一种镀膜支架及镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜装置技术领域，具体涉及一种镀膜支架及镀膜机。


背景技术：

2.溅镀是利用高能粒子(如离子)轰击溅镀靶表面，使被轰击出的粒子(如原子、离子等)沉积于镀件表面。溅镀因具有较佳沉积效率、精确控制成份以及较低制造成本等优点，于工业上被广泛应用。溅镀工艺中通常采用镀膜支架固定镀件。
3.该镀膜支架包括主轴及设于主轴下端的固定盘。该主轴一端与驱动装置相连。固定盘与溅镀靶相对，用于固持镀件。溅镀时，该主轴于驱动装置的驱动下以溅镀靶为中心旋转，从而带动固持于固定盘的镀件围绕溅镀靶旋转，实现对镀件镀膜。
4.但是目前的镀膜支架由于镀件所带来的竖向力全部是作用在主轴上，对于某些重量较大的镀件，主轴是无法承受的，同时主轴承载较大的竖向拉力还影响驱动装置带动固定盘转动的灵活性，影响镀膜的质量及效率。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种镀膜支架及镀膜机，用以提高镀膜支架的竖向承载力，可以承载较大重量的镀件，同时将部分竖向力传递，降低主轴所受竖向力，确保固定盘转动的灵活性，提高镀膜质量及效率。
6.为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：
7.一种镀膜支架，包括安装于镀膜机真空室内的镀膜支架本体，镀膜支架本体包括转动体及与固定在真空室内的支撑套筒，转动体通过轴承组件转动连接于支撑套筒内，转动体上端与镀膜机内的驱动装置连接，转动体下端延伸至支撑套筒外部且连接有用于固持待镀工件的固定盘，转动体上设有用于将所受竖向拉力传递到支撑套筒上的肩部。
8.由于采用上述技术方案，支撑套筒固定真空室内，转动体转动连接于支撑套筒内，转动体的上端与驱动装置连接，转动体的下端连接固定盘，固定盘用于固持待镀工件，固定盘下方对应有溅镀靶，当有重量较大的工件固持在固定盘上后，工件的重力即为对固定盘的竖向拉力，该竖向拉力同样也是作用在转动体上，转动体可以将该竖向拉力传递到支撑套筒上，使得支撑套筒共同承受该部分竖向拉力，支撑套筒又将竖向拉力传递到镀膜机上，这样大大降低了转动体的竖向荷载，使得转动体可以承载较重的工件，同时，由于转动体的竖向荷载降低了，同样的功率下，使得驱动装置驱动转动体转动时更为灵活，工件旋转也更为顺畅，有利于提高工件的镀膜质量和效率。
9.可选的，所述转动体包括主轴及转动座，主轴与转动座通过销轴可拆卸连接，主轴位于支撑套筒上部，主轴上端与驱动装置连接，转动座位于支撑套筒下部，转动座下端与固定盘连接，轴承组件套设在转动座周向，肩部设置在转动座上部外圆周面上，肩部底面与轴承组件上端接触。
10.可选的，所述轴承组件包括上轴承、下轴承及支撑套环，上轴承、下轴承分别套设
在转动座上下端，支撑套环设置在上轴承、下轴承之间，肩部底面与上轴承套顶面接触，下轴承底面与支撑套筒内圆周面上的支撑凸起顶面接触。
11.可选的，所述支撑套筒包括上套筒和下套筒，主轴位于上套筒内，转动座位于下套筒内，上套筒下端与下套筒顶端螺钉连接，支撑凸起设置在下套筒下端的内圆周面上。
12.可选的，所述下套筒底面螺钉连接有底盖，底盖上设有允许转动座通过的通孔。
13.可选的，所述上套筒呈倒置的t形结构，上套筒底面与肩部顶面临近且不接触。
14.一种镀膜机，镀膜机内部设有真空室，包括上述任意一项所述的镀膜支架，镀膜支架本体位于真空室内，镀膜支架本体下方设有对应的溅镀靶。
15.本实用新型具有的有益效果：
16.1、本实用新型中，当有重量较大的工件固持在固定盘上后，工件的重力即为对固定盘的竖向拉力，该竖向拉力同样也是作用在转动体上，转动体可以将该竖向拉力传递到支撑套筒上，使得支撑套筒共同承受该部分竖向拉力，支撑套筒又将竖向拉力传递到镀膜机上，这样大大降低了转动体的竖向荷载，使得转动体可以承载较重的工件，同时，由于转动体的竖向荷载降低了，同样的功率下，使得驱动装置驱动转动体转动时更为灵活，工件旋转也更为顺畅，有利于提高工件的镀膜质量和效率。
附图说明
17.图1为本实用新型的结构示意图；
18.图2为镀膜支架本体与镀膜机的装配结构示意图。
19.附图标记：1-支撑套筒，101-上套筒，102-下套筒，2-转动体，21-主轴，22-转动座，3-轴承组件，301-上轴承，302-下轴承，303-支撑套环，4-固定盘，5-驱动装置，6-肩部，7-底盖，8-螺钉，9-支撑凸起，10-镀膜机，11-真空室，12-溅镀靶。
具体实施方式
20.下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
21.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
22.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.实施例1
24.一种镀膜支架，包括安装于镀膜机10真空室11内的镀膜支架本体，镀膜支架本体包括转动体2及与固定在真空室11内的支撑套筒1，转动体2通过轴承组件3转动连接于支撑
套筒1内，转动体2上端与镀膜机10内的驱动装置5连接，转动体2下端延伸至支撑套筒1外部且连接有用于固持待镀工件的固定盘4，转动体2上设有用于将所受竖向拉力传递到支撑套筒1上的肩部6。
