镀膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及镀膜装置。


背景技术：

2.在真空镀膜中，镀膜厚度均匀性是重要指标之一。在磁控溅射镀膜中，真空腔内惰性气体分子受到电场加速电子的碰撞而电离，电离形成的正离子又可在电场作用下轰击溅射阴极，从而发生溅射现象，溅射出来的靶材粒子可沉积于靶材表面，从而形成薄膜沉积。在薄膜沉积过程中，由于工作气体、靶材基板距离和电磁场等的空间分布不同，往往会导致薄膜沉积速率在基片的不同位置产生差异，从而导致基片上的镀膜厚度不均匀。
3.为了解决基片上薄膜厚度不均匀的问题，现有技术中，通常在镀膜腔的内壁或在基片附近设置镀膜修正板，以实现对基片的镀膜厚度均匀性进行修正。不过，现有方法对曲面基片的镀膜厚度均匀性的修正效果尚不佳。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供镀膜装置，以解决现有技术中的镀膜装置对曲面基片的镀膜厚度不均匀修正效果较差的问题。
5.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
6.镀膜装置，用于对曲面基板进行镀膜，所述镀膜装置包括镀膜室，所述镀膜室包括与所述曲面基板的待镀膜面的延伸方向形成对应关系的镀膜源，以及膜厚修正机构，所述膜厚修正机构包括：
7.第一膜厚修正板和第二膜厚修正板，所述第一膜厚修正板设置于所述镀膜源的开口的周边区域，所述第二膜厚修正板设置于所述第一膜厚修正板和所述曲面基板之间；
8.沿所述曲面基板的待镀膜面的延伸方向，所述第一膜厚修正板被配置为能够修正所述曲面基板的第一区域，所述第二膜厚修正板被配置为能够修正所述曲面基板的第二区域，所述第二区域包括所述曲面基板的待镀膜面的波峰区域和/或波谷区域。
9.作为上述镀膜装置的一种优选方案，所述镀膜装置还包括挡板，所述第二膜厚修正板设置于所述挡板，所述挡板滑动设置于所述第一膜厚修正板和所述曲面基板之间。
10.作为上述镀膜装置的一种优选方案，所述镀膜室还包括转动设置于所述镀膜室的中心区域的毂架，所述曲面基板可拆卸的设置于所述毂架的外周，且所述曲面基板的待镀膜面朝向所述镀膜源。
11.作为上述镀膜装置的一种优选方案，所述镀膜源的数量为多个，多个所述镀膜源沿所述毂架的周向间隔分布，所述挡板的数量为多个，多个所述挡板沿所述毂架的周向间隔分布；
12.所述第二膜厚修正板的数量为两个，所述挡板为弧形挡板，两个所述第二膜厚修正板分别设置于所述挡板沿周向的两边。
13.作为上述镀膜装置的一种优选方案，沿所述曲面基板的待镀膜面的延伸方向，所
述第一膜厚修正板的跨度大于所述第二膜厚修正板的跨度。
14.作为上述镀膜装置的一种优选方案，所述第二膜厚修正板包括第二连接板和第二修正板，所述第二连接板可拆卸连接于所述镀膜室，所述第二修正板滑动设置于所述第二连接板。
15.作为上述镀膜装置的一种优选方案，所述第二膜厚修正板还包括第二调整垫板，所述第二调整垫板与所述第二连接板可拆卸连接，所述第二修正板滑动连接于所述第二调整垫板，且所述第二调整垫板位于所述第二连接板和所述第二修正板之间。
16.作为上述镀膜装置的一种优选方案，所述第二膜厚修正板为平面修正板；或，所述第二膜厚修正板为曲面修正板。
17.作为上述镀膜装置的一种优选方案，所述第一膜厚修正板为平面修正板；或，所述第一膜厚修正板为曲面修正板。
18.作为上述镀膜装置的一种优选方案，沿所述曲面基板的待镀膜面的延伸方向，所述镀膜室间隔设有两个轨道，所述挡板的两端分别滑动位于两个所述轨道。
19.作为上述镀膜装置的一种优选方案，沿所述曲面基板的待镀膜面的延伸方向，所述挡板的两端均设有滑动轮，两个所述轨道和两个所述滑动轮一一对应设置，所述滑动轮滑动位于所述轨道。
