电磁波衰减膜的制作方法

1.本发明的实施方式涉及能够捕获入射波并衰减反射波的电磁波衰减膜。


背景技术：

2.在移动电话等移动通信、无线lan、自动收费系统(etc)等中，使用具有数千兆赫(ghz)频带的电波。
3.作为吸收这种电波的电波吸收片，专利文献1提出了将橡胶状电波吸收片与瓦楞纸等纸状片材层叠而成的层叠体片。
4.进一步，为了能够吸收更高频带的电波，专利文献2提出了通过将扁平状的软磁性粒子的纵向方向在片的面方向上对齐，从而能够吸收20ghz以上频带的电波的电波吸收片。
5.另外，已知的是，具有在磁性相中具有ε氧化铁(ε-fe2o3)晶体的粒子的填充结构的电波吸收体在25～100ghz的范围内发挥电波吸收性能(参照专利文献3)。
6.专利文献4提出了一种适合于电磁波吸收体的带有线状痕迹的金属薄膜-塑料复合膜，其具有塑料膜和设置在其至少一个面上的单层或多层金属薄膜，在金属薄膜上以不规则的宽度和间隔在多个方向上形成有许多实质上平行且断续的线状痕迹。
7.专利文献5公开了一种电波吸收结构，其具备：以预定的周期图案排列有具有各个共振频率的多个贴片导体的共振层、使在共振层中共振的电波发生多重反射的介电体层、以及将从介电体层入射来的电波向该介电体层侧反射的反射导体层。
8.而且，上述那样的电磁波吸收片除了用于电子设备内以外，还用于建筑物的内装等。另外，作为该电磁波吸收材料，如专利文献6所记载的那样，可以使用环氧树脂、聚氨酯树脂、氯化橡胶系树脂、氯乙烯系树脂、醇酸系树脂、不饱和聚酯系树脂、环氧丙烯酸酯系树脂等丙烯酸酯共聚物改性树脂。另外，也可以使用如专利文献7所记载的那样的聚酰胺酰亚胺或合成橡胶等橡胶系材料。
9.现有技术文献
10.专利文献
11.专利文献1：日本特开2011-233834号公报
12.专利文献2：日本特开2015-198163号公报
13.专利文献3：日本特开2008-060484号公报
14.专利文献4：国际公开第2010/093027号
15.专利文献5：日本特开2020-009829号公报
16.专利文献6：日本专利第2612592号
17.专利文献7：日本特开2006-86422号公报


技术实现要素：

18.发明所要解决的课题
19.近年来，为了能够实现收发数据的大容量化、高速通信化、多地点同时连接化，已
开展使用30ghz以上的毫米波段的无线通信的实用化，并且使其成为可能的毫米波对应设备的开发正在发展。另外，利用极狭窄的指向性的车载雷达设备的使用正在发展。
20.由设备框体内的电磁波的漫反射等引起的干涉会导致设备的误动作。因此，作为电磁波利用技术之一，抑制电磁波噪声是重要的。
21.作为抑制电磁波噪声的一种方法，考虑利用上述那样的电磁波吸收片，但是目前大多对应于20ghz至数十ghz左右的频率，而不对应于毫米波段。
22.虽然存在吸收毫米波段的电磁波的电磁波吸收片，但是为了维持吸收性能，目前实用化的电磁波吸收片的片材较厚。因此，难以将其组装到高集成化正在发展的设备的框体内以抑制电磁波噪声。
23.鉴于上述情况，目的在于提供能够衰减毫米波段的频率的电磁波、且薄的电磁波衰减膜。此外，由于设置在电子设备内、建筑物的内装等中的电磁波吸收体长期连续地使用，因此目的还在于提供耐候性、耐热性等耐环境性优异的电磁波衰减膜。需要说明的是，本发明的电磁波衰减膜被认为是能够稳定地使电磁场局部存在的膜。即，本发明的电磁波衰减膜被认为是能够捕获电磁场的膜。电磁场的“捕获”是电场和磁场可以稳定地局部存在的状态。另外，捕获到的电磁场的一部分被转换为热量而被吸收，一部分被再放射。即，捕获到的电磁场的能量转换为热能和再放射的电磁波能量。该再放射通常被认为指向性低，因此认为减少了向镜面反射方向的电磁波，反射波衰减。因此，电磁波的反射波可以通过入射的电磁波转换为热量引起的吸收和再放射引起的散射而衰减。由于通过这样与以往不同的机理来衰减电磁波，因此能够以相对于以往不可能衰减的波长的1/4以下的薄的结构来实现衰减。此外，根据本技术的实施方式，令人难以置信的是，获得了能够以波长的10-2
量级的厚度衰减电磁波的膜。
24.用于解决课题的手段
25.本发明涉及一种在毫米波的特定频带中使用的电磁波衰减膜，具备：具有前面和背面的介电体基材、配置在前面的薄膜导电层、以及配置在背面的平板电感器或贴合层，薄膜导电层包含离散配置的多个金属板。也可以在所述薄膜导电层上设置顶涂层。
26.本发明涉及的一种电磁波衰减膜的特征在于，以表皮深度d将所述金属板的厚度t归一化后的值的自然对数值在特定的频带中落入预定的数值范围。具体而言，在频率为27ghz～34ghz频带中满足-1.0≤ln(t/d)≤0.0，在频率为35ghz～50ghz频带中满足-2.0≤ln(t/d)≤-0.5，或者在频率为57ghz～90ghz频带中满足-2.5≤ln(t/d)≤-1.0。
27.在本发明涉及的另一种电磁波衰减膜中，所述介电体基材在前面具有由相对较低的凹陷部分的第一区域和相对较高的第二区域构成的凹凸。薄膜导电层包含配置在第一区域中的多个金属板。第一区域离散配置，第二区域配置在多个所述第一区域间。具体而言，在频率为27ghz～34ghz频带、频率为35ghz～50ghz频带、或频率为57ghz～90ghz频带中使用。
28.发明的效果
29.根据本发明的实施方式，可以提供能够衰减毫米波段的频率的电波且薄的电磁波衰减膜。另外，能够提供耐候性优异的电磁波衰减膜。
附图说明
30.[图1]为示出本发明的第一实施方式涉及的电磁波衰减膜的示意性平面图。
[0031]
[图2]为示出图1的i-i线的剖面的一部分的示意图。
[0032]
[图3]为示出设置有顶涂层时的图1的i-i线的剖面的一部分的示意图。
[0033]
[图4]为示出在没有支撑笼(support cage)时的电场强度的模拟结果的图像，(b)为(a)的部分放大图。
[0034]
[图5]为示出有支撑笼时的电场强度的模拟结果的图像，(b)为(a)的部分放大图。
[0035]
[图6]为示出本发明的第二实施方式涉及的电磁波衰减膜的示意性平面图。
[0036]
[图7]为示出图6的ii-ii线的剖面的一部分的示意图。
[0037]
[图8]为示出设置有顶涂层时的图6的ii-ii线的剖面的一部分的示意图。
[0038]
[图9]为示出金属板的厚度变化引起的电磁波衰减性的模拟结果的曲线图。
[0039]
[图10]为示出实施例1a的27ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0040]
[图11]为示出实施例1a的28ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0041]
[图12]为示出实施例1a的31ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0042]
[图13]为示出实施例1a的34ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0043]
[图14]为示出实施例1b的28ghz的与金属面积比例相对应的电磁波衰减特性的曲线图。
[0044]
[图15]为示出在实施例1c中金属板为圆形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0045]
[图16]为示出在实施例1c中金属板为长方形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0046]
[图17]为示出在实施例1c中金属板为六边形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0047]
[图18]为示出在实施例1c中金属板为凸形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0048]
[图19]为示出在实施例1c中金属板为三角形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0049]
[图20]为示出在实施例1c中金属板为十字形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0050]
[图21]为示出实施例1d的电磁波衰减特性的曲线图。
[0051]
[图22]为示出在实施例1a中设置有顶涂层时的电磁波衰减特性的曲线图。
[0052]
[图23]为示出实施例2a的35ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0053]
[图24]为示出实施例2a的39ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0054]
[图25]为示出实施例2a的41ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0055]
[图26]为示出实施例2a的45ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0056]
[图27]为示出实施例2a的50ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0057]
[图28]为示出实施例2b的39ghz的与金属面积比例相对应的电磁波衰减特性的曲线图。
[0058]
[图29]为示出在实施例2c中金属板为圆形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0059]
[图30]为示出在实施例2c中金属板为长方形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0060]
[图31]为示出在实施例2c中金属板为六边形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0061]
[图32]为示出在实施例2c中金属板为凸形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0062]
[图33]为示出在实施例2c中金属板为三角形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0063]
[图34]为示出在实施例2c中金属板为十字形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0064]
[图35a]为示出在实施例2c中金属板为环形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0065]
[图35b]为示出在实施例2c中金属板为环形的电磁波衰减膜2层重叠而得的变形例的电磁波衰减特性的曲线图。
[0066]
[图36]为示出实施例2d的电磁波衰减特性的曲线图。
[0067]
[图37]为示出在实施例2a中设置有顶涂层时的电磁波衰减特性的曲线图。
[0068]
[图38]为示出实施例3a的57ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0069]
[图39]为示出实施例3a的66ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0070]
[图40]为示出实施例3a的71ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0071]
[图41]为示出实施例3a的81ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0072]
[图42]为示出实施例3a的86ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0073]
[图43]为示出实施例3a的90ghz的电磁波衰减特性的曲线图。
[0074]
[图44]为示出实施例3b的81ghz的与金属面积比例相对应的电磁波衰减特性的曲线图。
[0075]
[图45]为示出在实施例3c中金属板为长方形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0076]
[图46]为示出在实施例3c中金属板为六边形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0077]
[图47]为示出在实施例3c中金属板为凸形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0078]