25.本实施例中，如图1和2所示，在现有镀膜机10的基础上，其内部具有真空室11，真空室11内设有溅镀靶12，溅镀靶12的结构及其使用原理也是现有技术，支撑套筒1固定真空室11内，转动体2转动连接于支撑套筒1内，转动体2的上端与驱动装置5连接，转动体2的下端连接固定盘4，固定盘4用于固持待镀工件，固定盘4下方对应有溅镀靶12，当有重量较大的工件固持在固定盘4上后，工件的重力即为对固定盘4的竖向拉力，该竖向拉力同样也是作用在转动体2上，转动体2可以将该竖向拉力传递到支撑套筒1上，使得支撑套筒1共同承受该部分竖向拉力，支撑套筒1又将竖向拉力传递到镀膜机10上，这样大大降低了转动体2的竖向荷载，使得转动体2可以承载较重的工件，同时，由于转动体2的竖向荷载降低了，同样的功率下，使得驱动装置5驱动转动体2转动时更为灵活，工件旋转也更为顺畅，有利于提高工件的镀膜质量和效率。
26.进一步的，所述转动体2包括主轴21及转动座22，主轴21与转动座22通过销轴可拆卸连接，主轴21位于支撑套筒1上部，主轴21上端与驱动装置5连接，转动座22位于支撑套筒1下部，转动座22下端与固定盘4连接，轴承组件3套设在转动座22周向，肩部6设置在转动座22上部外圆周面上，肩部6底面与轴承组件3上端接触。
27.具体的，转动体2主要包括主轴21和转动座22，主轴21是直接与驱动装置5连接，驱动装置5为电机，主轴21下端与转动座22顶面采用销轴可拆卸的连接，使得主轴21转动时可以带动转动座22转动，进而带动下端的固定盘4转动，使得转动盘上固持的工件跟随转动，实现镀膜工艺，主轴21位于支撑套筒1上部分的内部，主轴21上端与支撑套筒1上端转动连接，转动座22位于支撑套筒1下部分的内部，转动座22外侧套设轴承组件3，轴承组件3卡设在支撑套筒1下部分内，转动座22上端外圆周面上一体成型有向外凸出的肩部6，该肩部6底面与轴承组件3上端面接触，当固定盘4上固持有较重的工件时，转动座22将所受的竖向拉力通过肩部6传递到轴承组件3上，轴承组件3再将力传递到支撑套筒1上，从而传递到镀膜机10上，这样就可以大大降低主轴21的竖向荷载，使得主轴21可以承载较重的工件，同时，由于主轴21的竖向荷载降低了，同样的功率下，使得驱动装置5驱动主轴21转动时更为灵活，工件旋转也更为顺畅，有利于提高工件的镀膜质量和效率。
28.进一步的，所述轴承组件3包括上轴承301、下轴承302及支撑套环303，上轴承301、下轴承302分别套设在转动座22上下端，支撑套环303设置在上轴承301、下轴承302之间，肩部6底面与上轴承301套顶面接触，下轴承302底面与支撑套筒1内圆周面上的支撑凸起9顶面接触。具体的，轴承组件3主要由上轴承301、下轴承302和支撑套环303构成，上轴承301、下轴承302内圈套设在转动座22上，外圈卡紧在支撑套筒1内，使得转动座22与支撑套筒1之间能转动更为灵活，支撑套环303设置在转动座22外侧，支撑套环303将两轴承顶压在支撑套筒1内，肩部6底面与上轴承301顶面接触，下轴承302与支撑套筒1内圆周面一体成型的支撑凸起9的顶面接触，这样转动座22所受的拉力便可以很好的传递到上轴承301，通过支撑套环303传递到下轴承302，再传递到支撑套筒1上。
29.进一步的，所述支撑套筒1包括上套筒101和下套筒102，主轴21位于上套筒101内，转动座22位于下套筒102内，上套筒101下端与下套筒102顶端螺钉8连接，支撑凸起9设置在
下套筒102下端的内圆周面上。
30.进一步的，所述下套筒102底面螺钉8连接有底盖7，底盖7上设有允许转动座22通过的通孔。
31.进一步的，所述上套筒101呈倒置的t形结构，上套筒101底面与肩部6顶面临近且不接触。
32.具体的，支撑套筒1由上套筒101和下套筒102构成，上套筒101是呈倒t形结构，下套筒102是两端开口结构，上套筒101与下套筒102之间通过螺钉8固定适配连接，下套筒102底面通过螺钉8连接有底盖7，转动座22贯穿底盖7，支撑凸起9一体成型在下套筒102下端的内圆周面上，用以支撑轴承组件3，通过上套筒101和支撑凸起9的作用将轴承组件3夹紧，避免轴承组件3发生上下位移。
33.实施例2
34.如图2所示，一种镀膜机，镀膜机10内部设有真空室11，包括上述任意一项所述的镀膜支架，镀膜支架本体位于真空室11内，镀膜支架本体下方设有对应的溅镀靶12。
35.本实用新型的工作原理：镀膜支架位于镀膜机10的真空室11内，镀膜支架的安装位置与溅镀靶12的位置对应，以确保被轰击的粒子能沉积到工件上，工件固持在固定盘4上后，工件的重力(竖向拉力)通过固定盘4作用到转动座22上，同时也会作用到主轴21上，通过肩部6的作用，转动座22所受的竖向拉力传递到上轴承301，并通过支撑套环303传递到下轴承302，最后传递给下套筒102，再通过螺钉8传递到上套筒101，最后传递到镀膜机10上，这样就可以大大降低主轴21的竖向荷载，使得主轴21可以承载较重的工件，同时，由于主轴21的竖向荷载降低了，同样的功率下，使得驱动装置5驱动主轴21转动时更为灵活，工件旋转也更为顺畅，有利于提高工件的镀膜质量和效率。
36.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质，在本实用新型的精神和原则之内，对以上实施例所作的任何简单的修改、等同替换与改进等，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围之内。

