一种实验用喷镀装置的制作方法

1.本发明涉及电镀技术领域，尤其涉及一种实验用喷镀装置。


背景技术：

2.电镀是一项传统且成熟的表面加工技术，在集成电路技术中使用广泛，其就是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺，从而起到防止金属氧化，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性及增进美观等作用。
3.水平喷镀是一种将工件平行于镀液液位的电镀方法，镀槽中设置有阳极和阴极，并通过导电针将电源的阴极与待镀工件的电镀区连接，再向待镀工件喷射电镀液，实现对待镀工件的局部区域进行电镀。由于实验场合的限制和结构需要，阳极、阴极和喷液管安装在镀槽中，容易出现相关部件受到镀液污染的现象，需要定期拆装维护，操作不便，维护难度大、成本高。


技术实现要素：

4.基于上述问题，本发明的目的在于提供一种实验用喷镀装置，降低阳极、阴极接电结构和喷液管部件拆装难度，满足实验电镀需要。
5.为达上述目的，本发明采用以下技术方案：
6.一种实验用喷镀装置，其包括支撑盖板，支撑盖板上开设有镀槽口，待镀工件以电镀面朝下地压放于镀槽口上，支撑盖板的下表面上吊装有布水板，布水板上设置有安装座，安装座的上表面设置有阳极板，且安装座上伸出有与待镀工件的电镀面接触的阴极导电针，阳极板上插装有喷液管，喷液管中空，且喷液管的上端朝向待镀工件的电镀面，喷液管的下端穿过阳极板后与安装座螺纹连接，且喷液管的表面设置有对阳极板上限位的止挡件或止挡凸起，安装座上开设与喷液管的内腔连通的螺纹通孔，布水板上开设有与螺纹通孔连通的布水孔，布水孔外接进液管，使喷液管向待镀工件喷射电镀液。
7.可选的，喷液管的内腔呈方便旋拧的内六角状，且喷液管能够自镀槽口取出，当喷液管取出后，阳极板的上限位失效，阳极板和阴极导电针也能自镀槽口取出。
8.可选的，阴极导电针穿过阳极板，阳极板与阴极导电针绝缘处理。
9.可选的，安装座的与阳极板接触的面上开设有凹槽，阴极导电针的表面且位于凹槽中设置有行程块，行程块与凹槽的底面之间夹设有弹簧，使得阴极导电针能相对于安装座上下浮动，阳极板限定行程块的上行程。
10.可选的，支撑盖板的下表面上设置有将布水板和安装座包围的挡水板，支撑盖板上且位于挡水板的外侧设置有阳极接线柱、阴极接线柱和进液口，阳极接线柱与阳极板通过导线连接，阴极接线柱与阴极导电针通过导线连接，进液管自进液口穿出。
11.可选的，支撑盖板上开设有多个镀槽口，并对应设置有多组安装座、阳极板、喷液管和阴极导电针，布水板上对应每个安装座设置有多个布水孔，每个布水孔连接的进液管
分别接通至电镀液总管。
12.可选的，每个安装座上排布有多个喷液管，阴极导电针穿设于安装座的中心。
13.可选的，镀槽口的外圈设置有胶圈，待镀工件的上表面采用顶压件施压，使得待镀工件与胶圈接触密封。
14.可选的，支撑盖板上且位于胶圈的外圈开设有溢流口。
15.可选的，支撑盖板的下表面上设置有高度调节板，布水板与高度调节板通过螺栓连接，高度调节板的长度尺寸可调，使得阳极板和喷液管到待镀工件的间距可调。
16.综上，与现有技术相比，所述实验用喷镀装置具有以下优点：
17.1)结构紧凑，占用空间小，满足实验用要求；
18.2)采用喷液管、阳极板、阴极导电针依次限位的结构，即保证可靠固定，又实现便捷拆装，方便维护；
19.3)喷液管、阳极、阴极相关部件防护性好，有效避免受到镀液污染；
20.4)镀层质量高，维护成本低。
附图说明
21.图1是本发明实施例提供的实验用喷镀装置的结构示意图；
22.图2是图1中a处的放大图。
23.图中：
24.1、支撑盖板；2、镀槽口；3、胶圈；4、溢流口；5、布水板；6、安装座；7、阳极板；8、阴极导电针；9、喷液管；10、螺纹通孔；11、布水孔；12、进液管；13、凹槽；14、行程块；15、弹簧；16、挡水板；17、阴极接线柱；18、进液口；19、高度调节板；20、电镀液总管；21、待镀工件。
具体实施方式
25.下面详细描述本发明的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的零部件或具有相同或类似功能的零部件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
