用于抛光垫运输的装置的制作方法

1.本实用新型涉及抛光垫运输技术领域，特别是涉及用于抛光垫运输的装置。


背景技术：

2.随着电子和半导体产业的不断发展，对晶圆的表面质量和加工精度提出了更高的要求，为满足晶圆的质量和加工精度要求，通常使用化学机械抛光(chemical mechanical polishing，cmp)对晶圆进行处理。化学机械抛光是将磨粒机械磨削和抛光液化学腐蚀作业组合的抛光技术，能够使晶圆加工表面实现纳米级全局平坦化，满足集成电路特征尺寸在0.35μm以下的超精密无损伤表面加工。另外，化学机械抛光还可以对半导体的分立器件、电子元器件等进行加工。
3.抛光垫是直接使用化学机械抛光技术进行半导体抛光的重要耗材，抛光垫表面粗糙，设置有凸起或凹槽，加工时将表面与半导体直接接触，通过机械方式和化学方式除去半导体表面的抛光层。抛光垫的性能参数包括：硬度、压缩率、涵养量、粗糙度、密度等，其中压缩率反映抛光垫的抗变形能力，如果抛光垫的变形较大会改变抛光垫表面的平整度，进而影响半导体的抛光质量，降低半导体的抛光合格率。
4.当前抛光垫运输时通常采用多张抛光垫堆叠的方式，堆叠过多的抛光垫会因为抛光垫自身重力过大使得底层抛光垫变形，改变压缩率，进而影响半导体的抛光质量。