[图48]为示出在实施例3c中金属板为三角形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0079]
[图49]为示出在实施例3c中金属板为十字形的电磁波衰减特性的曲线图。
[0080]
[图50]为示出实施例3a的电磁波衰减特性的曲线图。
[0081]
[图51]为示出实施例3d的电磁波衰减特性的曲线图。
[0082]
[图52]为示出在实施例3a中设置有顶涂层时的电磁波衰减特性的曲线图。
[0083]
[图53]为示出金属板的尺寸与衰减的电磁波的波长之间的关系的曲线图。
具体实施方式
[0084]
电磁波衰减膜1具备：介电体基材(介电体层)10、在介电体基材10的前面10a形成的薄膜导电层30、以及在介电体基材的背面10b形成的平板电感器50。薄膜导电层是薄的导电体层。薄膜导电层包含多个金属板。另外，薄膜导电层也可以包含支撑笼(后述)。平板电感器具有导电性，通过外部的磁通量在平板电感器内部的表面附近产生电流。另外，具有伴随该电流而在平板电感器外部的表面附近产生磁场的功能。平板电感器的形状可以设为平板(slab)。介电体基材是被薄膜导电层和平板电感器夹持的绝缘性基材。换言之，薄膜导电层和平板电感器夹着介电体基材而在介电体基材的厚度方向上分离。需要说明的是，可以将前面设为电磁波入射的一侧的面。背面为介电体基材的与前面相反一侧的面。介电体基材10可以具有前面相对较低的第一区域121和在第一区域的周围前面相对较高的第二区域122。将位于第二区域122上的薄膜导电层称为支撑笼。换言之，薄膜导电层在第二区域122上包含支撑笼。
[0085]
另外，在被电磁波衰减膜衰减的电磁波具有成为单一的极小值的频率f的情况下，将该频率f作为衰减中心频率f。另外，在被电磁波衰减膜衰减的电磁波具有多个极小值的情况下，将从衰减最大的极小值至成为-3db的多个频率的平均值的频率作为衰减中心频率。衰减中心波长可以通过将介电体基材中的光速除以后述的衰减中心频率f而获得。
[0086]
另外，电磁波衰减膜1也可以具备用于实现与空气的阻抗匹配、提高片材的耐候性
的顶涂层200。
[0087]
图1为示出本发明的第一实施方式涉及的电磁波衰减膜1的示意性平面图。图2为示出图1的i-i线的剖面的一部分的示意图。
[0088]
介电体基材10由介电体形成，通过被导电性材料夹着而可以形成电容器。介电体基材10可以为绝缘性材料。
[0089]
构成介电体基材10的材料的代表例为合成树脂。对于合成树脂的种类，只要与绝缘性一起还具有充分的强度、挠性以及加工性，则没有特别地限制。该合成树脂可以为热塑性树脂。合成树脂例如可以列举出：聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)等聚酯；聚苯硫醚等聚芳硫醚；聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃；聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚醚砜、聚醚醚酮、聚碳酸酯、丙烯酸树脂、聚苯乙烯等。这些材料可以以单体的方式使用，也可以2种以上混合，也可以作为层叠体。另外，介电体基材10可以含有导电性粒子、绝缘性粒子、磁性粒子或其混合。
[0090]
在本发明的实施方式中，介电体基材的厚度相对于电磁波的波长可以充分地薄。已知在介电体基材相对于电磁波的波长充分地薄的情况下，在介电体基材内不产生行波。“充分地薄”可以设为小于波长的1/2。当小于波长的1/2时，行波不会导波。这是被称为电磁波的截止(cut-off)的现象。进一步，可以设为波长的1/10以下。通常，在电磁波的传播距离的差为波长的1/10以下的情况下，不会产生实质上的相位差。即，在金属板与平板电感器的距离为介电体基材中的波长的1/10以下的情况下，金属板的再放射的电磁波与平板电感器的反射波不会因该距离而产生实质上的相位差。据认为，电磁波不会在被导电体夹持的充分薄的介电体基材内导波，通常当变得那样薄时，电磁波被遮断(截止)，从而在这样的介电体基材中不会局部地存在电场或磁场。需要说明的是，本发明的实施方式中的该波长可以作为衰减中心波长。此外，出乎意料的是，即使在介电体基材为波长的1/100以下的情况下，也获得了衰减。这样的厚度是与最高精度的镜面的凹凸相同水平的厚度，从而以相对于电磁波的尺度实质上没有厚度的结构获得了衰减。
[0091]
本发明人经各种实验和模拟的结果发现：即使在充分薄的介电体基材内，也会发生由电磁波引起的电场和磁场的稳定的局部存在(stationary localization)。介电体基材10的厚度可以设为5μm以上、300μm以下。进一步，介电体基材10的厚度可以设为5μm以上、100μm以下。这比毫米波段的波长的1/2薄，更比毫米波段的波长的1/10薄。因此，电磁波衰减膜虽然是薄膜但是能够使毫米波段的电磁波衰减。介电体基材10的厚度是恒定的或可变的。
[0092]
介电体基材10可以为单层或多层。介电体基材10的前面也可以具有凹凸。介电体基材10可以具有载体11和在载体11上的基底层12。基底层12的前面也可以具有凹凸。载体11可以为挤出膜。挤出膜可以为未拉伸膜或拉伸膜。基底层12可以由成形层和锚固层这2层构成。此外，为了提高基底层12与金属板和平板电感器的密合，也可以设置粘接层。基底层12、成形层、锚固层、粘接层可以使用与构成介电体基材的材料相同的材料。
[0093]
载体11在介电体基材10中构成背面10b，基底层12在介电体基材10中构成前面10a。在前面10a具有凹凸的情况下，也可以在基底层12中设置凹凸结构。即，介电体基材10的前面10a具有与基底层12的凹凸对应的凹凸，介电体基材10的背面10b是大致平坦的。
[0094]
在电磁波衰减膜1中，特性根据前面10a的凹凸的形态而变化。关于这一方面在后
面叙述。
[0095]
薄膜导电层30在电磁波衰减膜1的平面视图中覆盖前面10a的整体或一部分。平板电感器50覆盖背面10b的整体或一部分。只要不大幅损害电磁波衰减膜1的性能，例如可以在电磁波衰减膜1的周缘的一部分等处存在未被薄膜导电层30或平板电感器50覆盖的部位。
[0096]
薄膜导电层30和平板电感器50的材料只要具有导电性就没有特别地限定。从耐腐蚀性和成本的观点来看，优选铝、铜、银、金、铂、锡、镍、钴、铬、钼、铁以及它们的合金。薄膜导电层30和平板电感器50例如可以通过在介电体基材10上进行真空蒸镀来形成。平板电感器50也可以作为导电性的化合物。此外，平板电感器50可以是连续面，也可以具有网状、贴片等图案。
[0097]
薄膜导电层30的厚度可以设为10nm以上1000nm以下。当小于10nm时，使电磁波衰减的功能可能会降低。当超过1000nm时，生产率可能会降低。
[0098]
平板电感器50可以为铸造物、压延金属板、金属箔、蒸镀膜、溅射膜以及镀层。压延金属板的厚度可以设为0.1mm以上5mm以下。金属箔的厚度可以设为5μm以上且小于100μm。在平板电感器50为蒸镀膜、溅射膜以及镀膜的情况下，可以设为0.5μm以上且小于5mm。平板电感器50的厚度可以设为0.5μm～5mm。另外，在平板电感器50为铸造物的情况下，不特定厚度，但是最大尺寸可以设为10mm以上。另外，平板电感器50的厚度可以设为由衰减中心波长求出的表皮深度以上。另外，平板电感器50的厚度可以比薄膜导电层30的厚度厚。
[0099]
薄膜导电层30和平板电感器50的材质可以为相同的金属类(metal species)。该相同的金属类可以是相同的纯金属或相同金属的合金(例如，两者均为铝合金)，或者可以将薄膜导电层30设为纯金属并将平板电感器50设为薄膜导电层30的金属的合金。另外，薄膜导电层30和平板电感器50的材质也可以是不同的金属类。
[0100]
薄膜导电层30可以在与介电体基材相反一侧的面上具有顶涂层200。图3为示出设置有顶涂层时的图1的i-i线的剖面的一部分的示意图。平板电感器50也可以在与介电体基材相反一侧的面上具有顶涂层200。顶涂层200的厚度可以设为0.1μm以上50μm以下。进一步，可以设为1μm以上5μm以下。顶涂层200为单层或多层。顶涂层200的材质可以为氨基甲酸酯树脂、丙烯酸树脂、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、环氧树脂、有机硅树脂的单体、混合体、复合体。另外，也可以含有绝缘性粒子、磁性粒子、导电性粒子或其混合。粒子可以为无机粒子。通过设置顶涂层200而与传播电波的空气阻抗匹配，从而对于薄膜导电层而言，电波能够有效地衰减。另外，可以对薄膜导电层30、平板电感器50赋予耐腐蚀性、耐化学品性、耐热性、耐摩擦性、耐冲击性等。例如，通过使用交联后的丙烯酸树脂、交联后的环氧树脂、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、有机硅树脂等，能够在提高耐溶剂性的基础上提高耐热性。另外，通过使用氨基甲酸酯树脂等，能够提高耐冲击性；通过使用有机硅树脂，能够提高耐摩擦性。
[0101]
介电体基材10也可以具有前面相对较低的第一区域121和前面相对较高的第二区域122。第一区域121的平面视图形状可以为正方形、六边形、十字、其他多边形、圆形、椭圆。该正方形、六边形、十字、其他多边形的角可以是圆角形状。
[0102]
第一区域121离散地配置。第一区域121以预定的间距配置成二维矩阵状。第二区域122在电磁波衰减膜1的平面视图中包围着第一区域121。第一区域121上的薄膜导电层30
中包含金属板。即，在第一区域121上具备金属板。换言之，金属板位于第一区域121上。金属板的平面视图形状可以为正方形、六边形、十字、其他多边形、圆形、椭圆。该正方形、六边形、十字、其他多边形的角可以为圆角形状。根据第一区域121的上述方式，第二区域122在平面视图中形成为网眼状或格子状。
[0103]
第一区域121和第二区域122的与薄膜导电层30相接触的面大致平行于背面。此外，也可以在一部分或整个面上具有粗糙面。如后所述，通过将第一区域121和第二区域122的与薄膜导电层30相接触的面的一部分或整个面设为粗糙面，可以调节薄膜导电层30的电阻。
[0104]
如图2所示，薄膜导电层30形成在第一区域121和第二区域122的上面。另一方面，在比第一区域121更向上方延伸的第二区域122的侧面122a不存在薄膜导电层30，从而介电体基材10露出。由此，第一区域121的薄膜导电层30和第二区域122的薄膜导电层30可以成为电绝缘状态。如果能够成为电绝缘状态，则侧面122a的一部分也可以被薄膜导电层30覆盖。
[0105]
各第一区域的金属板可以是沿着第一区域121的平面视图形状的形状。即，可以是与第一区域121的平面视图形状相同或相似的形状。另外，介电体基材10也可以包含多个平面视图形状为相同形状相同大小的多个金属板。此外，第一区域121可以在保持相互平行的状态下离散，且前面的配置密度可以大致均匀。
[0106]
据认为，电磁波衰减膜1通过上述的构成而在特定的波长下表现出特有的机理。
[0107]
入射到本发明的电磁波衰减膜的电磁波如下所述。具体而言，认为由入射波产生的电磁场和电流如下所述。
[0108]
首先，根据法拉第定律，透过了金属板的入射波的磁通量的变动会在平板电感器50中引发与平板电感器50的入射面水平的交流电流。根据安培定律，该交流电流在与平板电感器50相邻的介电体基材中产生变动的磁场。另外，变动的磁场成为以导磁率为系数而变动的磁通量。
[0109]
根据亨利定律，由变动的磁通量产生的电场通常引发抑制磁通量方向上的电流。但是，在本技术的构成的情况下，与预期相反，反而在增强电流的方向上起作用。由此，在金属板中流动由入射波引发的电流以上的电流。即，虽然金属板的面积比平板电感器50的面积窄，但是可以产生与平板电感器50相同程度的电流。
[0110]
在该金属板中产生的电流的方向成为与平板电感器50相反的方向。通过在金属板和平板电感器50这两者中流动的相反方向的电流和在它们之间流动的位移电流而形成闭合电路。在仅在金属板与平板电感器50之间形成闭合电路、在电磁波衰减膜的外部空间中不产生与电磁波衰减膜相同水平的电通量的情况下，不会产生反射波。另外，平板电感器50的反射波和通过金属板的电流再放射的电磁波的相位偏移π，因此相互抵消。
[0111]
根据上述原理，电磁波衰减膜的反射波衰减。从能量的观点来看，如下所述，认为是多个机理协同作用。
[0112]
如后面磁场密度的模拟所示，第一机理是产生由入射波引起的非行进的周期性振动的电磁场。首先，通过位于介电体基材10的背面的平板电感器50，在平板电感器50的切线方向上入射波诱发磁通量。通过诱发的磁通量，在从第一区域121上的薄膜导电层30(即，金属板)的相对的一对边伸展的方向上，在与平板电感器50垂直的方向上产生电场。接着，当