20.作为上述镀膜装置的一种优选方案，所述镀膜装置还包括驱动机构，所述驱动机构包括设置于所述镀膜室的壳体的驱动件，以及连杆组件，所述驱动件的输出轴与所述连杆组件的输入端固定连接，所述连杆组件的输出端与所述挡板固定连接。
21.作为上述镀膜装置的一种优选方案，所述连杆组件包括第一连杆、第二连杆和第三连杆，所述第一连杆与所述驱动件的输出轴固定连接，所述第三连杆与所述挡板固定连接，所述第二连杆的两端分别与所述第一连杆和所述第三连杆转动连接。
22.作为上述镀膜装置的一种优选方案，所述第一膜厚修正板包括第一连接板和第一修正板，所述第一连接板可拆卸连接于所述镀膜源的内壁，所述第一修正板滑动设置于所述第一连接板。
23.作为上述镀膜装置的一种优选方案，所述曲面基板为波浪形基板，所述第二膜厚修正板的数量为多个，多个所述第二膜厚修正板沿所述曲面基板的待镀膜面的延伸方向间隔分布，多个所述第二膜厚修正板与所述波浪形基板的各个所述第二区域一一对应设置。
24.本实用新型的有益效果：
25.本实用新型的目的在于提供了镀膜装置，该镀膜装置用于对曲面基板进行镀膜，当对曲面基板的待镀膜面镀膜时，将曲面基板的待镀膜面与镀膜源对应设置，使得镀膜源能够向曲面基板的待镀膜面镀膜。其中，镀膜源的开口的周边区域设置有第一膜厚修正板，第一膜厚修正板沿曲面基板的待镀膜面的延伸方向延伸，沿曲面基板的待镀膜面的延伸方向，第一膜厚修正板能够修正曲面基板的待镀膜面镀膜的膜厚，但由于曲面基板的待镀膜面存在波峰区域和/或波谷区域，可以理解的是，曲面基板的待镀膜面的波峰区域距离镀膜源较远，曲面基板的待镀膜面的波谷区域距离镀膜源较近，为了保证镀膜源向曲面基板的待镀膜面的各个位置镀膜的膜厚相同，在第一膜厚修正板和曲面基板之间设置第二膜厚修正板，第二膜厚修正板能够进一步修正曲面基板的待镀膜面的波峰区域和/或波谷区域，从而有效提升整个曲面基板的待镀膜面的膜厚均匀性。
附图说明
26.图1是本实用新型的具体实施例提供的镀膜装置的结构示意图；
27.图2是本实用新型的具体实施例提供的镀膜装置的部分结构示意图一；
28.图3是本实用新型的具体实施例提供的镀膜装置的第二膜厚修正板的结构示意图；
29.图4是图1在a处的局部视图；
30.图5是图1在b处的局部视图；
31.图6是本实用新型的具体实施例提供的镀膜装置的部分结构示意图二。
32.图中：
33.100、曲面基板；110、波峰区域；
34.1、镀膜室；11、镀膜源；12、第一膜厚修正板；121、第一连接板；122、第一修正板；13、第二膜厚修正板；131、第二连接板；132、第二修正板；133、第二调整垫板；14、毂架；151、第一轨道；152、第二轨道；
35.2、挡板；21、第一滑动轮；22、第二滑动轮；
36.3、驱动机构；31、驱动件；32、连杆组件；321、第一连杆；322、第二连杆；323、第三连杆。
具体实施方式
37.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
38.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
39.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
40.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
41.现有技术中的镀膜装置通常在镀膜腔的内壁设置镀膜修正板，或在基片的外侧设置镀膜修正板，能够实现对基片的镀膜厚度不均匀进行修正，但对曲面基片的镀膜厚度不均匀修正效果较差。