技术实现要素：

5.基于此，有必要针对抛光垫运输时堆叠数量过多的问题，提供一种用于抛光垫运输的装置。
6.一种用于抛光垫运输的装置，包括底板和滚轮，该装置包括：
7.所述底板上固定连接第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和所述第二支撑板相对设置，所述第一支撑板和所述第二支撑板上分别设置有多个滑动机构，所述滑动机构包括两个滑块和两条滑轨，每个所述滑轨上设置一个所述滑块，所述第一支撑板和所述第二支撑板之间设置有多个分隔板，所述分隔板的一端与所述第一支撑板上所述滑动机构的所述两个滑块固定连接，所述分隔板的另一端与所述第二支撑板上所述滑动机构的所述两个滑块固定连接，所述分隔板用于放置抛光垫。
8.上述用于抛光垫运输的装置，用于在运输抛光垫时限制堆叠的抛光垫的高度。在使用过程中，通过在装置中设置多个分隔板，任意两个相邻分隔板之间的间距可以根据要堆叠的抛光垫的规格进行调整，从而可以将堆叠的抛光垫的数量限制在一定的范围内，避免堆叠的抛光垫过多对底层抛光垫造成损害，进而影响半导体的抛光效果。
9.在其中一个实施例中，所述装置还包括信息采集组件，所述数据采集组件用于采集所述抛光垫的相关信息。从而以自动化方式获取抛光垫的相关信息，提高抛光垫相关信息的获取效率。
10.在其中一个实施例中，所述信息采集组件包括扫码器，所述扫码器用于扫描所述
抛光垫的条形码获取所述抛光垫的相关信息。
11.在其中一个实施例中，所述分隔板上设置有凹陷部，所述凹陷部用于设置所述扫码器。从而保持分隔板表面的平整，避免影响到抛光垫的堆叠。
12.在其中一个实施例中，所述装置还包括控制组件和通讯组件，所述控制组件分别与所述信息采集组件和所述通讯组件连接，所述控制组件用于获取所述信息采集组件采集的所述抛光垫的相关信息并提供给通讯组件，所述通讯组件用于接收并发送采集的所述抛光垫的相关信息。从而以自动化方式将采集的抛光垫相关信息传输至后台服务器，方便实现抛光垫相关信息的管理和统计。
13.在其中一个实施例中，所述通讯组件包括蓝牙组件，所述蓝牙组件用于通过蓝牙协议将所述抛光垫相关信息发送至数据接收端。
14.在其中一个实施例中，相邻两个所述分隔板之间的间距为9至15厘米。从而将抛光垫的堆叠数量限制在一定范围内，避免堆叠过多。
15.在其中一个实施例中，所述滑轨还包括限位机构，所述限位机构用于限制所述分隔板在所述第一支撑板和所述第二支撑板上的滑动。
16.在其中一个实施例中，所述装置还包括四个滚轮，所述四个滚轮分别设置在所述底板的四角。
17.在其中一个实施例中，所述装置还包括两个把手，所述两个把手分别设置在第一支撑板的顶部边缘。
附图说明
18.图1为一实施例中用于抛光垫运输的装置的结构示意图；
19.图2为一实施例中用于抛光垫运输的装置的后视图；
20.图3为一实施例中用于抛光垫运输的装置的侧视图。
21.附图标号：100、用于抛光垫运输的装置；10、第一支撑板；20、第二支撑板；30、滑动机构；40、分隔板；50、凹陷部；60、把手；70、底板；80、滚轮。
具体实施方式
22.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
23.下面结合附图对一些实施例中的用于抛光垫运输的装置100进行具体描述。
24.如图1至图3所示，在一些实施例中，提供了一种用于抛光垫运输的装置100，用于抛光垫运输的装置100包括底板70和滚轮80，还包括第一支撑板10，第二支撑板20，滑动机构30和分隔板40。
25.其中，第一支撑板10和第二支撑板20相对设置，第一支撑板10和第二支撑板20相对的内侧面上分别设置有多个滑动机构30，第一支撑板10上设置的滑动机构的数量与第二支撑板20上设置的滑动机构的数量相同，并且一一对应。
26.每个滑动机构30包括两个滑块和两条滑轨，每条滑轨上设置一个滑块，滑块可以在滑轨上滑动。每条滑轨的设置方向与地面垂直，从而滑块可以在与地面垂直的方向上上下滑动，两条滑轨之间间隔一定距离，间隔距离可以根据第一支撑板10和第二支撑板20的水平宽度确定。另外，第一支撑板10上设置的滑动机构的滑轨和该滑动机构对应的位于第二支撑板20上的滑动机构的滑轨设置高度相同，即滑轨距离地面的高度相同。
27.第一支撑板10和第二支撑板20之间设置有多个分隔板40，每个分隔板40的一端与第一支撑板10上某一个滑动机构30的两个滑块固定连接，另一端与第二支撑板20上对应的滑动机构30的两个滑块固定连接，使得分隔板40与地面保持平行。分隔板40用于放置多张抛光垫，抛光垫以堆叠形式放置在分隔板40上，任意两个分隔板之间的空间用于放置一定数量的抛光垫。
28.在此，抛光垫通常包括抛光层、缓冲层、粘接层和背胶层，其中抛光层的厚度通常在1mm至4mm之间，缓冲层的厚度通常在0.5mm至2mm之间，粘接层的厚度通常在0.1mm至0.2mm之间，背胶层的厚度通常在0.5mm至2mm之间，抛光垫的直径通常在500mm至900mm之间。一张抛光垫的厚度通常在2mm至8mm之间，不同批次的抛光垫或具有不同抛光参数的抛光垫的厚度有相应差异。