电磁波入射到平板电感器时，通过变动的磁通量以接近平板电感器的表面附近的方式诱发电流。通过在平板电感器内诱发的电流，在接近平板电感器的表面附近的介电体基材10中产生磁场。该电场、金属板以及平板电感器50的电流在金属板与平板电感器50之间产生与由平板电感器50诱发的磁通量相同方向的磁场。这里，金属板的形状为板状，其材质为金属。在介电体基材内产生的电场以与入射波的周期相同的周期变动。磁场的周期性变动使薄膜导电层30与平板电感器50之间的电场周期性地变动。结果，在薄膜导电层30与平板电感器50之间产生非行进的周期性变动的电磁场。如后面电流密度的模拟所示，通过周期性变动的电磁场中的磁场而在金属板中诱发交流电流。另外，周期性变动的电场在金属板中产生周期性变动的电位。电磁场不行进而停留在原地，诱发的交流电流产生功率损耗，结果电磁场的能量转换为热量以吸收电磁波。另外，据认为，在金属板中诱发的交流电流从金属板的与介电体基材10接触的面相反一侧的面再放射电磁波。
[0113]
即，据认为，被电磁波衰减膜捕获到的电磁波的能量的一部分转换为热能，剩余的被再放射。另外，根据由麦克斯韦方程式等表示的经典电磁学理论，诱发的交流电流的频率成为与入射波相同的频率，因此再放射的电磁波的频率与入射波的频率相同。结果，与入射波相同频率的电磁波被再放射。另外，在将振动的电磁场作为量子来考虑的情况下，认为量子失去能量，再放射出更低能量的长波长的电磁波。另外，认为再放射有入射的电磁波引起的诱发放射和自然放射。据认为，诱发放射放射出与入射波在入射波的反射方向、即镜面反射方向上反射的反射波相干的电磁波。据认为，自然放射随着时间而衰减。另外，据认为，在电磁波衰减膜不具有衍射结构、干涉结构、折射结构的情况下，自然放射的空间分布接近于朗伯反射。
[0114]
衰减中心波长与图2所示的形成在第一区域121上的薄膜导电层30的面方向上的尺寸w1(参照图7。以下有时称为“宽度w1”)有关。即，通过改变尺寸w1，可以改变根据第一机理优选衰减的电磁波的波长，在电磁波衰减膜1中，可以自由度高且简便地设定电磁波的衰减。因此，可以形成能够容易地捕获15ghz以上、150ghz以下的频带的直线偏振波的电磁波的构成。
[0115]
据认为，非行进的电磁场的周期性变动在金属板的平面视图形状的相对的边之间产生。因此，为了产生第一机理，优选的是一定长度的边相对。基于此和本发明人的研究结果，可以将薄膜导电层的宽度w1为0.25mm以上的部分设为金属板。在某个金属板中可以取得多个w1的情况下，可以将其当中最大的值定义为该金属板的w1。通过将w1设在0.25mm～4mm左右的范围内，能够衰减15ghz以上、150ghz以下的频带的电磁波。衰减的电磁波的频率与金属板的宽度的关系如图53所示，在以各自为对数的曲线图上表示为直线。即，衰减的电磁波的频率为金属板的宽度的幂函数。该函数的幂近似于-1，大致成反比。
[0116]
薄膜导电层中所包含的多个金属板可以配置多种尺寸w1不同的金属板。在这种情况下，各个电磁波的衰减峰重叠，可以使能够衰减的电磁波宽频带化。
[0117]
第二机理是薄膜导电层30和平板电感器50对电磁场的禁锢。在电磁波衰减膜1中，在第一区域121中，介电体基材10被薄膜导电层30和平板电感器50夹着。因此，因电磁波而在电磁波衰减膜1的介电体基材10中产生的电场因金属板的电荷、电流而被禁锢在包含金属板的薄膜导电层30与平板电感器50之间的介电体基材10内。即，金属板抑制电磁场，并将电磁场禁锢在介电体基材10中。即，金属板可以发挥作为扼流圈的功能。换言之，金属板可
以是发挥扼流圈功能的扼流圈板。
[0118]
另外，据认为，通过该被禁锢的电场的周期性变动，也可以在第一区域内诱发磁通量。由此，在第一区域内振动的电磁场集聚，电磁场的能量密度提高。通常，能量密度越高衰减越容易，因此通过该机理可以有效地衰减电磁波。另外，在第二机理中，介电体基材10的介电损耗角正切越高，蓄积在介电体基材内的电磁场的能量损失越大。另外，集聚在介电体基材中的磁场伴随着金属板上的大电流，集聚在介电体基材中的电场产生大的电位差。通过大电流和大电位差，可以增大作为其乘积的功率损耗。作为功率损耗会消耗电磁波的能量，结果电磁波衰减。
[0119]
第三机理是包含由相对的薄膜导电层30、平板电感器50以及它们之间的介电体基材10形成的电容器的电路中的功率损耗。在电磁波衰减膜1中，在第一区域121、第二区域122的任一者中，介电体基材10被薄膜导电层30和平板电感器50夹着。因此，第一区域121、第二区域122、以及介电体基材10发挥作为电容器的功能。因此，入射到电磁波衰减膜1的介电体基材10上的电磁波被包含电容器的电路衰减。
[0120]
电容器的静电容量越大，蓄积越多的电荷，从而蓄积的能量增加，因此静电容量越大，越能应对高能量。
[0121]
静电容量与介电体基材10的厚度成反比，因此从该观点来看，介电体基材10的厚度越薄越优选。另外，薄膜导电层30与平板电感器50之间的距离由介电体基材10的厚度决定，因此薄膜导电层30与平板电感器50之间的电阻与介电体基材10的厚度成比例。当介电体基材10的电阻小时，介电体基材10中的漏电流增大，在包含薄膜导电层30和平板电感器50的电容器的电路中流动的电流增加。因此，容易增大由漏电流导致的功率损耗，并且容易因功率损耗而吸收电磁波的能量。另外，在本发明的实施方式的电磁波衰减膜1中，即使改变配置有金属板的部位的介电体基材10的厚度，衰减的电磁场的波长也不会位移，因此可以根据包含电容器的电路的特性来设计介电体基材10的厚度。
[0122]
如上所述，入射到电磁波衰减膜1的电磁波通过第一机理而在接近平板电感器的表面附近的介电体基材10中产生电磁场，通过第二机理而禁锢由电磁波产生的电磁场，从而被捕获。这样，电磁波衰减膜1能够捕获电磁波。被捕获的电磁波由于第二机理产生的电场损失和功率损耗、第三机理的电路引起的功率损耗而衰减。另外，通过设置顶涂层200，与传播电磁波的空气阻抗匹配，对于薄膜导电层而言，电磁波能够有效地衰减。如图53所示，衰减的电磁波的波长可以通过改变金属板的尺寸w1来改变。更详细而言，如图53那样，反射波成为极小的频率、即衰减成为极大的频率表现出与金属板的尺寸的幂极高的近似性。因此，在电磁波衰减膜1中，可以自由度高且简便地设定电磁波衰减特性。因此，也容易设定为捕获15ghz以上、150ghz以下的频带中的直线偏振波、圆偏振波或椭圆偏振波的电磁波。
[0123]
在图53的模拟中，金属板为正方形，w1为一边的长度。
[0124]
第一实施方式的电磁波衰减膜1的介电体基材具有第一区域121和第二区域122，第二区域122的侧面122a的至少一部分不被薄膜导电层30覆盖而露出。结果，可以在不增加电磁波衰减膜的平面视图面积的情况下容易地增加电磁波可入射的部位，从而可以有效地捕获并衰减电磁波。
[0125]
在第一实施方式的电磁波衰减膜1中，作为支撑笼的第二区域122上的薄膜导电层30主要通过增强第二机理和第三机理来提高电磁波的衰减性。
[0126]
此外，在本发明人的研究中，认为在金属板的周缘部电场变强，在接近周缘部的支撑笼中也产生电位。
[0127]
图4示出没有支撑笼时的电场强度的模拟结果，图5示出有支撑笼时的电场强度的模拟结果。在图4和图5中，在(b)中放大示出了(a)中的金属板的周缘部，并对金属板标注符号a，对支撑笼标注符号b。
[0128]
比较图4(b)和图5(b)可知，在图5(b)中，金属板的周缘部中的电场强度变得更强。即，认为在支撑笼中产生的上述电位有助于进一步增大第一机理中的功率损耗。
[0129]
在电磁波衰减膜1中，第三机理发挥的作用也很重要。当在介电体基材10中产生电场时，电磁场被禁锢在金属板的下方。即，在金属板的下方产生能量密度高的电磁场。据认为，被禁锢的电磁场通过第二机理产生的功率损耗和第三机理的介电损耗而衰减。
[0130]
在本发明人的研究中可知，第一机理产生的衰减根据构成金属板的金属的导纳(电阻倒数)而变化。导纳(siemens/m)为1000万以上时，获得了良好的电磁波的衰减。作为常规导体中导纳最高的物质，已知有银，其导纳为61～66
×
106，因此导纳的上限值约为7000万。可以使用导纳为500万以上7000万以下的金属。构成金属板的金属可以为强磁性体、顺磁性体、反磁性体、反强磁性体。强磁性体的金属的实例为镍、钴、铁或其合金。顺磁性体的金属的实例为铝、锡(β锡)或其合金。反磁性的金属的实例为金、银、铜、锡(α锡)、锌或其合金。反磁性的合金的实例为铜和锌的合金即黄铜。反强磁性的金属的实例为铬。通过这些金属的金属板表现出良好的电磁波的衰减。
[0131]
另一方面，在本发明中，金属板的表面也可以氧化、氮化或氮氧化。金属板表面的氧化金属、氮化金属可以通过表面处理来形成。表面处理可以为使用了化学品的化学处理、热处理或者这两者。另外，可以在金属板内存在氧化金属膜，也可以具有金属和金属氧化物混合而成的层。在这样的构成中，金属板的电阻值升高，电压降升高，功率损耗变大，从而可以提高电磁波的衰减性。
[0132]
另外，金属板30a可以是将不同材质的膜层叠而成的多层膜。层叠的膜的材质可以为导电体或绝缘体。
[0133]
对电磁波衰减膜1的制造步骤的一个例子进行说明。
[0134]
首先，形成介电体基材10。当在载体11上层状地配置形成凹凸部的树脂，并在表面形成第一区域和第二区域时，完成了具有基底层12的介电体基材10。形成基底层12的树脂可以为感光性树脂。在这种情况下，可以利用光刻。感光性树脂可以是负抗蚀剂或正抗蚀剂。也可以由光固化性树脂形成基底层12。也可以由热塑性树脂形成基底层12。在这种情况下，可以利用热转印。也可以由热固性树脂形成基底层12。树脂可以是可溶于溶剂的可溶性树脂(油性油墨)。另外，树脂也可以是水溶性树脂(水性油墨)。
[0135]
接着，在介电体基材10的前面10a和背面10b分别形成薄膜导电层30和平板电感器50。薄膜导电层30和平板电感器50可以通过物理沉积形成。物理沉积可以是蒸镀或溅射。薄膜导电层30和平板电感器50中的任一者可以先形成，两者的材质也可以不同。另外，平板电感器50可以为铸造物、压延金属板、金属箔、蒸镀膜、溅射膜以及镀膜中的任一者。铸造物的材质可以为铸铁或铝合金。压延金属板的材质可以为钢材、不锈钢、铝或铝合金。镀覆可以为电解镀或无电解镀。镀覆可以为镀铜、无电解镀镍、电解镀镍、镀锌、电解镀铬或它们的层叠。
[0136]
在薄膜导电层30中，金属板和其以外的部分不连接是重要的。当连接时，上述的宽度w1发生变化，电磁波的衰减性可能与设想的不同。因此，也可以追加除去形成在第二区域侧面的薄膜导电层30的工序。该工序可以利用激光蚀刻等。
[0137]
在设置顶涂层200的情况下，对涂布方法没有特别地限制，只要从膜制造所使用的方法中适当选择即可。涂布方法的例子可以列举出：凹版涂布、逆向涂布、凹版逆向涂布、模涂、流涂等。
[0138]
在上述制造步骤中，可以在形成基底层12后剥离载体11。通过这种方式，形成了仅由基底层12构成的单层的介电体基材。
[0139]
作为制造步骤的其他例子，可以在介电体基材上形成薄膜导电层30和平板电感器50，然后在薄膜导电层30侧形成凹凸形状。在这种情况下，优选使用了印版的转印。在进行热转印的情况下，将印版抵接在薄膜导电层30上进行加热。
[0140]
在该制造步骤中，被印版按压的薄膜导电层30伸展而容易成为金属板与其以外的部分连接的状态。作为消除这种情况的方法，除了上述的激光蚀刻以外，还可以列举出印版形状的办法。例如，在印版中，如果尖锐地形成形成第一区域的凸部的周边，则当印版被按压在薄膜导电层30时，金属板的周缘被切断。由此，可以确保转印时金属板与其以外的部分不连接的状态。
[0141]
参照图6至图9对本发明的第二实施方式进行说明。在以下的说明中，对于与已经说明的共通的构成，标注相同的符号并省略重复的说明。据认为，在第二实施方式中也表现出上述的第一、第二、第三各个机理。
[0142]
图6和图7示出第二实施方式的电磁波衰减膜61。图6为示出本发明的第二实施方式涉及的电磁波衰减膜的示意性平面图，图7为示出图6的ii-ii线的剖面的一部分的示意图。另外，图8为示出设置了顶涂层时的图6的ii-ii线的剖面的一部分的示意图。
[0143]
电磁波衰减膜61具备介电体基材62、多个金属板30a以及平板电感器50。金属板30a的厚度可以设为1000nm以下。
[0144]
