一种自定心无接触晶圆抓手的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种自定心无接触晶圆抓手。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。
3.根据申请号为cn202122034600.8的专利文献所提供的一种半导体晶圆检测用智能分拣装置，包括底板，所述底板顶部的右侧固定连接有驱动框，所述驱动框内腔的底部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有竖杆，所述竖杆左侧的顶部固定连接有横板，所述横板的表面固定连接有第二电动伸缩杆。本实用新型通过底板、第一电动伸缩杆、顶盘、传动框、驱动框、第一电机、竖杆、横板、卡框、限位杆、第二电动伸缩杆、卡爪、第三电动伸缩杆、竖板、传动带、输出辊和第二电机，可使装置达到使用效果好的功能，解决了现有市场上的半导体晶圆检测用分拣装置不具备使用效果好的功能，直接夹取易产生碎裂的现象，不利于使用者操作使用的问题。
4.上述专利中的半导体晶圆检测用智能分拣装置，解决了现有市场上的半导体晶圆检测用分拣装置不具备使用效果好的功能，直接夹取易产生碎裂的现象，不利于使用者操作使用的问题。目前在蓝宝石晶圆在生产过程中所涉及的移载均为接触式的，划伤造成成本流失严重。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种自定心无接触晶圆抓手，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种自定心无接触晶圆抓手，包括安装板、固定杆以及连接框，所述安装板外壁设置有定位组件和抓取组件，所述定位组件包括有设置在安装板顶部的两个液压杆，其中一个所述液压杆输出端设置有固定杆，所述固定杆底部设置有定位块；
8.抓取组件包括有设置在另一个所述液压杆输出端设置有连接框，所述连接框底部设置有伯努利吸盘，所述连接框两侧均设置有安装框，两个所述安装框内壁均设置有连接杆和夹块。
9.作为本实用新型优选的方案，所述定位组件还包括有设置在固定杆外壁两侧的固定块。
10.作为本实用新型优选的方案，两个所述液压杆均通过螺栓与安装板连接，其中一个所述液压杆输出端通过螺栓与固定杆和固定块连接，两个所述固定块均与固定杆一体成型，所述定位块通过螺栓与固定杆底部连接。
11.作为本实用新型优选的方案，所述定位块内壁为扣碗状。
12.作为本实用新型优选的方案，所述抓取组件包括有设置在连接框内壁的伸缩杆，
两个所述安装框内壁均设置有滑槽，所述滑槽内壁设置有气缸，所述气缸输出端设置有连接杆，所述连接杆远离安装框一端设置有夹块。
13.作为本实用新型优选的方案，另一个所述液压杆输出端通过螺栓与连接框连接，所述伸缩杆一端通过螺栓与连接框内壁连接，所述伸缩杆输出端通过螺栓与伯努利吸盘连接。
14.作为本实用新型优选的方案，两个所述安装框均与连接框外壁一体成型，所述气缸通过螺栓与滑槽内壁连接，所述气缸输出端通过螺栓与连接杆连接，所述连接杆通过滑轨与滑槽内壁连接，所述连接杆远离滑槽的一端通过螺栓与夹块连接。
15.作为本实用新型优选的方案，所述安装板顶部设置有转盘。
16.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：针对背景技术中提出的问题，本技术采用了定位组件和抓取组件，通过转盘与转动系统连接可带动安装板转动调整定位块和伯努利吸盘的位置，通过定位块内扣碗设计可对晶圆进行定位调整位置，然后通过伯努利洗盆将晶圆吸取，并通过夹块对夹，使晶圆定心，可将晶圆精准放到指定位置。本实用新型可对晶圆进行定位，并移动，将晶圆移载由接触式改为非接触式，有效降低废片率，防止晶圆划伤，提高生产效率和合格率。
附图说明
17.图1为本实用新型整体结构立体图；
