一种真空镀膜除气装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种真空镀膜除气装置。


背景技术：

2.真空镀膜主要指需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。
3.在现有技术中，为了提高镀膜机的除气效率和除气效果，通常在镀膜腔室内布设多组与真空泵连接的抽气管，但是，这些抽气管直接裸露在腔室内，一方面在镀膜时镀膜材料很容易喷涂在抽气管表面，另一方面，由于抽气管设有抽气口，因此镀膜材料会通过抽气口进入抽气管内部，进而影响除气的正常进行。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜除气装置，解决以下技术问题：
5.一方面在镀膜时镀膜材料很容易喷涂在抽气管表面，另一方面，由于抽气管设有抽气口，因此镀膜材料会通过抽气口进入抽气管内部，进而影响除气的正常进行。
6.本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：
7.一种真空镀膜除气装置，包括镀膜箱体，所述镀膜箱体内相对布设有两组环形抽气管，环形抽气管内端面呈环形阵列布设多组抽气口，所述环形抽气管与抽气部件连接；
8.镀膜箱体两端相对布设有由环形板以及圆板围合而形成的环形密封槽，环形密封槽用于容纳环形抽气管以实现对抽气口的密封；
9.其中，环形抽气管与带动其在镀膜箱体内移动的调节机构连接。
10.优选的，调节机构包括转动布设在镀膜箱体内的螺杆，螺杆两侧螺旋方向相反，螺杆端部延伸固定连接把手；
11.其中，螺杆两侧相对螺纹套设螺母，螺母与环形抽气管固定连接。
12.优选的，抽气部件包括布设在镀膜箱体外侧的真空泵，真空泵通过输气管与顶部环形抽气管连接。
13.优选的，抽气部件还包括布设在两侧环形抽气管间的伸缩筒体，伸缩筒体为中空结构，两端分别与环形抽气管连通。
14.优选的，所述真空泵远离输气管的一端与过滤箱体连通，过滤箱体内均匀布设多组用于对抽出气体进行过滤的活性炭吸附网。
15.优选的，所述镀膜箱体内相对于螺杆的一侧还布设有导向杆，环形抽气管固定连接有滑动布设在导向杆上的导向座。
16.优选的，所述环形板两侧相对开设有用于容纳环形抽气管与螺母连接端的凹槽。
17.本实用新型的有益效果：
18.(1)调节机构带动环形抽气管在腔室内移动，将环形抽气管从环形密封槽内抽出，
而后启动抽气部件进行抽气，抽气完成后，通过调节机构带动环形抽气管嵌入至环形密封槽内，进而实现对环形抽气管以及抽气口的密封，避免在对工件进行镀膜时，镀膜材料喷涂在环形抽气管表面，同时，对抽气口进行隔绝，避免镀膜材料从抽气口进入环形抽气管内；
19.(2)过滤箱体内均匀布设多组用于对抽出气体进行过滤的活性炭吸附网，避免镀膜箱体内的空气直接排放至空气中造成污染，更加环保。
附图说明
20.下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
21.图1是本实用新型一种真空镀膜除气装置的立体结构示意图一；
22.图2是本实用新型一种真空镀膜除气装置的立体结构示意图二；
23.图3是本实用新型一种真空镀膜除气装置中环形密封槽的结构示意图；
24.图4是本实用新型一种真空镀膜除气装置中过滤箱体的结构示意图。
25.图中：1、镀膜箱体；2、环形板；3、环形抽气管；4、螺杆；5、伸缩筒体；6、真空泵；7、过滤箱体；201、圆板；202、凹槽；203、环形密封槽；301、抽气口；302、导向杆；303、导向座；401、螺母；402、把手；601、输气管；701、活性炭吸附网。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.请参阅图1-图2所示，本实用新型为一种真空镀膜除气装置，包括镀膜箱体1，所述镀膜箱体1内相对布设有两组环形抽气管3，环形抽气管3内端面呈环形阵列布设多组抽气口301，所述环形抽气管3与抽气部件连接；
28.镀膜箱体1两端相对布设有由环形板2以及圆板201围合而形成的环形密封槽203，环形密封槽203用于容纳环形抽气管3以实现对抽气口301的密封；
29.其中，环形抽气管3与带动其在镀膜箱体1内移动的调节机构连接；在对镀膜箱体1腔室进行除气时，首先，通过调节机构带动环形抽气管3在腔室内移动，将环形抽气管3从环形密封槽203内抽出，而后启动抽气部件进行抽气，抽气完成后，通过调节机构带动环形抽气管3嵌入至环形密封槽203内，进而实现对环形抽气管3以及抽气口301的密封，避免在对工件进行镀膜时，镀膜材料喷涂在环形抽气管3表面，同时，对抽气口301进行隔绝，避免镀膜材料从抽气口301进入环形抽气管3内；
30.请参阅图3，调节机构包括转动布设在镀膜箱体1内的螺杆4，螺杆4两侧螺旋方向相反，螺杆4端部延伸固定连接把手402；
31.其中，螺杆4两侧相对螺纹套设螺母401，螺母401与环形抽气管3固定连接，转动把手402带动螺杆4转动时，两侧螺母401在螺杆4表面移动的过程中带动环形抽气管3在镀膜箱体1内移动，进而实现将环形抽气管3嵌入环形密封槽203内或从中抽出；
32.所述镀膜箱体1内相对于螺杆4的一侧还布设有导向杆302，环形抽气管3固定连接有滑动布设在导向杆302上的导向座303；使得环形抽气管3在镀膜箱体1内移动时，带动导
向座303在导向杆302上滑动，进而提高环形抽气管3移动的稳定性；
33.请参阅图4，所述环形板2两侧相对开设有用于容纳环形抽气管3与螺母401连接端的凹槽202，以便于螺母401在带动环形抽气管3嵌入环形密封槽203。
34.抽气部件包括布设在镀膜箱体1外侧的真空泵6，真空泵6通过输气管601与顶部环形抽气管3连接；
35.其中，抽气部件还包括布设在两侧环形抽气管3间的伸缩筒体5，伸缩筒体5为中空结构，两端分别与环形抽气管3连通；通过在两侧环形抽气管3间设置连通的伸缩筒体5，启动真空泵6，镀膜箱体1内的气体通过抽气口301、环形抽气管3、伸缩筒体5以及输气管601抽出；
36.所述真空泵6远离输气管601的一端与过滤箱体7连通，过滤箱体7内均匀布设多组用于对抽出气体进行过滤的活性炭吸附网701，避免镀膜箱体1内的空气直接排放至空气中造成污染，更加环保。
37.本实用新型的工作原理：转动把手402带动螺杆4转动时，两侧螺母401在螺杆4表面移动的过程中带动环形抽气管3在镀膜箱体1内移动，进而实现将环形抽气管3从环形密封槽203内抽出，而后启动真空泵6，镀膜箱体1内的气体通过抽气口301、环形抽气管3、伸缩筒体5以及输气管601抽出，抽气完成后，通过调节机构带动环形抽气管3嵌入至环形密封槽203内，进而实现对环形抽气管3以及抽气口301的密封，避免在对工件进行镀膜时，镀膜材料喷涂在环形抽气管3表面，同时，对抽气口301进行隔绝，避免镀膜材料从抽气口301进入环形抽气管3内。
38.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以及特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。此外，“第一”、“第二”仅由于描述目的，且不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。因此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
39.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”“相连”“连接”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
40.以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

