(31)固定安装于固定杆(24)上，所述放置槽(2)的内部设有海绵垫(26)，所述海绵垫(26)位于滚珠(3)的下端。2.根据权利要求1所述的一种线性导轨，其特征在于：所述连接柱(22)的上端开设有活动槽(23)，所述活动槽(23)的内部固定安装有弹性件，所述弹性件的上端固定安装于固定杆(24)的下端。3.根据权利要求1所述的一种线性导轨，其特征在于：所述海绵垫(26)朝向于滚珠(3)的一面设有弧面，所述滚珠(3)放置于海绵垫(26)上的弧面内。4.根据权利要求1所述的一种线性导轨，其特征在于：所述弧形孔(14)与放置槽(2)之间为连通状态，所述放置槽(2)的长度和宽度均大于弧形孔(14)的直径。5.根据权利要求1所述的一种线性导轨，其特征在于：所述滚珠(3)内开设有连接槽，所述活动轴(31)活动连接于连接槽内。6.根据权利要求1所述的一种线性导轨，其特征在于：所述弧形孔(14)设置为半圆形。

技术总结
本申请公开了一种晶圆切割用线性导轨，属于导轨技术领域。主要包括滑轨，滑轨上滑动连接有滑块，滑轨上开设有弧形孔，弧形孔的下方开设有放置槽，放置槽的内部相对安装有连接柱，连接柱的内部活动连接有固定杆，弧形孔内设有滚珠，滚珠的上端突出弧形孔，滚珠的内部活动连接有活动轴，活动轴固定安装于固定杆上，放置槽的内部设有海绵垫，海绵垫位于滚珠的下端，当滑块在滑轨上移动过程中，将滚珠进行挤压，并带动滚珠向滑块移动的方向进行转动，同时滚珠向下挤压海绵垫，将其内部的润滑油向外挤出，附着于滚珠的表面，使得滚珠的转动的同时将润滑油向上附带，从而防止润滑油大幅度的溢出，并对滑轨缓慢并均匀的进行降温与润滑。润滑。润滑。


技术研发人员：张浩 郭静 季春瑞 许桂洋 贾亚飞 刘佳均
受保护的技术使用者：安徽新芯威半导体有限公司
技术研发日：2023.02.13
技术公布日：2023/7/19