技术特征：
1.一种镀膜支架，其特征在于，包括安装于镀膜机(10)真空室(11)内的镀膜支架本体，镀膜支架本体包括转动体(2)及与固定在真空室(11)内的支撑套筒(1)，转动体(2)通过轴承组件(3)转动连接于支撑套筒(1)内，转动体(2)上端与镀膜机(10)内的驱动装置(5)连接，转动体(2)下端延伸至支撑套筒(1)外部且连接有用于固持待镀工件的固定盘(4)，转动体(2)上设有用于将所受竖向拉力传递到支撑套筒(1)上的肩部(6)。2.根据权利要求1所述的一种镀膜支架，其特征在于，所述转动体(2)包括主轴(21)及转动座(22)，主轴(21)与转动座(22)通过销轴可拆卸连接，主轴(21)位于支撑套筒(1)上部，主轴(21)上端与驱动装置(5)连接，转动座(22)位于支撑套筒(1)下部，转动座(22)下端与固定盘(4)连接，轴承组件(3)套设在转动座(22)周向，肩部(6)设置在转动座(22)上部外圆周面上，肩部(6)底面与轴承组件(3)上端接触。3.根据权利要求2所述的一种镀膜支架，其特征在于，所述轴承组件(3)包括上轴承(301)、下轴承(302)及支撑套环(303)，上轴承(301)、下轴承(302)分别套设在转动座(22)上下端，支撑套环(303)设置在上轴承(301)、下轴承(302)之间，肩部(6)底面与上轴承(301)套顶面接触，下轴承(302)底面与支撑套筒(1)内圆周面上的支撑凸起(9)顶面接触。4.根据权利要求2所述的一种镀膜支架，其特征在于，所述支撑套筒(1)包括上套筒(101)和下套筒(102)，主轴(21)位于上套筒(101)内，转动座(22)位于下套筒(102)内，上套筒(101)下端与下套筒(102)顶端螺钉(8)连接，支撑凸起(9)设置在下套筒(102)下端的内圆周面上。5.根据权利要求4所述的一种镀膜支架，其特征在于，所述下套筒(102)底面螺钉(8)连接有底盖(7)，底盖(7)上设有允许转动座(22)通过的通孔。6.根据权利要求4所述的一种镀膜支架，其特征在于，所述上套筒(101)呈倒置的t形结构，上套筒(101)底面与肩部(6)顶面临近且不接触。7.一种镀膜机，镀膜机(10)内部设有真空室(11)，其特征在于，包括如权利要求1-6任意一项所述的镀膜支架，镀膜支架本体位于真空室(11)内，镀膜支架本体下方设有对应的溅镀靶(12)。

技术总结
本实用新型公开了一种镀膜支架，包括安装于镀膜机真空室内的镀膜支架本体，镀膜支架本体包括转动体及与固定在真空室内的支撑套筒，转动体通过轴承组件转动连接于支撑套筒内，转动体上端与镀膜机内的驱动装置连接，转动体下端延伸至支撑套筒外部且连接有用于固持待镀工件的固定盘，转动体上设有用于将所受竖向拉力传递到支撑套筒上的肩部。本实用新型用以提高镀膜支架的竖向承载力，使得主轴可以承载较大重量的镀件，同时将部分竖向力传递，降低主轴所受竖向力，确保固定盘转动的灵活性，提高镀膜质量及效率。镀膜质量及效率。镀膜质量及效率。


技术研发人员：苏云飞
受保护的技术使用者：成都超纯应用材料有限责任公司
技术研发日：2023.04.12
技术公布日：2023/7/21