26.在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，可以是机械连接，也可以是电连接，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
27.在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
28.请参阅图1和图2所示，本优选实施例提供一种实验用喷镀装置，包括支撑盖板1，
支撑盖板1上开设有镀槽口2，待镀工件21以电镀面朝下地压放于镀槽口2上，特别地，镀槽口2的外圈设置有胶圈3，待镀工件21的上表面采用顶压件施压，顶压件优选为气缸，使得待镀工件21与胶圈3接触密封。进一步地，支撑盖板1上且位于胶圈3的外圈开设有溢流口4，以便将少许溢出的电镀液收集。
29.支撑盖板1的下表面上吊装有布水板5，布水板5上设置有安装座6，安装座6的上表面设置有阳极板7，且安装座6上伸出有与待镀工件21的电镀面接触的阴极导电针8，阳极板7上插装有喷液管9，喷液管9中空，且喷液管9的上端朝向待镀工件21的电镀面，喷液管9的下端穿过阳极板7后与安装座6螺纹连接，且喷液管9的表面设置有对阳极板7上限位的止挡件或止挡凸起，安装座6上开设与喷液管9的内腔连通的螺纹通孔10，布水板5上开设有与螺纹通孔10连通的布水孔11，布水孔11外接进液管12，使喷液管9向待镀工件21喷射电镀液。
30.值得一提的是，此处的喷液管9的内腔呈方便旋拧的内六角状，由此，通过六角扳手可方便将喷液管9自镀槽口2取出，且当喷液管9取出后，阳极板7的上限位失效，阳极板7和阴极导电针8也能自镀槽口2取出。
31.需要注意，安装座6采用绝缘塑料材质，阴极导电针8穿过阳极板7，阳极板7与阴极导电针8绝缘处理，而喷液管9与阳极板7可以导电接触。
32.具体地，详见图2，安装座6的与阳极板7接触的面上开设有凹槽13，阴极导电针8的表面且位于凹槽13中设置有行程块14，行程块14与凹槽13的底面之间夹设有弹簧15，使得阴极导电针8能相对于安装座6上下浮动，阳极板7限定行程块14的上行程，以便使阴极导电针8与待镀工件21柔性接触，适应阴阳极间距改变的情况。
33.特别地，支撑盖板1的下表面上设置有将布水板5和安装座6包围的挡水板16，支撑盖板1上且位于挡水板16的外侧设置有阳极接线柱、阴极接线柱17和进液口18，阳极接线柱与阳极板7通过导线连接，阴极接线柱17与阴极导电针8通过导线连接，进液管12自进液口18穿出，提高阴阳极相关部件的防护性。
34.在上述基础上，支撑盖板1上开设有多个镀槽口2，并对应设置有多组安装座6、阳极板7、喷液管9和阴极导电针8，布水板5上对应每个安装座6设置有多个布水孔11，每个布水孔11连接的进液管12分别接通至电镀液总管20，进一步地，每个安装座6上排布有多个喷液管9，阴极导电针8穿设于安装座6的中心。由此，可以在有限空间内，对多个工件进行高质量喷镀。
35.另外，支撑盖板1的下表面上设置有高度调节板19，布水板5与高度调节板19通过螺栓连接，高度调节板19的长度尺寸可调，使得阳极板7和喷液管9到待镀工件21的间距可调，即可根据需要调整阴极和阳极的距离。
36.综上所述，上述实验用喷镀装置结构紧凑，占用空间小，满足实验用要求；采用喷液管、阳极板、阴极导电针依次限位的结构，即保证可靠固定，又实现便捷拆装，方便维护；喷液管、阳极、阴极相关部件防护性好，有效避免受到镀液污染；镀层质量高，维护成本低。
37.以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性，本发明不受上述实施例限制，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：
