用于锭块的Y轴补偿的工作板以及使用该工作板的锭块的Y轴补偿方法与流程

用于锭块的y轴补偿的工作板以及使用该工作板的锭块的y轴补偿方法
1.本技术要求于2022年1月10日提交的韩国专利申请第10-2022-0003268号的优先权，其内容在此以参见的方式纳入本文，如同在本文中充分阐述一样。


背景技术：
技术领域
2.本发明涉及一种用于锭块的y轴补偿的工作板以及使用该工作板的锭块的y轴补偿方法，并且更具体地涉及一种用于锭块的y轴补偿的工作板以及使用构造成有助于锭块的y轴补偿的该工作板的锭块的y轴补偿方法。相关技术讨论
3.通常，硅晶片的晶体定向不能用肉眼区分。由于这个原因，晶片边缘的一部分被切平以指示其定向。被切平的部分称为平坦区(以下简称为“平坦部”)，并且平坦部的数量和布置根据晶片的类型而变化。此外，这样的平坦部形成为使得在形成晶片之前(在切割锭块之前)检测锭块中平坦部的定向，之后沿锭块的纵向方向切割锭块。平坦部的定向反映了锭块的具体晶体定向，并且通常使用x射线衍射仪的x射线测角仪来检测。
4.韩国专利注册第10-1263132号公开了一种用于检测锭块的定向的设备，该设备能够在常规的硅锭切割准备工序期间仅使用测角仪执行切割准备工序，这通常需要大量的设备。韩国专利注册第10-1467691号公开了一种用于检测锭块的定向的设备，该设备构造成通过使止挡件旋转来调节固定辊和运动辊之间的距离。
5.图1是示出补偿锭块定向的常规方法的概念图。在常规的定向补偿方法中，锭块10旋转以将y值(垂直)设定为“0”，然后使锭10向左或向右运动从而改变x值(水平)以匹配目标。此处，当x值与目标匹配时，定向补偿完成，并执行线锯工序。
6.然而，在常规的补偿方法中，y值(垂直)必须固定为“0”，并且沿任意方向形成槽口角，这对于每个锭块10是不同的。
7.近来，需要在槽口角的定向固定的状态下补偿x值和y值。[相关技术文件][专利文件](0001)韩国专利注册第10-1467691号(0002)韩国专利注册第10-1263132号


技术实现要素：

[0008]
因此，本发明涉及一种用于锭块的y轴补偿的工作板和使用该工作板的锭块的y轴补偿方法，其基本上消除了由于现有技术的限制和缺点而导致的一个或多个问题。
[0009]
本发明的目的在于提供一种用于锭块的y轴补偿的工作板及使用该工作板的锭块的y轴补偿方法，工作板构造成固定槽口定向并能够进行y轴补偿。
[0010]
本发明的附加的优点、目标和特征将会在以下的说明书中部分地阐述，并且部分地会对本领域的技术人员来说在查阅下文时得以明白或可从本发明的实践中得以了解。本发明的目标和其它优点可借助在书面描述和其权利要求以及附图中具体指出的结构实现并达到。
[0011]
为了实现这些目的和其它优点，并且根据本发明的目的，如本文所体现和广泛描述的，公开了一种用于锭块的y轴补偿的工作板，该锭块以切割平面角度附连至工作板，从而使用线切割设备进行切割，工作板包括底板和顶板，底板具有形成为相对于附连至工作板的锭块的纵向方向向下弯曲的上表面，顶板联接至底板，使得其下表面沿着底板的上表面是可运动的，并且构造成使得锭块能够以x轴切割平面角联接至其上部。
[0012]
底板可在其上部形成有运动引导件，该运动引导件构造成引导顶板沿着底板的弯曲上表面沿底板的纵向方向运动而不与底板分离。
[0013]
运动引导件可形成为宽度比底板的上表面窄，并且可相对于附连至工作板的锭块的纵向方向向上突出。此处，运动引导件可具有从内向外倾斜的相对侧表面。
[0014]
顶板可在其下部形成有联接至运动引导件的运动引导件联接件，从而允许顶板沿着运动引导件运动。
[0015]
在接触底板的同时沿着其弯曲的上表面运动的顶板可分别在其相对的侧表面处形成有弯曲部分。此处，弯曲部分的下表面可具有与底板的弯曲的上表面的相形状对应的形状，并且弯曲部分的内侧表面可形成为从外向内倾斜，同时向下延伸，使得内侧表面具有与运动引导件的相对侧表面的形状相对应的形状。
[0016]