29.上述用于抛光垫运输的装置，用于在运输抛光垫时限制堆叠的抛光垫的高度。在使用过程中，通过在装置中设置多个分隔板，任意两个相邻分隔板之间的间距可以根据要堆叠的抛光垫的规格进行调整，从而可以将堆叠的抛光垫的数量限制在一定的范围内，避免堆叠的抛光垫过多对底层抛光垫造成损害，进而影响半导体的抛光效果。
30.在一些实施例中，可以在任意两个相邻分隔板之间放置10张以上、15张以下的抛光垫，抛光垫堆叠的高度最小值约为2到3厘米，最大值约为8到13厘米，为放置多张厚度最大的抛光垫，同时为了放置抛光垫时的便利性，可以将任意两个相邻分隔板的间距设置为9至15厘米，从而避免抛光垫堆叠过多造成抛光垫的变形损坏。在此，任意两个相邻分隔板的间距优选为10厘米。
31.可以理解，任意两个相邻分隔板的间距的调整通过滑块在滑轨的上下滑动实现，在需要调大间距时，将分别与两块分隔板连接的滑块在滑轨上背向滑动，在需要调小间距时，将分别与两块分隔板连接的滑块在滑轨上相向滑动。
32.在一些实施例中，滑动机构的滑轨上还设置限位机构(未示出)，限位机构用于限制分隔板在第一支撑板10和第二支撑板20上的滑动。在此，限位机构可以为一个或多个，限位机构可以对滑块进行固定，避免滑块进行过多的滑动，进而限制分隔板进行滑动。
33.具体来说，限位机构可以为弹性限位齿，多个弹性限位齿沿着滑轨的导向方向间隔设置，相邻两个弹性限位齿之间的间隙用于容纳滑块。通过外力推动滑块，可以使滑块沿滑轨越过弹性限位齿，撤掉滑块上的外力，滑块固定在相邻两个弹性限位齿之间。通过调整滑块在弹性限位齿之间的位置，可以调整相邻分隔板之间的间距，使得满足不同规格的抛光垫的堆叠需求。
34.在一些实施例中，用于抛光垫运输的装置100可以设有流转单，流转单可以用于记录该装置100中运输的抛光垫的相关信息。在此，抛光垫的相关信息可以包括但不限于：批次、硬度、压缩率、涵养量、粗糙度、密度等。
35.在一些实施例中，用于抛光垫运输的装置100还包括信息采集组件(未示出)，信息
采集组件可以用于采集抛光垫的相关信息。在此，信息采集组件可以自动化方式获取抛光垫的相关信息，无需用户手动输入，提高了抛光垫的相关信息的获取效率。
36.另外，用于抛光垫运输的装置100中任意相邻分隔板中堆叠的抛光垫的相关信息由信息采集组件采集后，暂时存储在信息采集组件中，并在后续处理中提交给制造执行系统(manufacturing execution systems，mes)中，从而实现抛光垫的全面信息化管理。
37.具体来说，信息采集组件可以是扫码器，扫码器可以通过扫描抛光垫的条形码获取抛光垫的相关信息。在此，抛光垫有对应的条形码，扫码器根据扫描的抛光垫的条形码确定抛光垫的相关信息。
38.在一些实施例中，分隔板上还设置有凹陷部50，凹陷部50用于设置扫码器。具体来说，可以在用于抛光垫运输的装置100中位于最上层的分隔板上设置凹陷部50，将扫码器设置在凹陷部50中，设置好的扫码器的扫码面可以与该分隔板的表面齐平或高于分隔板的表面。通过在凹陷部50中设置扫码器，实现扫码器与抛光垫运输的结合，能够方便实现抛光垫相关信息的采集。
39.在一些实施例中，用于抛光垫运输的装置100还可以包括控制组件和通讯组件(未示出)，控制组件分别与信息采集组件和通讯组件连接，控制组件用于获取信息采集组件采集的抛光垫的相关信息并提供给通讯组件，通讯组件用于接收并发送采集的抛光垫的相关信息。在此，控制组件获取信息采集组件暂存的抛光垫相关信息，并将获取的信息传输给通讯组件进行发送。另外，控制组件还可以为抛光垫相关信息增加对应的用于抛光垫运输的装置100的标识信息，从而可以确定抛光垫运输时所处的运输装置。具体来说，控制组件可以实现为可编程逻辑控制器(programmable logic controller，plc)。
40.另外，通讯组件可以通过无线通讯方式与mes系统进行数据交换，即将抛光垫的相关信息通过无线网络提交给mes服务器。具体来说，通讯组件可以实现为蓝牙(bluetooth)组件，蓝牙组件用于通过蓝牙协议将抛光垫相关信息发送至数据接收端，即mes系统的数据采集节点，mes系统的数据采集节点接收到抛光垫相关信息后，再将抛光垫相关信息传输至mes服务器。
41.在一些实施例中，用于抛光垫运输的装置100还包括两个把手60，两个把手60分别设置在第一支撑板10的顶部边缘。通过在第一支撑板10的顶部边缘设置两个把手60，能够方便用户对该装置100进行移动。可以理解，第一支撑板10的高度可以为几十厘米至一百多厘米，本技术实施例对此不作具体限制。优选地，第一支撑板10的高度为70厘米左右。
42.在一些实施例中，用于抛光垫运输的装置100还包括四个滚轮80，四个滚轮80分别设置在底板70的四角。通过在该装置100的底板70下方设置四个滚轮80，不仅可以为底板70提供支撑，保证用于抛光垫运输的装置100的稳定性，还可以方便该装置100的移动。
