用于集成电路测试机的增强接触装置的制作方法

1.本实用新型涉及芯片检测设备技术领域，具体涉及一种用于集成电路测试机的增强接触装置。


背景技术：

2.晶圆测试中有一个重要的前提，就是搭建测试环境。测试环境非常良好的状态下，测试时才可以稳定。然而测试过程中一旦有接触性问题出现，就会衍生出测试问题，不仅影响了测试良率，异常处理还会增加时间，测试效率大大降低。
3.在搭建集成电路测试机（如eva100集成电路测试机，生产厂家为日本advantest爱德万公司）的测试环境的过程中，经常会出现hifix（高保真度测试器接入夹具）和sbox（测试机箱）的接触不良。此类接触问题在生产过程中比较难控制。当前条件下，这两个模块主要靠卡锁锁住，无法进行压力的细微调节。当二者出现接触问题后，一般使用重物压在sbox上，进而辅助实现增大接触压力的效果，从而保证测试系统的稳定性。这种做法，一方面不好控制重物的压力大小，另一方面维修及稳定性无法得到保证。
4.公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。


技术实现要素：

5.为克服现有技术所存在的缺陷，现提供一种用于集成电路测试机的增强接触装置，以解决集成电路测试机的高保真度测试器接入夹具与测试机箱接触不良，传统的采用重物加压存在压力大小难以精确控制且稳定性差的问题。
6.为实现上述目的，提供一种用于集成电路测试机的增强接触装置，包括相对设置的两组束紧器，所述束紧器包括：
7.两块夹板，所述夹板具有相对的第一端和第二端，两块所述夹板的第一端之间形成用于夹持高保真度测试器接入夹具和测试机箱的一侧的夹持空间；
8.拉结组件，包括两块翼缘板、导向杆和禁锢件，两块所述翼缘板分别连接于两块所述夹板的第二端，两块所述翼缘板错位贴合在一起，一翼缘板的相对侧形成有沿所述夹板的厚度方向设置的防滑齿纹，另一翼缘板的相对侧形成有锁齿，所述锁齿啮合于所述防滑齿纹，一翼缘板的相对侧开设有沿所述夹板的厚度方向设置的导向孔，所述导向杆的滑设于所述导向孔中，所述导向杆的一端连接于另一翼缘板，所述导向杆的另一端伸至一翼缘板的导向孔的外部，所述禁锢件可拆卸地安装于所述导向杆的另一端且压抵于一所述翼缘板的相背侧。
9.进一步的，所述导向杆的一端连接于靠近所述夹持空间的一所述翼缘板，所述导向杆的另一端伸至远离所述夹持空间的另一所述翼缘板的导向孔的外部。
10.进一步的，所述锁齿形成于靠近所述夹持空间的一所述翼缘板的相对侧。
11.进一步的，所述翼缘板具有相对的第一端和第二端，所述翼缘板的第一端连接于所述夹板的第二端，两所述翼缘板的第二端错位贴合在一起，所述翼缘板的第二端的相对侧形成有所述锁齿，所述锁齿朝向所述翼缘板的第一端倾斜设置。
12.进一步的，所述导向杆的另一端形成有外螺纹，所述禁锢件开设有螺纹孔，所述禁锢件螺纹连接于所述导向杆的另一端。
13.进一步的，所述翼缘板与所述夹板一体成型。
14.本实用新型的有益效果在于，本实用新型的用于集成电路测试机的增强接触装置，通过两个束紧器分别夹持高保真度测试器接入夹具和测试机箱的相对两侧，并通过两个翼缘板的齿纹与锁齿错位程度来以调节两个夹板之间的压力，若存在高保真度测试器接入夹具和测试机箱之间压力不够出现的异常时，可以快速通过装置调整压力（缩短两块夹板之间的距离，增加压力），起到快速解决问题，且增加测试中的稳定性，稳定测试良率，提高测试效率。
附图说明
15.通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
16.图1为本实用新型实施例的用于集成电路测试机的增强接触装置的结构示意图。
17.图2为本实用新型实施例的束紧器的剖视图。
具体实施方式
18.下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。
19.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
20.参照图1和图2所示，本实用新型提供了一种用于集成电路测试机的增强接触装置包括两组束紧器a。两组束紧器a相对设置。
21.具体的，每一组包括两块夹板1和拉结组件2。
22.其中，每一块夹板1具有相对的第一端和第二端。两块夹板的第一端之间形成有夹持空间a。夹持空间a用于夹持高保真度测试器接入夹具3和测试机箱4的一侧。