第二实施方式的介电体基材62可以设为与第一实施方式的介电体基材同样的材料和构成。介电体基材62可以是在载体11上设置有基底层的构成，也可以是仅由载体11构成。前面62a和背面62b均为平坦面或粗糙面。在背面62b上设置有平板电感器50，但是也可以在背面62b与平板电感器50之间设置粘接层。粘接层和平板电感器50可以通过与第一实施方式相同的材质、相同的制法形成。在前面62a侧配置有多个金属板30a。金属板30a可以通过利用沉积法形成后进行蚀刻来形成。该沉积法可以是物理沉积法或化学沉积法。金属板的形成适用物理沉积法。物理沉积法可以是真空蒸镀法或溅射法。真空蒸镀法的生产率高，是优选的。通过以图案将掩模层印刷为金属板的形状，然后通过蚀刻除去多余的薄膜导电层，可以形成金属板。蚀刻所使用的蚀刻液可以为氢氧化钠溶液。氢氧化钠溶液的浓度可以设为0.001mol/l以上1mol/l以下。金属板30a的金属可以是与第一实施方式相同的金属。金属板是离散配置的。衰减中心频率表示为金属板宽度的幂函数。多个金属板30a可以为相同形状相同大小，并以一定的间隔配置。换言之，2个以上的相同形状相同大小的多个金属板30a也可以隔开一定的间隔配置。即，前面62a整体未被金属层覆盖，在未配置金属板30a的部位露出介电体基材62。
[0145]
另外，也可以配置多个与形状、大小或这两者不同的多个金属板30a中的各个金属
板30a相同形状相同大小的金属板30a。换言之，可以配置多个形状、大小或这两者不同的金属板，还可以配置多个相同形状、大小的金属板。金属板的配置可以设为一定的间隔、一定的方向。另外，可以是间隔不同、方向也不同。此外，也可以是间隔不同、方向相同。另外，也可以是一部分的间隔一定，一部分的方向相同。此外，可以将形状、大小或这两者不同的多个金属板作为金属板组。构成金属板组的金属板的配置间隔可以全部或一部分是一定的、或者全部不同。构成金属板组的金属板的方向可以是全部或一部分恒定、或者全部不同。在具有形状、大小或这两者不同的多个金属板的金属板组中，各个金属板的衰减的频率的光谱可以不同，以衰减多个频率带，或者可以将衰减的频率宽频带化。另外，金属板的配置间隔不同时，衰减的频率的光谱也可以不同。当金属板组的方向不同时，可以使衰减的偏振波的依赖性不同。构成金属板组的多个金属板各自衰减的频率不同，其频率之差可以是规则的。
[0146]
金属板组也可以配置多个。也可以配置多个由与构成某个金属板组的金属板的形状、大小、配置相同形状、大小、配置的金属板构成的金属板组。通过在薄膜导电层中包含不同的多个金属板，可以进行宽频带化、衰减多个频率的电磁波或这两者。
[0147]
金属板可以被分割为多个金属区段。换言之，金属板可以由多个金属区段构成。金属板内的多个金属区段可以导通。多个金属区段可以通过布线导通。布线可以具有阻抗。该阻抗可以与金属区段匹配。布线和金属板内的多个金属区段可以作为一体而发挥功能。多个金属区段可以具有与单独存在时不同的性质。具体而言，共振的频率、衰减性单独存在的情况与构成金属板内的情况可以不同。另外，金属板的剖面形状可以为平面形状、多面体形状或曲面形状。在多面体或曲面的情况下，其底部与顶部的距离、即高度可以设为50μm以下。另外，该高度与金属板相对的边之间的距离之比可以设为1：100以上1：10以下。
[0148]
第二实施方式的电磁波衰减膜的衰减性的设定可以与第一实施方式同样地通过改变金属板的宽度w1来进行，也容易以捕获15ghz以上、150ghz以下的频带中的直线偏振波的电磁波的方式进行设定。
[0149]
另外，由于可以将塑料膜的载体11直接作为介电体基材62，因此第二实施方式的电磁波衰减膜可以比第一实施方式涉及的电磁波衰减膜更简便地制造。
[0150]
也可以将在前面62a和背面62b的一部分或整个面上具有粗糙面的载体作为介电体基材62。通过将前面62a的一部分或整个面设为粗糙面，可以调节金属板30a的导纳。
[0151]
在包括专利文献5的现有技术中，认为通过使共振的导电体比表皮深度厚，在共振层中产生充分的交流电流，从而通过该交流电流的功率损耗来衰减电磁波。但是，本发明人发现：当金属板30a的厚度为表皮深度以下时，电磁波的衰减反而增加。
[0152]
图9示出由金属板30a的厚度变化引起的电磁波衰减性的模拟结果。金属板的材质为铝。另外，入射波为正弦波的直线偏振波，相对于电磁波衰减膜垂直地入射。需要说明的是，在模拟中，将平板电感器作为完全导体。作为电磁波衰减膜的电磁波的衰减性以仅有平板电感器的情况为基准的单稳态rcs作为指标。需要说明的是，表示电磁波衰减性的纵轴以分贝表示。单稳态rcs(rader cross-section)是表示利用单稳态雷达探知对象的容易度的指标，可以通过下式1来计算。需要说明的是，单稳态雷达在同一地点进行发送和接收。
[0153]
[数学式1]
[0154][0155]
其中，
[0156]
|er|：入射电场强度
[0157]
|ei|：接收散射电场强度
[0158]
r：目标(target)与雷达之间的距离
[0159]
模拟的结果如图9所示，在厚度为40nm以上400nm以下时观察到较大的电磁波的衰减。在小于40nm时，反而可以看到电磁波的衰减减少。
[0160]
需要说明的是，在金属板30a具备导电层和包层的情况下，如果组合导电层和包层而成的金属板30a的厚度为1000nm以下，则能够稳定地成膜。
[0161]
可以看出，图9所示的现象与表皮深度有着有趣的关系。频率41ghz下铝的表皮深度约为400nm。即，当金属板的厚度为材质的表皮深度以下时，电磁波的衰减增加。另外，当小于表皮深度的1/e2时，电磁波的衰减减少。这被认为是，在导电层比表皮深度厚的情况下，不能获得充分的电阻，不能获得功率损耗所需的电压降，而且电流仅集中在金属板的中央附近，从而产生电位差的区域中的电流减少。另一方面，即使导电层的厚度为表皮深度以下，在小于表皮深度的1/e2时，无法获得用于功率损耗的充分的电流。需要说明的是，不言而喻，功率损耗为电流和电压的乘积。即，如果在满足使用以表皮深度d将金属板的厚度t归一化后的值的自然对数表示的下述ln函数的式2的范围内，则可以说获得了充分的电磁波的衰减。
[0162]-2≤ln(t/d)≤0
…
(2)
[0163]
另外，在金属板中使用导纳低的金属的情况下，即使在下式3的范围内也能获得电磁波的衰减。另外，在金属板的面积占介电体基材的前面的比例较大的情况下，即使是在下式3的范围内，也能获得电磁波的衰减。在该面积比较大的情况下，金属板的面积占介电体基材的前面的比例可以设为50％以上、90％以下。
[0164]
0＜ln(t/d)≤1
…
(3)
[0165]
根据式1和2，可以在下式4的范围内获得电磁波的衰减。
[0166]-2≤ln(t/d)≤1
…
(4)
[0167]
需要说明的是，在本发明的实施方式中，该表皮深度可以使用衰减中心频率f来计算。即，当使用衰减中心频率f时，表皮深度d如公知的那样由下式5计算。
[0168]
[数学式2]
[0169][0170]
其中，
[0171]
ρ＝金属板的电阻率
[0172]
ω＝电流的角频率＝2π
×
衰减中心频率f
[0173]
μ＝金属板的绝对导磁率
[0174]
另外，在模拟结果中，在金属板的厚度比表皮深度薄的情况下，衰减增加。据认为，这是因为：受金属板的介电体基材的磁通量的影响而产生的电流也到达介电体基材的相反侧的一面，通过该电流，放射出抵消由介电性电感器产生的反射波的与由介电性电感器产生的反射波的相位偏移了π的电磁波。另外，据认为，随着金属板的厚度变得比表皮深度薄，金属板的电流受到限制，结果，不仅在金属板的中心附近产生磁场，而且在金属板整个区域中产生磁场，由产生的磁场诱发的电流也在金属板的整个区域中产生，抵消由介电性电感器产生的反射波的电磁波的放射增加，因此反射波进一步衰减。
[0175]
另外，金属板与介电性电感器之间的介电体基材的电场吸引金属板和介电性电感器。在电场周期性变动的情况下，吸引金属板的力也周期性变动。因此，金属板与介电性电感器之间的介电体基材的电场使金属板振动。该振动的能量转换为热量而损失。因此，认为电磁场作用于金属板的力也有助于电磁波的衰减。
[0176]
另外，在将电磁场的非行进的周期性变动作为量子而捕获的情况下，可以认为处于被电磁场束缚而量子被捕获的状态为动量为零的状态。此外，由于金属板的厚度为数百nm的水平，因此认为也可能会对金属板内的能级产生影响。
[0177]
这样，针对本发明的实施方式的现象的解释，除了以经典电磁学的方式解释以外，还可以以经典力学或量子力学的方式来解释。
[0178]
因此，在解释式4时，虽然合理地规定了该范围，但并不是考虑所有的物理现象而严格算出的范围。因此，在判断作为对象的产品是否符合上式范围的情况下，可以说考虑表现出来的物理现象并加以解释是适当的。
[0179]
需要说明的是，在传统技术中，通常看不到使用从表皮深度程度至比表皮深度更薄的导体的例子。因此，认为本发明的实施方式在与毫米波段的电磁波的相互作用机理本身与以往不同。
[0180]
关于特定的频带，对于表示优选的电磁波衰减的金属板的厚度与表皮深度的关系，将在后述的第二实施方式涉及的实施例中进行详细地说明。
[0181]
使用实施例，对本发明的各实施方式进一步进行说明。
[0182]
(第一实施方式涉及的实施例)
[0183]
首先，准备了镍电铸用的母版。通过光刻在硅晶圆表面形成了抗蚀剂图案。所使用的光致抗蚀剂为正型，光致抗蚀剂的膜厚为10μm。所形成的抗蚀剂图案是这样的图案：在xy坐标系中，在一边为14cm的正方形区域内，将正方形开口配置在x坐标、y坐标均为一定周期的正方形格子排列的坐标处，i线曝光后的区域是所述正方形的内侧区域。
[0184]
进一步，使用该母版进行镍电铸，获得了在表面具有规则地排列有平面视图正方形的凸部的图案的镍模具。
[0185]
接着，在镍模具的图案面上滴加紫外线固化性树脂，将对单面实施了易粘接处理的pet膜的易粘接面配置在紫外线固化性树脂上。使用辊将紫外线固化性树脂均匀地展开在图案面上，隔着透明的pet膜照射紫外线，从而使紫外线固化性树脂固化。
[0186]
将pet膜从镍模具中脱模，获得了由紫外线固化性树脂构成的凹凸层和pet膜构成的介电体部。
[0187]
使用真空蒸镀法在介电体基材的两面形成厚度500nm的al膜，形成了薄膜导电层和平板电感器。
[0188]
以上为第一实施方式涉及的实施例的制造步骤。在该步骤中，制作使凹凸层表面的各参数发生变化了的多个镍模具，从而制作了实施例1至3的电磁波衰减膜。
[0189]
各实施例涉及的电磁波衰减膜均为厚度60μm左右、重量0.02g左右，薄且轻。
[0190]
(在第一实施方式涉及的实施例中设置了顶涂层的变形例)
[0191]
在所述第一实施方式涉及的实施例中，设置通过以下步骤制造的顶涂层200，从而制作了电磁波衰减膜。
[0192]
以由80质量份的甲基丙烯酸甲酯单体和20质量份的甲基丙烯酸环己酯的混合物构成的丙烯酸系树脂组合物为主要成分，将该丙烯酸系树脂组合物的固体成分设为100质量份，向其中添加6质量份的羟基苯基三嗪系紫外线吸收剂((株)adeka制“adk stab la-46”)、6质量份的其他组成的羟基苯基三嗪系紫外线吸收剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 479”)、3质量份的苯并三唑系紫外线吸收剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 329”)、5质量份的受阻胺系自由基补充剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 292”)，进一步将添加固体成分调节用的乙酸乙酯溶剂而得的固体成分量为33质量份的主剂溶液、添加固体成分调节用的乙酸乙酯溶剂而得的固体成分量为75质量份的六亚甲基二异氰酸酯型固化剂溶液混合，使得主剂溶液与固化剂溶液的比率成为10：1(此时的主剂溶液中的羟基数与固化剂溶液中的异氰酸酯基数的比率为1：2)，进一步以溶剂挥发后的厚度成为6μm的方式涂布通过添加作为溶剂成分的乙酸乙酯而将固体成分量调节为20质量份的涂布液，从而获得了顶涂层200。所制作的电磁波衰减膜的厚度为70μm左右、重量为0.02g左右，薄且轻。
[0193]
(第二实施方式涉及的实施例)
[0194]
[27ghz～34ghz]
[0195]
(实施例1a)
[0196]
对于式4中所述的一般理论，可以在毫米波段中的特定频率带中找出优选的表示出电磁波衰减的金属板的厚度t与表皮深度d的关系式ln(t/d)的范围，以下对此进行说明。
[0197]
对在27ghz～34ghz的频带中实施的模拟进行说明。将厚度(h1)50μm的pet膜作为介电体基材，在其一个面上，以在x坐标、y坐标上均隔开一定间隔的方式设定作为薄膜导电层的金属板。进一步，在介电体基材的另一个面上设定厚度(t2)约2mm的铝平板电感器，进行了模拟。
[0198]
对于频率27ghz、28ghz、31ghz、34ghz，按照各金属类对电磁波的衰减与ln(t1/d)的关系进行了模拟。