技术特征：
1.一种真空镀膜除气装置，包括镀膜箱体(1)，其特征在于，所述镀膜箱体(1)内相对布设有两组环形抽气管(3)，环形抽气管(3)内端面呈环形阵列布设多组抽气口(301)，所述环形抽气管(3)与抽气部件连接；镀膜箱体(1)两端相对布设有由环形板(2)以及圆板(201)围合而成的环形密封槽(203)，环形密封槽(203)用于容纳环形抽气管(3)以实现对抽气口(301)的密封；其中，环形抽气管(3)与带动其在镀膜箱体(1)内移动的调节机构连接。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置,其特征在于，调节机构包括转动布设在镀膜箱体(1)内的螺杆(4)，螺杆(4)两侧螺旋方向相反，螺杆(4)端部延伸固定连接把手(402)；其中，螺杆(4)两侧相对螺纹套设螺母(401)，螺母(401)与环形抽气管(3)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置,其特征在于，抽气部件包括布设在镀膜箱体(1)外侧的真空泵(6)，真空泵(6)通过输气管(601)与顶部环形抽气管(3)连接。4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜除气装置,其特征在于，抽气部件还包括布设在两侧环形抽气管(3)间的伸缩筒体(5)，伸缩筒体(5)为中空结构，两端分别与环形抽气管(3)连通。5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜除气装置,其特征在于，所述真空泵(6)远离输气管(601)的一端与过滤箱体(7)连通，过滤箱体(7)内均匀布设多组用于对抽出气体进行过滤的活性炭吸附网(701)。6.根据权利要求2所述的一种真空镀膜除气装置,其特征在于，所述镀膜箱体(1)内相对于螺杆(4)的一侧还布设有导向杆(302)，环形抽气管(3)固定连接有滑动布设在导向杆(302)上的导向座(303)。7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜除气装置,其特征在于，所述环形板(2)两侧相对开设有用于容纳环形抽气管(3)与螺母(401)连接端的凹槽(202)。

技术总结
本实用新型公开了一种真空镀膜除气装置，涉及真空镀膜设备技术领域，包括镀膜箱体，所述镀膜箱体内相对布设有两组环形抽气管，环形抽气管内端面呈环形阵列布设多组抽气口，所述环形抽气管与抽气部件连接；镀膜箱体两端相对布设有由环形板以及圆板围合而成的环形密封槽，环形密封槽用于容纳环形抽气管以实现对抽气口的密封；其中，环形抽气管与带动其在镀膜箱体内移动的调节机构连接，抽气完成后，通过调节机构带动环形抽气管嵌入至环形密封槽内，进而实现对环形抽气管以及抽气口的密封，避免在对工件进行镀膜时，镀膜材料喷涂在环形抽气管表面，同时，对抽气口进行隔绝，避免镀膜材料从抽气口进入环形抽气管内。从抽气口进入环形抽气管内。从抽气口进入环形抽气管内。


技术研发人员：刘伟 黄继飞
受保护的技术使用者：安徽紫江喷铝环保材料有限公司
技术研发日：2023.02.16
技术公布日：2023/7/20