18.图2为本实用新型固定杆剖视图；
19.图3为本实用新型连接框剖视图。
20.图中：1、安装板；2、转盘；3、液压杆；4、固定杆；401、定位块；402、固定块；5、连接框；501、伸缩杆；6、伯努利吸盘；7、安装框；701、滑槽；8、气缸；9、连接杆；901、夹块。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
23.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
24.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及／或”包括
一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
25.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种自定心无接触晶圆抓手，包括安装板1、固定杆4以及连接框5，所述安装板1外壁设置有定位组件和抓取组件，所述定位组件包括有设置在安装板1顶部的两个液压杆3，可用于带动固定杆4和连接框5进行伸缩，其中一个所述液压杆3输出端设置有固定杆4，所述固定杆4底部设置有定位块401用于对晶圆进行定位；
26.抓取组件包括有设置在另一个所述液压杆3输出端设置有连接框5，所述连接框5底部设置有伯努利吸盘6，用于吸取晶圆，所述连接框5两侧均设置有安装框7，两个所述安装框7内壁均设置有连接杆9和夹块901，用于对晶圆对夹，使晶圆定心。
27.目前在蓝宝石晶圆在生产过程中所涉及的移载均为接触式的，划伤造成成本流失严重。
28.本实施例中所有电气元件均通过常规控制器进行控制。
29.实施例，请参照图1-2，所述定位组件还包括有设置在固定杆4外壁两侧的固定块402，两个所述液压杆3均通过螺栓与安装板1连接，其中一个所述液压杆3输出端通过螺栓与固定杆4和固定块402连接，两个所述固定块402均与固定杆4一体成型，所述定位块401通过螺栓与固定杆4底部连接，所述定位块401内壁为扣碗状，通过扣碗设计使晶圆会移动至定位块401中心。
30.实施例，请参照图1-3，所述抓取组件包括有设置在连接框5内壁的伸缩杆501，用于带动伯努利吸盘6伸缩，两个所述安装框7内壁均设置有滑槽701，所述滑槽701内壁设置有气缸8，用于推动连接杆9在滑槽701内滑动，并带动夹块901同步移动，所述气缸8输出端设置有连接杆9，所述连接杆9远离安装框7一端设置有夹块901，用于夹持晶圆，对晶圆定心，另一个所述液压杆3输出端通过螺栓与连接框5连接，所述伸缩杆501一端通过螺栓与连接框5内壁连接，所述伸缩杆501输出端通过螺栓与伯努利吸盘6连接，两个所述安装框7均与连接框5外壁一体成型，所述气缸8通过螺栓与滑槽701内壁连接，所述气缸8输出端通过螺栓与连接杆9连接，所述连接杆9通过滑轨与滑槽701内壁连接，所述连接杆9远离滑槽701的一端通过螺栓与夹块901连接，所述安装板1顶部设置有转盘2，转盘2顶部连接转动设备用于带动定位块401和伯努利吸盘6调整位置。在使用时首先通过转盘2带动安装板1转动至指定位置，然后控制其中一个液压杆3运行带动定位块401向下移动至接触晶圆并对晶圆进行定位，定位后，转动安装板1至指定位置，然后控制另一个液压杆3运行带动连接框5伸缩至指定位置，同时控制伸缩杆501带动伯努利吸盘6至接触并吸取晶圆，然后控制气缸8运行带动连接杆9在滑槽701内滑动并带动夹块901对晶圆对夹，使晶圆定心，然后将晶圆移动至指定位置。