42.故本实用新型提供了镀膜装置，如图1-3所示，该镀膜装置，用于对曲面基板100进行镀膜，镀膜装置包括镀膜室1，镀膜室1包括与曲面基板100的待镀膜面的延伸方向形成对应关系的镀膜源11，以及膜厚修正机构，膜厚修正机构包括第一膜厚修正板12和第二膜厚修正板13，第一膜厚修正板12设置于镀膜源11的开口的周边区域，第二膜厚修正板13设置于第一膜厚修正板12和曲面基板100之间；沿曲面基板100的待镀膜面的延伸方向，第一膜厚修正板12被配置为能够修正曲面基板100的第一区域，第二膜厚修正板13被配置为能够修正曲面基板100的第二区域，第二区域包括曲面基板100的待镀膜面的波峰区域110和/或波谷区域。
43.如图1-3所示，当对曲面基板100的待镀膜面镀膜时，将曲面基板100的待镀膜面与镀膜源11对应设置，使得镀膜源11能够向曲面基板100的待镀膜面镀膜。其中，镀膜源11的开口的周边区域设置有第一膜厚修正板12，第一膜厚修正板12沿曲面基板100的待镀膜面的延伸方向延伸，沿曲面基板100的待镀膜面的延伸方向，第一膜厚修正板12能够修正曲面基板100的待镀膜面镀膜的膜厚，但由于曲面基板100的待镀膜面存在波峰区域110和/或波谷区域，可以理解的是，曲面基板100的待镀膜面的波峰区域110距离镀膜源11较远，曲面基板100的待镀膜面的波谷区域距离镀膜源11较近，为了保证镀膜源11向曲面基板100的待镀膜面的各个位置镀膜的膜厚相同，在第一膜厚修正板12和曲面基板100之间设置第二膜厚修正板13，第二膜厚修正板13能够进一步修正曲面基板100的待镀膜面的波峰区域110和/或波谷区域，从而有效提升整个曲面基板100的待镀膜面的膜厚均匀性。
44.其中，曲面基板100的待镀膜面的延伸方向为曲面基板100的高度方向或曲面基板100的长度方向。在本实施例中，示例性的以镀膜装置为立式镀膜装置为例，曲面基板100的待镀膜面的延伸方向即为曲面基板100的高度方向。可以理解的是，当镀膜装置为卧式镀膜装置时，曲面基板100的待镀膜面的延伸方向即为曲面基板100的长度方向。其中，图1、图3和图6中的ab方向均为曲面基板100的待镀膜面的延伸方向。
45.其中，沿镀膜源11到曲面基板100的待镀膜面的方向，曲面基板100的待镀膜面的波峰区域110相对于曲面基板100的待镀膜面的波谷区域远离镀膜源11。
46.其中，在本实施例中，如图1所示，仅示例性的以曲面基板100为弧形基板为例，弧形基板的第二区域包括一个波峰区域110。故沿曲面基板100的待镀膜面的延伸方向，第二膜厚修正板13分布于与波峰区域110对应的位置。若曲面基板100与图1中的凹凸趋势相反，则对应的，弧形基板100的第二区域包括一个波谷区域，第二膜厚修正板13分布于与波谷区域对应的位置。
47.其中，在其他实施例中，曲面基板100为波浪形基板，第二膜厚修正板13的数量为多个，多个第二膜厚修正板13沿曲面基板100的待镀膜面的延伸方向间隔分布，多个第二膜厚修正板13与波浪形基板的各个第二区域一一对应设置。可以理解的是，第二膜厚修正板13的设置位置和数量依据曲面基板100的具体结构可以适应性的调整。
48.优选地，在本实施例中，如图2所示，每个镀膜源11对应设置两个第一膜厚修正板12，两个第一膜厚修正板12对称分布于镀膜源11的开口处。如此设置，能够进一步提升第一膜厚修正板12对曲面基板100的待镀膜面的膜厚修正效果。
49.其中，如图1-3所示，镀膜装置还包括挡板2，第二膜厚修正板13设置于挡板2，挡板2滑动设置于第一膜厚修正板12和曲面基板100之间。挡板2滑动设置于第一膜厚修正板12
和曲面基板100之间，可以理解的是，可以通过挡板2遮挡未工作的镀膜源11，以防止其他工作的镀膜源11污染未工作的镀膜源11；其次，挡板2能够带动第二膜厚修正板13移动，以便于将第二膜厚修正板13移动至第一膜厚修正板12和曲面基板100之间，便于第一膜厚修正板12和第二膜厚修正板13配合修正曲面基板100的待镀膜面的镀膜厚度。