23.每一个拉结组件2包括两块翼缘板21、导向杆22和禁锢件23。两块翼缘板21分别连接于两块夹板的第二端。两块翼缘板21错位贴合在一起。一块翼缘板21的相对侧形成有防滑齿纹。防滑齿纹沿夹板的厚度方向设置。另一翼缘板21的相对侧形成有锁齿24。锁齿24啮合于防滑齿纹。一块翼缘板21的相对侧开设有导向孔210。导向孔210沿夹板的厚度方向设置。导向杆22的滑设于导向孔210中。导向杆22的一端连接于另一翼缘板21，导向杆22的另一端伸至一块翼缘板21的导向孔210的外部。禁锢件23可拆卸地安装于导向杆22的另一端且压抵于一翼缘板21的相背侧。
24.作为一种较佳的实施方式，导向杆22的一端连接于靠近夹持空间a的一翼缘板21，导向杆22的另一端伸至远离夹持空间a的另一翼缘板21的导向孔210的外部。
25.在本实施例中，锁齿24形成于靠近夹持空间a的一翼缘板21的相对侧。
26.为了更加清楚的说明两块翼缘板，在本实施例中，将靠近夹持空间的一侧的夹板称之为“内翼缘板”，相应的，将远离夹持空间的一侧的另一块夹板称之为“外翼缘板”。
27.参阅图1和图2，内翼缘板的外侧形成有防滑齿纹。外翼缘板的内侧形成有锁齿24。同时，外翼缘板开设有导向孔210。相应的，导向杆22的一端则连接于内翼缘板。导向杆22的另一端伸至外翼缘板上的导向孔210的外部。禁锢件23可拆卸地安装于导向杆22的另一端且压抵于外翼缘板的外侧。
28.在本实施例中，翼缘板21具有相对的第一端和第二端。翼缘板21的第一端连接于夹板的第二端。两翼缘板21的第二端错位贴合在一起。翼缘板21的第二端的相对侧形成有锁齿24。锁齿24朝向翼缘板21的第一端倾斜设置。
29.作为一种较佳的实施方式，导向杆22的另一端形成有外螺纹。禁锢件23开设有螺纹孔。禁锢件23螺纹连接于导向杆22的另一端。
30.在本实施例中，翼缘板21与夹板1一体成型。
31.在实际使用中，将本实用新型的用于集成电路测试机的增强接触装置的两组束紧器分别夹持于夹持高保真度测试器接入夹具3和测试机箱4的相对两侧上，即，夹持高保真度测试器接入夹具3和测试机箱4的第一侧通过一组束紧器进行夹持，而夹持高保真度测试器接入夹具3和测试机箱4的第二侧则通过另一组束紧器进行夹持。
32.参阅图1，在旋动以放松禁锢件后，上下调整外翼缘板，进而带动束紧器的上部的夹板上下移动以调整夹板之间的压力，从而增加夹持高保真度测试器接入夹具3和测试机箱4之间的接触性，最后旋紧禁锢件以令锁齿啮合于防滑齿纹来锁定两块夹板之间的距离。当需要释放压力时，先放松禁锢件，再使得两块夹板相互远离，解除锁齿与防滑齿纹的啮合，则解除压力。
33.本实用新型的用于集成电路测试机的增强接触装置，通过两个束紧器分别夹持高保真度测试器接入夹具和测试机箱的相对两侧，并通过两个翼缘板的齿纹与锁齿错位程度来以调节两个夹板之间的压力，若存在高保真度测试器接入夹具和测试机箱之间压力不够出现的异常时，可以快速通过装置调整压力（缩短两块夹板之间的距离，增加压力），起到快速解决问题，且增加测试中的稳定性，稳定测试良率，提高测试效率。
34.作为一种较佳的实施方式，为了精准控制两块夹板之间的压力，每一组束紧器的两块翼缘板中，一块翼缘板设置有指示线（如图1中的空心箭头线）；另一块翼缘板设置有刻度线，刻度线沿翼缘板的长度方向设置。一块翼缘板的指示线对准于另一块翼缘板的刻度线。当指示线对准于刻度线的起点时，两块夹板贴合于高保真度测试器接入夹具和测试机箱，夹板对高保真度测试器接入夹具和测试机箱施加的压力为0。在固定内翼缘板的基础上，下压外翼缘板，使得指示线下行，则指示线指向的刻度线的刻度值为夹板对高保真度测试器接入夹具和测试机箱施加的实时压力值。继续参阅图1所示位置状态，当需要增加两块夹板对高保真度测试器接入夹具和测试机箱的夹持压力时，基于夹板对高保真度测试器接入夹具和测试机箱施加的预设压力值，向下压外翼缘板，使得指示线对准于刻度线的相应刻度值。在指示线指向相对应的刻度值时，通过齿纹和锁止啮合以锁定两块翼缘板的相对位置，最终通过禁锢件将两块翼缘板压抵在一起以锁定两块以翼缘板的相对位置，进而使得两块夹板之间的夹持实时压力值达到预设压力值。
35.以上描述仅为本技术的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本技术中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述实用新型构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本技术中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