顶板可通过线性运动装置的操作而运动，该线性运动装置构造成沿水平方向加压顶板的纵向相对两端中的每一个，并且沿着线性运动装置的运动轨迹在底板的上部中可形成防干涉槽，使得当顶板的相对两端中的一个被线性运动装置加压时，线性运动装置的加压部分不与底板接触。
[0017]
工作板还可包括固定和释放单元，该固定和释放单元构造成将顶板固定至底板或释放顶板与底板之间的固定。
[0018]
固定和释放单元可包括形成在顶板的侧表面中的多个紧固孔，以及分别紧固到紧固孔中以加压底板的上侧表面从而将顶板固定至底板的固定螺栓。
[0019]
在锭块中的槽口定向为固定的状态下，锭块可联接至顶板。
[0020]
在本发明的另一方面，提供了一种使用上述工作板的锭块的y轴补偿方法。此处，该方法包括：匹配x轴目标的步骤，执行该步骤使得锭块在顶板上向左和向右运动，从而匹配x值(水平)目标；联接锭块的步骤，执行该步骤使得调节x值的锭块附连至顶板；以及匹配y轴目标的步骤，执行该步骤使得在联接锭块的步骤之后，顶板沿着底板的弯曲的上表面运动，从而匹配y值(垂直)目标。
[0021]
该方法还可包括释放顶板的步骤，执行该步骤使得在联接锭块的步骤之后，使用固定和释放单元释放顶板和底板之间的固定；以及固定顶板的步骤，执行该步骤使得在匹配y轴目标的步骤之后，使用固定和释放单元将顶板固定至底板。
[0022]
该方法还可包括调节槽口定向的步骤，执行该步骤使得在匹配x轴目标的步骤之前将锭块中的槽口定向固定至设定定向。
[0023]
应当理解的是，本发明以上的概括描述和以下的详细描述都是示例性的和说明性
的，并且意在提供如权利要求的发明的进一步解释。
附图说明
[0024]
包括于此以提供对本发明的进一步理解、并包含在本技术中且构成其一部分的附图示出了本发明的实施例，并且与说明书一起用于解释本发明的原理。在附图中：
[0025]
图1是示出补偿锭块定向的常规方法的概念图；
[0026]
图2是本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板的实施例的立体图；
[0027]
图3是本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板的主要部分的分解立体图；
[0028]
图4是本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板的正视图，该工作板分为底板和顶板；
[0029]
图5是示出图4的底板与顶板联接的状态的立体图；
[0030]
图6是示出使用本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板附连的锭块通过锭块的y轴补偿而倾斜的状态的视图；
[0031]
图7是根据锭块的y轴补偿方法的一实施例的流程图；以及
[0032]
图8是示出使用本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板的补偿锭块定向的方法的概念图。
具体实施方式
[0033]
下文中，将参照附图详细描述本发明的各实施例。
[0034]
在附图中，为了描述的方便和清晰，尺寸被放大、省略或示意性地示出。此外，每个部件的尺寸不完全反映其实际尺寸。此外，在整个附图的描述中，相同的附图标记表示相同的元件。
[0035]
图2是本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板的实施例的立体图，图3是本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板的主要部分的分解立体图，图4是本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板的正视图，该工作板分为底板和顶板，图5是示出图4的底板与顶板联接的状态的立体图，图6是示出使用本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板附连的锭块通过锭块的y轴补偿而倾斜的状态的视图。