50.其中，如图1和图2所示，镀膜室1还包括转动设置于镀膜室1的中心区域的毂架14，曲面基板100可拆卸的设置于毂架14的外周，且曲面基板100的待镀膜面朝向镀膜源11。如此设置，毂架14可带动曲面基板100绕毂架14的中心轴线转动，以便于镀膜源11对曲面基板100的待镀膜面的各个位置镀膜。
51.具体地，如图1和图2所示，镀膜源11的数量为多个，多个镀膜源11沿毂架14的周向间隔分布，挡板2的数量为多个，多个挡板2沿毂架14的周向间隔分布；第二膜厚修正板13的数量为两个，挡板2为弧形挡板，两个第二膜厚修正板13分别设置于挡板2沿周向的两边。具体地，挡板2的数量为多个，当某一镀膜源11工作时，通过移动挡板2，使得挡板2将与工作的镀膜源11相邻的两个未工作的镀膜源11遮挡，以防止工作的镀膜源11污染与其相邻的两个未工作的镀膜源11，从而降低对镀膜装置的维护频率；其次，两个第二膜厚修正板13分别设置于挡板2沿周向的两边，当两个挡板2将与工作的镀膜源11相邻的两个未工作的镀膜源11遮挡，两个挡板2上的第二膜厚修正板13与工作的镀膜源11的两个第一膜厚修正板12一一对应设置，第一膜厚修正板12和第二膜厚修正板13配合修正曲面基板100的待镀膜面的镀膜厚度。可以理解的是，每个挡板2沿周向的两边均设置有第二膜厚修正板13。
52.其中，如图1所示，沿曲面基板100的待镀膜面的延伸方向，第一膜厚修正板12的跨度大于第二膜厚修正板13的跨度。以保证沿曲面基板100的待镀膜面的延伸方向，第一膜厚修正板12能够对曲面基板100的待镀膜面整体进行膜厚修正，第二膜厚修正板13能够对曲面基板100的待镀膜面的波峰区域110和/或波谷区域进行修正。可以理解的是，沿曲面基板100的待镀膜面的延伸方向，第一膜厚修正板12可以是连续的，也可以是不连续的；沿曲面基板100的待镀膜面的延伸方向，第二膜厚修正板13可以是连续的，也可以是不连续的。
53.具体地，如图1和图2所示，第二膜厚修正板13包括第二连接板131和第二修正板132，第二连接板131可拆卸连接于镀膜室1，第二修正板132滑动设置于第二连接板131。可以理解的是，第二连接板131可以可拆卸连接于镀膜室1，也可以可拆卸连接于挡板2。具体地，在本实施例中，第二连接板131可拆卸连接于挡板2。沿挡板2的周向，第二修正板132和挡板2间隔分布。设置第二修正板132和挡板2间隔分布，以保证第一膜厚修正板12和第二膜厚修正板13能够有效配合修正曲面基板100的待镀膜面的镀膜厚度；第二修正板132滑动设置于第二连接板131，便于沿挡板2的周向调节第二修正板132的设置位置。具体地，在本实施例中，当曲面基板100的波峰区域110越陡，与镀膜源11对应的两个第二修正板132之间的间距越小；当曲面基板100的波峰区域110越缓，与镀膜源11对应的两个第二修正板132之间的间距越大。如此设置，以保证曲面基板100的待镀膜面的各个位置的镀膜厚度一致。
54.具体地，如图1和图2所示，第二膜厚修正板13还包括第二调整垫板133，第二调整垫板133与第二连接板131可拆卸连接，第二修正板132滑动连接于第二调整垫板133，且第二调整垫板133位于第二连接板131和第二修正板132之间。通过设置第二调整垫板133，能够依据需求调节第二修正板132与曲面基板100的待镀膜面之间的间距，也能够依据需求沿挡板2的周向调节第二修正板132的设置位置，从而进一步提升曲面基板100的待镀膜面的
各个位置的镀膜厚度一致的效果。
55.进一步具体地，在本实施例中，第二调整垫板133沿挡板2的周向间隔设有多个第一通孔，第二修正板132设有第二通孔，第二螺栓依次穿过其一第一通孔和第二通孔，并与第二螺母螺纹连接。具体地，当需要沿挡板2的周向调节第二修正板132的设置位置时，先拆离第二螺栓和第二螺母，然后沿挡板2的周向滑动第二修正板132至适当位置，然后再通过第二螺栓依次穿过其一第一通孔和第二通孔，并与第二螺母螺纹连接，以锁定第二调整垫板133和第二修正板132的相对位置。