技术特征：
1.一种用于集成电路测试机的增强接触装置，其特征在于，包括相对设置的两组束紧器，所述束紧器包括：两块夹板，所述夹板具有相对的第一端和第二端，两块所述夹板的第一端之间形成用于夹持高保真度测试器接入夹具和测试机箱的一侧的夹持空间；拉结组件，包括两块翼缘板、导向杆和禁锢件，两块所述翼缘板分别连接于两块所述夹板的第二端，两块所述翼缘板错位贴合在一起，一翼缘板的相对侧形成有沿所述夹板的厚度方向设置的防滑齿纹，另一翼缘板的相对侧形成有锁齿，所述锁齿啮合于所述防滑齿纹，一翼缘板的相对侧开设有沿所述夹板的厚度方向设置的导向孔，所述导向杆的滑设于所述导向孔中，所述导向杆的一端连接于另一翼缘板，所述导向杆的另一端伸至一翼缘板的导向孔的外部，所述禁锢件可拆卸地安装于所述导向杆的另一端且压抵于一所述翼缘板的相背侧。2.根据权利要求1所述的用于集成电路测试机的增强接触装置，其特征在于，所述导向杆的一端连接于靠近所述夹持空间的一所述翼缘板，所述导向杆的另一端伸至远离所述夹持空间的另一所述翼缘板的导向孔的外部。3.根据权利要求2所述的用于集成电路测试机的增强接触装置，其特征在于，所述锁齿形成于靠近所述夹持空间的一所述翼缘板的相对侧。4.根据权利要求3所述的用于集成电路测试机的增强接触装置，其特征在于，所述翼缘板具有相对的第一端和第二端，所述翼缘板的第一端连接于所述夹板的第二端，两所述翼缘板的第二端错位贴合在一起，所述翼缘板的第二端的相对侧形成有所述锁齿，所述锁齿朝向所述翼缘板的第一端倾斜设置。5.根据权利要求1所述的用于集成电路测试机的增强接触装置，其特征在于，所述导向杆的另一端形成有外螺纹，所述禁锢件开设有螺纹孔，所述禁锢件螺纹连接于所述导向杆的另一端。6.根据权利要求1所述的用于集成电路测试机的增强接触装置，其特征在于，所述翼缘板与所述夹板一体成型。

技术总结
本实用新型公开了一种用于集成电路测试机的增强接触装置，通过两个束紧器分别夹持高保真度测试器接入夹具和测试机箱的相对两侧，并通过两个翼缘板的齿纹与锁齿错位程度来以调节两个夹板之间的压力，若存在高保真度测试器接入夹具和测试机箱之间压力不够出现的异常时，可以快速通过缩短两块夹板之间的距离，增加压力，起到快速解决问题，且增加测试中的稳定性，稳定测试良率，提高测试效率。本实用新型解决了集成电路测试机的高保真度测试器接入夹具与测试机箱接触不良，传统的采用重物加压存在压力大小难以精确控制且稳定性差的问题。题。题。


技术研发人员：张季明 施天雄 郑东来
受保护的技术使用者：江苏嘉兆电子有限公司
技术研发日：2022.12.21
技术公布日：2023/7/20