[0036]
参照图2至6，将对本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板的结构进行描述。
[0037]
工作板可理解为一种夹具，其构造成用于将锭块放置在其上以使用切割设备(线锯)切割锭块。本发明的于锭块的y轴补偿的工作板(以下称为工作板100)构造成以切割平面角度将锭块10附连并固定至工作板，从而通过线切割设备(未示出)来切割锭块。工作板可包括底板110和顶板120。
[0038]
底板110是工作板100的下部，并且设计成固定至工作台。底板110的下部的形状可根据工作台的结构和形状而变化。
[0039]
底板110的上部相对于附接至工作板100的锭块10的纵向方向以设定曲率弯曲。可考虑锭块10的y轴调节角度来设定曲率。
[0040]
顶板120可运动地联接至底板110的上表面，其以如上所述的设定曲率弯曲。为此，顶板120的下表面具有与设定曲率相同的曲率以对应于底板110的上表面，并且向下弯曲。顶板120的上表面是平坦的，并且锭块10以x轴切割平面角度附连并固定至顶板。此处，板由
碳酸钙材料制成，并且被结合以将锭10附连至板。由于锭块10的x轴调节和结合附连方法是已知技术，因此将省略其详细描述。然而，在现有技术中，由于仅将锭块10的y轴固定为零，因此锭块10中形成的槽口的定向在锭块10旋转的过程中发生变化，而根据本发明，锭块10可在将槽口角度调节到期望角度的状态下附连并固定至顶板120的上表面。
[0041]
同时，在底板110的上部形成运动引导件111。运动引导件111允许顶板120沿着底板110的弯曲的上表面运动而不与底板110分离。只要顶板120能够在被底板110支撑的同时左右运动，运动引导件111就可制造成各种已知形状中的任何一种。例如，运动引导件111可形成为宽度比底板110的上表面窄，并且可相对于附连至工作板100的锭块的纵向方向向上突出。此处，运动引导件111可具有从内向外倾斜的相对侧表面。
[0042]
顶板120可在其下部形成有与运动引导件111相对应并联接至运动引导件111的运动引导件联接件121。例如，在接触底板110的同时沿着其弯曲的上表面运动的顶板120可分别在其相对的侧表面处形成有弯曲部分122。此处，弯曲部分122的下表面可具有与底板110的弯曲的上表面的形状相对应的形状，并且弯曲部分122的内侧表面可形成为从外向内倾斜同时向下延伸，使得内侧表面具有与运动引导件111的相对侧表面的形状相对应的形状。换言之，顶板120的弯曲部分122可分别联接至底板110的运动引导件111的相对侧表面，从而沿着弯曲表面沿前后方向(在图4和5中左右方向)滑动而不向上分离。
[0043]
同时，还可提供固定和释放单元130以将顶板120固定至底板110或释放顶板120与底板110之间的固定，顶板120沿着底板110的上表面向左和向右运动(参见图4和5中的左右方向)。
[0044]
只要固定和释放单元130具有能够将顶板120固定至底板110并从其释放的结构，就可在固定和释放单元130中应用各种已知技术。作为示例，固定和释放单元130可包括紧固孔(附图标记未示出)和固定螺栓(附图标记未示出)。紧固孔可形成在顶板120的任一相对侧表面中，并且可设置为多个。如图所示，紧固孔(附图标记未示出)可形成在顶板120的弯曲部分122中，并且可设置三个紧固孔。固定螺栓(附图标记未示出)可插入到紧固孔中并加压底板110的上侧表面，从而将顶板120牢固地固定至底板110。
[0045]
如上所述构造的顶板120可使用线性运动装置(未示出)沿着底板110的上部运动。线性移动装置例如可以是通过伺服马达沿水平方向前后运动的压杆(未示出)。
[0046]