56.进一步具体地，第二膜厚修正板13为平面修正板；或，第二膜厚修正板13为曲面修正板。具体地，第二修正板132为平面修正板；或，第二修正板132为曲面修正板。可以理解的是，可以依据曲面基板100的具体形状适应性的调整第二修正板132的形状，从而进一步提升通过第二修正板132修正曲面基板100的待镀膜面的各个位置的镀膜厚度一致的效果。具体地，在本实施例中，如图1-3所示，示例性的以第二修正板132为平面修正板为例。
57.具体地，如图1所示，第一膜厚修正板12包括第一连接板121和第一修正板122，第一连接板121可拆卸连接于镀膜源11的内壁，第一修正板122滑动设置于第一连接板121。设置第一连接板121可拆卸连接于镀膜源11的内壁，可以理解的是，第一连接板121位于镀膜源11的开口处，第一修正板122滑动设置于第一连接板121，便于沿挡板2的周向调节第一修正板122的设置位置。
58.具体地，在本实施例中，当曲面基板100的波峰区域110越陡，镀膜源11的开口处的两个第一修正板122之间的间距越小；当曲面基板100的波峰区域110越缓，镀膜源11的开口处的两个第一修正板122之间的间距越大。如此设置，以进一步保证曲面基板100的待镀膜面的各个位置的镀膜厚度一致。
59.具体地，第一膜厚修正板12还包括第一调整垫板，第一调整垫板与第一连接板121可拆卸连接，第一修正板122滑动连接于第一调整垫板，且第一调整垫板位于第一连接板121和第一修正板122之间。通过设置第一调整垫板，能够依据需求调节第一修正板122与曲面基板100的待镀膜面之间的间距，也能够依据需求沿挡板2的周向调节第一修正板122的设置位置，从而进一步提升曲面基板100的待镀膜面的各个位置的镀膜厚度一致的效果。
60.进一步具体地，在本实施例中，第一调整垫板沿挡板2的周向间隔设有多个第三通孔，第一修正板122设有第四通孔，第一螺栓依次穿过其一第三通孔和第四通孔，并与第一螺母螺纹连接。具体地，当需要沿挡板2的周向调节第一修正板122的设置位置时，先拆离第一螺栓和第一螺母，然后沿挡板2的周向滑动第一修正板122至适当位置，然后再通过第一螺栓依次穿过其一第三通孔和第四通孔，并与第一螺母螺纹连接，以锁定第一调整垫板和第一修正板122的相对位置。
61.进一步具体地，第一膜厚修正板12为平面修正板；或，第一膜厚修正板12为曲面修正板。具体地，第一修正板122为平面修正板；或，第一修正板122为曲面修正板。可以理解的是，可以依据曲面基板100的具体形状适应性的调整第一修正板122的形状，从而进一步提升通过第一修正板122修正曲面基板100的待镀膜面的各个位置的镀膜厚度一致的效果。具体地，在本实施例中，如图1所示，示例性的以第一修正板122为平面修正板为例。
62.其中，沿曲面基板100的待镀膜面的延伸方向，镀膜室1间隔设有两个轨道，挡板2的两端分别滑动位于两个轨道。可以理解的是，两个轨道均呈弧形，与挡板2的结构相适配。
如此设置，以实现挡板2绕毂架14的周向滑动，能够通过挡板2遮挡未工作的镀膜源11，也能够通过挡板2将第二膜厚修正板13移动至第一膜厚修正板12和曲面基板100之间，便于第一膜厚修正板12和第二膜厚修正板13配合修正曲面基板100的待镀膜面的镀膜厚度。
63.具体地，沿曲面基板100的待镀膜面的延伸方向，挡板2的两端均设有滑动轮，两个轨道和两个滑动轮一一对应设置，滑动轮滑动位于轨道。如此设置，能够提升挡板2绕毂架14的周向滑动的效果。具体地，在本实施例中，如图1、图4和图5所示，轨道包括第一轨道151和第二轨道152，两个滑动轮包括第一滑动轮21和第二滑动轮22，第一轨道151为截面呈t形的轨道，第一滑动轮21包括呈t形分布的三个第一滚轮，三个第一滚轮滑动位于第一轨道151；第二轨道152为截面呈矩形的轨道，第二滑动轮22包括多个沿挡板2的周向间隔分布的第二滚轮，第二滚轮滑动位于第二轨道152。进一步具体地，第一滑动轮21的数量为多个，多个第一滑动轮21沿挡板2的周向间隔分布。如此设置，能够进一步提升挡板2的滑动稳定性。