[0199]
通过表1、表2以及图10至图13来说明模拟的结果。图10为示出实施例1a的27ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图11为示出实施例1a的28ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图12为示出实施例1a的31ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图13为示出实施例1a的34ghz的电磁波衰减特性的曲线图。在图10～13中，(a)表示导纳和表皮深度的值，(b)表示电磁波衰减膜的构成，(c)～(e)分别表示银、铜、铝的衰减特性的曲线图。所述曲线图是这样的曲线图：以表皮深度d将金属板的厚度t1归一化后的值的自然对数为横轴、以将与介电体基材相同面积的金属板的反射量设为100(参照)时的图案化金属板中的衰减量为纵轴，将两者的关系表示在图中。
[0200]
[表1]
[0201][0202]
[表2]
[0203] 27ghz28ghz31ghz34ghz
w1(mm)3.052.92.72.4w3(mm)1.571.491.391.24
[0204]
当将电磁波衰减膜的吸收量为10db以上作为表现出良好衰减量的标准时，从表1以及图10至图13明显地显示出，在频率27ghz～34ghz的频带中满足-1.0≤ln(t1/d)≤0.0的电磁波衰减膜获得了良好的衰减量。
[0205]
需要说明的是，10db左右的良好的衰减特性不限于实施例1a中使用的参数的数值，当然可以期待的是，可以在具有一定程度的宽度的构成中实现。例如，对于作为金属板的宽度w1为2.4mm～3mm、作为相邻的金属板间的距离w3为1.2mm～1.5mm、作为介电体基材的厚度h1为5μm～300μm、作为平板电感器的厚度t2为0.5μm～5mm的构成，也可以期待10db左右的良好的衰减特性。
[0206]
(实施例1b)
[0207]
与实施例1a同样地，作为介电体基材，在厚度(h1)50μm的pet膜的一个面上，改变作为薄膜导电层的金属板的总面积占介电体基材的xy平面的总面积的比例而进行了设定。进一步，在介电体基材的另一个面上设定厚度(t2)约2mm的铝平板电感器，进行了模拟。金属板使用铝作为金属类，将宽度w1设定为2.9mm、厚度t1设定为297.6nm，通过调节金属板间的距离w3来改变金属面积的比例。
[0208]
通过表3和图14来说明模拟的结果。图14为示出与实施例1b的28ghz的金属面积的比例相对应的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示电磁波衰减膜的构成，(b)表示衰减特性。
[0209]
[表3]
[0210]
金属面积比例1％5％10％20％30％40％50％60％70％80％90％w3(mm)26.1010.076.273.582.391.691.200.840.570.340.16吸收量-0.3-1.4-3.5-10.0-15.0-23.0-21.2-14.0-10.0-5.4-9.9
[0211]
当将电磁波衰减膜的吸收量为10db以上作为表现出良好衰减量的标准时，从表3和图14示出，在实施例1b中，当金属面积的比例为20％以上时，获得了良好的衰减量。
[0212]
(实施例1c)
[0213]
与实施例1a同样地，作为介电体基材，在厚度(h1)50μm的pet膜的一个面上，以与图6同样的图案排列配置作为薄膜导电层的金属板，并将其形状变更为除了正方形以外的形状，进一步在介电体基材的另一个面上设定厚度(t2)约2mm的铝平板电感器，进行了电磁波的衰减特性的模拟。金属板使用铝作为金属类，将厚度t1设定为297.6nm。
[0214]
[圆形]
[0215]
图15为示出在实施例1c中金属板为圆形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状，r1表示圆形的半径。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示圆形的中心间的距离。(c)表示r1和w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0216]
根据模拟结果，在28.8ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0217]
[长方形]
[0218]
图16为示出在实施例1c中金属板为长方形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状，w7表示长方形的长边的长度，w8表示短边的长度。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示长方形的中心间的距离。(c)表示
w7、w8以及w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0219]
根据模拟结果，在28.8ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0220]
[六边形]
[0221]
图17为示出在实施例1c中金属板为六边形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状，w9表示六边形的一边的长度。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示六边形的中心间的距离。(c)表示w9和w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0222]
根据模拟结果，在31ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0223]
[凸形]
[0224]
图18为示出在实施例1c中金属板为凸形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状。w10表示凸形的内突起的上部的上边的长度，w11表示凸形的下部的下边的长度，w15表示所述上部的侧边的长度，w16表示所述下部的侧边的长度。凸形相对于连接所述上部的上边和所述下部的下边的中点的直线为左右对称。另外，将所述下部的下边和所述下部的左右的侧边与所述上部的上边接触，将包围凸形的长方形的中心作为本凸形的中心。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示凸形的中心间的距离。(c)表示w10、w11、w15、w16以及w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0225]
根据模拟结果，在30.6ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0226]
[三角形]
[0227]
图19为示出在实施例1c中金属板为三角形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状，w12表示正三角形的一边的长度。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示三角形的中心间的距离。(c)表示w12和w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0228]
根据模拟结果，在30.2ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0229]
[十字形]
[0230]
图20为示出在实施例1c中金属板为十字形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状。十字形呈上下左右对称，并且相对于90度的旋转也是对称的。w13表示十字的外侧的上下和左右彼此相对的边的长度，w14表示与所述外侧的上下和左右彼此相对的边接触而包围十字形的正方形的一边的长度。另外，将该正方形的中心作为本十字形的中心。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示十字形的中心间的距离。(c)表示w13、w14以及w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0231]
根据模拟结果，在32ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0232]
(实施例1d)
[0233]
作为介电体基材，准备了厚度为50μm、一边为14cm的正方形pet膜。使用真空蒸镀法在介电体基材的一个面整体上形成厚度100nm的铝薄膜导电层。然后，使用掩模，以在x坐标、y坐标上均隔开一定间隔而形成金属板的方式对薄膜导电层进行蚀刻。在另一个面上使用粘接层粘贴铝平板电感器。另外，以该构成进行了模拟。
[0234]
以上为第二实施方式涉及的实施例1d的制造步骤。实施例1d的参数如下所述。
[0235]
以相同的0.1mm间隔且相同的方向，将金属板的宽度w1：2.236mm～3.481mm的范围
按每0.083mm进行16等分而得的长度和宽度的16种金属板配置为4
×
4的矩阵状，作为金属板组。该金属板组以0.1mm的间隔且相同的方向配置多个。另外，将各金属板组设为全部相同。即，构成各金属板组的金属板在各金属板组间没有差异。
[0236]
相邻的金属板间的距离w3：0.1mm
[0237]
金属板的厚度t1：297.6nm
[0238]
平板电感器的厚度t2：约2mm
[0239]
介电体基材的厚度h1：50μm
[0240]
另外，为了研究实验结果的衰减机理的妥当性，使用该构成进行了模拟。
[0241]
不包含平板电感器的各实施例涉及的电磁波衰减膜均为厚度60μm左右、重量0.02g左右，薄且轻。因此，在移动电话、车载雷达等的框体内，也容易粘贴在想要抑制电磁波引起的放射噪声的影响的部件等上。
[0242]
在模拟中，实施例1a～d均对毫米波段的电磁波表现出良好的衰减。图21示出实施例1d的模拟结果。
[0243]
(在第二实施方式涉及的实施例1a中设置了顶涂层的变形例)
[0244]
在所述第二实施方式涉及的实施例1a中，在使用铝且将金属板的厚度t1设为298nm的金属板上设置通过以下步骤制造的顶涂层200，从而制作了电磁波衰减膜。
[0245]
以由80质量份的甲基丙烯酸甲酯单体和20质量份的甲基丙烯酸环己酯的混合物构成的丙烯酸系树脂组合物为主要成分，将该丙烯酸系树脂组合物的固体成分设为100质量份，向其中添加6质量份的羟基苯基三嗪系紫外线吸收剂((株)adeka制“adk stab la-46”)、6质量份的其他组成的羟基苯基三嗪系紫外线吸收剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 479”)、3质量份的苯并三唑系紫外线吸收剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 329”)、5质量份的受阻胺系自由基补充剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 292”)，进一步将添加固体成分调节用的乙酸乙酯溶剂而得的固体成分量为33质量份的主剂溶液、添加固体成分调节用的乙酸乙酯溶剂而得的固体成分量为75质量份的六亚甲基二异氰酸酯型固化剂溶液混合，使得主剂溶液与固化剂溶液的比率成为10：1(此时的主剂溶液中的羟基数与固化剂溶液中的异氰酸酯基数的比率为1：2)，进一步以溶剂挥发后的厚度成为6μm的方式涂布通过添加作为溶剂成分的乙酸乙酯而将固体成分量调节为20质量份的涂布液，从而获得了顶涂层200。顶涂层膜厚为6μm。
[0246]
(比较例1)
[0247]
不设置顶涂层，根据实施例1a制作了电磁波衰减膜。
[0248]
另外，将上述变形例和比较例1中获得的电磁波衰减膜经由粘着剂而压接在不锈钢板上，利用阳光气象仪进行相当于室外暴露10年的暴露，然后用棉布擦拭电磁波衰减膜的表面，对顶涂层、电磁波衰减层的残留状态、单稳态rcs衰减特性变化进行了研究。
[0249]
结果，如图22所示，可以确认：在变形例的构成中，顶涂层、电磁波衰减层均没有劣化，通过形成顶涂层，阻抗匹配，单稳态rcs衰减特性提高。
[0250]
[35ghz～50ghz]
[0251]
(实施例2a)
[0252]