换言之，基于图4和图5，顶板120的相对两侧分别设有线性运动装置，联接至线性运动装置的压杆可沿水平方向运动。压杆可在向前运动的同时加压顶板120的相对两端中的一个。此时，压杆可加压顶板120并使顶板向左或向右运动，从而改变锭块10的y轴。此处，在将固定和释放单元130与固定至底板110的顶板120分离之后，可使用线性移动装置使顶板120运动。可通过使用线性运动装置使顶板120运动以使锭块10倾斜来执行锭块10的y轴补偿，如图6所示。当顶板120的y轴调节完成时，可使用固定和释放单元130将顶板120再次固定至底板110。
[0047]
同时，可沿着线性运动装置的运动轨迹在底板110的上部中形成防干涉凹槽112，使得当顶板120的相对两端中的一个被线性运动装置加压时，线性运动装置的作为压杆的按压部分不与底板110接触。
[0048]
此外，可在底板110或顶板120上附加地设置手柄140，以使操作者能够容易地握持工作板100。此处，当手柄140设置在顶板120上时，防干涉凹槽112可形成在把手140的上部
中。
[0049]
图7是根据锭块的y轴补偿方法的一实施例的流程图，并且图8是示出使用本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板的补偿锭块定向的方法的概念图。
[0050]
附图标记基于图2至5，以下将参照图7和8描述根据本发明的锭块的y轴补偿方法。
[0051]
使用本发明的用于锭块的y轴补偿的工作板的锭块的y轴补偿方法可包括步骤s20中的匹配x轴目标、步骤s30中的联接锭块以及步骤s50中的匹配y轴目标。此处，该方法还可包括在步骤s40中的释放顶板和在步骤s60中的固定顶板。此外，该方法还可包括在步骤s10中的调节槽口定向。
[0052]
各步骤中的操作可参考用于锭块的y轴补偿的工作板的说明，为方便起见，将按图7所示的顺序进行简要说明。
[0053]
在步骤s10中的槽口定向的调节中，槽口定向可固定为期望定向或设定定向。换言之，在本发明中，槽口定向固定为一个设定定向，而不是使锭块10旋转以将y值(垂直)改变为“0”，然后使锭块10左右运动以改变x值(水平)以匹配目标，如在相关技术中那样。
[0054]
在步骤s20的x轴目标匹配中，锭块10在顶板120的上侧左右运动，从而调节锭块10的x轴以匹配x值(水平)目标。
[0055]
在步骤s30中的联接锭块中，具有经调节的x轴的锭块10可附连至顶板120的上部。换言之，在将锭块10的x轴调节为与目标一致的状态下，锭块10附连至顶板120。
[0056]
在步骤s40中的释放顶板中，可使用设置在顶板120和底板110处的固定和释放单元130来释放顶板120固定至底板110的状态。在这种状态下，顶板120沿着底板110的弯曲的上表面是可运动的。
[0057]
在步骤s50中的匹配y轴目标中，顶板120可沿着底板110的弯曲的上表面运动从而匹配y值(垂直)目标。由于顶板120仅沿左右方向运动(参见图4和5中的左右方向)，因此仅调节y轴值，而联接至顶板120的锭块10的x轴固定在x值，并因此，可补偿锭块10的y轴以匹配目标值。
[0058]
在步骤s60中的固定顶板中，y轴角度调节成目标值，然后使用固定和释放单元130将顶板120固定至底板110。换言之，顶板120在底板110的上部的位置是固定的。
[0059]
尽管未示出，但在步骤s60中固定顶板之后，工作板100可运动至锭块切割设备以切割锭块。
[0060]
利用上述的用于锭块的y轴补偿的工作板，可固定槽口角的位置，并控制锭块的y轴定向，这在使用常规方法时是不可能的。
[0061]
根据上述的本发明所述的用于用于锭块的y轴补偿的工作板及使用该工作板的锭块的y轴补偿方法，可固定槽口角的位置，并且可控制锭块的y轴定向，这在使用常规方法时是不可能的。
[0062]
在上述实施例中描述的特征、结构和效果等包含在本发明的至少一种实施例中，但是并不必仅限于一种实施例。进一步地，各实施例中说明的特征、结构、效果等可由实施例所属领域的技术人员组合或修改以形成其它实施例。因此，与这种组合和修改有关的内容应解释为包括在本发明的范围内。