64.具体地，如图1和图6所示，镀膜装置还包括驱动机构3，驱动机构3包括设置于镀膜室1的壳体的驱动件31，以及连杆组件32，驱动件31的输出轴与连杆组件32的输入端固定连接，连杆组件32的输出端与挡板2固定连接。驱动件31带动连杆组件32运动，从而带动连接于连杆组件32的输出端的挡板2沿轨道滑动。
65.进一步具体地，如图1和图6所示，连杆组件32包括第一连杆321、第二连杆322和第三连杆323，第一连杆321与驱动件31的输出轴固定连接，第三连杆323与挡板2固定连接，第二连杆322的两端分别与第一连杆321和第三连杆323转动连接。如此设置，以实现通过驱动件31带动挡板2沿轨道滑动。具体地，在本实施例中，驱动件31为电机。
66.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

技术特征：
1.镀膜装置，用于对曲面基板(100)进行镀膜，其特征在于，所述镀膜装置包括镀膜室(1)，所述镀膜室(1)包括与所述曲面基板(100)的待镀膜面的延伸方向形成对应关系的镀膜源(11)，以及膜厚修正机构，所述膜厚修正机构包括：第一膜厚修正板(12)和第二膜厚修正板(13)，所述第一膜厚修正板(12)设置于所述镀膜源(11)的开口的周边区域，所述第二膜厚修正板(13)设置于所述第一膜厚修正板(12)和所述曲面基板(100)之间；沿所述曲面基板(100)的待镀膜面的延伸方向，所述第一膜厚修正板(12)被配置为能够修正所述曲面基板(100)的第一区域，所述第二膜厚修正板(13)被配置为能够修正所述曲面基板(100)的第二区域，所述第二区域包括所述曲面基板(100)的待镀膜面的波峰区域(110)和/或波谷区域。2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括挡板(2)，所述第二膜厚修正板(13)设置于所述挡板(2)，所述挡板(2)滑动设置于所述第一膜厚修正板(12)和所述曲面基板(100)之间。3.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室(1)还包括转动设置于所述镀膜室(1)的中心区域的毂架(14)，所述曲面基板(100)可拆卸的设置于所述毂架(14)的外周，且所述曲面基板(100)的待镀膜面朝向所述镀膜源(11)。4.根据权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜源(11)的数量为多个，多个所述镀膜源(11)沿所述毂架(14)的周向间隔分布，所述挡板(2)的数量为多个，多个所述挡板(2)沿所述毂架(14)的周向间隔分布；所述第二膜厚修正板(13)的数量为两个，所述挡板(2)为弧形挡板，两个所述第二膜厚修正板(13)分别设置于所述挡板(2)沿周向的两边。5.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，沿所述曲面基板(100)的待镀膜面的延伸方向，所述第一膜厚修正板(12)的跨度大于所述第二膜厚修正板(13)的跨度。6.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第二膜厚修正板(13)包括第二连接板(131)和第二修正板(132)，所述第二连接板(131)可拆卸连接于所述镀膜室(1)，所述第二修正板(132)滑动设置于所述第二连接板(131)。7.