一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统的制作方法

1.本发明涉及磷化铟单晶的控制系统技术领域，尤其涉及一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统。


背景技术：

2.磷化铟是一种化学物质，是沥青光泽的深灰色晶体，化合物半导体材料，是继硅、砷化镓之后的新一代微电子、光电子功能材料，目前应用较多的磷化铟单晶的生长方法是垂直梯度凝固法。
3.现有磷化铟单晶炉内部对压强和温度控制不够精准的，而磷化铟生长对温度控制要求极高，但是大多磷化铟单晶的控制系统中很容易生成低温度梯度，导致磷化铟单晶的生长质量会有所降低，因此，亟需设计一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统来解决这一问题。


技术实现要素：

4.基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统。
5.本发明提出的一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统，包括炉体，所述炉体内部安装有中柱，所述中柱顶部水平安装有横杆，所述横杆内部开设有通道，所述炉体表面缠绕有两个冷却管，所述炉体表面设有散热机构，所述中柱顶部开设有多个透气孔，所述中柱内部设有两个加热棒，两个所述加热棒呈竖直设置，所述炉体底部设有转动两个加热棒的转动机构，所述中柱内部设有多个风扇，多个所述风扇呈竖直设置，所述中柱内部设有通风机构，所述炉体顶部配合有密封盖。
6.优选的，所述散热机构包括进水管，所述进水管固定连接于其中一个冷却管一端，且其中一个所述冷却管另一端固定连接有第一连接管，所述第一连接管与通道一端相连接，另一个所述冷却管一端固定连接有出水管，且另一个冷却管另一端固定连接有第二连接管，所述第二连接管固定连接于通道另一端。
7.进一步的，转动机构包括转盘，所述转盘转动连接于中柱内底部，两个所述加热棒底端固定连接于转盘顶部，所述转盘底部中心处固定连接有连接轴，所述连接轴穿插于炉体和中柱底部，所述连接轴底部固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮表面啮合有第二齿轮，所述炉体底部固定连接有支撑架，所述支撑架表面安装有支撑板，所述支撑板底部安装有电机，所述电机竖直轴固定连接于第二齿轮底部中心处。
8.优选的，所述通风机构包括转轮，所述转轮转动连接于固定块内部，所述转轮底部固定连接有转轴，所述转轴竖直转动于中柱内部，所述转盘顶部中心处固定连接有轴套，所述转轴底部套设于轴套内部，所述多个风扇套设于转轴表面。
9.本发明中，当需要加热时，可驱动电机带动两个齿轮转动，再带动转盘和两个加热棒同时转动，从而使两个加热棒对铝梯内部进行均匀加热，从而可减少温度差异，使炉体内
部加热更加均匀，同时使磷化铟单晶生长质量更高。
10.在使用时，可通过将进水管连通谁要换，在通过水循环的作用下对该装置进行降温，同时水流过程中可带动转轮和多个风扇转动，从而使炉体内部同时进行降温处理，从而使降温效果更加均匀，从而更加有利于制备高质量的磷化铟单晶。
附图说明
11.图1为本发明提出的一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统的主视图；
12.图2为本发明提出的一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统的分解图；
13.图3为本发明提出的一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统的内部结构剖视图；
14.图4为本发明提出的一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统的结构剖视图。
15.图中：1、炉体；11、中柱；12、横杆；13、固定块；14、通道；15、透气孔；2、冷却管；21、进水管；22、第一连接管；23、出水管；24、第二连接管；3、支撑板；31、支撑架；4、密封盖；5、转轮；51、转轴；52、风扇；53、轴套；6、转盘；61、连接轴；62、第一齿轮；63、第二齿轮；64、电机；65、加热棒。
具体实施方式
16.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
17.参照图1-4，一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统，包括炉体1，炉体1内部安装有中柱11，中柱11顶部水平安装有横杆12，横杆12内部开设有通道14，炉体1表面缠绕有两个冷却管2，炉体1表面设有散热机构，中柱11顶部开设有多个透气孔15，中柱11内部设有两个加热棒65，两个加热棒65呈竖直设置，炉体1底部设有转动两个加热棒65的转动机构，中柱11内部设有多个风扇52，多个风扇52呈竖直设置，中柱11内部设有通风机构，炉体1顶部配合有密封盖4，通过该装置的设置，可对炉体1表面进行散热，同时可带动多个风扇52转动，使中柱11内部进行空气循环，避免该装置散热不够均匀。
18.参照图1-3，在一个优选的实施方式中，散热机构包括进水管21，进水管21固定连接于其中一个冷却管2一端，且其中一个冷却管2另一端固定连接有第一连接管22，第一连接管22与通道14一端相连接，另一个冷却管2一端固定连接有出水管23，且另一个冷却管2另一端固定连接有第二连接管24，第二连接管24固定连接于通道14另一端，用于对冷却管2进行水循环。
19.参照图1和图4，在一个优选的实施方式中，转动机构包括转盘6，转盘6转动连接于中柱11内底部，两个加热棒65底端固定连接于转盘6顶部，转盘6底部中心处固定连接有连接轴61，连接轴61穿插于炉体1和中柱11底部，连接轴61底部固定连接有第一齿轮62，第一齿轮62表面啮合有第二齿轮63，炉体1底部固定连接有支撑架31，支撑架31表面安装有支撑板3，支撑板3底部安装有电机64，电机64竖直轴固定连接于第二齿轮63底部中心处，用于带动两个加热棒65转动，使中柱11内部加热更加均匀。
20.参照图1和图3，在一个优选的实施方式中，通风机构包括转轮5，转轮5转动连接于固定块13内部，转轮5底部固定连接有转轴51，转轴51竖直转动于中柱11内部，转盘6顶部中
心处固定连接有轴套53，转轴51底部套设于轴套53内部，多个风扇52套设于转轴51表面，用于带动转轮5转动。
21.本发明中，通过冷却管2的设置，可对炉体1表面进行冷却效果，当使用时，将进水管21处连接水源，再将出水管23表面连接到排水处，此时将进水管21进行通水，此时水源将通过冷却管2进入通道14内部，再从出水管23进行排出，从而对炉体1表面的热量带走，当水源通过通道14内部时，水流将会带动转轮5转动，而转轮5将会带动转轴51和多个风扇52转动，使多个风扇52对中柱11内部进行吹风，从而使中柱11内部同时散热，从而使该装置在需要散热效果更好，当需要对该装置进行加热时，先时两个加热棒65开始工作，再驱动电机64带动第二齿轮63转动，从而使第一齿轮62随之转动，而第一齿轮62将会带动连接轴61和转盘6转动，使两个加热棒65开始转动，此时加热棒65在加热的同时也在转动，从而可对中柱11内部加热更加均匀，进而提高了该设备的加热效果。
22.以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。