对于式4中所述的一般理论，可以在毫米波段中的特定频率带中找出优选的表示出电磁波衰减的金属板的厚度t与表皮深度d的关系式ln(t/d)的范围，以下对此进行说明。
[0253]
对在35ghz～50ghz的频带中实施的模拟进行说明。将厚度(h1)50μm的pet膜作为介电体基材，在其一个面上以在x坐标、y坐标上均隔开一定的间隔的方式设定作为薄膜导电层的金属板。进一步，在介电体基材的另一个面上设定厚度(t2)约2mm的铝平板电感器，进行了模拟。
[0254]
对于频率35ghz、39ghz、41ghz、45ghz、50ghz，按照各金属类对电磁波的衰减与ln(t1/d)的关系进行了模拟。
[0255]
通过表4、表5以及图23至图27来说明模拟的结果。图23为示出实施例2a的35ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图24为示出实施例2a的39ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图25为示出实施例2a的41ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图26为示出实施例2a的45ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图27为示出实施例2a的50ghz的电磁波衰减特性的曲线图。在图23～27中，(a)表示导纳和表皮深度的值，(b)表示电磁波衰减膜的构成，(c)～(e)分别表示银、铜、铝的衰减特性的曲线图。所述曲线图是这样的曲线图：以表皮深度d将金属板的厚度t1归一化后的值的自然对数为横轴、以将与介电体基材相同面积的金属板的反射量设为100(参照)时的图案化金属板中的衰减量为纵轴，将两者的关系表示在图中。
[0256]
[表4]
[0257][0258]
[表5]
[0259] 35ghz39ghz41ghz45ghz50ghz金属尺寸w12.352.121.831.63金属间距离w31.211.0810.940.84
[0260]
当将电磁波衰减膜的吸收量为10db以上作为表现出良好衰减量的标准时，从表4及图23至图27明显地显示出，在频率35ghz～50ghz的频带中满足-2.0≤in(t1/d)≤-0.5的
电磁波衰减膜获得了良好的衰减量。
[0261]
需要说明的是，10db左右的良好衰减特性不限于实施例2a中使用的参数的数值，当然可以期待的是，可以在具有一定程度的宽度的构成中实现。例如，对于作为金属板的宽度w1为1.7mm～2.3mm、作为相邻的金属板间的距离w3为0.9mm～1.2mm、作为介电体基材的厚度h1为5μm～300μm、作为平板电感器的厚度t2为0.5μm～5mm的构成，也可以期待10db左右的良好的衰减特性。
[0262]
(实施例2b)
[0263]
与实施例2a同样地，将厚度(h1)50μm的pet膜作为介电体基材，在其一个面上改变作为薄膜导电层的金属板的总面积占介电体基材的xy平面的总面积的比例而进行了设定。进一步，在介电体基材的另一个面上设定厚度(t2)约2mm的铝平板电感器，进行了模拟。金属板使用铝作为金属类，将宽度w1设定为2.0mm、厚度t1设定为149.2nm，通过调节金属板间的距离w3来改变金属面积的比例。
[0264]
通过表6和图28来说明模拟的结果。图28为示出与实施例2b的39ghz的金属面积的比例相对应的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示电磁波衰减膜的构成，(b)表示衰减特性。
[0265]
[表6]
[0266]
金属面积比例1％5％10％20％30％40％50％60％70％80％90％w3(mm)18.006.944.322.471.651.160.830.580.390.240.11吸收量-0.3-1.4-4.3-10.0-14.0-17.8-19.8-13.8-10.0-10.0-8.5
[0267]
当将电磁波衰减膜的吸收量为10db以上作为表现出良好的衰减量的标准时，从表6和图28示出了在实施例2b中，当金属面积的比例为20％以上时，获得了良好的衰减量。
[0268]
(实施例2c)
[0269]
与实施例2a同样地，将厚度(h1)50μm的pet膜作为介电体基材，在其一个面上以与图6同样的图案排列配置作为薄膜导电层的金属板，并将其形状变更为除了正方形以外的形状，进一步在介电体基材的另一个面上设定厚度(t2)约2mm的铝平板电感器，进行了电磁波的衰减特性的模拟。金属板使用铝作为金属类，将厚度t1设定为149nm。
[0270]
[圆形]
[0271]
图29为示出在实施例2c中金属板为圆形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状，r1表示圆形的半径。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示圆形的中心间的距离。(c)表示r1和w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0272]
根据模拟结果，在43ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0273]
[长方形]
[0274]
图30为示出在实施例2c中金属板为长方形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状，w7表示长方形的长边的长度，w8表示短边的长度。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示长方形的中心间的距离。(c)表示w7、w8以及w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0275]
根据模拟结果，在39.4ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0276]
[六边形]
[0277]
图31为示出在实施例2c中金属板为六边形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示
金属板的形状，w9表示六边形的一边的长度。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示六边形的中心间的距离。(c)表示w9和w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0278]
根据模拟结果，在36ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0279]
[凸形]
[0280]
图32为示出在实施例2c中金属板为凸形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状。w10表示凸形的内突起的上部的上边的长度，w11表示凸形的下部的下边的长度，w15表示所述上部的侧边的长度，w16表示所述下部的侧边的长度。凸形相对于连接所述上部的上边和所述下部的下边的中点的直线是左右对称的。另外，将所述下部的下边和所述下部的左右的侧边与所述上部的上边接触，将包围凸形的长方形的中心作为本凸形的中心。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示凸形的中心间的距离。(c)表示w10、w11、w15、w16以及w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0281]
根据模拟结果，在35ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0282]
[三角形]
[0283]
图33为示出在实施例2c中金属板为三角形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状，w12表示正三角形的一边的长度。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示三角形的中心间的距离。(c)表示w12和w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0284]
根据模拟结果，在44.8ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0285]
[十字形]
[0286]
图34为示出在实施例2c中金属板为十字形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状。十字形呈上下左右对称，并且相对于90度的旋转也是对称的。w13表示十字的外侧的上下和左右彼此相对的边的长度，w14表示与所述外侧的上下和左右彼此相对的边接触而包围十字形的正方形的一边的长度。另外，将该正方形的中心作为本十字形的中心。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示十字形的中心间的距离。(c)表示w13、w14以及w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0287]
根据模拟结果，在35.8ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0288]
[环形的变形例]
[0289]
图35a为示出在实施例2c中金属板为环形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状。w5表示外侧的正方形的一边的长度，w6表示内侧的正方形的一边的长度。外侧和内侧的正方形的中心一致，作为环形的中心。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示环形的中心间的距离。(c)表示w5、w6以及w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0290]
根据模拟结果，在42.8ghz附近观察到吸收量的峰值，但是未获得10db的衰减量。
[0291]
因此，使用2层具有同样的形状和排列的电磁波衰减膜重叠而成的膜模拟了电磁波衰减特性。图35b为示出在实施例2c中金属板为环形的重叠了2层电磁波衰减膜的变形例的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示本变形例涉及的电磁波衰减膜的构成。重叠2层图35a中使用的介电基材和金属板，并在下层的介电基材上设置平板电感器。h1表示上层的介电
基材的厚度，h2表示下层的介电基材的厚度。(b)表示h1和h2的尺寸。(c)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0292]
根据模拟结果，在44.4ghz附近表现出良好的衰减特性。
[0293]
(实施例2d)
[0294]
作为介电体基材，准备了厚度为50μm、一边为14cm的正方形pet膜。使用真空蒸镀法在介电体基材的一个面整体上形成厚度100nm的铝薄膜导电层。然后，使用掩模，以在x坐标、y坐标上均隔开一定间隔而形成金属板的方式对薄膜导电层进行蚀刻。在另一个面上使用粘接层粘贴铝平板电感器。另外，以该构成进行了模拟。
[0295]
以上为第二实施方式涉及的实施例2d的制造步骤。实施例2d的参数如下所述。
[0296]
以相同的0.1mm间隔且相同的方向，将金属板的宽度w1：1.519mm～2.764mm的范围按每0.083mm进行16等分而得的长度和宽度的16种金属板配置为4
×
4的矩阵状，作为金属板组。该金属板组以0.1mm的间隔且相同的方向配置多个。另外，将各金属板组设为全部相同。即，构成各金属板组的金属板在各金属板组间没有差异。
[0297]
相邻的金属板间的距离w3：0.1mm
[0298]
金属板的厚度t1：149nm
[0299]
平板电感器的厚度t2：约2mm
[0300]
介电体基材的厚度h1：50μm
[0301]
另外，为了研究实验结果的衰减机理的妥当性，使用该构成进行了模拟。
[0302]
不包含平板电感器的各实施例涉及的电磁波衰减膜均为厚度60μm左右、重量0.02g左右，薄且轻。因此，在移动电话、车载雷达等的框体内，也容易地粘贴在想要抑制电磁波引起的放射噪声的影响的部件等上。
[0303]
在模拟中，实施例2a～d均对毫米波段的电磁波表现出良好的衰减。图36示出实施例2d的模拟结果。
[0304]
(在第二实施方式涉及的实施例2a中设置了顶涂层的变形例)
