一种适用于TDMAT源气相输送的钢瓶结构的制作方法

一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构
技术领域
1.本发明涉及一种半导体芯片制造技术，更具体地说，它涉及一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构。


背景技术：

2.超高纯tdmat源为半导体芯片制程中最基础的材料之一，被广泛地应用于半导体芯片的原子层沉积。而tdmat如何能稳定的气相输出生成满足半导体制程的薄膜层，取决于钢瓶内tdmat的饱和蒸气压的稳定产生，因此钢瓶内液态的tdmat的受热方式就显得尤为重要。
3.当前，tdmat源气相沉积端的使用是通过tdmat钢瓶外表面套钢瓶加热套的形式进行热传导，如此导致处于钢瓶内部的tdmat源受热不充分，导致饱和蒸气压不稳定而影响芯片的质量；另一方面为了满足tdmat内部受热充分必须增大加热套的加热温度，如此处于瓶壁边缘的tdmat由于受热温度过高而出现烧焦现象，降低了tdmat的纯度而影响芯片的质量。


技术实现要素：

4.为了克服上述不足，本发明提供了一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构，它能使钢瓶内的tdmat受热均匀，避免出现局部温度过高或过低现象。
5.为了解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构，包括：钢瓶本体，用于装载tdmat源；液位检测器，用于检测钢瓶本体内tdmat源的液位高度；温度检测器，用于检测钢瓶本体内的温度；加热棒，用于对钢瓶本体内的tdmat源进行加热，加热棒由下往上间隔设置；控制器，根据接收到的液位检测器和温度检测器检测的液位和温度信号，输出控制信号控制加热棒的工作，使露出液面的加热棒停止加热。
6.tdmat源装入钢瓶本体，液位检测器和温度检测器检测钢瓶内的液位高度和温度，并将液位信息和温度信息传递到控制器。当温度低于设定温度时，控制器控制液面下方的加热棒工作对tdmat源进行加热，当温度达到设定温度后，加热板停止加热。随着tdmat源液位的降低，液位检测器检测液位信号，从而使露出液面的加热棒停止加热，避免加热棒出现干烧现象。加热棒由下往上间隔设置，加热范围大，实现了对tdmat源的体积受热最大化，避免了tdmat受热不均，避免出现局部温度过高或过低现象。
7.作为优选，钢瓶本体内由下往上间隔安装若干换热管，换热管横向布设，加热棒一一对应插装在换热管中。
8.通过换热管对钢瓶本体内的tdmat源进行加热，方便了加热棒的安装，而且加热棒不会直接与tdmat源接触，有利于延长使用寿命。换热管横向布设，使整根换热管同时处于
液面上方或者液面下方。
9.作为优选，换热管紧固安装在钢瓶本体内壁上，钢瓶本体侧壁上和换热管一一对应设有插孔，插孔与换热管对应连通，加热棒经插孔插装到换热管中。
10.插孔露出钢瓶本体外壁，方便了加热棒的安装。
11.作为优选，钢瓶本体上设置安装座，加热棒安装在安装座上。
12.安装座的设置方便了加热棒的安装。
13.作为优选，钢瓶本体外壁上设有安装面，安装座上设有贴合面，加热棒安装在贴合面上，安装座上的贴合面与钢瓶本体上的安装面贴合后紧固连接。
14.安装面与贴合面贴合，保温效果好。
15.作为优选，钢瓶本体外套装伴热套，伴热套内安装加热电阻，加热电阻电连接控制器。
16.伴热套的设置能够对钢瓶本体起到保温的效果，而且伴热套内安装加热电阻，从钢瓶本体外部对tdmat源进行辅助加热。加热棒直接对钢瓶本体内部进行加热，从而对tdmat源的内外双重加热，加热更加均匀。
17.作为优选，钢瓶本体连通进气管和出气管，进气管一端延伸到钢瓶本体底部，进气管另一端延伸到钢瓶本体外，进气管上安装进口阀；出气管一端设置在钢瓶本体内上部位置，出气管另一端延伸到钢瓶本体外，出气管上安装出口阀。
18.进气管和出气管的设置便于载气的流动，进口阀和出气阀的安装方便了对气流的通断控制。
19.作为优选，换热管上活动套装若干个转套，转套上设有若干散热叶片，散热叶片边缘设有若干散热针。
20.载气通入钢瓶本体内的tdmat源中使tdmat源搅动进而驱动散热叶片转动，而加热棒的热量传动到换热管、转套、散热叶片、散热针，转套的转动有利于热量的传递范围，使热量的传递更加均匀。
21.作为优选，换热管上安装若干定位环，相邻换热管上相邻两定位环之间均安装有转套，定位环与换热管紧固连接。
22.定位环对转套轴向进行限位，使转套的安装更加平稳可靠。