43.上述用于抛光垫运输的装置100，用于在运输抛光垫时限制堆叠的抛光垫的高度。在使用过程中，通过在该装置100中设置多个分隔板40，任意两个相邻分隔板40之间的间距可以根据要堆叠的抛光垫的规格进行调整，从而可以将堆叠的抛光垫的数量限制在一定的范围内，避免堆叠的抛光垫过多对底层抛光垫造成损害，进而影响半导体的抛光效果。该装置100还提供了信息采集组件，可以采集运输的抛光垫的相关信息，并通过控制组件和通讯组件发送至后台的mes服务器，使得能够对运输中的抛光垫进行实时监测和统计，方便对抛光垫进行管理。
44.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
45.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
46.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
47.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
48.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
49.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
50.以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种用于抛光垫运输的装置，包括底板和滚轮，其特征在于，该装置包括：所述底板上固定连接第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和所述第二支撑板相对设置，所述第一支撑板和所述第二支撑板上分别设置有多个滑动机构，所述滑动机构包括两个滑块和两条滑轨，每个所述滑轨上设置一个所述滑块，所述第一支撑板和所述第二支撑板之间设置有多个分隔板，所述分隔板的一端与所述第一支撑板上所述滑动机构的所述两个滑块固定连接，所述分隔板的另一端与所述第二支撑板上所述滑动机构的所述两个滑块固定连接，所述分隔板用于放置抛光垫。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括信息采集组件，所述信息采集组件用于采集所述抛光垫的相关信息。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述信息采集组件包括扫码器，所述扫码器用于扫描所述抛光垫的条形码获取所述抛光垫的相关信息。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述分隔板上设置有凹陷部，所述凹陷部用于设置所述扫码器。5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括控制组件和通讯组件，所述控制组件分别与所述信息采集组件和所述通讯组件连接，所述控制组件用于获取所述信息采集组件采集的所述抛光垫的相关信息并提供给通讯组件，所述通讯组件用于接收并发送采集的所述抛光垫的相关信息。6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述通讯组件包括蓝牙组件，所述蓝牙组件用于通过蓝牙协议将所述抛光垫相关信息发送至数据接收端。7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，相邻两个所述分隔板之间的间距为9至15厘米。8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述滑轨还包括限位机构，所述限位机构用于限制所述分隔板在所述第一支撑板和所述第二支撑板上的滑动。9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括四个滚轮，所述四个滚轮分别设置在所述底板的四角。10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括两个把手，所述两个把手分别设置在第一支撑板的顶部边缘。

技术总结
本实用新型涉及一种用于抛光垫运输的装置，包括底板和滚轮，所板上固定连接第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板和第二支撑板相对设置，第一支撑板和第二支撑板上分别设置有多个滑动机构，滑动机构包括两个滑块和两条滑轨，每个滑轨上设置一个滑块，第一支撑板和第二支撑板之间设置有多个分隔板，分隔板的一端与第一支撑板上滑动机构的两个滑块固定连接，分隔板的另一端与第二支撑板上滑动机构的两个滑块固定连接，分隔板用于放置抛光垫。从而可以将堆叠的抛光垫的数量限制在一定的范围内，避免堆叠的抛光垫过多对底层抛光垫造成损害，进而影响半导体的抛光效果。进而影响半导体的抛光效果。进而影响半导体的抛光效果。


技术研发人员：杨波
受保护的技术使用者：上海芯谦集成电路有限公司
技术研发日：2023.03.20
技术公布日：2023/7/21