[0305]
在上述第二实施方式涉及的实施例2a中，在使用铝且将金属板的厚度t1设为153nm的金属板上设置通过以下步骤制造的顶涂层200，从而制作了电磁波衰减膜。
[0306]
以由80质量份的甲基丙烯酸甲酯单体和20质量份的甲基丙烯酸环己酯的混合物构成的丙烯酸系树脂组合物为主要成分，将该丙烯酸系树脂组合物的固体成分设为100质量份，向其中添加6质量份的羟基苯基三嗪系紫外线吸收剂((株)adeka制“adk stab la-46”)、6质量份的其他组成的羟基苯基三嗪系紫外线吸收剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 479”)、3质量份的苯并三唑系紫外线吸收剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 329”)、5质量份的受阻胺系自由基补充剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 292”)，进一步将添加固体成分调节用的乙酸乙酯溶剂而得的固体成分量为33质量份的主剂溶液、添加固体成分调节用的乙酸乙酯溶剂而得的固体成分量为75质量份的六亚甲基二异氰酸酯型固化剂溶液混合，使得主剂溶液与固化剂溶液的比率成为10：1(此时的主剂溶液中的羟基数与固化剂溶液中的异氰酸酯基数的比率为1：2)，进一步以溶剂挥发后的厚度成为6μm的方式涂布通过添加作为溶剂成分的乙酸乙酯而将固体成分量调节为20质量份的涂布液，从而得到了顶涂层200。顶涂层膜厚为6μm。
[0307]
(比较例1)
[0308]
不设置顶涂层，根据实施例2a制作了电磁波衰减膜。
[0309]
另外，将上述变形例和比较例1中获得的电磁波衰减膜经由粘着剂而压接在不锈钢板上，利用阳光气象仪进行相当于室外暴露10年的暴露，然后用棉布擦拭电磁波衰减膜的表面，对顶涂层、电磁波衰减层的残留状态、单稳态rcs衰减特性变化进行了研究。
[0310]
结果，如图37所示，可以确认：在变形例的构成中，顶涂层、电磁波衰减层均没有劣化，通过形成顶涂层，阻抗匹配，单稳态rcs衰减特性提高。
[0311]
[57ghz～90ghz]
[0312]
(实施例3a)
[0313]
对于式4中所述的一般理论，可以在毫米波段中的特定频率带中找出优选的表示电磁波衰减的金属板的厚度t与表皮深度d的关系式in(t/d)的范围，以下对此进行说明。
[0314]
对在57ghz～90ghz的频带中实施的模拟进行说明。将厚度(h1)50μm的pet膜作为介电体基材，在其一个面上以在x坐标、y坐标上均隔开一定的间隔的方式设定作为薄膜导电层的金属板。进一步，在介电体基材的另一个面上设定厚度(t2)约2mm的铝平板电感器，进行了模拟。
[0315]
对于频率57ghz、66ghz、71ghz、81ghz、86ghz、90ghz，按照各金属类对电磁波衰减与in(t1/d)的关系进行了模拟。
[0316]
通过表7、表8以及图38至图43来说明模拟的结果。图38为示出实施例3a的57ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图39为示出实施例3a的66ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图40为示出实施例3a的71ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图41为示出实施例3a的81ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图42为示出实施例3a的86ghz的电磁波衰减特性的曲线图。图43为示出实施例3a的90ghz的电磁波衰减特性的曲线图。在图38～43中，(a)表示导纳和表皮深度的值，(b)表示电磁波衰减膜的构成，(c)～(e)分别表示银、铜、铝的衰减特性的曲线图。所述曲线图是这样的曲线图：以表皮深度d将金属板的厚度t1归一化后的值的自然对数为横轴、以将与介电体基材相同面积的金属板的反射量设为100(参照)时的图案化金属板中的衰减量为纵轴，将两者的关系表示在图中。
[0317]
[表7]
[0318][0319]
[0320]
[表8]
[0321][0322]
当将电磁波衰减膜的吸收量为10db以上作为表现出良好的衰减量的标准时，从表7及图38至图43明显地显示出，在频率57ghz～90ghz的频带中，满足-2.5≤ln(t1/d)≤-1.0的电磁波衰减膜获得了良好的衰减量。
[0323]
需要说明的是，10db左右的良好的衰减特性不限于实施例3a中使用的参数的数值，当然可以期待的是，可以在具有一定程度的宽度的构成中实现。例如，对于作为金属板的宽度w1为0.9mm～1.4mm、作为相邻的金属板间的距离w3为0.5mm～0.7mm、作为介电体基材的厚度h1为5μm～300μm、作为平板电感器的厚度t2为0.5μm～5mm的构成，也可以期待10db左右的良好的衰减特性。
[0324]
(实施例3b)
[0325]
与实施例3a同样地，将厚度(h1)50μm的pet膜作为介电体基材，在其一个面上改变作为薄膜导电层的金属板的总面积占介电体基材的xy平面的总面积的比例而进行了设定。进一步，在介电体基材的另一个面上设定厚度(t2)约2mm的铝平板电感器，进行了模拟。金属板使用铝作为金属类，将宽度w1设定为1.0mm、厚度t1设定为80nm，通过调节金属板间的距离w3来改变金属面积的比例。
[0326]
通过表9和图44来说明模拟的结果。图44为示出与实施例3b的81ghz的金属面积的比例相对应的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示电磁波衰减膜的构成，(b)表示衰减特性。
[0327]
[表9]
[0328][0329]
当将电磁波衰减膜的吸收量为10db以上作为表现出良好的衰减量的标准时，从表9和图44示出了在实施例3b中，金属面积的比例在10～40％附近获得了良好的衰减量。
[0330]
(实施例3c)
[0331]
与实施例3a同样地，将厚度(h1)50μm的pet膜作为介电体基材，在其一个面上以与图6同样的图案排列配置作为薄膜导电层的金属板，并将其形状变更为除了正方形以外的形状，进一步在介电体基材的另一个面上设定厚度(t2)约2mm的铝平板电感器，进行了电磁波的衰减特性的模拟。金属板使用铝作为金属类，将厚度t1设定为80nm。
[0332]
[长方形]
[0333]
图45为示出在实施例3c中金属板为长方形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状，w7表示长方形的长边的长度，w8表示短边的长度。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示长方形的中心间的距离。(c)表示w7、w8以及w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0334]
根据模拟结果，在82.8ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0335]
[六边形]
[0336]
图46为示出在实施例3c中金属板为六边形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示
金属板的形状，w9表示六边形的一边的长度。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示六边形的中心间的距离。(c)表示w9和w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0337]
根据模拟结果，在71.2ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0338]
[凸形]
[0339]
图47为示出在实施例3c中金属板为凸形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状。w10表示凸形的内突起的上部的上边的长度，w11表示凸形的下部的下边的长度，w15表示所述上部的侧边的长度，w16表示所述下部的侧边的长度。凸形相对于连接所述上部的上边和所述下部的下边的中点的直线是左右对称的。另外，将所述下部的下边和所述下部的左右的侧边与所述上部的上边接触，将包围凸形的长方形的中心作为本凸形的中心。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示凸形的中心间的距离。(c)表示w10、w11、w15、w16以及w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0340]
根据模拟结果，在87ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0341]
[三角形]
[0342]
图48为示出在实施例3c中金属板为三角形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状，w12表示正三角形的一边的长度。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示三角形的中心间的距离。(c)表示w12和w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0343]
根据模拟结果，在80.8ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0344]
[十字形]
[0345]
图49为示出在实施例3c中金属板为十字形的电磁波衰减特性的曲线图。(a)表示金属板的形状。十字形呈上下左右对称，并且相对于90度的旋转也是对称的。w13表示十字的外侧的上下和左右彼此相对的边的长度，w14表示与所述外侧的上下和左右彼此相对的边接触而包围十字形的正方形的一边的长度。另外，将该正方形的中心作为本十字形的中心。(b)表示在本实施例中穿过图6的ii-ii线的排列图案附近的局部放大图，w4表示十字形的中心间的距离。(c)表示w13、w14以及w4的尺寸。(d)表示以频率为横轴的衰减特性。
[0346]
根据模拟结果，在90ghz附近表现出吸收量为10db以上的良好的衰减特性。
[0347]
(实施例3d)
[0348]
作为介电体基材，准备了厚度为50μm、一边为14cm的正方形pet膜。使用真空蒸镀法在介电体基材的一个面整体上形成厚度100nm的铝薄膜导电层。然后，使用掩模，以在x坐标、y坐标上均隔开一定间隔而形成金属板的方式对薄膜导电层进行蚀刻。在另一个面上使用粘接层粘贴铝平板电感器。另外，以该构成进行了模拟。
[0349]
以上为第二实施方式涉及的实施例3d的制造步骤。实施例3d的参数如下所述。
[0350]
以相同的0.1mm间隔且相同的方向，将金属板的宽度w1：1.025mm～0.9mm的范围按每0.083mm进行16等分而得的长度和宽度的16种金属板配置为4
×
4的矩阵状，作为金属板组。该金属板组以0.1mm的间隔且相同的方向配置多个。另外，将各金属板组设为全部相同。即，构成各金属板组的金属板在各金属板组间没有差异。
[0351]
相邻的金属板间的距离w3：0.1mm
[0352]
金属板的厚度t1：80nm
[0353]
平板电感器的厚度t2：约2mm
[0354]
介电体基材的厚度h1：50μm
[0355]
另外，为了研究实验结果的衰减机理的妥当性，使用该构成进行了模拟。
[0356]
不包含平板电感器的各实施例涉及的电磁波衰减膜均为厚度60μm左右、重量0.02g左右，薄且轻。因此，在移动电话、车载雷达等的框体内，也容易地粘贴在想要抑制电磁波引起的放射噪声的影响的部件等上。
[0357]
在模拟中，实施例3a～d均对毫米波段的电磁波表现出良好的衰减。另外，在实测中获得衰减率，确认了本构成的有效性。虽然与据认为是基于模拟中的各种参数和麦克斯韦方程式的衰减以外的影响的实验结果存在差异，但是观察到了同样的衰减倾向，因此认为本发明的实施方式中的机理是妥当的。另外，虽然在模拟和实测中存在衰减率的差异，但是获得了同样的倾向，表示可以适当设定衰减中心频率。
[0358]
图50和图51分别示出实施例3a、3d各自的模拟结果和实测结果中的单稳态rcs衰减特性。在实施例3a中，使用了金属板的宽度w1为1.0mm、相邻的金属板间的距离w3为0.5mm、金属板的厚度t1为100nm的铝。需要说明的是，实测的步骤如下所述。
[0359]