技术特征：
1.一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统，包括炉体(1)，其特征在于，所述炉体(1)内部安装有中柱(11)，所述中柱(11)顶部水平安装有横杆(12)，所述横杆(12)内部开设有通道(14)，所述炉体(1)表面缠绕有两个冷却管(2)，所述炉体(1)表面设有散热机构，所述中柱(11)顶部开设有多个透气孔(15)，所述中柱(11)内部设有两个加热棒(65)，两个所述加热棒(65)呈竖直设置，所述炉体(1)底部设有转动两个加热棒(65)的转动机构，所述中柱(11)内部设有多个风扇(52)，多个所述风扇(52)呈竖直设置，所述中柱(11)内部设有通风机构，所述炉体(1)顶部配合有密封盖(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统，其特征在于，所述散热机构包括进水管(21)，所述进水管(21)固定连接于其中一个冷却管(2)一端，且其中一个所述冷却管(2)另一端固定连接有第一连接管(22)，所述第一连接管(22)与通道(14)一端相连接。3.根据权利要求2所述的一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统，其特征在于，另一个所述冷却管(2)一端固定连接有出水管(23)，且另一个冷却管(2)另一端固定连接有第二连接管(24)，所述第二连接管(24)固定连接于通道(14)另一端。4.根据权利要求1所述的一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统，其特征在于，转动机构包括转盘(6)，所述转盘(6)转动连接于中柱(11)内底部，两个所述加热棒(65)底端固定连接于转盘(6)顶部，所述转盘(6)底部中心处固定连接有连接轴(61)，所述连接轴(61)穿插于炉体(1)和中柱(11)底部。5.根据权利要求4所述的一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统，其特征在于，所述连接轴(61)底部固定连接有第一齿轮(62)，所述第一齿轮(62)表面啮合有第二齿轮(63)，所述炉体(1)底部固定连接有支撑架(31)，所述支撑架(31)表面安装有支撑板(3)，所述支撑板(3)底部安装有电机(64)，所述电机(64)竖直轴固定连接于第二齿轮(63)底部中心处。6.根据权利要求5所述的一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统，其特征在于，所述通风机构包括转轮(5)，所述转轮(5)转动连接于固定块(13)内部，所述转轮(5)底部固定连接有转轴(51)，所述转轴(51)竖直转动于中柱(11)内部。7.根据权利要求6所述的一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统，其特征在于，所述转盘(6)顶部中心处固定连接有轴套(53)，所述转轴(51)底部套设于轴套(53)内部，所述多个风扇(52)套设于转轴(51)表面。

技术总结
本发明公开了一种用于制备磷化铟单晶的温度控制系统，包括炉体，所述炉体内部安装有中柱，所述中柱顶部水平安装有横杆，所述横杆内部开设有通道，所述炉体表面缠绕有两个冷却管，所述炉体表面设有散热机构，所述中柱顶部开设有多个透气孔，所述中柱内部设有两个加热棒，两个所述加热棒呈竖直设置，所述炉体底部设有转动两个加热棒的转动机构，所述中柱内部设有多个风扇，多个所述风扇呈竖直设置，所述中柱内部设有通风机构，所述炉体顶部配合有密封盖。本发明通过散热管的设置，可对炉体表面进行散热，同时可带动多个风扇转动，使中柱内部进行空气循环，避免该装置散热不够均匀，导致影响磷化铟单晶的生产质量。致影响磷化铟单晶的生产质量。致影响磷化铟单晶的生产质量。


技术研发人员：范博
受保护的技术使用者：中讯半导体（江苏）有限公司
技术研发日：2023.04.11
技术公布日：2023/7/21