23.与现有技术相比，本发明的有益效果是：本专利申请的适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构能使钢瓶内的tdmat受热均匀，避免出现局部温度过高或过低现象。
附图说明
24.图1是本发明的一种结构示意图；图2是本发明的俯视图；图3是本发明的钢瓶本体安装面方向的结构示意图；图4是本发明的加热棒与安装座的连接结构示意图；图5是本发明的钢瓶本体内部结构示意图；图6是本发明实施例2的换热管与转套连接结构示意图；图中：1、钢瓶本体，2、温度检测器，3、液位检测器，4、加热棒，5、控制器，6、换热管，7、插孔，8、安装座，9、安装面，10、贴合面，11、进气管，12、出气管，13、进口阀，14、出口阀，
15、转套，16、散热叶片，17、散热针，18、定位环，19、伴热套。
具体实施方式
25.下面通过具体实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的具体描述：实施例1：一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构（参见附图1至附图4），包括：钢瓶本体1，用于装载tdmat源；液位检测器3，用于检测钢瓶本体内tdmat源的液位高度；温度检测器2，用于检测钢瓶本体内的温度；加热棒4，用于对钢瓶本体内的tdmat源进行加热，加热棒由下往上间隔设置，加热棒竖向设置有两列，两列加热棒一一对应横向并排设置；控制器5，根据接收到的液位检测器和温度检测器检测的液位和温度信号，输出控制信号控制加热棒的工作，使露出液面的加热棒停止加热。
26.钢瓶本体内由下往上间隔安装若干换热管6，换热管和加热棒一一对应设置，换热管横向布设，加热棒一一对应插装在换热管中。换热管紧固安装在钢瓶本体内壁上，钢瓶本体侧壁上和换热管一一对应设有插孔7，插孔与换热管对应连通，加热棒经插孔插装到换热管中。钢瓶本体上设置安装座8，加热棒安装在安装座上。钢瓶本体外壁上设有安装面9，安装座上设有贴合面10，安装面和贴合面均为平面结构，加热棒安装在贴合面上，安装座上的贴合面与钢瓶本体上的安装面贴合后紧固连接从而形成圆柱形的钢瓶本体。钢瓶本体外套装伴热套19，伴热套内安装加热电阻，加热电阻电连接控制器。
27.钢瓶本体连通进气管11和出气管12，进气管一端延伸到钢瓶本体底部，进气管另一端延伸到钢瓶本体外，进气管上安装进口阀13；出气管一端设置在钢瓶本体内上部位置，出气管另一端延伸到钢瓶本体外，出气管上安装出口阀14。进口阀和出口阀均为与控制器电连接。进口阀和出口阀均为电磁阀，便于控制器进行控制通断，液位检测器的探头和温度检测器的探头均向下延伸到钢瓶本体底部位置。每根加热棒通过控制器单独控制电流的通断，控制器连接报警器，温度过高或过低，液位过高或过低均能通过报警器进行报警。液位检测器、温度检测器、进气管、出气管均紧固在钢瓶本体上端。
28.使用时，包括以下步骤：a、先拆下液位检测器，从钢瓶本体上液位检测器安装位置装入tdmat源，并装好液位检测器。b、将进气管、出气管与气相沉积管路连接，给控制系统供电，并用氮气置换安装管路。c、开启出口阀，加热棒、液位检测器、温度检测器、加热电阻通电工作。d、当温度达到设定温度时，进口阀开启通入载气，将tdmat整体载入气相沉淀系统。e、液位检测器和温度检测器持续检测液位和温度信号传递到控制器，温度高于设定温度时，通过控制器减少工作的加热棒数量；温度低于设定温度时，通过控制器增加工作的加热棒数量，对温度进行补偿；随着tdmat液位的下降，关闭露出液面的加热棒；液位低于设定最低液位时，报警器报警，加热棒、液位检测器、温度检测器、加热电阻断电关闭。
29.实施例2：一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构（参见附图5），其结构与实施例1相似，主要不同点在于本实施例中换热管上活动套装若干个转套15，转套上均布设有三个散热叶片16，散热叶片边缘设有若干散热针17。载气通入钢瓶本体内的tdmat源中使tdmat源搅动进而驱动散热叶片转动。换热管上安装若干定位环18，相邻换热管上相邻两定位环
之间均安装有转套，定位环与换热管紧固连接。其它结构与实施例1相同。
30.载气通入钢瓶本体内的tdmat源中使tdmat源搅动进而驱动散热叶片转动，而加热棒的热量传动到换热管、转套、散热叶片、散热针，转套的转动有利于热量的传递范围，使热量的传递更加均匀。
31.以上所述的实施例只是本发明较佳的方案，并非对本发明作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。