准备2张相同尺寸的金属板，在一张金属板上以覆盖整体的方式粘贴各实施例的电磁波衰减膜。在电波暗室内，分别对粘贴有电磁波衰减膜的金属板和未粘贴的金属板照射电波，使用网络分析仪(keysight公司制model e5071c)测量反射的电波的量。将未粘贴电磁波衰减膜的金属板的反射量设为100(参照)，对单稳态rcs衰减量进行了评价。
[0360]
(在第二实施方式涉及的实施例3a中设置了顶涂层的变形例)
[0361]
在所述第二实施方式涉及的实施例3a中，在使用铝且金属板的厚度t1为80nm的金属板上设置通过以下步骤制造的顶涂层200，从而制作了电磁波衰减膜。
[0362]
以由80质量份的甲基丙烯酸甲酯单体和20质量份的甲基丙烯酸环己酯的混合物构成的丙烯酸系树脂组合物为主要成分，将该丙烯酸系树脂组合物的固体成分设为100质量份，向其中添加6质量份的羟基苯基三嗪系紫外线吸收剂((株)adeka制“adk stab la-46”)、6质量份的其他组成的羟基苯基三嗪系紫外线吸收剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 479”)、3质量份的苯并三唑系紫外线吸收剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 329”)、5质量份的受阻胺系自由基补充剂(ciba specialty chemicals corp.制“tinuvin 292”)，进一步将添加固体成分调节用的乙酸乙酯溶剂而得的固体成分量为33质量份的主剂溶液、添加固体成分调节用的乙酸乙酯溶剂而得的固体成分量为75质量份的六亚甲基二异氰酸酯型固化剂溶液混合，使得主剂溶液与固化剂溶液的比率成为10：1(此时的主剂溶液中的羟基数与固化剂溶液中的异氰酸酯基数的比率为1：2)，进一步以溶剂挥发后的厚度成为6μm的方式涂布添加作为溶剂成分的乙酸乙酯而将固体成分量调节为20质量份的涂布液，从而得到了顶涂层200。顶涂层膜厚为6μm。
[0363]
(比较例1)
[0364]
不设置顶涂层，根据实施例3a制作了电磁波衰减膜。
[0365]
另外，将上述变形例和比较例1中获得的电磁波衰减膜经由粘着剂而压接在不锈钢板上，利用阳光气象仪进行相当于室外暴露10年的暴露，然后用棉布擦拭电磁波衰减膜的表面，对顶涂层、电磁波衰减层的残留状态、单稳态rcs衰减特性变化进行了研究。
[0366]
结果，如图52所示，可以确认：在变形例的构成中，顶涂层、电磁波衰减层均没有劣化，通过形成顶涂层，阻抗匹配，单稳态rcs衰减特性提高。
[0367]
以上，参照附图对本发明的各实施方式进行了详细的说明，但是具体的构成不限于该实施方式，也包括在不脱离本发明的要旨的范围内的构成的变更、组合等。以下示例了一些变更，但是这些不是全部的，也可以是除此以外的变更。这些变更也可以2个以上适当组合。
[0368]
在第一实施方式中，可以适当使用频带和金属板的金属类等第二实施方式中采用的方式。
[0369]
在第一实施方式中，可以省略第二区域的金属层，仅形成金属板。
[0370]
在本发明中，平板电感器的方式不限于形成于整个背面。例如，可以与前面同样地配置多个金属板，也可以形成为格子状。
[0371]
在本发明中，金属板的形状不限于正方形，可以设定为除了圆形(包括椭圆)、正方形以外的多边形、角部经圆角加工后的各种多边形、不定形等各种形状。
[0372]
金属板的总面积占前面的投影面积优选为20％以上。
[0373]
通过这种方式，可以有效地衰减电磁波。
[0374]
本发明涉及的电磁波衰减膜可以层叠多张而使用。通过使层叠的多张的结构参数不同，可以更详细地调节衰减性。
[0375]
在第一实施方式中，第一区域和第二区域的高低可以反转。在这种情况下，金属板处于相对较高的位置，支撑笼处于相对较低的位置。
[0376]
在本发明涉及的电磁波衰减膜中，可以为在背面不具备平板电感器的构成。例如，如果接合背面的对象是金属，则即使不具备平板电感器，也能够通过接合对象的金属面而毫无问题地发挥第二和第三机理。在这种情况下，只要在背面具备可与对象物接合的粘着层等贴合层即可。
[0377]
在本发明涉及的电磁波衰减膜中，结构周期、金属板的尺寸等参数不必在所有的部位都完全一致。例如，即使在制造过程中的公差范围(大致上下5％左右)内上述参数发生变化的情况下，在本发明中也包含在“相同形状相同大小”中。另外，“预定范围的值”可以为具有规则性的值的范围。该规则性可以是高斯分布、二项分布、一定区划内的成为等频率的随机分布或疑似随机分布、制造过程中的公差范围。
[0378]
支撑笼可以由隔开间隙而配置的多个导电性区段构成。此时的间隙可以设为想要捕获的电磁波的波长的1/10以下。可以由多个导电性区段构成支撑笼。换言之，支撑笼可以由多个导电性区段构成。
[0379]
在本发明涉及的电磁波衰减膜中，可以在支持基材上设置剥离层，然后设置第一实施方式和第2实施方式的电磁波衰减膜，进一步设置粘接剂/粘着剂等以作为转印箔。
[0380]
具体而言，在支持基材上涂布剥离层并使其干燥，然后设置基底层。在设为第一实施方式的构成的情况下，对基底层赋予凹凸，利用蒸镀设置薄膜导电层。然后，除去形成于第二区域侧面的薄膜导电层，设置成为介电体基材的层。通过在介电体基材上依次层叠平板电感器、粘接剂，可以形成转印箔。在作为第二实施方式的构成的情况下，在基底层上设置薄膜导电层，按照图案将掩模层印刷为金属板的形状。然后，通过蚀刻除去多余的薄膜导电层，从而可以形成金属板。进一步，通过依次层叠介电体基材、平板电感器、粘接剂，可以
形成转印箔。在转印至金属框体等的情况下，也可以省略平板电感器的层。
[0381]
通过形成为转印箔，能够进一步薄膜化，能够进一步提高追随性，即使复杂的形状也能够转印，从而能够扩大本发明的电磁波衰减膜的应用范围。
[0382]
根据上述的实施方式和变更，能够导出以下所记载的附记。
[0383]
[附记1]
[0384]
一种电磁波衰减膜，具备：
[0385]
具有前面和背面的介电体基材、
[0386]
配置在所述前面的薄膜导电层、以及
[0387]
配置在所述背面的平板电感器或贴合层，
[0388]
所述薄膜导电层包含多个金属板，
[0389]
所述金属板的厚度t为1000nm以下。
[0390]
[附记2]
[0391]
一种电磁波衰减膜，具备：
[0392]
具有前面和背面的介电体基材、
[0393]
配置在所述前面的薄膜导电层、以及
[0394]
配置在所述背面的平板电感器或贴合层，
[0395]
所述薄膜导电层包含多个金属板，
[0396]
当将所述金属板的厚度设为t、将表皮深度设为d时，满足下式(2)，
[0397]-2≤ln(t/d)≤0
…
(2)。
[0398]
[附记3]
[0399]
一种电磁波衰减膜，具备：
[0400]
具有前面和背面的介电体基材、
[0401]
配置在所述前面的薄膜导电层、以及
[0402]
配置在所述背面的平板电感器或贴合层，
[0403]
所述薄膜导电层包含多个金属板，
[0404]
所述介电体层在所述前面具有由相对较低的凹陷部分的第一区域和相对较高的第二区域构成的凹凸，
[0405]
所述第一区域离散配置，
[0406]
所述第二区域配置在多个所述第一区域间，
[0407]
所述金属板配置在所述第一区域中，
[0408]
当将所述金属板的厚度设为t、将表皮深度设为d时，满足下式(2)
[0409]-2≤ln(t/d)≤0
…
(2)。
[0410]
[附记4]
[0411]
一种电磁波衰减膜，具备：
[0412]
具有前面和背面的介电体基材、
[0413]
配置在所述前面的薄膜导电层、以及
[0414]
配置在所述背面的平板电感器或贴合层，
[0415]
所述介电体层在所述前面具有由相对较低的凹陷部分的第一区域和相对较高的第二区域构成的凹凸，
[0416]
所述薄膜导电层包含配置在所述第一区域中的多个金属板、和配置在所述第一区域中的支撑笼，
[0417]
所述第一区域离散配置，
[0418]
所述第二区域配置在多个所述第一区域间。
[0419]
在上述实施例中，对电磁波的衰减进行了研究，但是已知的是衰减特定电磁波的导体成为接收电波的天线。因此，上述的实施方式也可以用作接收天线。另外，在上述的实施方式中，捕获在二维系统中动量为零的量子，因此认为也可以用作在金属板的量子状态下进行数据的运算和记录的元件。
[0420]
如上所述，在本发明的实施方式中，与电磁波的相互作用机理与现有技术不同，因此应该认为表现同等机理的产品实质上使用了本发明的实施方式。
[0421]
符号的说明
[0422]
1、61 电磁波衰减膜
[0423]
10、62 介电体基材
[0424]
10a、62a前面
[0425]
10b、62b背面
[0426]
30 薄膜导电层
[0427]
30a 金属板
[0428]
50 平板电感器
[0429]
200 顶涂层
[0430]
121 第一区域
[0431]
122 第二区域

技术特征：
1.一种电磁波衰减膜，其在毫米波的特定频带中使用，具备：具有前面和背面的介电体基材、配置在所述前面的薄膜导电层、以及配置在所述背面的平板电感器，所述薄膜导电层包含离散配置的多个金属板。2.根据权利要求1所述的电磁波衰减膜，其在频率为27ghz～34ghz频带中使用，其中，当将所述金属板的厚度设为t、将表皮深度设为d时，满足下式(1)-1.0≤ln(t/d)≤0.0
…
(1)。3.根据权利要求1所述的电磁波衰减膜，其在频率为35ghz～50ghz频带中使用，其中，当将所述金属板的厚度设为t、将表皮深度设为d时，满足下式(2)-2.0≤ln(t/d)≤-0.5
…
(2)。4.根据权利要求1所述的电磁波衰减膜，其在频率为57ghz～90ghz频带中使用，其中，当将所述金属板的厚度设为t、将表皮深度设为d时，满足下式(3)-2.5≤ln(t/d)≤-1.0
…
(3)。5.根据权利要求1所述的电磁波衰减膜，其在频率为27ghz～34ghz频带中使用，其中，所述介电体基材在所述前面具有由相对较低的凹陷部分的第一区域和相对较高的第二区域构成的凹凸，所述薄膜导电层包含配置在所述第一区域中的多个金属板，所述第一区域离散配置，所述第二区域配置在多个所述第一区域间。6.根据权利要求1所述的电磁波衰减膜，其在频率为35ghz～50ghz频带中使用，其中，所述介电体基材在所述前面具有由相对较低的凹陷部分的第一区域和相对较高的第二区域构成的凹凸，所述薄膜导电层包含配置在所述第一区域中的多个金属板，所述第一区域离散配置，所述第二区域配置在多个所述第一区域间。7.根据权利要求1所述的电磁波衰减膜，其在频率为57ghz～90ghz频带中使用，其中，所述介电体基材在所述前面具有由相对较低的凹陷部分的第一区域和相对较高的第二区域构成的凹凸，所述薄膜导电层包含配置在所述第一区域中的多个金属板，所述第一区域离散配置，所述第二区域配置在多个所述第一区域间。8.根据权利要求1至7中任一项所述的电磁波衰减膜，其中，所述薄膜导电层和所述平板电感器在所述介电体基材的厚度方向上分离。9.根据权利要求1至8中任一项所述的电磁波衰减膜，其具备贴合层以代替所述平板电感器。10.根据权利要求1至9中任一项所述的电磁波衰减膜，其中，所述金属板具有相对的一对边。11.根据权利要求10所述的电磁波衰减膜，其中，
所述金属板的相对的一对边的长度为0.25mm以上4mm以下。12.根据权利要求1至11中任一项所述的电磁波衰减膜，其特征在于，在所述薄膜导电层上具备顶涂层。13.根据权利要求12所述的电磁波衰减膜，其特征在于，所述顶涂层与传播电磁波的空气层被构成为阻抗匹配。14.根据权利要求1至13中任一项所述的电磁波衰减膜，其中，所述金属板由银、铜、铝中的任一者构成。15.根据权利要求1至14中任一项所述的电磁波衰减膜，其中，相同形状相同大小的多个所述金属板隔着预定范围的值的距离而配置。

技术总结
提供能够使毫米波段的频率的电波衰减的、且薄的电磁波衰减膜。本发明的电磁波衰减膜的特征在于，具备：具有前面和背面的介电体基材、配置在前面的薄膜导电层、以及配置在背面的平板电感器或贴合层，薄膜导电层包含多个金属板，以表皮深度d将金属板的厚度T归一化后的值的自然对数值在特定的频带中落入预定的数值范围内。另外，本发明涉及的电磁波衰减膜可以在特定的频带中使用，具有以下构成：介电体基材在前面具有由相对较低的凹陷部分的第一区域和相对较高的第二区域构成的凹凸，薄膜导电层包含配置在第一区域的多个金属板，第一区域离散配置，第二区域配置在多个所述第一区域之间。也可以在薄膜导电层上设置顶涂层。也可以在薄膜导电层上设置顶涂层。也可以在薄膜导电层上设置顶涂层。


技术研发人员：青木敦子 近藤慎平
受保护的技术使用者：凸版印刷株式会社
技术研发日：2021.11.09
技术公布日：2023/7/22