根据权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，所述第二膜厚修正板(13)还包括第二调整垫板(133)，所述第二调整垫板(133)与所述第二连接板(131)可拆卸连接，所述第二修正板(132)滑动连接于所述第二调整垫板(133)，且所述第二调整垫板(133)位于所述第二连接板(131)和所述第二修正板(132)之间。8.根据权利要求1-7任一项所述的镀膜装置，其特征在于，所述第二膜厚修正板(13)为平面修正板；或，所述第二膜厚修正板(13)为曲面修正板。9.根据权利要求1-7任一项所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一膜厚修正板(12)为平面修正板；或，所述第一膜厚修正板(12)为曲面修正板。10.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，沿所述曲面基板(100)的待镀膜面的延伸方向，所述镀膜室(1)间隔设有两个轨道，所述挡板(2)的两端分别滑动位于两个所述轨道。11.根据权利要求10所述的镀膜装置，其特征在于，沿所述曲面基板(100)的待镀膜面的延伸方向，所述挡板(2)的两端均设有滑动轮，两个所述轨道和两个所述滑动轮一一对应
设置，所述滑动轮滑动位于所述轨道。12.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括驱动机构(3)，所述驱动机构(3)包括设置于所述镀膜室(1)的壳体的驱动件(31)，以及连杆组件(32)，所述驱动件(31)的输出轴与所述连杆组件(32)的输入端固定连接，所述连杆组件(32)的输出端与所述挡板(2)固定连接。13.根据权利要求12所述的镀膜装置，其特征在于，所述连杆组件(32)包括第一连杆(321)、第二连杆(322)和第三连杆(323)，所述第一连杆(321)与所述驱动件(31)的输出轴固定连接，所述第三连杆(323)与所述挡板(2)固定连接，所述第二连杆(322)的两端分别与所述第一连杆(321)和所述第三连杆(323)转动连接。14.根据权利要求1-7任一项所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一膜厚修正板(12)包括第一连接板(121)和第一修正板(122)，所述第一连接板(121)可拆卸连接于所述镀膜源(11)的内壁，所述第一修正板(122)滑动设置于所述第一连接板(121)。15.根据权利要求1-7任一项所述的镀膜装置，其特征在于，所述曲面基板(100)为波浪形基板，所述第二膜厚修正板(13)的数量为多个，多个所述第二膜厚修正板(13)沿所述曲面基板(100)的待镀膜面的延伸方向间隔分布，多个所述第二膜厚修正板(13)与所述波浪形基板的各个所述第二区域一一对应设置。

技术总结
本实用新型公开了镀膜装置，该镀膜装置用于对曲面基板进行镀膜，镀膜装置包括镀膜室，镀膜室包括与曲面基板的待镀膜面的延伸方向形成对应关系的镀膜源，以及膜厚修正机构，膜厚修正机构包括第一膜厚修正板和第二膜厚修正板，第一膜厚修正板设置于镀膜源的开口的周边区域，第二膜厚修正板设置于第一膜厚修正板和曲面基板之间；沿曲面基板的待镀膜面的延伸方向，第一膜厚修正板被配置为能够修正曲面基板的第一区域，第二膜厚修正板被配置为能够修正曲面基板的第二区域，第二区域包括曲面基板的待镀膜面的波峰区域和/或波谷区域。能够有效提升整个曲面基板的待镀膜面的膜厚均匀性。效提升整个曲面基板的待镀膜面的膜厚均匀性。效提升整个曲面基板的待镀膜面的膜厚均匀性。


技术研发人员：汪晨洁 余海春 杨启忠 戴晓东
受保护的技术使用者：光驰科技（上海）有限公司
技术研发日：2023.03.07
技术公布日：2023/7/23