技术特征：
1.一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构，其特征是，包括：钢瓶本体，用于装载tdmat源；液位检测器，用于检测钢瓶本体内tdmat源的液位高度；温度检测器，用于检测钢瓶本体内的温度；加热棒，用于对钢瓶本体内的tdmat源进行加热，加热棒由下往上间隔设置；控制器，根据接收到的液位检测器和温度检测器检测的液位和温度信号，输出控制信号控制加热棒的工作，使露出液面的加热棒停止加热。2.根据权利要求1所述的一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构，其特征是，钢瓶本体内由下往上间隔安装若干换热管，换热管横向布设，加热棒一一对应插装在换热管中。3.根据权利要求2所述的一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构，其特征是，换热管紧固安装在钢瓶本体内壁上，钢瓶本体侧壁上和换热管一一对应设有插孔，插孔与换热管对应连通，加热棒经插孔插装到换热管中。4.根据权利要求1所述的一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构，其特征是，钢瓶本体上设置安装座，加热棒安装在安装座上。5.根据权利要求4所述的一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构，其特征是，钢瓶本体外壁上设有安装面，安装座上设有贴合面，加热棒安装在贴合面上，安装座上的贴合面与钢瓶本体上的安装面贴合后紧固连接。6.根据权利要求1所述的一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构，其特征是，钢瓶本体外套装伴热套，伴热套内安装加热电阻，加热电阻电连接控制器。7.根据权利要求1至6任意一项所述的一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构，其特征是，钢瓶本体连通进气管和出气管，进气管一端延伸到钢瓶本体底部，进气管另一端延伸到钢瓶本体外，进气管上安装进口阀；出气管一端设置在钢瓶本体内上部位置，出气管另一端延伸到钢瓶本体外，出气管上安装出口阀。8.根据权利要求2所述的一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构，其特征是，换热管上活动套装若干个转套，转套上设有若干散热叶片，散热叶片边缘设有若干散热针。9.根据权利要求8所述的一种适用于tdmat源气相输送的钢瓶结构，其特征是，换热管上安装若干定位环，相邻换热管上相邻两定位环之间均安装有转套，定位环与换热管紧固连接。

技术总结
本发明公开了一种适用于TDMAT源气相输送的钢瓶结构，旨在解决钢瓶内的TDMAT受热不均的不足。该发明包括：钢瓶本体，用于装载TDMAT源；液位检测器，用于检测钢瓶本体内TDMAT源的液位高度；温度检测器，用于检测钢瓶本体内的温度；加热棒，用于对钢瓶本体内的TDMAT源进行加热，加热棒由下往上间隔设置；控制器，根据接收到的液位检测器和温度检测器检测的液位和温度信号，输出控制信号控制加热棒的工作，使露出液面的加热棒停止加热。本专利申请的适用于TDMAT源气相输送的钢瓶结构能使钢瓶内的TDMAT受热均匀，避免出现局部温度过高或过低现象。现象。现象。


技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：浙江陶特半导体材料有限公司
技术研发日：2023.03.20
技术公布日：2023/7/20