技术特征：
1.一种用于锭块的y轴补偿的工作板，所述锭块以切割平面角度附连至所述工作板，从而使用线切割设备进行切割，所述工作板包括：底板，所述底板具有上表面，所述上表面形成为相对于附接至所述工作板的所述锭块的纵向向下弯曲；以及顶板，所述顶板联接至所述底板，使得所述顶板的下表面沿着所述底板的上表面是可运动的，并且构造成使得所述锭块能够以x轴切割平面角度联接至所述顶板的上部。2.如权利要求1所述的工作板，其特征在于，所述底板在其上部形成有运动引导件，所述运动引导件构造成引导所述顶板沿着所述底板的弯曲上表面沿所述底板的纵向方向运动而不与所述底板分离。3.如权利要求2所述的工作板，其特征在于：所述运动引导件形成为宽度比所述底板的上表面窄，并且相对于附连至所述工作板的所述锭块的纵向方向向上突出；并且所述运动引导件具有从内向外倾斜的相对侧表面。4.如权利要求2所述的工作板，其特征在于，所述顶板在其下部形成有联接至所述运动引导件的运动引导件联接件，从而允许所述顶板沿着所述运动引导件运动。5.如权利要求3所述的工作板，其特征在于：在接触所述底板的同时沿着其弯曲的上表面运动的所述顶板分别在其相对的侧表面中形成有弯曲部分；所述弯曲部分的下表面具有与所述底板的弯曲的上表面的形状相对应的形状；并且所述弯曲部分的内侧表面形成为从外向内倾斜，同时向下延伸，使得所述内侧表面形成与所述运动引导件的相对侧表面的形状相对应的形状。6.如权利要求5所述的工作板，其特征在于：所述顶板通过线性运动装置的操作而运动，所述线性运动装置构造成沿水平方向加压所述顶板的纵向相对两端中的每一个；并且沿着所述线性运动装置的运动轨迹在所述底板的上部中形成防干涉凹槽，使得当所述顶板的相对两端中的一个被所述线性运动装置加压时，所述线性运动装置的加压部分不与所述底板接触。7.如权利要求1所述的工作板，其特征在于，还包括：固定和释放单元，所述固定和释放单元构造成将所述顶板固定至所述底板或释放所述顶板与所述底板之间的固定。8.如权利要求7所述的工作板，其特征在于，所述固定和释放单元包括：形成在所述顶板的侧表面中的多个固定孔；以及固定螺栓，所述固定螺栓分别紧固至所述紧固孔，以加压所述底板的上侧表面，从而将所述顶板固定至所述底板。9.如权利要求1至8中任一项所述的工作板，其特征在于，所述锭块在将所述锭块的槽口定向固定为一个定向的状态下联接至所述顶板。10.一种使用如权利要求1所述的工作板的锭块的y轴补偿方法，所述方法包括以下步骤：匹配x轴目标，执行使得所述锭块在顶板上向左和向右运动，从而匹配x值(水平)目标；
联接锭块，执行使得具有经调节的x值的所述锭块附连至所述顶板；以及匹配y轴目标，执行使得在联接锭块的步骤之后，所述顶板沿着所述底板的弯曲的上表面运动，从而匹配y值(垂直)目标。11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，还包括以下步骤：释放所述顶板，执行使得在联接锭块的步骤之后，使用固定和释放单元释放所述顶板和所述底板之间的固定；以及固定所述顶板，执行使得在匹配y轴目标的步骤之后，使用所述固定和释放单元将所述顶板固定至所述底板。12.如权利要求10或11所述的方法，其特征在于，还包括调节所述锭块的槽口定向的步骤，执行使得在匹配x轴目标的步骤之前将所述槽口定向固定至设定定向。

技术总结
本发明公开了一种用于锭块的Y轴补偿的工作板及使用该工作板的锭块的Y轴补偿方法，其构造成在锭块以切割平面角度附连至工作板的状态下有助于锭块的Y轴补偿，从而使用线切割设备进行切割。更具体地，工作板包括底板和顶板，底板具有上表面，该上表面形成为相对于附连至工作板的锭块的纵向方向向下弯曲，顶板联接至底板，使得其下表面沿着底板的上表面是可运动的，并且构造成使得锭块能够以X轴切割平面角度联接至其上部。面角度联接至其上部。面角度联接至其上部。


技术研发人员：金娥凛
受保护的技术使用者：爱思开矽得荣株式会社
技术研发日：2022.03.03
技术公布日：2023/7/21