1.一种实验用喷镀装置，其特征在于，包括支撑盖板(1)，所述支撑盖板(1)上开设有镀槽口(2)，待镀工件(21)以电镀面朝下地压放于所述镀槽口(2)上，所述支撑盖板(1)的下表面上吊装有布水板(5)，所述布水板(5)上设置有安装座(6)，所述安装座(6)的上表面设置有阳极板(7)，且安装座(6)上伸出有与待镀工件(21)的电镀面接触的阴极导电针(8)，所述阳极板(7)上插装有喷液管(9)，所述喷液管(9)中空，且喷液管(9)的上端朝向待镀工件(21)的电镀面，喷液管(9)的下端穿过所述阳极板(7)后与所述安装座(6)螺纹连接，且喷液管(9)的表面设置有对所述阳极板(7)上限位的止挡件或止挡凸起，所述安装座(6)上开设与所述喷液管(9)的内腔连通的螺纹通孔(10)，所述布水板(5)上开设有与所述螺纹通孔(10)连通的布水孔(11)，所述布水孔(11)外接进液管(12)，使所述喷液管(9)向待镀工件(21)喷射电镀液。2.根据权利要求1所述的实验用喷镀装置，其特征在于，所述喷液管(9)的内腔呈方便旋拧的内六角状，且喷液管(9)能够自所述镀槽口(2)取出，当所述喷液管(9)取出后，所述阳极板(7)的上限位失效，所述阳极板(7)和所述阴极导电针(8)也能自所述镀槽口(2)取出。3.根据权利要求1所述的实验用喷镀装置，其特征在于，所述阴极导电针(8)穿过所述阳极板(7)，所述阳极板(7)与所述阴极导电针(8)绝缘处理。4.根据权利要求3所述的实验用喷镀装置，其特征在于，所述安装座(6)的与所述阳极板(7)接触的面上开设有凹槽(13)，所述阴极导电针(8)的表面且位于所述凹槽(13)中设置有行程块(14)，所述行程块(14)与所述凹槽(13)的底面之间夹设有弹簧(15)，使得所述阴极导电针(8)能相对于所述安装座(6)上下浮动，所述阳极板(7)限定所述行程块(14)的上行程。5.根据权利要求1所述的实验用喷镀装置，其特征在于，所述支撑盖板(1)的下表面上设置有将所述布水板(5)和所述安装座(6)包围的挡水板(16)，所述支撑盖板(1)上且位于所述挡水板(16)的外侧设置有阳极接线柱、阴极接线柱(17)和进液口(18)，所述阳极接线柱与所述阳极板(7)通过导线连接，所述阴极接线柱(17)与所述阴极导电针(8)通过导线连接，所述进液管(12)自所述进液口(18)穿出。6.根据权利要求1所述的实验用喷镀装置，其特征在于，所述支撑盖板(1)上开设有多个所述镀槽口(2)，并对应设置有多组安装座(6)、阳极板(7)、喷液管(9)和阴极导电针(8)，所述布水板(5)上对应每个安装座(6)设置有多个所述布水孔(11)，每个布水孔(11)连接的进液管(12)分别接通至电镀液总管(20)。7.根据权利要求6所述的实验用喷镀装置，其特征在于，每个所述安装座(6)上排布有多个所述喷液管(9)，所述阴极导电针(8)穿设于所述安装座(6)的中心。8.根据权利要求1所述的实验用喷镀装置，其特征在于，所述镀槽口(2)的外圈设置有胶圈(3)，待镀工件(21)的上表面采用顶压件施压，使得待镀工件(21)与所述胶圈(3)接触密封。9.根据权利要求8所述的实验用喷镀装置，其特征在于，所述支撑盖板(1)上且位于所述胶圈(3)的外圈开设有溢流口(4)。10.根据权利要求1所述的实验用喷镀装置，其特征在于，所述支撑盖板(1)的下表面上设置有高度调节板(19)，所述布水板(5)与所述高度调节板(19)通过螺栓连接，所述高度调
节板(19)的长度尺寸可调，使得所述阳极板(7)和所述喷液管(9)到待镀工件(21)的间距可调。

技术总结
本发明涉及电镀技术领域，尤其涉及一种实验用喷镀装置，其包括支撑盖板，支撑盖板上开设有镀槽口，待镀工件以电镀面朝下地压放于镀槽口上，支撑盖板的下表面上吊装有布水板，布水板上设置有安装座，安装座的上表面设置有阳极板，且安装座上伸出有与待镀工件的电镀面接触的阴极导电针，阳极板上插装有喷液管，喷液管中空，且喷液管的上端朝向待镀工件的电镀面，喷液管的下端穿过阳极板后与安装座螺纹连接，且喷液管的表面设置有对阳极板上限位的止挡件或止挡凸起，安装座上开设与喷液管的内腔连通的螺纹通孔，布水板上开设有与螺纹通孔连通的布水孔，布水孔外接进液管，使喷液管向待镀工件喷射电镀液。镀工件喷射电镀液。镀工件喷射电镀液。


技术研发人员：孙黎明
受保护的技术使用者：无锡市振华开祥科技有限公司
技术研发日：2023.05.04
技术公布日：2023/7/22