31.本实用新型工作流程：在使用时首先通过转盘2带动安装板1转动至指定位置，然后控制其中一个液压杆3运行带动定位块401向下移动至接触晶圆并对晶圆进行定位，定位后，转动安装板1至指定位置，然后控制另一个液压杆3运行带动连接框5伸缩至指定位置，同时控制伸缩杆501带动伯努利吸盘6至接触并吸取晶圆，然后控制气缸8运行带动连接杆9在滑槽701内滑动并带动夹块901对晶圆对夹，使晶圆定心，然后将晶圆移动至指定位置。本实用新型可对晶圆进行定位，并移动，将晶圆移载由接触式改为非接触式，有效降低废片率，防止晶圆划伤，提高生产效率和合格率。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种自定心无接触晶圆抓手，包括安装板（1）、固定杆（4）以及连接框（5），其特征在于：所述安装板（1）外壁设置有定位组件和抓取组件，所述定位组件包括有设置在安装板（1）顶部的两个液压杆（3），其中一个所述液压杆（3）输出端设置有固定杆（4），所述固定杆（4）底部设置有定位块（401）；抓取组件包括有设置在另一个所述液压杆（3）输出端设置有连接框（5），所述连接框（5）底部设置有伯努利吸盘（6），所述连接框（5）两侧均设置有安装框（7），两个所述安装框（7）内壁均设置有连接杆（9）和夹块（901）。2.根据权利要求1所述的一种自定心无接触晶圆抓手，其特征在于：所述定位组件还包括有设置在固定杆（4）外壁两侧的固定块（402）。3.根据权利要求2所述的一种自定心无接触晶圆抓手，其特征在于：两个所述液压杆（3）均通过螺栓与安装板（1）连接，其中一个所述液压杆（3）输出端通过螺栓与固定杆（4）和固定块（402）连接，两个所述固定块（402）均与固定杆（4）一体成型，所述定位块（401）通过螺栓与固定杆（4）底部连接。4.根据权利要求1所述的一种自定心无接触晶圆抓手，其特征在于：所述定位块（401）内壁为扣碗状。5.根据权利要求1所述的一种自定心无接触晶圆抓手，其特征在于：所述抓取组件包括有设置在连接框（5）内壁的伸缩杆（501），两个所述安装框（7）内壁均设置有滑槽（701），所述滑槽（701）内壁设置有气缸（8），所述气缸（8）输出端设置有连接杆（9），所述连接杆（9）远离安装框（7）一端设置有夹块（901）。6.根据权利要求5所述的一种自定心无接触晶圆抓手，其特征在于：另一个所述液压杆（3）输出端通过螺栓与连接框（5）连接，所述伸缩杆（501）一端通过螺栓与连接框（5）内壁连接，所述伸缩杆（501）输出端通过螺栓与伯努利吸盘（6）连接。7.根据权利要求5所述的一种自定心无接触晶圆抓手，其特征在于：两个所述安装框（7）均与连接框（5）外壁一体成型，所述气缸（8）通过螺栓与滑槽（701）内壁连接，所述气缸（8）输出端通过螺栓与连接杆（9）连接，所述连接杆（9）通过滑轨与滑槽（701）内壁连接，所述连接杆（9）远离滑槽（701）的一端通过螺栓与夹块（901）连接。8.根据权利要求1所述的一种自定心无接触晶圆抓手，其特征在于：所述安装板（1）顶部设置有转盘（2）。

技术总结
本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其为一种自定心无接触晶圆抓手，包括安装板、固定杆以及连接框，所述安装板外壁设置有定位组件和抓取组件，所述定位组件包括有设置在安装板顶部的两个液压杆，其中一个所述液压杆输出端设置有固定杆，所述固定杆底部设置有定位块；抓取组件包括有设置在另一个所述液压杆输出端设置有连接框，所述连接框底部设置有伯努利吸盘，所述连接框两侧均设置有安装框，两个所述安装框内壁均设置有连接杆和夹块。本实用新型可对晶圆进行定位，并移动，将晶圆移载由接触式改为非接触式，有效降低废片率，防止晶圆划伤，提高生产效率和合格率。提高生产效率和合格率。提高生产效率和合格率。


技术研发人员：孙涛涛 吴拓 孙昌才 吴为珍
受保护的技术使用者：芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司
技术研发日：2023.03.01
技术公布日：2023/7/19